真空系统的组成
真空系统原理图
真空系统原理图真空系统是一种用于实现真空环境的系统，它在许多领域都有着广泛的应用，包括半导体制造、光学涂层、化学加工和实验室研究等。
真空系统的原理图是真空系统设计和构建的重要参考依据，它展示了真空系统的各个组成部分之间的连接关系和工作原理。
本文将详细介绍真空系统原理图的构成和作用，帮助读者更好地理解和应用真空系统。
首先，真空系统原理图主要包括真空泵、真空室、阀门、仪表和管道等组成部分。
真空泵是真空系统的核心设备，它通过不同的工作原理实现对气体的抽取，从而形成真空环境。
真空室是容纳被抽取气体的空间，它的大小和形状会根据具体的应用需求而有所不同。
阀门用于控制气体的流动方向和流量，起到调节和分流的作用。
仪表则用于监测和记录真空系统的压力、温度和流量等参数，确保系统的正常运行。
管道则连接各个组成部分，形成气体流动的通道。
其次，真空系统原理图的作用主要体现在以下几个方面。
首先，它可以帮助工程师和技术人员清晰地了解真空系统的结构和工作原理，有助于系统的设计和改进。
其次，它可以作为真空系统的施工和维护指导，帮助施工人员正确地安装和连接各个设备和管道。
再次，它可以作为故障排查和维修的参考依据，帮助技术人员快速找到问题所在，并进行修复。
最后，它还可以作为真空系统的培训教材，帮助新手快速掌握真空技术的知识和技能。
总之，真空系统原理图是真空技术领域中的重要工具，它对于真空系统的设计、施工、维护和培训都具有重要意义。
通过深入了解和应用真空系统原理图，我们可以更好地掌握真空技术，提高系统的性能和可靠性，推动真空技术的发展和应用。
希望本文能够帮助读者更好地理解和应用真空系统原理图，促进真空技术的发展和应用。
同时也欢迎读者对本文提出宝贵意见和建议，共同探讨真空技术的发展方向和应用前景。
真空系统元件及连接
起源进入气缸上下部。密封垫片13、华 赛胶圈14、活塞15，将气缸分为两部分， 并移动与气缸之中，从而控制阀门的开
闭
5、挡板阀
6、翻板阀
下图为三种不同结构的真空翻板阀。他们利用压缩空气作为阀板翻转的 动力源。在阀门发开或关闭的过程中，阀板的运动有一个翻转过程，能 翻转一个角度。图13-10所示的阀门结构中，阀盖的翻转靠四连杆机构 实现，阀盖能实现90°翻转。13-11的结构中，靠滚轮将阀盖档翻，此结 构的发明阀盖不能翻转90°。图13-12的阀门结构简单，总高度低，阀板 能翻转90°在翻板阀中，当阀板翻转90°是流导较大
超高真空针阀结构如图。针 阀是一种微调阀，其阀塞维 针形，主要用做调节气流量， 微调阀要求阀口开启逐渐变 大，从关闭到开启最大能连 续细微地调节。针形阀塞既 能实现这种功能。针形阀塞 一般用经过淬火的钢制长针， 而阀座是用锡、通等软质材 料制成。阀针与阀座见的密 封是依靠其锥面紧密配合大 道的。阀针的锥度有1：50 和6°两种，阀椎体表面要经 过精细研磨。途中的阀杆与 阀座间的密封是靠波纹管实 现的。
1、开关电路。如图13-1，当高真空阀2和前级阀4关闭，预抽阀7打开时，机 械真空阀抽真空，气流流经预真空抽气管道。当阀7打开，机械阀可单独对扩 散阀抽真空。当阀2和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器 进行抽真空，此时气流刘静扩散阀。阀门在这种工艺操作中的作用是开关气 路，改变气流的流经路线。
8、针阀
通常的高、低真空阀门，密封 垫圈的材料为橡胶，不能承受 高温烘烤。因而不能使用在高 真空设备上。能使用在超高真 空设备上的超高真空阀门必须 满足：
真空系统使用注意事项
真空系统使用过程及注意事项天津大学天波科技公司灌封机事业部在环氧树脂真空浇注系统中，真空系统作为独立的子系统，在整个设备中起关键作用。
为了使真空系统正常、高效的发挥作用，以顺利完成环氧树脂浇注工作，以下是真空系统的使用过程和注意事项的一些说明。
