如何对洁净室温湿度进行控制
洁净厂房百级洁净区温湿度控及送风、回风、排风原理

洁净厂房是一种对环境要求极高的工业厂房,主要用于生产对环境要求特别严格的产品,如半导体、生物制药等。
而百级洁净区作为洁净厂房中最核心的部分,其温湿度控制及送风、回风、排风原理对于保障产品质量至关重要。
本文将围绕这一主题,从以下几个方面展开论述:一、百级洁净区的温湿度控制在百级洁净区内,温湿度是需要严格控制的重要参数。
温度过高或过低都可能对产品的生产质量造成影响,因此需要采取相应的措施对温度进行精准控制。
空气中的湿度也需要得到有效的控制,以保证产品的生产环境处于最佳状态。
二、百级洁净区的送风原理送风是百级洁净区内的基本工艺之一,通过送风系统,洁净空气可以被输送到生产区域,从而保证生产区域内的空气质量达到百级洁净标准。
送风系统应当具备一定的风量和风速,同时需要保证送风口的位置和数量符合工艺要求。
三、百级洁净区的回风原理回风是指洁净空气通过生产区域内的工艺设备后,重新经过净化处理后回到洁净空调系统的过程。
回风系统的设计应当合理,以保证回风空气的质量满足洁净空调系统的要求。
回风系统还应当具备合理的回风口布置和回风口数量,以保证回风的均匀性和充分性。
四、百级洁净区的排风原理排风是指将百级洁净区内的废气通过排风系统排出工厂外部的过程。
排风系统应当具备足够的排风量和排风速度,以保证排风口的排风质量满足相关排放标准。
排风系统还应当合理布置排风口的位置和数量,以保证排风的均匀性和高效性。
总结百级洁净区的温湿度控制及送风、回风、排风原理是保障洁净厂房产品质量的重要因素。
通过对这些原理的合理应用和控制,可以有效地保证生产区域内的空气质量处于最佳状态,从而保障产品的生产质量和生产环境的洁净程度。
随着科技的不断发展,相信未来百级洁净区的温湿度控制及送风、回风、排风原理会得到更加完善和先进的应用,为洁净厂房的发展带来新的机遇和挑战。
在百级洁净区的温湿度控制方面,通常会采用高效的空调系统和湿度控制装置进行调节,确保百级洁净区内的温湿度处于可控范围之内。
洁净区环境(温湿度、压差、照度、风速、悬浮粒子)监控标准操作规程

洁净区环境(温湿度、压差、照度、风速、悬浮粒子)监控操作规程1、目的:建立一个洁净区环境(温湿度、压差、照度、风速、悬浮粒子)监控的操作规程,规范压差、温湿度、照度、悬浮粒子操作,确测试结果的准确性。
2、范围:适用于我公司洁净区环境(温湿度、压差、照度、风速、悬浮粒子)监控的的操作。
3、责任:质量部、生产设备部、注射剂车间QA监控员、固体制剂车间QA监控员对此规程的实施负责。
4、内容:4.1、洁净室内温湿度的监控:4.1.2、监测标准:洁净室(区)的温度和湿度应与其生产及工艺要求相适应(温度控制在 18℃~26℃,相对湿度控制在45%~65%)。
4.1.4、QA监控员每批生产前、生产中两次随机观察操作间内的温湿度计,符合标准要求,并做好记录。
4.2、压差:4.2.1、监测标准:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥10Pa,空气洁净度要求高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。
产尘间保持相对负压。
4.2.2、QA监控员每批生产前、生产中两次随机观察操作间内的压差计,应符合标准要求,并做好记录。
4.3、洁净室照度:4.3.1、监测标准:主要工作室的照度应达到300LX,辅助室及走廊照度应大于150LX。
对照度有特殊要求的生产部位看设置局部照明。
主要工作室,一般照明的照度均匀度不应小于0.7。
4.3.2、测试仪器:照度仪。
4.3.3、QA监控员每季度用照度仪按照“照度仪标准操作规程”对操作间内的照明灯进行监测,应符合标准要求,并做好记录。
4.4、风速:4.4.1、监测标准:A级单向流风速≥0.36m/s~0.54m/s。
4.4.2、测试仪器:风速仪。
4.4.3、QA监控员每半年用风速仪按照“风速仪标准操作规程”对操作面的风速进行监测,应符合标准要求,并做好记录。
4.5、悬浮粒子的监测:4.5.1、测试仪器:尘埃粒子计数仪。
4.5.2、操作步骤:4.5.2.1、仪器开机接通电源,预热至稳定后,将采样管接入仪器自净口,仪器开始自净至悬浮粒子数为零。
洁净区温湿度控制方法

