等离子清洗技术及相关工艺
等离子清洗技术
等离子清洗技术张国柱,杜海文,刘丽琴(UNDP 援建中国非ODS 清洗设备制造中心,太原 030024) 摘要:环境污染控制,人员劳动保护,技术应用,在高密度电子组装、精密机械制造中,湿法清洗工艺日渐局限,干法清洗的机理及应用研究日趋紧迫,等离子体清洗技术在干法清洗中优势明显。
文章的主要内容是等离子体清洗的机理及低温等离子体技术清洗的工艺。
关键词:等离子清洗/刻蚀;原理;工艺中图分类号:TM505 文献标识码:A 文章编号:1000-6133(2001)04-0031-04收稿日期:2001-10-201 概 述电子工业清洗是一个很广的概念,包括任何与去除污染物有关的工艺,但针对不同的对象,清洗的方法有很大的区别。
目前在电子工业中已广泛应用的物理化学清洗方法,从运行方式来看,大致可分为两种:湿法清洗和干法清洗。
湿法清洗已经在电子工业生产中广泛应用,清洗主要依靠物理和化学(溶剂)的作用,如在化学活性剂吸附、浸透、溶解、离散作用下辅以超声波、喷淋、旋转、沸腾、蒸气、摇动等物理作用下去除污渍,这些方法清洗作用和应用范围各有不同,清洗效果也有一定差别。
CFC 清洗在过去的清洗工艺中占有最重要的地位,但由于其损耗大气臭氧层,而被限制使用。
对于替代工艺,在清洗过程中,不可避免地存在需后续工序的烘干(ODS 类清洗不需烘干,但污染大气臭氧层,目前限制使用)及废水处理,人员劳动保护方面的较高投入,特别是电子组装技术、精密机械制造的进一步发展,对清洗技术提出越来越高的要求。
环境污染控制也使得湿法清洗的费用日益增加。
相对而言,干法清洗在这些方面有较大优势,特别是以等离子清洗技术为主的清洗技术已逐步在半导体、电子组装、精密机械等行业开始应用。
因此,有必要了解等离子清洗的机理及其应用工艺。
2 等离子体清洗机理等离子体技术在本世纪60年代起就开始应用于化学合成、薄膜制备、表面处理和精细化工等领域,在大规模或超大规模集成电路工艺干法化、低温化方面,近年来也开发应用了等离子体聚合、等离子体蚀刻、等离子体灰化及等离子体阳极氧化等全干法工艺技术。
等离子清洗工艺
等离子清洗工艺等离子清洗工艺是一种先进的表面清洗技术，它利用等离子体的化学反应和物理作用，将污染物从表面移除，达到清洁的效果。
该技术广泛应用于电子、半导体、医疗器械、航空航天等领域。
本文将介绍等离子清洗工艺的原理、特点和应用。
一、等离子清洗工艺的原理等离子体是一种带正电荷或负电荷的离子态气体，由于其高能量和高反应性，可以瞬间将表面的有机物、无机物、氧化物、铁锈和涂料等污染物分解成无害的物质，从而清洗表面。
等离子清洗工艺主要分为两类：低压等离子清洗和高压等离子清洗。
低压等离子清洗是在真空室中进行的，利用电子束或高频电场产生等离子体，将表面污染物从表面分解掉。
高压等离子清洗则是利用气体放电产生等离子体，将表面污染物清除。
二、等离子清洗工艺的特点1. 高效清洗：等离子清洗能够快速、彻底地清洗表面污染物，不仅能够清除有机物和无机物，还能够去除铁锈、氧化物和涂料等。
2. 环保节能：等离子清洗不需要使用有机溶剂、酸碱等危险物质，对环境和人体无害，同时能够节约能源和成本，具有很高的经济效益。
3. 适用范围广：等离子清洗技术适用于各种材料的表面清洗，不会对材料产生损害。
同时，它还能够清洗复杂的结构和微小孔洞。
4. 自动化程度高：等离子清洗可以与自动化生产线配合使用，实现全自动清洗和生产，提高了生产效率。
三、等离子清洗工艺的应用等离子清洗技术广泛应用于电子、半导体、医疗器械、航空航天等领域。
例如，电子行业中，等离子清洗可以清洗印刷电路板上的焊接残留物和半导体芯片上的残留物，以保证产品的质量和可靠性。
在医疗器械领域，等离子清洗可以清洗手术器械上的细菌和病毒，防止交叉感染。
在航空航天领域，等离子清洗可以用于清洗发动机叶轮和气动结构，提高机身的效率和可靠性。
总之，等离子清洗工艺是一种高效、环保、适用范围广的表面清洗技术，将会在未来的工业生产和科研领域中得到越来越广泛的应用。
等离子清洗培训教程
等离子清洗培训教程等离子清洗是一种常用的表面处理技术，广泛应用于钢铁、汽车、航空航天、电子、生物医药等领域。
