轴对称非球面设计

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非球面加工技术

非球面加工技术
非球面进行单点车削加工的基本原理如图4所示,工件通过真空吸附安装在工件轴上作回转运动,安装在固定支架上的杯状磨轮以一定角度作回转运动,通过数控系统控制工件轴实现X、Y方向的进给运动。实际加工中,磨轮的磨削轨迹是一系列的同轴圆,当磨轮磨削轴对称非球面上某一点时,由于工件轴的回转运动形成圆周磨削,经过一定时间的数控进给运动,回转磨轮的表面所形成的包络面即为要加工非球面。
3.2 非球面抛光方法
在长期的科学研究和生产实践中,人们发明了许多抛光方法来实现非球面抛光。目前,常用的非球面抛光方法主要有以下几种:
3.2.1
常用的研磨抛光包括古典的低速抛光和现代的高速抛光[12],是最古老的目前仍在广泛采用的一种抛光方法。它是在被抛光工件表面和抛光盘之间加入抛光液,利用抛光盘与工件表面的相对滑动,借助抛光液与工件表面机械化学和物理作用实现对工件表面的抛光。
目前,光学非球面加工存在这样一种趋势,即以CCOS为技术基础,向光学CAD/CAM乃至CIMS发展,并变得更加高效、低耗和非专家可操作。预计在本世纪CCOS技术将在整体上成为大尺寸脆性材料非球面零件的主要加工手段[26]。
计算机控制抛光也存在着不可避免的问题:
(1) 计算机控制抛光技术要求抛光模在加工过程中能够适时变形以始终保持与工件表面的吻合。但是由于抛光模材料的磨损和流动速率低于抛光模运动速率,抛光模与工件表面也常常是不吻合的。所以,实际的抛光过程只是局部符合计算机控制抛光的基础原理。
到了80年代中后期,随着计算机和精密测量技术的飞速发展,CCOS技术也得到了进一步的完善。Itek公司对9台CCOS设备的数控单元进行了改造,采用了直流伺服加位置反馈控制技术,前台操作采用VAX- II小型机联网管理并配有与CAD系统的接口[22,23]。改造后的CCOS系统的计算速度和精度都得到了大幅度提高。从长远观点来看,Itek公司此举的目的是要把CCOS发展成为CAD/CAM一体化、非专家可操作的先进光学制造系统。但到目前为止,这一目标还没有实现,最大障碍是由于光学制造工艺的复杂性使得建立准确、全面描述加工过程的数学模型变得异常困难。

非球面光学知识课件

非球面光学知识课件
非球面光学元件能够校正球面像差,提高镜头的成像质量,使手机拍摄的照片更加 清晰、细腻。
随着手机摄像头的像素越来越高,非球面光学元件在照相手机镜头中的应用也越来 越广泛。
医用内窥镜镜头
医用内窥镜镜头是另一个非球面光学元 件的重要应用领域。内窥镜在医疗诊断 和治疗中发挥着重要作用,而镜头的成 像质量直接关系到诊断的准确性和治疗
02
非球面光学元件的设计和制造需 要高精度的加工和测量技术,以 确保其光学性能的稳定性和准确 性。
非球面光学发展历程
非球面光学的发展始于20世纪初, 随着光学技术和计算机技术的不断发 展,非球面光学元件的应用范围不断 扩大,技术水平也不断提高。
目前,非球面光学元件已经广泛应用 于照相机、摄像机、显微镜、望远镜 等光学仪器中,同时也应用于光通信 、光信息处理等领域。
设计要点
考虑透镜的光学性能、机械强度 、加工难度和成本等因素,确保 设计的非球面透镜满足实际应用 需求。
非球面反射镜设计
设计流程
与非球面透镜设计类似,但还需要考 虑反射面的形状和涂层工艺等因素。
设计要点
优化反射面的曲率半径和形状,提高 反射光的利用率和光斑质量;同时考 虑反射镜的机械稳定性和环境适应性 。
03
非球面光学元件制造工 艺
加工设备介绍
数控加工中心
用于加工非球面光学元件的精密 设备,具有高精度、高效率的特
点。
超精密切削机床
用于加工超光滑的非球面光学元件 ,具有极高的切削精度和表面光洁 度。
抛光机
用于对非球面光学元件进行抛光处 理,以获得更光滑、更准确的表面 。
加工工艺流程
01
02
03
04
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粗加工