洁净区温湿度控制方法引言:洁净区是一种对环境要求非常高的特殊区域,通常用于生产、实验或其他需要高度洁净环境的场所。
在洁净区中,温湿度的控制是至关重要的,因为温湿度的变化可能会对产品质量和实验结果产生不利影响。
本文将介绍一些常用的洁净区温湿度控制方法,以确保洁净区的环境符合要求。
一、空调系统的设计与维护洁净区的空调系统是温湿度控制的关键。
首先,空调系统的设计应考虑到洁净区的尺寸、使用目的和人员流动情况等因素。
合理的空调系统设计可以确保空气流通均匀,温湿度分布均匀。
其次,空调系统的维护也非常重要,包括定期清洁过滤器、检查冷凝器和蒸发器的工作状态等。
只有保持空调系统的正常运行,才能有效控制洁净区的温湿度。
二、湿度控制设备的应用在洁净区中,湿度控制设备的应用可以帮助维持恒定的湿度水平。
常见的湿度控制设备包括加湿器和除湿器。
加湿器可以增加空气中的湿度,防止空气过于干燥,而除湿器则可以减少空气中的湿度,防止空气过于潮湿。
通过合理配置和使用这些设备,可以实现洁净区内湿度的精确控制。
三、隔离措施的采取为了进一步确保洁净区的温湿度符合要求,可以采取一些隔离措施。
首先,可以在洁净区的入口处设置气闸或气帘,以防止外界空气进入洁净区。
其次,可以在洁净区内设置隔离门或隔离帘,以分隔不同区域的温湿度。
这些隔离措施可以有效地减少外界因素对洁净区温湿度的影响。
四、定期监测与调整洁净区的温湿度控制需要定期监测和调整。
可以使用温湿度传感器对洁净区的温湿度进行实时监测,并根据监测结果进行相应的调整。
例如,如果温度过高,可以适当调低空调温度设定;如果湿度过高,可以增加除湿器的运行时间。
通过定期监测和调整,可以保持洁净区的温湿度在合适的范围内。
结论:洁净区温湿度的控制对于保证产品质量和实验结果的准确性至关重要。
通过合理设计和维护空调系统,应用湿度控制设备,采取隔离措施,并进行定期监测和调整,可以有效地控制洁净区的温湿度。
这些方法的综合应用可以确保洁净区的环境符合要求,为生产和实验提供良好的条件。
半导体洁净车间温湿度控制方案

半导体洁净车间温湿度控制方案一、温度控制1.1设定温度范围:根据生产工艺要求,设定适宜的温度范围。
一般来说,半导体洁净车间的温度应保持在22℃-26℃之间。
1.2温度调控:通过空气调节系统,实时监测车间的温度,并根据需要进行调控。
可以采用自动控制或手动控制方式。
1.3温度均匀性:为保证车间的温度均匀性,应合理布置温度传感器,并定期进行校准和维护。
二、湿度控制2.1设定湿度范围:根据生产工艺要求,设定适宜的湿度范围。
一般来说,半导体洁净车间的湿度应保持在45%-60%之间。
2.2湿度调控:通过空气调节系统,实时监测车间的湿度,并根据需要进行调控。
可以采用加湿器、除湿器等设备进行调节。
2.3湿度均匀性:为保证车间的湿度均匀性,应合理布置湿度传感器,并定期进行校准和维护。
三、空气洁净度控制3.1空气过滤:通过高效过滤器(HEPA)和超高效过滤器(ULPA)等设备,过滤空气中的尘埃和微生物等污染物。
3.2洁净室设计:合理设计洁净室的空间布局和气流组织,减少空气乱流和污染。
3.3洁净服:要求工作人员穿着洁净服,并严格限制进入洁净区的人员数量,以减少污染。
四、气流组织4.1送风与排风:合理设计送风和排风系统,确保洁净车间的气流组织合理、稳定。
4.2避免涡流区:避免在洁净室内形成涡流区,以免污染物在涡流区内积聚。
4.3气流监控:通过气流传感器等设备,实时监测车间的气流情况,确保气流组织符合要求。
五、监测与控制5.1监测设备:配备温度、湿度、空气洁净度等监测设备,实时监测车间的环境参数。
5.2数据记录与分析:记录并分析环境参数的变化情况,以便及时发现问题并进行调整。
5.3控制策略:根据监测数据,制定相应的控制策略,如调整空调系统的运行参数、更换过滤器等。
六、设备维护6.1定期检查:定期对空调系统、过滤器等设备进行检查和维护,确保其正常运行。
6.2更换滤网:定期更换高效过滤器和超高效过滤器等滤网,防止堵塞和失效。
洁净厂房温湿度控制逻辑