通过等离子反应使工件表面的有机物质离解、溶解、氧化或还原，从而达到清洗、去污、脱脂、除漆、改性等目的。
下面，我将为大家介绍一下等离子清洗的基本原理和操作步骤。
一、等离子清洗的基本原理在等离子清洗过程中，通过放电设备产生高电压高电流，在两个电极之间产生等离子体。
当等离子体经过极化作用后，会出现极化碰撞、电离反应、电动力聚集等过程，从而产生一系列的物理和化学现象。
等离子体产生的物理和化学作用可以将工件表面的有机物质降解、氧化或还原为易于清洗的化合物。
二、等离子清洗的操作步骤1.准备工作：首先，需要准备好等离子清洗设备，包括放电装置、电极等。
清洗设备的选择要根据工件的尺寸、形状和材料特性进行合理选择。
2.工件准备：将需要清洗的工件准备好，进行检查并进行初步清洗。
工件表面不能有过多的附着物，以免影响等离子清洗效果。
3.设置清洗参数：根据工件的特性以及清洗的要求，设置合适的清洗参数，包括电压、电流、处理时间等。
通常可以根据经验值进行初步设置，然后进行试验以确定最佳参数。
4.开始清洗：将工件放入清洗设备中，并启动设备开始清洗。
在清洗过程中，需要注意观察清洗效果，并根据需要进行调整。
清洗时间一般较短，通常几分钟到几十分钟不等。
5.清洗后处理：清洗完成后，将工件取出，并进行后处理。
后处理的方式根据具体情况可以有多种选择，包括冷却、表面处理等。
6.检查清洗效果：清洗完成后，需要对清洗效果进行检查。
可以通过目测、触摸或使用特定仪器进行检查。
如果清洗效果不满意，可以根据需要进行二次清洗。
三、等离子清洗的注意事项1.安全操作：等离子设备通常需要高电压和高电流，因此在操作过程中需要注意安全。
避免触摸电极和导线，确保设备连接正确。
2.保护电极：电极是等离子清洗中重要的组成部分，因此需要注意保护。
避免使用过高的电压和电流，以免损坏电极。
等离子相关知识整理
等离子相关介绍及应用一．等离子的定义二．等离子体分类三．产生等离子体的方法和途径四．等离子体化学的特征五．等离子清洗技术六．等离子在汽车制造业塑料的表面处理技术七．等离子废气处理工艺原理八．等离子体表面改性技术九．表面等离子共振技术十．等离子喷涂技术十一．等离子切割技术十二．等离子体化学的主要应用最新进展一．等离子的定义1.等离子的定义：*定义1: “包含足够多的正负电荷数目近于相等的带电粒子的物质聚集状态。
”*定义2: “等离子体是由大量带电粒子组成的非凝聚系统。
”*体定义3: “等离子体是包含足够多的正负电荷数目近于相等的带电粒子的非凝聚系统。
”* 等离子体科学是一门典型的物理、化学和材料等学科的交叉科学，它包含了电磁学、分子碰撞动力学、化学反应动力学和表面科学等分支学科* 等离子体物理是研究等离子体自身运动规律及其与周围物质相互作用过程的一门分支学科，它是物理学的一门独立分支学科（物理学之二级学科）*等离子体就是能导电的气体。
物质的这一新的存在形式是经气体电离产生的由大量带电粒子(离子、电子)和中性粒子(原子、分子)所组成的体系，因其总的正、负电荷数相等，故称为等离子体。
继固态、液态、气态三态之后列为物质的第四态—等离子态。
•在大气的外层，由于太阳和宇宙射线的作用，形成一层电离层，就是等离子体，使得无线电波的远距离传送得以可能；•闪电也能形成瞬间等离子体•等离子体与气体的区别：•首先，气体通常是不导电的，等离子体则是一种导电流体而又在整体上保持电中性。
•其二，组成粒子间的作用力不同，气体分子间不存在净电磁力，而等离子体中的带电粒子间存在库仑力，并由此导致带电粒子群的种种特有的集体运动。
•第三，作为一个带电粒子系，等离子体的运动行为明显地会受到电磁场的影响和约束。
只有当电离度大到一定程度，使带电粒子密度达到所产生的空间电荷足以限制其自身运动时，体系的性质才会从量变到质变，这样的“电离气体”才算转变成等离子体。
等离子清洗机清洗原理
等离子清洗机清洗原理
等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行清洗的设备。
清洗过程中，首先将待清洗的物体放置在清洗室内，然后通过产生高频电场和电离气体的作用，将气体转化为等离子体。
等离子体是由正离子和自由电子组成的高度电离化的气体。