非球面镜片的精密加工;光学镜片的加工及检测

非球面镜片的精密加工;光学镜片的加工及检测
圈,斜面N2为1/2光圈,局部1/3光圈。光洁度为Ⅲ级。角度90度 ±10″,45度±10″,塔差π 10″。
三、加工辅料
磨料 黏合剂 冷却液 抛光粉 抛光模层材料 清洗材料 抛光后的防护
磨料
磨料的分类和国内外磨料代号
磨料
人造金刚石
棕刚玉
刚玉
白刚玉
单晶刚玉
黑碳化硅
碳化物 绿碳化硅
碳化硼
氮化硼 立方氮化硼
中国 JR GZ GB GD TH TL TP LDB
美国
A 38A 32A 37C 39C B4C CB
国内金刚砂的粒度表示方法
标准号
60 70 80 100 120 150 180 210 280 W40 W28
尺寸/um
315~250 250~200 200~160 160~125 125~100 100~80
松香蜂蜡胶上盘法
优点是操作简便,缺点是平行度精度不高,也不适用于面形精度 要求较高的薄片。
荷重 工件 粘结模
工件 粘结模
方法一
方法二
2.3 上 盘
点胶上盘法
优点是可获得较好的面形和平行度。缺点是承受不了高速高压 的加工条件,易“走动” 。
工件 软胶点 粘结模
工件 火漆点 粘结模
软点胶粘结
硬点胶(火漆)粘结
2.3上 盘
浮胶上盘法
优点是工件和粘结平板都不 需加温,工件可达到较高的平行 度和面形精度,缺点是承受不了 高速高压的加工条件。
光胶上盘法
优点是平行度和平面度均可达到 很高的精度。缺点是对光胶面表面 疵病等级有一定影响,怕剧烈震动 和骤冷骤热。
工件 粘结胶 玻璃垫板
工件 防水涂层 玻璃垫板

数控非球面加工技术

数控非球面加工技术
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1.4非球面光学零件制造过程
❖ 非球面制造通常分为非球面成形和光学面实现两 个工艺方面。
❖ 1)非球面成形:就是通过研磨等方法使零件表 面面形达到非球面要求,但是表面粗糙度还很大, 还不是光学面,不能够透射或反射光。
❖ 2)光学非球面实现:主要有抛光、模压和切削 等方法,是在保持非球面面形的前提下,减小表 面粗糙度,使之成为光学面。
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❖ 经过普雷斯顿假设,光学抛光过程顺利的简化了。 计算机控制小工具抛光技术也是以此为基础,上 式正是计算机控制抛光技术的基础方程。
❖ 只要我们对抛光过程的描述正确,并已知被抛光 位置的压力、相对抛光速度以及抛光时间,就可 以计算出在这个位置的材料去除量。
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1.3非球面光学零件的应用 非球面光学零件已广泛应用于航空机载设备、
卫星、激光制导、红外探测等领域,同时在民用 光电产品上的应用也越来越普及。光学系统中采 用非球面元件,可以提高系统的性能,减少光学 元件的数量,从而减轻仪器的质量,减小体积, 紧凑结构。因此,非球面常常应用于大视场、大 孔径,像差要求高,结构要求小,或有特殊要求 的光学系统中,非球面光学零件因其优良的光学 性能而日益成为一类非常重要的光学零件。
目录
1 非球面光学零件的简介 2 非球面光学零件的加工方法 3 计算机控制光学表面成型技术 4 直径76.2 mm非球面数控加工工艺 5 数控非球面加工的影响因素
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Part1. 非球面光学零件的简介
非球面光学元件,是指面形由多项高次方程决定、 面形上各点的半径均不相同的光学元件。
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非球面光刻机光学元件的设计与优化