洁净厂房温湿度控制逻辑
洁净厂房的温湿度控制逻辑是非常重要的,因为这直接影响到
生产环境的质量和稳定性。
温湿度控制的逻辑通常包括以下几个方面:
1. 传感器监测,首先,洁净厂房会安装温度和湿度传感器,用
于实时监测环境的温湿度情况。
这些传感器会不断地向控制系统反
馈数据,以便及时调整。
2. 控制系统,洁净厂房通常会配备自动化的控制系统,根据传
感器反馈的数据,系统会自动调节空调、加湿器、除湿器等设备,
以维持在设定的温湿度范围内。
3. 设定阈值,在控制系统中设定温湿度的阈值,一旦监测到环
境温湿度超出设定范围,控制系统就会自动启动相应的调节设备,
以使温湿度恢复到合适的范围内。
4. 紧急措施,除了自动调节外,控制系统还应该设有紧急措施,当温湿度出现严重波动或超出安全范围时,系统能够自动发出警报
并采取相应的紧急措施,以防止对生产造成影响。
5. 数据记录与分析,控制系统还应该具备数据记录和分析功能,能够记录历史温湿度数据,并对数据进行分析,以便未来优化控制
策略和预测可能出现的问题。
综上所述,洁净厂房的温湿度控制逻辑是一个复杂的系统工程,需要结合传感器监测、自动化控制、设定阈值、紧急措施和数据记
录与分析等多个方面来保证生产环境的稳定和质量。
30万级洁净车间温湿度标准

30万级洁净车间温湿度标准30万级净化车间的标准是什么?最近,我们正在发布一系列有关无尘室的文章。
今天我们要谈谈300,000级洁净室标准是什么?300,000级洁净室标准实际上是指300,000级洁净室标准。
我们不仅关注清洁度,还制定了压差和温度控制的标准。
.制药厂的等级通常为10,000、100,000和300,000,其中100,000(填充,内包装)和300,000等级最高。
100,000个等级比300,000个等级更卫生。
严格很多。
清洁度每立方米大于或等于0.5μm的尘埃颗粒不得超过10,500,000;每立方米大于等于5μm的尘埃不得超过60,000;每立方米的浮游细菌数最多不能超过1000。
压力差:不同洁净度级别的洁净室(区域)之间的静压差大于或等于5PA;洁净室(区域)与室外之间的静压差大于或等于10PA。
温湿度:温度——18〜28℃;湿度——45〜65%。
换气次数每小时换气次数不能少于12次。
简而言之,我们通常谈论的净化水平是100,000和300,000,这不仅涉及清洁度,还涉及换气次数,气压和温度等。
这是一个指数级复杂的系统工程。
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洁净区温湿度及压差恒定控制策略