1．真空系统组成本系统组成主要由2XT系列旋片真空泵、电磁放气阀、冷凝过滤器、手动截止阀门、放气阀、园盘真空表、真空规管、波纹管、管路以及循环水泵、冷却水箱、水路阀门可移动底盘等部分组成。
2．操作程序1．开始抽空前，首先关闭手动放气阀和BQ25手动球阀。
2．启动ISG20-110循环水泵，向2XT-30和φ250mm冷凝过滤器供给冷却水，冷却水系统ISG20-110循环水泵吸入口的水路阀门要处于常开状态，冷凝过滤器出水口接2XT-30真空泵进水口，真空泵出水口连接水箱上部回水口。
3．启动2XT-30旋片真空泵，根据工艺要求，打开BQ25手动球阀对物料脱气罐进行抽气。
4．停止工作时，首先关闭BQ25手动球阀和DN50手动蝶阀，然后停止真空泵和循环水泵。
5．当脱气罐需要恢复常压时，可打开的手动放气阀，使混料罐恢复到大气压力。
在两个混料罐中只有一个罐需要恢复常压而另一混料罐尚工作在真空状态时，应关闭泵口阀门即需维持真空的混料罐的真空阀门，待另一罐放气完成再抽到一定真空后，再打开需维持真空的混料罐的阀门。
3．注意事项1．真空度低，抽空时间明显增长：1.1检查各连接处密封圈是否损坏，如有损坏及时更换。
1.2检查各系统漏气率，在真空状态下对于系统容积为V[m3]，压力为P1（Pa）的情况下，经过时间t（s）后压力升高到P2（Pa）时，系统的漏气率Q为：Q=(P2-P1)•V/t [Pa.m3/s]当漏气率Q较要求值增大时，就应对系统各部分进行检漏，并排除漏气源。
1.3于1.41.541．2．更换芯子内部的陶瓷管，将新的陶瓷管φ8-10用筛子筛选，除掉粉碎部分后，放入锂基润滑脂中煮沸10-15分钟取出，将粘在表面上的油除净并冷却到常温再使用。
真空系统讲义教学教材
供水量
2-6 m3/h
生产厂家 广东佛山水泵有限公司
真空系统的主要技术参数：
电机 ： 型号
Y315M-8
功率
75KW
转速
740rpm
频率
50HZ
电压
380V
电流
148.9A
生产厂家 上海电机厂
1#真空泵控制逻辑描述：（2#相仿） 程序启动：1）启动真空泵；2）打开1#真空泵进口阀。 程序停运：1）关闭1#真空泵进口阀；2）停真空泵。 允许启泵条件：入口气动阀关且分离罐水位正常（没有
“L”信号存在） 。 允许停泵条件：无。 自动启泵条件（同时满足）： 1、允许启泵条件满足； 2、程序启泵指令
或联锁投入条件下，2#真空泵故障； 或联锁投入条件下，2#真空泵运行时，凝汽器真空 低开关动作（整定值：－80KPa）。 自动停泵条件：程序停泵指令。
1＃真空泵进口气动阀： 作用：1、真空泵不运行时关闭，防止气体反流。
真空系统讲义
2．系统组成：
本系统主要配备的是广东佛山水泵有限公 司公司的2BW4253-OEK4单级水环式真空 泵、低速电机、气水分离罐、水环水冷却 器（板式换热器）、真空泵进口气动阀、 真空破坏阀以及相关管道、阀门及热工仪 表等设备组成。
3．真空系统流程：
从凝汽器抽吸来的气体经气体抽吸口、泵组进口气动阀，与 水环水混合进入真空泵（该泵由740rpm低速电机驱动）， 经真空泵作功后，由真空泵的水/气体混合物输送管送到分离 器进行气水分离，分离后的气体经排汽逆止阀、气体排出口 排向大气；分离出来的水流至分离罐底部。分离罐底部的水 在真空泵排气压力作用下通过热交换器冷却，冷却后的水， 一路经孔板（两小支路）喷入真空泵进口，使即将抽入真空 泵的气体中可凝结部分凝结，提高真空泵的抽吸能力；另一 路直接进入泵体作为工作介质，维持真空泵的水环和降低水 环的温度，同时也用于泵端填料密封水。热交换器为板式换 热器，水环水与工业水进行热量交换，冷却水由工业水泵提 供。工作水存在损失（蒸发和泵端漏水），分离罐水位会降 低，通过补水电磁阀将除盐水直接补入分离罐。
真空系统的组成.