在等离子体中，正离子和自由电子之间存在着电荷平衡，呈现出电中性状态。
同时，等离子体的高温、高能量特性也使其具有强大的清洗能力。
清洗过程中，等离子体会释放出大量的化学能量。
这些能量可以通过碰撞和相互作用，使污渍表面的物质分解和转化为其他物质。
同时，等离子体中的活性氧、活性氮等物质也会与污渍发生反应并被清除。
此外，等离子清洗机还可以利用等离子体的物理冲击效应，对待清洗物体进行表面清洗。
等离子体中带有的正离子会以高速撞击待清洗物体表面，将表面的污渍和有机物质冲刷掉。
综上所述，等离子清洗机清洗原理主要是通过产生等离子体以及等离子体的热效应、化学效应和物理效应，对待清洗物体进行全面清洗。
这种清洗方式具有很高的清洁效果和广泛的适用性，被广泛应用于电子、光学、航空航天等领域。
等离子清洗机金属清洗方法
等离子清洗机金属清洗方法概述等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行清洗的设备，广泛应用于金属清洗领域。
其原理是通过产生高能量的等离子体来去除金属表面的污垢和氧化物，使金属表面恢复到原始状态。
本文将介绍等离子清洗机金属清洗方法的步骤和注意事项。
步骤1. 准备工作在进行金属清洗之前，需要准备以下工作：- 防护措施：戴上安全眼镜、手套和手提式呼吸器，以防止对皮肤和眼睛造成伤害。
- 清洗液准备：根据材料和污垢的性质选择合适的清洗液。
常用的清洗液包括去离子水、酸碱溶液和有机溶剂等。
- 清洗机准备：确保清洗机的正常工作状态，检查清洗槽和电极的清洁程度。
2. 浸泡清洗将待清洗的金属制品放入清洗机的清洗槽中，并注入足够的清洗液以完全浸泡金属制品。
清洗时间根据金属的种类和表面污垢的程度而定，一般为几分钟到几十分钟不等。
等离子清洗机通过产生等离子体来清洗金属表面。
等离子体会产生高能量，将金属表面的污垢和氧化物分解并去除。
在清洗过程中，需要注意以下几点：- 清洗槽内不要放入过多的金属制品，以免影响清洗效果。
- 清洗液的浓度和温度应根据金属材料和污垢性质进行调整，以获得最佳的清洗效果。
3. 冲洗清洗清洗完成后，需要对金属制品进行冲洗，以去除残留的清洗液和污垢。
冲洗可以使用去离子水或流动的水进行，时间通常为几分钟。
冲洗清洗过程中需要注意以下事项：- 冲洗水的质量要纯净，以免对金属制品产生二次污染。
- 清洗槽内和清洗液中留下的污垢要定期清理，以确保清洗效果。
4. 干燥处理金属制品冲洗完成后，需要进行干燥处理。
可以使用干燥器或自然风干的方法进行。
干燥处理时需要注意以下几点：- 干燥要充分，以防止残留水分对金属表面的再次污染。
- 金属制品在干燥过程中应妥善保护，以免受到外界物体的损害。
注意事项在使用等离子清洗机进行金属清洗时，需要注意以下事项：- 操作人员必须经过专门的培训，掌握相关的操作技能和安全知识。
- 使用过程中要注意安全设备的使用，如呼吸器、手套和安全眼镜等。
等离子清洗机清洗原理
等离子清洗机清洗原理等离子清洗机是一种利用等离子体对材料表面进行清洗和处理的设备，其清洗原理主要包括等离子体产生、清洗过程和清洗效果三个方面。
首先，等离子清洗机的清洗原理涉及到等离子体的产生。
等离子体是一种高能量、高活性的气体，由于其具有较强的化学反应性和清洁能力，因此被广泛应用于材料表面的清洗和改性处理。
等离子体的产生主要通过放电等方式实现，当在真空或气体环境中加入高频电场或直流电场时，气体分子会受到电场的激发，从而产生等离子体。
等离子体的产生是等离子清洗机实现清洗的基础。
其次，等离子清洗机的清洗原理还包括清洗过程。
等离子清洗机利用等离子体对材料表面进行清洗时，主要通过等离子体的化学反应和物理作用来实现。
在等离子体的作用下，材料表面的有机污染物、氧化物和其他杂质会被分解、氧化或脱附，从而实现对材料表面的清洗和去除。
此外，等离子体还能够激发材料表面的化学反应，促进材料表面的活化和功能化处理。
因此，等离子清洗机的清洗过程是通过等离子体的化学和物理作用来实现对材料表面的清洗和处理。
最后，等离子清洗机的清洗原理还涉及到清洗效果。
由于等离子体具有高能量和高活性，因此等离子清洗机能够实现对材料表面的高效清洗和处理。
