真空管式炉使用说明
节能真空管式炉说明书卓驰
节能真空管式炉SK3-6-13-4使用说明书卓驰仪器目录一：仪器特点 (1)二：仪器使用................................................1-3 三：技术参数 (3)四：注意事项 (3)五：故障及排除 (4)附：LTDE仪表说明书一、仪器特点■石英炉管，结净度高，不锈钢法兰，密封性能好■可抽真空，也可通多种混合堕性气体，做气氛保护■仪器精确度高，显示精度1度，在恒温状态下，精确度高达正负1度■控制系统采用LTDE技术，具有30波段可编程功能，二级超温保护。
节能真空管式炉，采用优质高温石英材料为炉管，低蓄热轻质纤维材料制作发热炉胆，高效节能，优质高温发热丝为发热元件，可在15分钟时间升温到1000度。
控制系统为国际先进的LTDE可编程仪表，可任意设置升温降温，恒温，定时开机，关机等多波段操作。
控制器位于炉体下方，一体化制作，炉体和温控器的电气连接出厂前已完成，通上电源即可使用，控制系统采用升温速度可设定的LTDE可编程仪表，PID+SSR系统同步协调控制，使任何试验或实验的一致性和再现性成为可能。
具有自动恒温及时间控制功能，并附设有二级超温自动保护功能，控制可靠，使用安全。
密封系统带有双头进气阀，单头出气阀，真空压力表，不锈钢密封头，和耐高温密封胶，密封性能好，如需要还可另配流量计。
该真空炉美观大方，性能优越，是各高等院校科研单位首先的真空管式电炉。
二、仪器使用普通操作方法：接通电源，按↑键二秒钟使SV窗口出现STOP（暂停）。
设定步骤：按←键PV显示C01。
按←↑↓设置所需的温度。
按SET键，PV显示t01。
按←↑↓设置-1。
等到返回菜单（SV显示STOP）。
再按↓键二秒钟，SV显示RUN即可。
此时PV即显示升温。
SV窗口HOLD和设置的温度交替显示。
例如：要仪器到600℃长期保持自动恒温按←键一下 C01 = 600按SET键一下 t01 = -1等到SV返回STOP，再按↓键。
GSL-1100管式炉操作说明
真空管式高温炉使用手册（图片如与实物不符，以实物为准）尊敬的客户：真诚的感谢您成为科晶产品的用户， GSL-1100系列真空管式高温炉是本公司为高校和科研院所打造的实验室设备套餐之一，从本使用手册的封面上您足以看出它的与众不同和设计者的匠心独具，为了更好的使用该设备，希望您在开始操作本设备之前认真阅读随设备提供的操作使用手册，以免引起误操作造成设备损坏。
一、结构简介GSL-1100系列真空管式高温烧结炉如图所示,集控制系统与炉膛为一体。
炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用电阻丝为加热元件。
石英玻璃管横穿于炉体中间作为的炉膛，炉管两端可选用不锈钢法兰密封，工件式样在管中加热，加热元件与炉管平行，均匀地分布在炉管外，有效的保证了温场的均匀性。
测温采用性能稳定，长寿命的“K “型热电偶，以提高控温的精准性。
它是专为高等院校﹑科研院所及工矿企业对金属，非金属及其它化和物材料在气氛或真空状态下进行烧结﹑融化﹑淬火而研制的专用设备。
炉体的控制面板配有智能温度调节仪，控制电源开关、主加热工作/停止按钮输出指示灯，以便随时观察本系统的工作状态。
设备可横可竖 方便各工位的操作二、 设备安装接线1. 打开包装箱，检查设备是否完好，根据装箱单检查配套附件是否完整。
2. 设备放置地点应选择空气流通，无震动，无易燃﹑易爆气体或高粉尘的场所。
3. 安装炉管及绝热塞子GSL-1100系列炉管及绝热塞子的安装如图示：4. 安装法兰（如需较高真空，各步骤均需涂抹真空规脂）密封法兰的安装如图示：1.将内法兰套在炉管上，炉管超出压盖一定长度。
2. 将密封圈“1”套上。
3. 套上“压环” 。
5. 将外发兰装上。
6. 均匀的上好三颗内六角螺栓。
7. 两侧安装步骤相同。
5. 炉体电源AC220V/AC110V，请仔细核对设备铭牌，以免造成不必要的损失。
电源线采用16A的插头线，如右图示。
请自行安装16A 的插座与所采购设备相匹配，在插座前级加装与炉体工作电流相匹配的空气开关，可靠连接接地保护线，切勿将高电压引入，以免引起仪表及控制线路的损坏，不用时请关闭电源。
真空管式炉使用
真空管式炉使用
1.打开左侧法兰，取出炉膛塞
2.装入试样至炉子中心，装入炉膛塞，用法兰连接气管（注意气密性）
3.抽真空
