平行度测量
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
• 从第1运动轴的斜度 ( θ1) 中减去第2运动轴 的直线度数据采集斜度 (θ2)，算出线性平
行度。
• 线性平行度 = θ1 - θ2
直线平行度
• 计算直线平行度 误差
• 从第1运动轴的斜
度 ( θ1) 中减去
第2运动轴的直线 度数据采集斜度
(θ2)，算出线性
平行度。
固定直线度反射镜
• 线性平行度 = θ1
固定/移动
旋转平行度符号惯例
影响平行度测量精度的因素
• 同直线度测量的影响因素
平行度数据采集
• 同直线度的数据采集
平行度分析
• 选择分析/分析/旋转平行直线平行度或选择 菜单栏
平行度分析
以下调整的要求: • 垂直和水平激光转动 • 俯仰和旋角激光调整 • 垂直和水平直线度干涉镜的转动 • 细转动调整直线度干涉镜正面。 • 直线度干涉镜有关垂直轴的细旋转。
旋转平行度准直
• 对准沿着第一测 量轴
• 依据正常直线度 准直程序
• 对准沿着第二测 量轴
• 旋转的旋转轴，连同直线度反射镜，通过 180°。
- θ2
固定和移动的光学设计之间交换的测量
旋转平行度
• 旋转平行度测量 是确定旋转轴和 一个线性轴之间 的角。
• 直线度反射镜放 置在旋转轴（如 车床卡盘）和直 线度干涉镜沿着 直线轴，如图3所 示。反射是通过 180°旋转的两组 之间的直线度测 量，如图4所示。
激光测量由以下组件构成：
• XL-80激光头 • 直线度光学镜组 • 直线度测量附件 • 垂直度测量光学镜组 • LaserXL™校准软件
平行度测量步骤
• 激光系统可以用于测量线性和旋转的平行 度。
• 并行测量包括2套直线度测量。这是表示之 前已经完成并充分理解直线度测量,采集直 线度数据，然后并行性分析。
平行度测量原理 线性平行度
• 线性平行度测量用于确定两个标称平行轴 之间的角度关系。平行度测量由两组直线 度测量组成，用共同的直线度反射镜参考 基准来进行（就像垂直度测量一样）。
平行度测量配置
线性平行度配置
水平平面平行度
垂直平面平行度
水平平面平行度替代设置 垂直平面平行度替代设置
水平平面 平行度测
量
垂直平面平 行度测量
水平平面 平行度替 代设置测
量
垂直平面 平行度替 代设置测
量
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ 旋转平行度
准直平行光束
• 线性平行度光束准直 • 对准沿着第一测量轴 • 依据正常直线度准直程序 • 对准沿着第二测量轴 • 确保合理的光束强度保持在第二个轴的测量通过
• 确保直线度干涉镜移动全程有足够的信号 强度保持如下调整的要求。
• 小幅度的垂直和水平激光转动。 • 小角度和倾斜调整激光。 • 小的垂直和水平直线度干涉镜的转动。 • 细转动调整直线度干涉镜正面。 • 直线度干涉镜有关垂直轴的细旋转。 • 精细调整的回转镜（使用时）。
线性平行度符号惯例
固定反射镜
行度。
• 线性平行度 = θ1 - θ2
直线平行度
• 计算直线平行度 误差
• 从第1运动轴的斜
度 ( θ1) 中减去
第2运动轴的直线 度数据采集斜度
(θ2)，算出线性
平行度。
固定直线度反射镜
• 线性平行度 = θ1
固定/移动
旋转平行度符号惯例
影响平行度测量精度的因素
• 同直线度测量的影响因素
平行度数据采集
• 同直线度的数据采集
平行度分析
• 选择分析/分析/旋转平行直线平行度或选择 菜单栏
平行度分析
以下调整的要求: • 垂直和水平激光转动 • 俯仰和旋角激光调整 • 垂直和水平直线度干涉镜的转动 • 细转动调整直线度干涉镜正面。 • 直线度干涉镜有关垂直轴的细旋转。
旋转平行度准直
• 对准沿着第一测 量轴
• 依据正常直线度 准直程序
• 对准沿着第二测 量轴
• 旋转的旋转轴，连同直线度反射镜，通过 180°。
- θ2
固定和移动的光学设计之间交换的测量
旋转平行度
• 旋转平行度测量 是确定旋转轴和 一个线性轴之间 的角。
• 直线度反射镜放 置在旋转轴（如 车床卡盘）和直 线度干涉镜沿着 直线轴，如图3所 示。反射是通过 180°旋转的两组 之间的直线度测 量，如图4所示。
激光测量由以下组件构成：
• XL-80激光头 • 直线度光学镜组 • 直线度测量附件 • 垂直度测量光学镜组 • LaserXL™校准软件
平行度测量步骤
• 激光系统可以用于测量线性和旋转的平行 度。
• 并行测量包括2套直线度测量。这是表示之 前已经完成并充分理解直线度测量,采集直 线度数据，然后并行性分析。
平行度测量原理 线性平行度
• 线性平行度测量用于确定两个标称平行轴 之间的角度关系。平行度测量由两组直线 度测量组成，用共同的直线度反射镜参考 基准来进行（就像垂直度测量一样）。
平行度测量配置
线性平行度配置
水平平面平行度
垂直平面平行度
水平平面平行度替代设置 垂直平面平行度替代设置
水平平面 平行度测
量
垂直平面平 行度测量
水平平面 平行度替 代设置测
量
垂直平面 平行度替 代设置测
量
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ 旋转平行度
准直平行光束
• 线性平行度光束准直 • 对准沿着第一测量轴 • 依据正常直线度准直程序 • 对准沿着第二测量轴 • 确保合理的光束强度保持在第二个轴的测量通过
• 确保直线度干涉镜移动全程有足够的信号 强度保持如下调整的要求。
• 小幅度的垂直和水平激光转动。 • 小角度和倾斜调整激光。 • 小的垂直和水平直线度干涉镜的转动。 • 细转动调整直线度干涉镜正面。 • 直线度干涉镜有关垂直轴的细旋转。 • 精细调整的回转镜（使用时）。
线性平行度符号惯例
固定反射镜