通过等离子清洗机的清洗，可以实现对材料表面的去污、去油、去氧化和去杂质等效果，从而提高材料表面的清洁度和粗糙度，增强材料表面的附着性和润湿性，改善材料表面的光洁度和电性能，满足不同材料的清洗和处理需求。
综上所述，等离子清洗机的清洗原理主要包括等离子体的产生、清洗过程和清洗效果三个方面。
通过等离子体的化学反应和物理作用，等离子清洗机能够实现对材料表面的高效清洗和处理，从而满足不同材料的清洗和处理需求。
等离子清洗机作为一种高效、环保的清洗设备，具有广阔的应用前景和市场需求。
等离子清洗的流程
等离子清洗的流程等离子清洗是个超有趣的事儿呢！一、准备工作。
咱们在做等离子清洗之前呀，得把要用的东西都准备好。
就像做饭之前得把食材都备好一样。
这时候呢，我们得有一个等离子清洗设备，这个设备可得好好检查检查，看看各个部件是不是都好好的。
可不能在清洗的过程中它突然出故障呀，那就像正唱着歌突然麦克风没声儿了一样尴尬。
而且呀，要清洗的东西也要提前准备好，比如说要清洗的小零件，得把它们都整齐地放在一边，就像小朋友排队一样，这样方便等会儿放进清洗设备里。
二、把东西放进去。
准备好之后呢，就可以把要清洗的物件放进等离子清洗设备里啦。
这个过程就像把小玩具放进玩具箱一样，不过这个“玩具箱”可是有特殊功能的哟。
放的时候呀，要小心一点，别把物件给碰坏了。
如果是比较脆弱的东西，那就更得轻拿轻放啦，就像对待小婴儿一样，得充满爱和耐心。
三、设置参数。
放好物件之后呢，我们就要设置等离子清洗设备的参数啦。
这就像是给一个小机器人下指令一样。
不同的物件可能需要不同的参数哦。
比如说清洗的时间，要是清洗的时间太短了呢，可能就洗不干净，就像你洗脸只洗了一下，肯定还是脏脏的。
要是清洗的时间太长了呢，又可能会对物件有一些不好的影响，就像洗澡洗太久皮肤会变皱一样。
还有功率呀，功率也得根据物件的材质和脏污程度来调整。
如果功率太大，就像用力过猛，可能会把物件给“弄伤”，功率太小呢，又洗不干净。
这就需要我们有一点经验啦，不过多试几次也能找到最合适的参数的。
四、开始清洗。
参数设置好之后，就可以按下启动按钮，开始清洗啦。
这个时候呀，设备就开始工作了，里面会有一些神奇的反应在发生。
就像一个小魔法世界一样，等离子体在里面跑来跑去，把物件上的脏东西都给带走。
我们在外面呢，就只能听到设备工作的声音，心里就会充满期待，想着等会儿清洗出来的物件肯定会变得超级干净的。
五、清洗完成后的处理。
等清洗完成之后呀，我们就可以把物件从设备里拿出来啦。
拿出来的时候也得小心哦，就像从烤箱里拿出刚烤好的小蛋糕一样。
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什么是等离子体
含有离子、电子、高活性自由基和电中性分子的 可以导电的气体，这就叫等离子体。人们又称物 质的第四态，等离子体在世界上到处都存在着：
太阳，很多恒星 北极光（见右图） 日光灯，霓虹灯 电弧焊 等等
等离子体清洗技术及相关工艺
等离子体技术的发展
六十年代集成电路的刻蚀发展，是推动等离子体 发展的最大推动力
在等离子体中，不同微粒的温度实际上是不同的，所具有的温度是与微粒 的动能即运动速度质量有关，把等离子体中存在的离子的温度用Ti表示，电 子的温度用Te表示，而原子、分子或原子团等中性粒子的温度用Tn表示， 对于Te大大高于Ti和Tn的场合，即低压体气的场合，此时气体的压力只有 几百个帕斯卡，当采用直流电压或高频电压做电场时，由于电子本身的质 量很小，在电场中容易得到加速，从而可获得平均可达数电子伏特的高能 量，对于电子，此能量的对应温度为几万度（K），而离子由于质量较大， 很难被电场加速，因此温度仅几千度。由于气体粒子温度较低（具有低温 特性），因此把这种等离子体称为低温等离子体。当气体处于高压状态并 从外界获得大量能量时，粒子之间的相互碰撞频率大大增加，各种微粒的 温度基本相同，即Te基本与Ti及Tn相同，我们把这种条件下得到的等离子 体称为高温等离子体，太阳就是自然界中的高温等离子体。由于高温等离 子体对物体表面的作用过于强烈，因此在实际应用中很少使用，目前投入 使用的只有低温等离子体
八十年代国外开始用于其他领域的清洗以及表面 改性