（1）开冷却水，水龙头开至最大
（2）开电闸：第二排电闸中，推上第二排左数第二组黑色电闸（真空泵）
（3）打开真空泵控制台后部开关
（4）取下机械泵出口盖子
（5）关闭炉左侧进气管阀门，打开离子泵入口阀门（逆时针为开）
（6）打开控制台面板左下的机械泵开关
（7）待机械泵运行10~15 min后，按绿色“运行”按钮
（8）待液晶屏频率示数（第二项）达到最大（大约450）时，关闭离子泵入口阀门，按下红色“停止”按钮
（9）待频率示数下降到0时，关闭机械泵开关，关闭真空泵控制台后部开关，盖上机械泵出口盖子，关闭冷却水
4.通入氩气：关闭氩气减压阀，打开炉左侧进气管阀门，打开氩气钢瓶阀，用减压阀控制
进气量至一个大气压。
关闭氩气钢瓶阀和炉左侧进气管阀门
5.温控程序设置并启动
（1）switch键拧到左边开机
（2）左侧面板设定温度程序
（3）按下绿色“turn on”按钮
（4）运行面板在按run
6.等待。
玛福尔真空管式炉说明书
管式炉说明书天津玛福尔科技有限公司地址：天津市津南区长青科工贸园重庆街60号电话：************传真：02-86671769E-Mail：***************网址：目录一、各种规格型号真空管式炉技术参数 (3)二、结构简介 (7)三、设备的安装接线 (7)四、设备操作 (9)五、炉管和法兰的安装 (10)六、仪表操作的基本操作和注意事项 (11)七、炉子的保养及注意事项 (20)八、加热元件的更换 (21)九、硅钼棒的介绍 (22)十、硅碳棒简介 (23)十一、刚玉管的使用和维护 (23)十二、石英管的使用和维护 (25)十三、炉管内温度的检测 (27)十四、常见故障及排除 (28)十五、成套供应范围(装箱单) (29)十六、电路图 (31)注意:在用硅碳棒或硅钼棒作为加热元件的炉子之前，请按下面的步聚把炉盖与硅钼棒或硅碳棒之间的海绵拿出来用内六角扳手拧开炉盖上的螺丝拿出海绵盖好炉盖、拧好螺丝感谢您购买天津玛福尔科技有限公司T L系列管式炉，为了避免误操做对炉子的损害，请您在使用前认真阅读说明书。
一、各种规格型号真空管式炉技术参数型号项目TL1600炉管外径（60/80mm）TL1400炉管外径（60/80mm）单位指标值指标值炉体结构双层壳体结构，并配有风冷系统额定功率KW4KW额定电压V AC220V功率HZ50/60相数相单相温度范围℃0-16000-1400额定温度℃15501350升温速率℃/min≤10≤10推荐升温速率℃/min55炉管尺寸mm OD60（ID50）X1000或OD80（ID70）X1000加热段长度mm270恒温区mm120外型尺寸mm610X490X660（L X W X H）冷态极限真空Pa 1.0X10-4分子泵加机械泵(选件)控温精度℃±1控温方式40段程序控温PID调节可控硅控制(日本岛电)热电偶型号分度B S加热元件1800型硅钼棒硅碳棒炉膛材料1800型氧化铝多晶纤维（氧化铝含量95%以上）1600型氧化铝多晶纤维（氧化铝含量95%以上）炉管材料99刚玉管重量KG140120炉体表面温度℃≤35空气开关本公司设备自带有空气开关通讯接口本公司设备配有R485通讯接口和配套的软件炉子用途炉子温场均衡，可以制备CVD、气氛保护烧结、真空烧结型号项目TL1700炉管外径（60/80mm）TL1400炉管外径（100mm）单位指标值指标值炉体结构双层壳体结构，并配有风冷系统额定功率KW5KW6KW额定电压V AC220V功率HZ50/60相数相单相温度范围℃800-17000-1400额定温度℃16501350升温速率℃/min≤10≤10推荐升温速率℃/min55炉管尺寸mm OD60（ID50）X1000或OD80（ID70）X1000OD100（ID90）X1000加热段长度mm300恒温区mm120外型尺寸mm610X490X690（L X W X H）610X530X730（L X W X H）冷态极限真空Pa 1.0X10-4分子泵加机械泵(选件)控温精度℃±1控温方式40段程序控温PID调节可控硅控制(日本岛电)热电偶型号分度B S加热元件1800型硅钼棒硅碳棒炉膛材料日本进口氧化铝多晶纤维1600型氧化铝多晶纤维（氧化铝含量95%以上）炉管材料99.9刚玉管99刚玉管重量KG140120炉体表面温度℃≤35空气开关本公司设备自带有空气开关通讯接口本公司设备配有R485通讯接口和配套的软件炉子用途炉子温场均衡，可以制备CVD、气氛保护烧结、真空烧结型号项目TL1200炉管外径（60/80mm）TL1200炉管外径（100/120mm）单位指标值指标值炉体结构双层壳体结构，并配有风冷系统(对开式)额定功率KW 