真空泵的选型及常用计算公式综述
真空泵选型与计算

在真空泵选型前,我们一定弄清楚几个基础概念:理论上是指容积里面不含有任何的物质。
(现实中是不存在真正的真空的)通常把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的都称之为真空状态。
表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。
实际应用中,真空度通常有绝对真空和相对真空两种说法。
从真空表所读得的数值称真空度。
真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即:真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)绝对真空&相对真空极限相对压强相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。
表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。
由于容器内部空气被抽,因此内部的压强始终低于容器外部压强。
所以当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。
极限绝对压强绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。
它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。
由于工艺所限,我们无论如何都不能将内部压强抽到绝对真空0Pa这个数值,因此,真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。
所以当用绝对真空表示时,数值前面无负号。
例如,设备的真空度标为0.098MPa,实际上是-0.098MPa抽气量抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。
一般单位用L/S和m³/h来表示。
是弥补漏气率的参数。
不难理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。
这里建议,在计算出理论抽气量的情况下,我们尽量选择高一级的抽气量的真空泵。
真空泵选型原则及相关计算公式

真空泵选型原则及相关计算公式真空泵是一种将气体抽出封闭容器内部形成真空的设备,广泛应用于化工、医药、电子、航天等领域。
在选型过程中,需要考虑以下几个原则:1.最大抽气速度:真空泵的最大抽气速度应能满足设备的工艺要求。
抽气速度的计算公式为:S=(Q2-Q1)/(P2-P1),其中S为抽气速度,Q为流量,P为压力。
2.极限压力:真空泵的极限压力应低于设备所需的真空度。
极限压力的计算公式为:P=(P1V1)/V2,其中P为极限压力,V为容器的体积。
3.工作条件:选择真空泵时需要考虑工作介质的性质以及工作温度等条件。
4.功率和能耗:选用真空泵时要考虑其相应的功率和能耗,以保证在节能的前提下满足工艺需求。
5.维护和保养:真空泵的维护和保养成本也需要考虑在内。
除了以上原则外,还需要考虑一些具体的技术参数,如转速、排气量、冷却方式等。
常见的真空泵类型有:1.机械泵:主要分为旋片式、涡轮式和离心式机械泵。
旋片式机械泵具有体积小、结构简单、价格低廉等优点;涡轮式机械泵适用于高真空条件下的抽气工作;离心式机械泵适用于较大流量和比较低真空度的条件。
2.分子泵:分子泵是真空泵中的高真空泵,其工作原理是通过高速旋转的叶轮把分子和原子推向出口方向。
分子泵适用于高真空和超高真空条件下的抽气工作。
3.扩散泵:扩散泵利用分子在热扩散作用下的运动来抽气。
扩散泵适用于中等真空和高真空条件下的抽气工作。
4.涡旋泵:涡旋泵是一种基于离心力原理工作的真空泵。
涡旋泵适用于高真空和超高真空条件下的抽气工作。
根据不同的工艺要求和实际情况,选型时需要综合考虑各个方面的因素,权衡各个参数和条件,选择最适合的真空泵。
真空泵选型与计算

在真空泵选型前,我们一定弄清楚几个基础概念:真空理论上是指容积里面不含有任何的物质。
(现实中是不存在真正的真空的)通常把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的都称之为真空状态。
真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。
实际应用中,真空度通常有绝对真空和相对真空两种说法。
从真空表所读得的数值称真空度。
真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即:真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)绝对真空&相对真空极限相对压强相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。
表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。
由于容器内部空气被抽,因此内部的压强始终低于容器外部压强。
所以当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。
极限绝对压强绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。
它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。
由于工艺所限,我们无论如何都不能将内部压强抽到绝对真空0Pa这个数值,因此,真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。
所以当用绝对真空表示时,数值前面无负号。
例如,设备的真空度标为0.098MPa,实际上是-0.098MPa抽气量抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。
一般单位用L/S和m³/h来表示。
是弥补漏气率的参数。
不难理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。
这里建议,在计算出理论抽气量的情况下,我们尽量选择高一级的抽气量的真空泵。
真空泵的选型及数据计算(特选参考)

第一部分:选用真空泵时需要注意事项:1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。
通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。
每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。
因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。
由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。
若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。
选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。
如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。
真空泵计算