非球面光刻机光学元件的设计与优化

非球面光刻机光学元件的设计与优化随着科技的快速发展,非球面光刻机逐渐成为光刻技术中不可或缺的一部分。

而非球面光刻机的光学元件设计和优化,更是保证了光刻机的高精度和高效率。

本文将深入探讨非球面光刻机光学元件的设计与优化,以满足任务名称描述的内容需求。

首先,非球面光刻机的光学元件设计需要考虑到光刻的精度和分辨率。

光刻机的主要目标是将光投射到被曝光的光刻胶上,以实现精细的图形模式。

因此,设计时必须确保光学元件能够准确地将光聚焦到指定的位置,并保持高度清晰和精确的图形。

其次,非球面光刻机的光学元件还需要考虑到抗反射的特性。

反射会导致光的强度减弱,影响光刻胶的曝光质量。

因此,在设计上需要选择具有较低反射率的光学材料,并采用适当的镀膜技术来降低反射的影响。

同时,还可以通过调整光学元件的曲率和形状,以最大限度地减少反射。

此外,非球面光刻机的光学元件还需要考虑到光学畸变的问题。

光学畸变会导致图形模式的变形和失真,降低光刻的质量。

为了减少光学畸变,可以使用非球面透镜或非球面反射镜来代替传统的球面光学元件。

这些非球面光学元件的曲率和曲面形状可以根据光路径和成像要求进行优化,以达到最小的畸变效果。

此外,非球面光刻机的光学元件还需要考虑到光学路径的偏转和折射。

光学路径的偏转和折射会导致光线的偏移和扩散,影响光刻胶的曝光效果。

为了解决这个问题,可以采用非球面光学元件的多元化组合,通过适当的角度和位置安排,使光线能够准确、高效地传输到目标位置。

此外,在非球面光刻机的光学元件设计中,还需要考虑到光学元件的结构和材料的稳定性。

光学元件需要具有足够的强度和稳定性,以承受光刻机的运行和长时间使用的要求。

因此,在设计时需要选择合适的材料,并进行结构优化,以确保光学元件具备高效的性能和稳定的工作条件。

综上所述,非球面光刻机光学元件的设计与优化是提高光刻机精度和效率的重要因素。

在设计时需要考虑到光刻的精度和分辨率、抗反射特性、光学畸变、光学路径的偏转和折射,以及光学元件的结构和材料的稳定性。

特殊镜片光学技术—非球面镜片(眼镜光学技术课件)

特殊镜片光学技术—非球面镜片(眼镜光学技术课件)
由于眼睛和眼镜所组成的光学系统是小孔 径、大视场光组,因此主要考虑消除像散、场曲、 畸变和垂轴色差。靠单个球面镜片很难达到消像 差的目的,因而可以采用非球面设计。
另外,轻而薄的设计也是人们的追求,非 球面镜片的设计,改善了一些问题。
三、非球面镜片
目前眼镜业通常讲的“非球面镜片”是指 在镜片减薄的同时消像散的非球面镜片。也就是 说,非球面镜片表面是在距离光学中心的某一位 置开始,镜片表面以合适的速度渐渐改变了原有 的曲率,从而达到在提供一个较平坦的光学表面 的同时又能控制显著的斜轴散光的目的。
• 教点
• 能力要求 了解非球面镜片的特点
• 素质要求 1. 独立学习、独立思考 2. 发现和总结实验现象及规律 3. 团队合作 4. 爱护实验仪器
一、非球面镜片表面特点
非球面透镜最大特点是曲率半径随着中心轴 不断变化,而不像球面透镜是个常数。 非球面 透镜曲率半径变化的设计用以改进光学品质。
球面
非球面
二、各种非球面镜片
广义上讲,只要镜片的任意一个表面不是 球面或球柱面的,都称为非球面镜片。目前可以 基于不同的目的,设计和加工不同的非球面镜片。 比如有减薄目的的缩径镜片、薄膜镜片,有矫正 不同视距的渐变焦镜片,有减薄的同时消像差的 非球面镜片,还有其它镜片表面形式等。
三、非球面镜片
在球面镜片中,存在有球差、彗差、像散、 畸变、场曲、轴向色差和垂轴色差等像差。
1.消像散
球面镜片
非球面镜片
2.薄而美观
球面镜片
非球面镜片