2.5KW4KW额定电压V AC220V功率HZ50/60相数相单相温度范围℃0-12000-1200额定温度℃11001100升温速率℃/min≤30≤30推荐升温速率℃/min1515空炉升温时间min40炉管尺寸mm OD60（ID53）X1000或OD80（ID73）X1000OD100（ID93）X1000或OD120（ID113）X1000加热段长度mm400恒温区mm200外型尺寸mm610X490X650（L X W X H）冷态极限真空Pa 1.0X10-4分子泵加机械泵(选件)控温精度℃±1控温方式40段程序控温PID调节可控硅控制(日本岛电)热电偶型号分度K加热元件瑞典KANTHANL炉膛材料1600型氧化铝多晶纤维（氧化铝含量95%以上）重量KG40炉体表面温度℃≤35炉管材料石英管空气开关本公司设备自带有空气开关通讯接口本公司设备配有R485通讯接口和配套的软件炉子用途炉子温场均衡，可以制备CVD、气氛保护烧结、真空烧结型号项目TL1800炉管外径（60/80mm）TL1600炉管外径（100mm）单位指标值指标值炉体结构双层壳体结构，并配有风冷系统额定功率KW 5.5KW6KW额定电压V AC220V功率HZ50/60相数相单相温度范围℃800-18000-1600额定温度℃17501550升温速率℃/min≤10≤10推荐升温速率℃/min55炉管尺寸mm OD60（ID50）X1000或OD80（ID70）X1000OD100（ID90）X1000加热段长度mm320300恒温区mm120120外型尺寸mm610X490X690（L X W X H）610X530X730（L X W X H）冷态极限真空Pa 1.0X10-4分子泵加机械泵(选件)控温精度℃±1控温方式40段程序控温PID调节可控硅控制(日本岛电)热电偶型号分度B或本公司研发的热电偶B加热元件1900型硅钼棒（Kanthal）1800型硅钼棒炉膛材料日本进口1900型氧化铝多晶纤维1800型氧化铝多晶纤维（氧化铝含量95%以上）炉管材料99.9刚玉管（美国进口）99刚玉管重量KG160180炉体表面温度℃≤35空气开关本公司设备自带有空气开关通讯接口本公司设备配有R485通讯接口和配套的软件炉子用途炉子温场均衡，可以制备CVD、气氛保护烧结、真空烧结二、结构简介本管式炉外形为长方体,双层炉壳结构、两炉壳之间相距4mm，炉壳采用薄铁板经折边焊接制成。
真空管式炉说明书。卓驰
定制真空管式炉SK3-4-5-10使用说明书卓.驰目录一：仪器特点 (1)二：仪器使用................................................1-3 三：技术参数 (3)四：注意事项 (3)五：故障及排除 (4)六：装箱单 (4)附：LTDE仪表说明书一、仪器特点■石英炉管，结净度高，不锈钢法兰，密封性能好；■可抽真空，也可通多种混合堕性气体，做气氛保护；■仪器精确度高，显示精度1度，在恒温状态下，精确度高达正负1度；■控制系统采用LTDE技术，具有30波段可编程功能，二级超温保护；SK3-4-5-10真空管式炉为定制炉子，采用优质高温石英材料为炉管，低蓄热轻质纤维材料制作发热炉胆，高效节能，优质高温发热丝为发热元件。
炉体长度1220MM，配：φ100*1450MM 石英管，密封装置，带阀三通进气管，带阀单头出气管，真空表装置；控制系统按装有调节功率旋钮，具有低温控制精准的特点，使用温度为100-300℃；控制系统为国际先进的LTDE 可编程仪表，可任意设置升温降温，恒温，定时开机，关机等多波段操作。
控制器位于炉体下方，一体化制作，炉体和温控器的电气连接出厂前已完成。
二、仪器使用操作面板功能SET: 功能键OUT：输出指示PV窗口：测量值SV窗口：设定值普通操作方法：接通电源，按↑键二秒钟使SV窗口出现STOP（暂停）。
设定步骤：按←键PV显示C01。
按←↑↓设置所需的温度。
按SET键，PV显示t01。
按←↑↓设置-1。
等到返回菜单（SV显示STOP）。
再按↓键二秒钟，SV显示RUN即可。
此时PV即显示升温。
SV窗口HOLD和设置的温度交替显示。