5 真空泵计算(1)抽气时间21lg 3.2P PS V t = (5 - 10) 式中 t —— 抽气时间,min ;V —— 真空系统的容积,m 3;S —— 真空泵的抽气速率,m 3/min;P 1——真空系统的初始压力,kPa(绝压);P 2——真空系统的抽气终了的压力,kPa(绝压); (2)真空泵的选用① 根据真空系统的真空度, 考虑泵进口管路的压降,确定泵入口处的真空度(绝压) ② 按表5-5确定真空系统的抽气速率,Se ;③ 将Se 换算成泵吸入条件下的抽气速率'e S ;TP T PS S s e e 1='(5 - 11) 式中 P ,Ps —— 分别为真空系统、泵入口处的真空度,kPa (绝压);T ,Ts —— 分别为真空系统、泵入口处气体的温度,K ;Se ,'e S —— 分别为真空系统、泵入口处的抽气速率,m 3/min 。
④ 根据抽气速率、真空度要求,选择真空泵类型,然后选择真空泵型号。
泵吸入条件应满足如下要求: S >20~30%'e S 或更大。
表5-6 逸入真空系统的空气泄漏量的估算例1 某发酵装置需选用液环真空泵一台,参数如下:真空装置容积50m 3,密封长度30m ,压力20kPa ,温度30℃,来自工艺系统的空气为60kg ,泵设计进入温度30℃。
解:(1)根据密封长度,真空容积确定真空系统总漏气量 a. 根据密封长度估计泄露量假设装置密封情况正常,取k=0.2kg/(h.m) b. 根据真空容积估算泄露量查表5-6,3Q =8kg/h (2)计算总抽气量Q321Q Q Q Q ++==60+8=68kg/h(3)计算抽气速率e S 空气的相对分子质量M=28.96MP T QR S S S e )273(+=96.2820)30273(31.868⨯+⨯⨯==295.6h m /3(4)将e S 换算成泵厂样本规定条件下的抽气速率/e S[]73.0704.105.1)543.020ln 27.0(20243.405.1)543.020ln 27.0(2005.1)543.0ln 27.0(05.1)543.0ln 27.0(1=⨯-+⨯⨯-+⨯=⨯-+⨯-+=v s s v s s P P P P P P k022.130273)2030(66.01273)20(66.012=+-+=+-+=W S T T kh m k k S S e e /3.396022.173.06.295321/=⨯==(5) 根据抽气速率和真空度要求,拟选用2BE1 153—0液环真空泵,泵转速1620r/min,电机功率18.5kw 。
真空泵的选型及数据计算

第一部分:选用真空泵时需要注意事项:1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。
通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。
每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。
因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。
由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。
若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。
选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。
如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。
真空泵的选型及常用计算公式综述

真空泵选型真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。
概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。
因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
为达到最佳配置,选择真空系统时,应考虑下述各点:确定工作真空范围: ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。
因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。
确定极限真空度----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。
一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。
被抽气体种类与抽气量检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。
因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。
同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。
考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
主真空泵的选择计算S=2.303V/tLog(P1/P2)其中:S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到要求真空度所需时间(s)P1为初始真空度(Torr)P2为要求真空度(Torr)例如:V=500Lt=30sP1=760TorrP2=50Torr则: S=2.303V/t Log(P1/P2)=2.303x500/30xLog(760/50)=35.4L/s当然上式只是理论计算结果,还有若干变量因素未考虑进去,如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等。
实际上还应当将安全系数考虑在内。
目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等一般的要求是:1、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。
2、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。
真空泵的选型及常用计算公式