洁净区温湿度及压差恒定控制策略1.洁净区压差梯度控制策略室内压差控制在净化空调系统中是一个非常重要的环节。
只有通过对净化区域的压差进行控制,保证合理的气流组织,才能达到净化和工艺的要求。
例如洁净厂房必须保持一定的正压使外界未经净化的空气不会进入净化区域,保证洁净级别;并且通过对各净化区域的不同的压差控制,达到净化分区的作用,如本项目就要求不同净化级别区域的压差应得到控制不小于10Pa。
因此对于净化空调系统来说,压差控制是非常重要的。
压差控制在实现中是比较困难,要得到并保持精确、稳定的压差对于控制工程师而言是一件具有挑战性的任务。
因此在设计压差控制系统时,必须要根据实际情况从以下几个方面进行分析和确定:风险分析评估;压差控制方法;控制信号与噪声的影响;控制稳定性及响应速度;建筑围护结构、门窗、风管泄漏对压差控制的影响;风阀的选型和风阀质量稳定性。
1.1气流压差控制目的建立有序的气流流向,保证气流从洁净度高的区域流向洁净度低的区域;隔离交叉污染。
1.2洁净室压差控制的实质1)单个洁净室对于单个房间,压差的控制实质就是控制送风量与排风量和回风量的平衡,以保证压差风量(即余风量,也就是单个洁净室的泄漏风量)的不变。
送风量=回风量+排风量+压差风量2)整个空调系统对于整个空调系统所服务的区域:送风量=回风量+排风量+压差风量(即所有房间泄漏风量之和);对于空调机组:送风量=回风量+新风量;二者综合,演变成的公式为:新风量=排风量+压差风量(余风量);即压差的实质是:新风量=排风量+压差风量。
对于整个空调系统,压差的控制实质就是控制排风量和新风量的平衡,以保证压差风量的不变。
正压房间:SA -(EA+RA)=ΔV =ΣQ >0负压房间: SA -(EA+RA)=ΔV =ΣQ <0当整个空调系统所服务的区域无排风要求时:新风量=压差风量(余风量)。
1.3引起压差扰动的因素及对策(1)HVAC系统阻力变化,主要是过滤器阻力的变化,会引起送风量的变化,影响室内压差的波动。
温湿度控制原理及操作要求

中效段 中效段的主要控制对象是介于1一10µm之间的尘粒。其过滤效率,中效:95%
(计重法)、40—70%(比色法);高中效:70—99%(≥1µ,计数法)、70—90%(比色 法)。中效段一般置于净化机组最后端,对末端高效(亚高效)过滤器起保护作用。 风机段
风机段是净化空调机组中较大的一个功能段。长度较长,由于需要的风压高达
加湿段 在北方气候干燥地区,冬季往往需要对空气进行加湿处理。加湿方式有两种:
1、干蒸汽加湿和电加湿。干蒸汽加湿是较简单的加温方式,有手动、电动、气 动多种,管径在D15~50之间,其大小可通过空气处理的加湿量计算确定。
2、采用干蒸汽加湿,如水汽不能充分分离,积存的水汽容易使机组内壁锈蚀, 并滋生各种细菌等微生物。
第一部分 空气洁净技术基础知识
图一 空气调节原理图
第一部分 空气洁净技术基础知识
图二 净化空调原理图
第一部分 空气洁净技术基础知识
1.2 净化空调设备的简要介绍
1.21空调分类 空气调节按使用对象的不同又可划分为舒适性空气调节和工艺性空气调节
舒适性空气调节就是为了满足人们的舒适要求而设置的空气调节。 工艺性空气调节就是为了满足生产工艺对环境空气参数的要求而设置的空
第一部分 空气洁净技术基础知识
1.3 湿空气焓湿图及其应用
大气是由干空气和一定量的水蒸气混合而成的,我们称其为湿空气。干空气的成分
主要是氮、氧、氩及其它微量气体。多数成分比较稳定,少数随季节变化有所波动, 但从总体上可将干空气作为一个稳定的混合物来看待。
湿空气=干空气 +水蒸气 湿空气的焓湿图是用来表示湿空气的温度、相对湿度、含湿量和焓值等空气状态参
在北方尤其是冬季,气候干燥,风沙大,室外空气含尘浓度高,对室外新风的处理
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如何对洁净室温湿度进行控制
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。
随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。
相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。
相对湿度在50%时易生锈。
此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。
对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。
洁净室中的气压规定
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。
压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。
所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
洁净室中的气流速度规定
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。
对于乱流洁净室由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。
对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室),由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。
过去都参考美国20gB标准,采用0.45m/s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,为了节能,也都在探求降低速一风速的可行性。
在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的
垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s
水平平行流(层流)洁净室≥0.35 m/s
研究表明以上规定基本上满足控制污染的要求,但认为应区别不同情况分出不同的档别,更能体现节能的目的。