常用机组形式
图为有挡油阱的低真空 机组。双击水环泵和大 气喷射泵串联组成的机 组极限压力1300Pa。工 作时，先开动水环泵， 以获得大气喷射泵所需 的预压力，使大气喷射 泵的进气口与出气口之 间有压力差，大气便通 过喷射进入泵内形成高 速运动气流，将被抽气 体吸入，经扩压器被水 环泵排走。 该机组适用于真空蒸 发、真空浓缩、真空浸 渍、真空干燥、真空冷 冻等工艺过程
（3）高真空抽气机组
高真空抽气机组工作于分子流状态下，与低真空机组相比， 其特点是工作压力较低（10-2~10-6Pa）、排气量小、抽速 大、机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛 升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因 此需要配置与丑泵和前级泵，有些扩散泵高真空抽气机组 还配有前几维持泵或贮气罐，以防止气压波动，改善机组 性能。
油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施
油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液， 破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个， 并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负 担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水 的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用 各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器 或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵 向真空室的反流。
1、粗真空系统（工作压力大于1330Pa）；2、低真空系统（工作压 力在1330~0.13Pa）；3、高真空系统（工作压力在0.13~1.3×106Pa）；4、超高真空系统（工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa）；5、 极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）。
真空系统的组成元件
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
没有最好, 没有最好, 只有更好 我们还在努力
THANK YOU ...
电子、电器配套玻璃专业国际化公司
Total Glass Solutions For Electron And Electric Appliance
专业的心
做专业的事
真空系统的组成元件
作成： 作成：樊斌杰 日期:2010 /07月 :2010年 日期:2010年/07月
做专业的事
平面连续镀膜线真空系统
专业的心
做专业的事
一、真空阀门 1．概述 ． 在真空系统中，用来改变气流方向，调 节气流量大小，切断或接通管路的真空系 统元件称为真空阀门。
专业的心
做专业的事
表1 真空阀门分类 名称 分类方法
根据阀门的职能 根据结构塑式 根据驱动方式 根据材料 根据用途 根据通道方式 低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门 挡板阀、翻板阀，碟阀、隔板阀、闸阀、针阀 、插板阀 手动阀、电动阀、手电两用阀、电磁阀、气动 阀、液压真空阀 金属真空阀、玻璃真空活塞(考克)、塑料阀 截止阀、隔离阀、放气阀、节流阀、换向阀、 封闭送料阀 脚阀、直通阀、双通阀、三通阀、四通阀
专业的心
做专业的事
真空系统是由真空泵、真空测量装置、真空阀门、连 接导管以及捕集器、除尘器、真空继电器规头等元件， 经过精心组装而成的。它能在人们所期望的时间内将被 抽容器内的压力降低到所要求的真空度。由于真空泵和 真空测量仪器前面已经讲述，这里仅介绍真空阀门和捕 集器。
SMC 真空系统
SMC 真空系统SMC 真空系统1·系统概述1·1 系统定义SMC 真空系统是一种专为工业应用而设计和制造的真空设备，旨在实现高效的真空处理和控制。
1·2 系统组成SMC 真空系统由以下几个主要组件组成：1·2·1 真空泵：负责产生和维持所需真空度的装置。
1·2·2 阀门：用于调节真空系统中气体的流动。
1·2·3 传感器：用于监测真空度和其他相关参数。