非球面光刻机光学元件的设计与优化

非球面光刻机光学元件的设计与优化在现代电子科技领域,光刻技术被广泛应用于半导体芯片制造过程中。

而在光刻机的核心部件光学元件中,非球面光刻机光学元件的设计与优化成为了一项重要的研究课题。

本文将针对非球面光刻机光学元件进行深入探讨,并介绍其设计与优化方法。

首先,我们先来了解一下非球面光刻机光学元件的基本原理。

非球面光学元件是一种曲面形状不规则的光学元件,与传统的球面光学元件相比,具有更好的成像质量和更小的像差。

它通过曲面形状的优化,可以更好地纠正光斑的形状和光强的均匀性,提高光刻图形的分辨率和精度。

在非球面光学元件的设计与优化过程中,首先需要确定所需的成像要求。

根据成像要求,可以选择不同的非球面曲线形状,并进行光学参数的计算和模拟。

常见的非球面曲线形状包括抛物面、椭球面、双曲面等。

其中,抛物面具有平行光束成像于其焦点的特性,椭球面可以实现某一方向的平行光束成像于其焦点,而双曲面则可以实现平行光束成像为消散点。

在设计过程中,需要考虑到非球面光学元件的制造成本、加工难度和实际应用的可行性。

通过光学优化软件进行模拟和分析,可以辅助确定最佳的非球面曲线形状和参数,以实现所需的光学性能,并且使得元件在制造和使用过程中具有更好的稳定性和可靠性。

除了形状的设计,还需要考虑材料的选择与加工工艺。

非球面光学元件的材料通常选择高折射率的光学玻璃,具有良好的透过性和抗光学疲劳性能。

在加工工艺上,常见的方法包括机械加工、磨削和抛光等。

对于非球面光学元件的制造,高精度的加工和表面处理是非常关键的,可以通过现代先进的加工设备和技术来实现。

为了优化非球面光刻机光学元件的性能,除了形状和材料的选择外,还可以进行光学系统的优化调整。

例如,可以采用多个非球面光学元件组合的方式来实现特定的光学效果,如加大焦距、增加光刻深度等。

此外,还可以通过光学镀膜技术来改善非球面光学元件的透射效率和反射性能。

光学镀膜可以增强光学元件的表面硬度、耐腐蚀能力,并且可以实现特定的光学性能,如增加透过率或降低反射率。

刀具摆动法加工轴对称非球面光学零件新技术的研究

刀具摆动法加工轴对称非球面光学零件新技术的研究张立敏;吴道峰【摘要】为了解决非球面光学零件加工难的问题,就轴对称二次非球面提出了刀具摆动非球面加工的新方法,通过对该方法的理论说明,以抛物面为例对其进行了理论验证,并在给定的表面粗糙度下对机床进行运动分析,进而说明了该技术的优点.【期刊名称】《机械设计与制造》【年(卷),期】2010(000)006【总页数】3页(P238-240)【关键词】非球面光学零件;抛物面;粗糙度【作者】张立敏;吴道峰【作者单位】长春工业大学机电工程学院,长春,130012;第一汽车集团公司,长春,130012【正文语种】中文【中图分类】TH16;TP3911 光学非球面零件加工现状光学零件的整体面形误差要求微米级,局部面形误差要求亚微米级,表面粗糙度要求纳米级。

这些光学零件比机械零件的质量要求高出一个数量级以上。

目前的光学加工技术,单一要求达到高的表面质量或高精度面形并不难,可是对一些面形复杂的光学零件,要求同时达到很高的表面质量和面形精度是一项很难的技术。

当前光学非球面加工方法有近50种,但在加工精度、效率、成本、通用性上,均使人满意的方法很少。

因此,非球面加工是公认的难题。

在光学系统中采用的非球面零件有多种,但大部分是轴对称二次非球面。

若能解决二次曲面的加工问题,也就解决了非球面加工难的大部分难题。

目前国内外普遍认为多轴(三轴以上)数控加工技术是解决非球面加工问题的唯一出路。

虽然多轴数控加工方法能够解决非球面加工的一些问题,但不一定是最好的加工方法。

如果认真分析和研究多轴数控加工方法,就能够发现多轴数控加工方法存在的问题。

实际上多轴数控加工方法中获得非球面的原理是刀具沿非球面的法线运动的方式,而且存在程序复杂,编写困难,在实际加工过程中还存在着不可避免的误差因素,另外数控加工方法还存在设备昂贵,操作复杂,加工周期长,成本高等缺点。