真空泵的选型及常用计算公式-CAL-FENGHAI.-(YICAI)-Company One1真空泵选型真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。
概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。
因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
为达到最佳配置,选择真空系统时,应考虑下述各点:确定工作真空范围: ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。
因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。
确定极限真空度----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。
一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。
被抽气体种类与抽气量检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。
因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。
同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。
考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
主真空泵的选择计算S=tLog(P1/P2)其中:S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到要求真空度所需时间(s)P1为初始真空度(Torr)P2为要求真空度(Torr)例如:V=500Lt=30sP1=760TorrP2=50Torr则: S=t Log(P1/P2)=30xLog(760/50)=s当然上式只是理论计算结果,还有若干变量因素未考虑进去,如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等。
实际上还应当将安全系数考虑在内。
目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等一般的要求是:1、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
真空泵选型真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。
概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。
因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
为达到最佳配置,选择真空系统时,应考虑下述各点:确定工作真空范围: ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。
因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。
确定极限真空度----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。
一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。
被抽气体种类与抽气量检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。
因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。
同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。
考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
主真空泵的选择计算S=2.303V/tLog(P1/P2)其中:S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到要求真空度所需时间(s)P1为初始真空度(Torr)P2为要求真空度(Torr)例如:V=500Lt=30sP1=760TorrP2=50Torr则: S=2.303V/t Log(P1/P2)=2.303x500/30xLog(760/50)=35.4L/s当然上式只是理论计算结果,还有若干变量因素未考虑进去,如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等。
实际上还应当将安全系数考虑在内。
目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等一般的要求是:1、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。
2、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。
3、抽气量、抽出气体介质、温度。
4、真空设备的占地面积、自动化程度、真空管道规格选用真空泵时需要注意事项:1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。
通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。
每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。
因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。
由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。
若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。
选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。
如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。
如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。
若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。
这个化工手册有公式的,可以去查下!S=QRT/(P*M)S是抽气率 Q是系统漏气量,放气量。
T是温度,P系统压力M是系统气体分子量!真空计算常用公式1、玻义尔定律体积V,压强P,P•V=常数(一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。
即P1/P2=V2/V1)2、盖•吕萨克定律当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比:(V1/V2=T1/T2=常数)当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1℃,则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。
3、查理定律当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝对温度T 成正比,即:P1/P2=T1/T2在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1℃,它的压强比原来增加(或减少)1/273。
4、平均**程:λ=(5×10-3)/P (cm)5、抽速:S=dv/dt (升/秒)或S=Q/PQ=流量(托•升/秒) P=压强(托)V=体积(升) t=时间(秒)6、通导:C=Q/(P2-P1) (升/秒)7、真空抽气时间:对于从大气压到1托抽气时间计算式:t=8V/S (经验公式)(V为体积,S为抽气速率,通常t在5~10分钟内选择。
)8、维持泵选择:S维=S前/109、扩散泵抽速估算:S=3D2 (D=直径cm)10、罗茨泵的前级抽速:S=(0.1~0.2)S罗(l/s)11、漏率:Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏-系统漏率(mmHg•l/s)V-系统容积(l)P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg)P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)t-压强从P1升到P2经过的时间(s)12、粗抽泵的抽速选择:S=Q1/P预(l/s)S=2.3V•lg(Pa/P预)/tS-机械泵有效抽速 Q1-真空系统漏气率(托•升/秒)P预-需要达到的预真空度(托) V-真空系统容积(升)t-达到P预时所需要的时间 Pa-大气压值(托)13、前级泵抽速选择:排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有:PnSg≥PgS 或Sg≥P gs/PnSg-前级泵的有效抽速(l/s) Pn-主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)Pg-真空室最高工作压强(托) S-主泵工作时在Pg时的有效抽速。
(l/s) 14、扩散泵抽速计算公式:S=Q/P=(K•n)/(P•t)(升/秒)式中:S-被试泵的抽气速率(l/s) n-滴管内油柱上升格数(格)t-油柱上升n格所需要的时间(秒) P-在泵口附近测得的压强(托)K-滴管系数(托•升/秒) K=V0•(L/n)•(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0-滴管和真空胶管的原始容积(升) L-滴管刻度部分的长度(mm)n-滴管刻度部分的格数(格) Υ0-油的比重(克/厘米3)Υm-汞的比重(克/厘米3) Pa-当地大气压强(托)△Vt-滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)15、旋片真空泵的几何抽速计算公式:S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)式中:Z为旋片数,n为转速(转/分),L为泵腔长度,D为泵腔直径,d为转子直径(cm),Kv为容积利用系数(一般取95%)。
16、O型橡胶槽深B=0.7DD为橡胶直径,槽宽C=1.6B17、方形橡胶槽深B=0.8AA为方形橡胶边长,槽宽C=1.67B选用真空泵时,需要注意下列事项:1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。
通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。
每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。
因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
又如钛升华泵可以在10-2mmHg 下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。
由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。
若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。
选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。
如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。
如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。
若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。
水环式真空泵的选择一、泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
泵工作时,需要注意以下两个方面:尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。
在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。
对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。
汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。
根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。