例如：要仪器到600℃长期保持自动恒温按←键一下 C01 = 600按SET键一下 t01 = -1等到SV返回STOP，再按↓键。
SV显示RUN即仪器开始工作。
定时功能操作方法：接通电源，按↑键二秒钟使PV显示STOP（暂停）。
真空高温管式炉操作规程
GSL-1300X、1600X真空高温管式炉操作规程一、准备工作1.设计升降温曲线，升温速率不得高于10℃/分钟，降温速率应低于15℃/分钟。
2.打扫环境。
3.每周开始使用管式炉时，检查机械泵油线处在标线以上，拆除两端盖，用吸尘器清洁刚玉炉管。
4.将样品舟推入刚与管炉膛中部（恒温长度10cm）。
5.塞上两块隔热炉塞，使第二个炉塞旳末端与炉体侧面平齐。
6.装上气炉法兰，确认密封垫落入槽中。
二、充工作气体Ⅰ. 使用氢气作为工作气体时1.接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。
2.确认各阀门处在关闭状态。
3.逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.1MPa。
4.接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上旳两个阀门，抽5分钟。
5.关闭机械泵气路上旳两个阀门，关闭管式炉出口阀门，关机械泵。
6.逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开”位置。
7.逆顺时针调整流量计旋钮，使示数在20ml/min。
8.逆时针旋动旋钮，打开管式炉进气阀，直至气压表读数为零。
9.打开管式炉进气阀，打开氢气气路上旳红色出口阀门。
10.在通氢气满十分钟后，才能开始加热管式炉。
加热前，逆时针调整流量计旋钮，使锥形瓶中气泡出现旳速度为2个/秒钟。
Ⅱ. 使用惰性气体作为工作气体时1. 接通工作气体气路，将管式炉气体出口端连接机械泵。
2. 打开管式炉进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀（注意把住法兰，防止炉管受力过大），抽空刚玉管和气体管路。
3. 当管式炉真空表到-0.1（指针到尽头时），关闭出气阀，关闭进气阀。
4. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa（2小格）。
5. 逆时针旋动旋钮，缓慢打开管式炉进气阀；亲密注意管式炉气压表，确认气压在0.08MPa 如下（如气压高于0.08MPa，打开管式炉出气阀放气）。
6. 管式炉气压表当气压稳定期，关闭管式炉进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关管式炉出气阀。
真空管式炉使用说明
真空管式炉使用说明1.程序设置1、 按红色按钮，打开电源，红色按钮变亮，仪器面板有示数，红色数字在50内，绿色数字跳动在数字和END 上。
2、3、 C-01，设置温度，该温度为起始温度，设置在室温附近25℃左右，设置完成。
4、 面板显示t-01，设置升温时间，该时间为从设置的C-01温度升高到C-02所需要的时间。
注意，每段升温速率不得超过10℃每分钟。
5、 面板显示C-02，设置目标温度，该温度为你第一段时间升高的目标温度。
6、 面板显示t-02，设置升温时间，该时间为从设置的C-02温度升高到C-03所需要的时间。
7、 面板显示C-03，设置目标温度，8、 依次往下设置。
最后一个目标温度设置完成，如果不想人工关闭程序，设置时间t-xx 为-121，程序自动终止。
9、 等待面板跳动到初始状态，从新检查一遍程序，等待面板跳动到初始状态，无误后，长按，程序显示run ，此时程序设置完成。
10、 END ，程序进入初始状态，停止运行. 程序实例：样品需要从室温加热到650℃，升温速率为每分钟10℃，从650℃加热到850℃，升温速率每分钟5℃，850保温2小时，程序自动结束。
1、 确认设置面板在仪器面板有示数，红色数字在50内，绿色数字跳动在数字和END 上；2、C-01，设置为25； 3、t-01设置为63； 4、C-02设置为650； 5、t-02设置为40； 6、C-03设置为850； 7、t-03设置为120； 8、C-04设置为850； 9、 t-04设置为-121； 10、 等待面板跳动到初始状态，从新检查一遍程序，无误后，等待面板跳动到初始状态，长按，程序显示run ，此时程序设置完成。