1·2·4 控制器和仪表：用于控制和监测系统的运转状态。
1·2·5 管道和接头：连接各个组件并确保气体的有效流动。
2·系统安装与调试2·1 设备准备2·1·1 确定系统安装位置和布局。
2·1·2 检查设备和零部件是否完好。
2·1·3 准备所需的安装工具和材料。
2·2 安装步骤2·2·1 安装真空泵和阀门。
2·2·2 连接管道和接头。
2·2·3 安装传感器和控制器。
2·2·4 连接电源线和通信线缆。
2·2·5 进行系统的初步调试。
3·系统操作与维护3·1 系统启动和停止3·1·1 启动系统：按照指示，逐次启动真空泵、控制器和其他组件。
3·1·2 停止系统：按照指示，逐次停止各个组件，确保系统安全关闭。
3·2 真空度控制3·2·1 设置真空度目标值。
3·2·2 调节阀门和真空泵的运行状态以控制真空度。
3·2·3 监测真空度，并及时采取相应措施保持真空度稳定。
3·3 维护与保养3·3·1 定期检查和清洁系统组件。
真空干燥设备的组成和特点
真空干燥设备的组成和特点真空干燥设备是一种通过在低压下将含水物料蒸发并减少水分的设备。
它主要由真空系统、干燥系统、电气控制系统和机构支架组成。
本文将详细介绍真空干燥设备的组成和特点。
1. 真空系统真空干燥设备的真空系统是将设备内空气抽出的主要工具。
真空系统由真空泵、真空管道、真空计等组成。
在干燥过程中，通过抽出空气，将设备内部压力降低到一定程度，从而使水分在低压环境下蒸发。
2. 干燥系统干燥系统是真空干燥设备的核心部分，由干燥室和加热装置组成。
干燥室内有物料架和加热器。
物料架用于放置待干燥的物料，加热器则用于提供能量，使物料温度升高，从而促进水分蒸发。
在干燥的过程中，加热器的温度和干燥室的压力可以控制，以满足干燥的需要。
3. 电气控制系统电气控制系统主要用于实现设备的自动化控制。
它由PLC控制系统和触摸屏操作界面组成。
通过PLC控制系统，可以对设备进行自动化管理和控制，并且可以通过触摸屏界面进行设备的调试、参数设置和报警。
通过电子控制系统，可以确保设备运行的精度、稳定性和可靠性。
4. 机构支架机构支架主要用于支持真空干燥设备的各个部分。
机构支架的稳定性和牢固性对于设备的干燥效果、运行安全和设备寿命等方面都有关键性的影响。
真空干燥设备的特点：1. 干燥效率高真空干燥设备是在低压环境下进行干燥的，因此可以不用考虑热传递的途径，而直接利用真空泵将水分抽出。
在规定时间内干燥效率高，水分蒸发速度快，可以大大减少干燥时间，提高生产效率。
2. 干燥质量好真空干燥设备具有低温干燥的特点，因此可以保持物料原有的色香味和营养成分。
同时由于真空干燥设备可以让水分快速蒸发，因此在干燥过程中可以避免物料表面水分卡结而导致干燥效果不佳的情况。
3. 操作简便真空干燥设备操作界面简单易懂，可以对设备的参数进行维护和设置。
同时系统还具有报警功能，可以在设备出现故障时及时通知系统管理员进行处理。
4. 节能环保真空干燥设备的低温干燥特点和自动控制系统的智能化运行设计，保证了设备的节能、环保，降低了设备使用的运营成本。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
（1）启动油封机械泵时，首先要保证转自运动方向正确，而且油位合 乎要求。 （2）油封机械泵停止后，应立即将机械泵入口通大气，防止因压差使 泵腔内的泵油进入到系统中 （3）不要用机械泵吧高真空室直接抽至低于13Pa的压强，否则机械泵 的油蒸汽会进入发哦高真空室内。因为在压强低于13Pa时会出现分子流 流态，有蒸汽分子将返流到真空室内而造成污染。如果在机械泵与真空 室之间设有冷凝捕集阱，则允许机械泵抽到13Pa一下的压强，此时补集 阱可防止油蒸汽返流进入到真空室内。 （4）不要使油封机械泵在大气压强下或较高压强下连续长时间工作， 否则点机会过热，而且泵会出现喷出油雾现象。 （5）在扩散泵通大气之前，应将泵油冷却到油的安全温度，防止高温 下泵油出现氧化现象。 （6）蒸汽流泵在加热之前，应先供给冷却水。该泵应该配备热保护继 电器，当发生停水事件时，能立即使加热器断电，并关闭泵入口阀门防 止泵液因温度过高而恶化和返流污染真空室。