国内在最近两三年开始用于电子元件清洗，表面 改性还无人问津
等离子体清洗技术及相关工艺
等离子体的产生机理 简要结构示意图：
真空罩
高真空
高频，高压
工作气体，如氧气、氢 气、氩气、氮气等
电子被加速，轰击工作气 体分子，发生电离，产生 离子
等离子体清洗技术及相关工艺
等离子体与物体表面的作用
1）原子团等自由基与物体表面的反应 由于这些自由基呈电中性，存在寿命较长，而且在离子体中的数量多于离子，因此
自由基在等离子体中发挥着重要作用，自由基的作用主要表现在化学反应过程中能 量传递的"活化"作用，处于激发状态的自由基具有较高的能量，因此易于与物体表 面分子结合时形成新的自由基，新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态，很 可能发生分解反应，在变成较小分子同时生成新的自由基，这种反应过程还可能继 续进行下去，最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。在另一些情况下，自由基 与物体表面分子结合的同时，会释放出大量的结合能，这种能量又成为引发新的表 面反应推动力，从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除 2）电子与物体表面的作用 一方面电子对物体表面的撞击作用，可促使吸附在物体表面的气体分子发生分解和 解吸，另一方面大量的电子撞击有利引起化学反应。由于电子质量极小，因此比离 子的移动速度要快得多，当进行等离子体处理时，电子要比离子更早达到物体表 面，并使表面带有负电荷，这有利于引发进一步反应 3）离子与物体表面的作用 通常指的是带正电荷的阳离子的作用，阳离子有加速冲向带负电荷表面的倾向，此 时使物体表面获得相当大的动能，足以撞击去除表面上附着的颗粒性物质，我们把 这种现象称为溅射现象，而通过离子的冲击作用可极大促进物体表面化学反应发生 的几率 4）紫外线与物体表面的反应 紫外线具有很强的光能，可使附着在物体表面物质的分子键发生断裂而分解，而且 紫外线具有很强的穿透能力，可透过物体的表面深达数微米而产生作用
整个清洗工艺流程在几分钟即可完成，因此具有效率高的特点 等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种真空度在工厂实际生产中很容易实
现。这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格昂贵的有机溶剂，因此 它的运行成本要低于传统的清洗工艺 由于不需要对清洗液进行运输、贮存、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清 洁卫生 等离子清洗的最大技术特点是：它不分处理对象，可处理不同的基材，无论是金属、 半导体、氧化物还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚 酯、环氧树脂等高聚物）都可用等离子体很好地处理，因此，特别适合不耐热和不耐 溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清 洗。 在完成清洗去污的同时，还能改变材料本身的表面性能，如提高表面的润湿性能，改 善膜的附着力等，这在许多应用中都是非常重要的
150 毫米半导体硅片。 其他电子元器件的生产，焊 接也都要等离子体清洗
等离子体清洗技术及相关工艺
等离子体清洗的总结
等离子体清洗，具有不分材料类型均可进行清洗、清洗质 量好、对环境污染小等优点
等离子体清洗技术在微电子封装中具有广泛的应用，主要 用于去除表面污物和表面刻蚀等，工艺的选择取决于后序 工艺对材料表面的要求、材料表面的原有特征、化学组成 以及表面污染物性质
等离子体清洗技术及相关工艺
等离子体清洗的优点
在经过等离子清洗以后，被清洗物体已经很干燥，不必再经干燥处理即可送往下道工 序
不使用三氯乙甲ODS有害溶剂，清洗后也不会产生有害污染物，属于有利于环保的绿 色清洗方法