11、 完成后,请先将 气路系统设置1、 将炉子安装好，确认进气和排气控制阀(T 字阀)处于最大，将排气管路放置在气体指示器中（盛水容器中）。
2、 检查减压阀，保证减压阀处于最大状态，打开气瓶开关，慢慢紧减压阀，观察排气口有没有气体出来，压力表压力指数是否处于零点。
日新真空管式炉操作规程
日新/真空管式炉操作规程
一、装样
1.放入样品，拧紧螺钉；
2.开冷却水；
3.开总电源；
4.抽真空；
二、编程运行：
1.加热：按“GRP”进入program，按“STEP”，进入1-1输入终止温度，再按“ENT”，按
“循环键”，进入1-1，输入设定时间，再按“ENT”；
注意低温区升温速率小于50k/min，高温区小于5k/min；
2.保温：按“STEP”，进入1-2，设定保温温度，再按“ENT”，按“循环键”，进入1-2，输
入保温时间，再按“ENT”；
3.降温：按“STEP”，进入1-3，设定终止温度，再按“ENT”，按“循环键”，进入1-3，输
入降温时间，再按“ENT”；
4.GRP 到显示温度的界面run运行。
5.缓慢拧“调功”按钮至150A
6.热处理完成后，拧“调功”按钮至0A，关闭电源。
三、注意事项
1.最高加热温度为1400℃；
2.操作前请仔细阅读用户手册和温控操作说明书，严格按操作规程和步骤操作。
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- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
真空管式炉使用说明
1.程序设置
1、 按红色按钮，打开电源，红色按钮变亮，仪器面板有示数，红色数字在50内，绿色数
字跳动在数字和END 上。
2、
3、 C-01，设置温度，该温度为起始温度，设置在室温附近
25℃左右，设置完成。
4、 面板显示t-01，设置升温时间，该时间为从设置的C-01温度升高到C-02
所需要的时间。
注意，每段升温速率不得超过
10℃每分钟。
5、 面板显示C-02，设置目标温度，该温度为你第一段时间升高的目标温度。
6、 面板显示t-02，设置升温时间，该时间为从设置的C-02温度升高到C-03
所需要的时间。
7、 面板显示C-03，设置目标温度，该温度为你第二段时间升高的目标温度。
8、 依次往下设置。
最后一个目标温度设置完成，如果不想人工关闭程序，设置时间t-xx 为-121，程序自动终止。
9、 等待面板跳动到初始状态，从新检查一遍程序，等待面板跳动到初始状态，无
误后，长按
，程序显示run ，此时程序设置完成。
10、 END ，程序进入初始状态，停止运行. 程序实例：
样品需要从室温加热到650℃，升温速率为每分钟10℃，从650℃加热到850℃，升温速率每分钟5℃，850保温2小时，程序自动结束。
1、 确认设置面板在仪器面板有示数，红色数字在50内，绿色数
字跳动在数字和END 上；
2、
C-01，设置为25； 3、
t-01设置为63； 4、
C-02设置为650； 5、
t-02设置为40； 6、
C-03设置为850； 7、
t-03设置为120； 8、
C-04设置为850； 9、 t-04设置为-121； 10、 等待面板跳动到初始状态，从新检查一遍程序，无误后，等待
面板跳动到初始状态，长按
，程序显示run ，此时程序设置完
成。
11、 完成后,请先将 气路系统设置
1、 将炉子安装好，确认进气和排气控制阀(T 字阀)处于最大，
将排气管路放置在气体指示器中（盛水容器中）。
2、 检查减压阀，保证减压阀处于最大状态，打开气瓶开关，
慢慢紧减压阀，观察排气口有没有气体出来，压力表压力指数是否处于零点。
3、 如果压力表有压力，迅速关闭气瓶，将减压阀开到最大，
检查管路堵塞点，排除后重新通气，按照第2条检查。
4、 气路通畅，请专人至少每15分钟检查一次气路，保证压力
表无示数。
5、压力表无示数，但是管路中无气体排出，请紧减压阀，仔
细观察压力表，如有压力，按照3处理，压力表无示数，请随时观察。
6、加热完成后，先排气管路从盛水容器中拿出来，然后关闭
气体，顺序不能反，否则可能会导致倒吸。
注意：气瓶中压力可达10MPa以上，使用过程中，气体通过石英玻璃管，在高温下，如果没有随时检查气压状态，管路发生堵塞，管内压力迅速递增，会发生严重爆炸，通入保护气体后，必须专人看管，不得处于无人监管状态。