（1）预抽泵。预抽泵（初抽泵）主要用来抽出真空室内的大量气体， 使真空室内的气体压力由大气压力降到主泵能够启动工作时的真空度， 因此，要求预抽泵所达到的压力小于主泵的启动工作压力，机组所选 用预抽泵的抽速大小由粗抽时间决定。为了提高真空机组的利用率， 预抽泵可以兼做前级泵用，两种不同抽气功能直接靠真空阀门来分隔 和切换。 （2）维持泵。由于扩散泵和油增压泵启动时间长，在周期性操作的真 空设备中，当真空室装料和卸料的时候，往往为了缩短工作周期而不 停止主泵，将高真空阀门和前几级管道阀门关闭，使主泵仍处于工作 状态。由于阀门等总是有极少量的漏气和表面放气，经过一定时间主 泵腔内的压强增加，超过泵工作液的最大允许压强而使泵油蒸汽氧化。 为了解决这个问题，一个办法是用前级泵继续抽出主泵中的气体，但 此时主泵内排除的气体量很小，出现前级泵大马拉小马，浪费能量。 为此可采用另一个办法，停止前级泵工作，关闭前级泵管道阀门，在 主泵出口处设置维持泵或贮气罐，这样就可以保证技能排除主泵内的 气体，又可以节省能源消耗。贮气罐不能做的很大，他只能用在以扩 散泵为主泵的小型真空机组上。而维持泵可用在配置大型主泵的真空 机组中
右图为双级罗茨泵和一 级水环泵（水环泵的极 限压力p0= 6700Pa）级 气镇式油封机械泵联合 机组，极限压力可达 10-2Pa。当需要大量抽 除水蒸气时，关闭阀门 7，用水环泵做粗抽泵 和前级泵，当水蒸气分 压到300~1300 Pa后， 关闭阀5，打开阀7，用 气镇式油封机械泵联合 机组做前级泵。
右图为另一种形式组合 的超高真空系统。该系 统适合于钠灯封接炉、 等设备。系统的主泵为 溅射离子泵-钛升华泵 组。真空室极限真空可 达到5×10-7Pa。系统 配有油扩散泵-机械泵 组成的机组，用来粗抽 和作为主泵的预抽泵， 同时能抽走工艺过程中 放出来的大量气体
12.4真空系统的基本操作规则
12.3典型真空系统
1、粗真空系统 用粗真空泵（如 水蒸汽喷射或水 环泵）直接从大 气压下为真空室 排气，组成的真 空系统极为粗真 空系统。该系统 是最简单的真空 系统。
2、低真空系统
用低真空泵（如油封式机械泵）给真空室排气，即可组成 低真空系统。
3、中真空系统
中真空系统一般是有两个以上的真 空泵串联组成的 （1）油增压泵串联油封机械泵组成 的真空系统。该系统的工作压力范 围为1.33~1.33×10-1Pa。其优点是 系统简单，抽气能力大，振动小， 工作稳定可靠，维修方便。缺点是 预抽时间比罗茨泵系统长。 （2）罗茨泵串联油封机械泵的真空 系统。该系统的工作电压范围为 1.33~1333Pa.优点是抽气能力大， 启动快，预抽时间短。缺点是工作 时噪声较大。右图为典型示意图 （3）罗茨泵串联小型罗茨泵（中间泵），再串联机械泵的真空系统。系统 的工作压力范围为0.33~1333Pa.该系统不但具备了罗茨泵系统的特点，而 且加宽了工作压力范围和最佳压力缩比。 （4）罗茨泵串联水环泵的真空系统。该系统适合于排除灰尘较多的应用设 备上。
超高真空抽气机组工作在10-6~10-10Pa超高真空压力范围，除了要求 真空室的材料出气率很低、漏气率很小、内经受200~450℃高温烘烤 外，对机组的要求还有： （1）主泵的极限真空要高，至少在10-6~10-8Pa以上； （2）在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速； （3）机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200~450℃的高温烘 烤； （4）来自主泵的返流气体（包括工作液蒸汽及解析的气体）的分压 力要足够低； （5）对被抽气体选择性强的主泵，要配备足够大的辅助泵； （6）机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件，材料的选择和蜜蜂 要特别慎重。一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属密封材料，以 耐高温烘烤。
5、超高真空系统
（1）扩散泵串联机械泵 冷阱系统。 右图极少该真空系统。扩 散泵串联来年各个液氮冷 阱，而且真空室和冷阱能 耐400~450℃的烘烤。在 次温度下，可以清楚真空 室壁及阱壁上吸附的气体 及凝结的泵油。该系统一 般可得到1.33×10-7Pa的 极限真空度。
（2）涡轮分子泵串联机 械泵的真空系统。 右图为该系统。此系统不 烘烤可获得10-6Pa的真空 度，烘烤后可达到10-8Pa。 该系统的特点是比较清洁， 可构成无油超高真空系统。
（3）贮气罐。小型扩散泵高真空抽气机组通常配置有贮 气罐，设置在扩散泵和前级泵之间，贮存扩散泵排除的气 体，设置贮气罐的原因有： 1、系统防振的需要。 2、为了缩短工作周期。 3、为防止真空室内瞬间时大量放气影响扩散泵正常 工作。 4、用于稳定扩散泵出口压力。
（4）超高真空抽气机组
1、粗真空系统（工作压力大于1330Pa）；2、低真空系统（工作压 力在1330~0.13Pa）；3、高真空系统（工作压力在0.13~1.3×106Pa）；4、超高真空系统（工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa）；5、 极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）。