用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同，它的方向性不强，因 此它可以深入物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务，所以不必过多考虑被清 洗物体形状的影响，而且对这些难清洗部位的清洗效果与用氟里昂清洗的效果相似甚 至更好
2）活泼气体和不活泼气体等离子体
根据产生等离子体时应用的气体的化学性质不同，可分为不活泼气体等离 子体和活泼气体等离子体两类，不活泼气体如氩气（Ar）、氮气（N2）、 氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）等，活泼气体如氧气（O2）、氢气 （H2）等，不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的，活泼气体 的等离子体具有更强的化学反应活性
因此，选择合适的清洗方式和清洗时间，对提高封装质量 和可靠性是十分重要的
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第六个反应式表示氧气分子在激发态自由电 子的作用下，分解成氧原子自由基和氧原子 阳离子的过程，当这些反应连续不断发生， 就形成氧气等离子体
其他气体的等离子体的形成过程也可用相似 的反应式描述。当然实际反应要比这些反应 式描述的更为复杂
等离子体清洗技术及相关工艺
等离子体的分类 1）低温和高温等离子体
将等离子体清洗引入微电子封装中，能够显著改善封装质 量和可靠性。但是采用不同的工艺，对键合特性、引线框 架的性能等的影响有很大差异。例如，对铝键合区采用氩 氢等离子体清洗一段时间后，键合区的粘接性能有明显提 高，但是过长的时间也会对钝化层造成损害；对焊盘采用 物理反应机制等离子体清洗会造成“二次污染”，反而降低 了焊盘的表面特性；对铜引线框架采用两种不同机制的等 离子清洗，拉力测试的结果有很大差异
污垢被氧化成二氧化碳和 水或其它气体，被抽走
如氧气等离子体形成过程 即可用下列6个反应式来 表示（见下页）：
高频高压 发生器
火线 220 V
零线
电极板
电极板和工 件
去真空泵
工作气体入口
等离子体清洗技术及相关工艺
氧气等离子体的产生（见右图反应式）
第一个反应式表示氧气分子在得到外界能量 后变成氧气阳离子，并放出自由电子过程
等离子体清洗技术及相关工艺
等离子体清洗的局限
如太厚的污物和粗固体粉粒需要前处理
纺织物不能处理
等离子体清洗技术及相关工艺
等离子体清洗的应Байду номын сангаас举例
等离子体清洗铝键合区 ¾ 集成电路键合区的质量对微电子器件的可靠性起到非常重要的作
用。封装作为器件和电子系统之间的唯一连接，键合区必须无污染 物和具有良好的键合特性。污染物（如氧化物和有机残渣）会严重 削弱键合区的粘接性能，而传统的湿法清洗对键合区的污染物去除 不彻底或者不能去除。研究表明，采用等离子体清洗能够有效去除 键合区的表面沾污物，提高键合区的粘接性 等离子体清洗对基板焊盘的影响 ¾ 基板焊盘上的污染物（如氧化物和碳氢化合物）会降低表面质量和 明显地降低引线键合的成功率，弥散于空间中的污染含量达到1g/m3 就会极大地影响引线键合的强度。因此在引线键合前清洗焊盘表面 是十分重要的。 ¾ 对焊盘进行表面清洗后，把接触角作为衡量表面质量的一个重要标 准；采用焊球剪切力测试和引线拉力测试来评价等离子体清洗的效 果；采用俄歇电子能谱（AES）对焊盘进行进一步分析
第二个反应式表示氧气分子在得到外界能量 后分解形成两个氧原子自由基的过程
第三个反应式表示氧气分子在具有高能量的 激发态自由电子作用下转变成激发态
第四第五反应式则表示激发态的氧气分子进 一步发生转变，在第四个反应式中，氧气释 放电子回到通常状态的同时发出光能（紫外 线）
在第五个反应式中，激发态的氧气分子分解 成两个氧原子自由基
等离子体清洗技术及相关工艺 等离子体清洗设备实例
钟罩式的放电腔
真空腔内柔和的淡紫色的等离子体放电， 在逐步剥离印刷线路板上的油污
等离子体清洗技术及相关工艺 等离子体清洗例样
多层聚四氟 乙烯印制板 上0.3毫米的 小孔内壁需 要清洗，以 便能镀上铜
清洗以后， 孔内能镀铜 了，滴在表 面的水滴也 能蔓延开了