按真空系统所要求的清洁程度分：
4、高真空系统
工作压力范围在1.33×10-2~ 1.33×10-3Pa。 （1）扩散泵串联机械泵的真空 系统。如右图，此系统可获得 1.33×10-2~1.33×10-5Pa的真 空度，一般用在工作时放气量 比较小的应用设备上。该系统 的结构简单，工作可靠，成本 低。缺点是系统启动慢，预抽 时间长。扩散泵的油蒸汽容易 返流到真空室中去。 （2）扩散泵串联油增压泵，在 串联油封机械泵的真空系统。 该系统的预抽时间短，但启动 较慢。 （3）扩散泵串联罗茨泵（机械 增压泵），在串联机械泵的真 空系统。他的启动慢，但预抽 气时间短
1、有油真空系统（真空室有油蒸汽污染）；2、无油真空系统（真空 室无油蒸汽污染）
12.2真空机组
真空机组是将真空泵与相应的真空元件按其性能要求组合 起来构成的油气装置。其特点是结构紧凑，安装方便。
真空抽气机组可以分为低真空抽气机组、中真空机组、高 真空机组、超高真空机组、无油真空机组等。真空机组的 名称以主泵命名。
（4）组合超高真空系统。对于默 写有特殊要求的真空系统，如对 于既要求得到超高真空或无油超 高真空，有同时满足粗抽需要及 能应付工艺过程中放出来的大量 气体这样的系统，可采用组合式 系统来满足要求。原理如右图。 主泵为溅射离子泵，为了提高真 空度及排走蒸发材料时产生的大 量气体，配有钛升华泵。极限真 空度可达6.67×10-7Pa。用分子筛 泵做主泵的预抽泵。此外，系统 还配有媳妇经-机械泵粗抽系统， 在压力大于1333Pa时，机械泵不 易返油，用机械泵直接抽真空室， 压力低于以后，机械泵阱吸附阱 从旁路抽真空室
（b）罗茨泵+水环泵机组
图为罗茨泵+水环泵机组，他适合抽出含有大量
水蒸气的气体，如真空浓缩、真空干燥，特备适 宜于弱酸性气体及含有少量细微粉尘气体的抽除。
（c）双罗茨泵为主泵的中真空机组
为了提高真空机组的抽气性能，达到较低的极限压力和改 善在地入口压力时的抽速特性及对大型真空机组配用较小 规格的前级泵，可以组成由两个罗茨泵串联作为主泵的三 级抽气机组。如上两图所示
常用机组形式
图为有挡油阱的低真空 机组。双击水环泵和大 气喷射泵串联组成的机 组极限压力1300Pa。工 作时，先开动水环泵， 以获得大气喷射泵所需 的预压力，使大气喷射 泵的进气口与出气口之 间有压力差，大气便通 过喷射进入泵内形成高 速运动气流，将被抽气 体吸入，经扩压器被水 环泵排走。 该机组适用于真空蒸 发、真空浓缩、真空浸 渍、真空干燥、真空冷 冻等工艺过程
（7）由于在泵开始工作和泵停止加热阶段，扩散泵油返流特别厉害， 因此在开泵前和停泵前应将扩散泵入口阀门关闭，可以防止扩散泵油 返流回真空室去。 （8）不要在压强高于10-2Pa时给阱加入液氮，这样导致凝结很多水汽。 在使用前要把液氮阱的贮液罐中的所有水凝也都清除掉，以避免水冻 结想阱的下部。当达到高真空后，应给阱加注液氮达到较高液面，大 量捕集气体。 （9）为缩短抽空时间，将真空室对大气压做短时间通气时，使用干燥 氮气为好。把真空系统内表面的湿气减到最小限度。通气时应在真空 室一侧用放弃阀门进行放气。不可以从扩散泵出口的前几管道上通气。 （10）使用电离计时，应在真空室内压强达到1.33×10-1Pa 时，再接通电离真空计（热阴极电离真空计）。防止因真空室内压强 高而烧毁电离规管 （11）在真空系统停止工作时，应将系统内的各元件（包括真空室） 都保持在真空状态下封存，但机械泵要通大气。
油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施
油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液， 破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个， 并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负 担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水 的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用 各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器 或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵 向真空室的反流。