因此,本文提出了与传统加工方法不同的加工方法—刀具摆动非球面加工方法,加工轴对称二次非球面的新技术,能够解决大部分非球面光学零件加工难的问题。

现代光学设计方法6

激光测长仪
4.离子抛光法: 是在真空室中用高速运动的离子束撞击已抛光到一定精度的表
面,从而达到非球面加工的目的。这是一种微小去除加工法,适 合非球面度小的非球面零件的加工。
Û
5.热压成型法: 是将一定重量的光学玻璃或光学塑料块加热软化,放在金属模
腔中压制成型来制造非球面的一种方法。目前,已能一次成型中 低精度的光学非球面(日本东芝公司已生产出玻璃透镜成型机: GMP211等)。
最接近比较球面 y
x1x2
非球面
2.磨削法:
是一种固着磨料加工法。传统上是在凸轮仿形机上进行仿形加
工。被加工零件2做两种运动: (1)绕自身轴线转动;(2)沿箭头方 向与曲线靠模3同步移动,工件则被砂轮1磨成与靠模曲面相似的 曲面。这种方法由于靠模3可比加工件大数倍,所以提高了加工精 度。
实际上是一种轨
6.浇注成型法: 主要用于光学塑料非球面的成型。是将配制好的液态塑料浇注
到模腔中,并使之固化成型的一种方法。
7.镀膜法: 其实质是在抛光的球面或平面上用真空镀膜的方法镀制透明或
不透明的的变厚度膜层。在待非球面化表面的不同带区上,膜层 厚度的变化是靠档板来保证的。原理上此方法可以加工任意类型 的非球面,包括离轴非球面。由于膜层厚度控制偏差不超过1%, 因此,可加工高精度非球面。但由于受膜层厚度的限制,此方法 适用于非球面度小的光学非球面的加工。用硫化锌作膜层材料, 膜层厚度可达到30~50。此技术已在生产中得到应用。
非球面的加工方法
1. 研磨法: 是一种传统的去除加工方法,与球面透镜加工方法相同,技术
成熟,加工设备简单。适用于不同口径(尺寸),不同精度要求 的各种旋转二次非球面的研磨和抛光。做法:首先用球面镜加工法 加工一个非球面的最接近比较球面,然后再用修带法将其改成二次 非球面。

数控非球面加工技术


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❖ 目前国内外仍然广泛使用计算机控制铣磨、抛光 技术来加工非球面透镜。
随着非球面元件的广泛应用,数控加工非球 面正成为各国关注的核心技术之一,优化工艺流 程、改善面形精度、缩短加工时间、提高生产效 率是非球面加工产业发展的方向。
31
h
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Part5 数控非球面加工的影响因素
❖ 预抛光过程中,工件轴、工具轴转速分别为150
rpm 和450rpm ,摆角 21.7°时,抛光 15
min,工件表面的铣磨痕迹全部被去除掉。抛光液
温度调整到 27 ℃时,材料去除量最大,整个表面
能够被快速抛亮。
25
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❖非球面加工工艺流程如图所示
COMPANY LOGO
图3 工艺流程图
26
h
4.2非球面数控反馈铣磨抛光工艺
7
h
COMPANY LOGO
1.4非球面光学零件制造过程
❖ 非球面制造通常分为非球面成形和光学面实现两 个工艺方面。
❖ 1)非球面成形:就是通过研磨等方法使零件表 面面形达到非球面要求,但是表面粗糙度还很大, 还不是光学面,不能够透射或反射光。
❖ 2)光学非球面实现:主要有抛光、模压和切削 等方法,是在保持非球面面形的前提下,减小表 面粗糙度,使之成为光学面。
❖ 还有一些非球面制造的非球面成型和光学面实现 是同时完成,如单点金刚石车削、光学塑料模压、 玻璃模压等。
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h
COMPANY
Part2.非球面光学零件的加工方法: LOGO
1)表面材料去除法 :去除工件上多余的材料,最终得
到所需非球面的形状、尺寸和表面粗糙度要求。
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双胶合透镜消除色差
非球面透镜消除色差
(3)一个非球面透镜矫正像差的能力等于多个球面透镜,
可以减小光学系统的设计体积及重量,降低光学系统总体 成本。
多个球面透镜消像差
非球面透镜消像差
三、非球面的应用
照相机镜头设计 显示镜头设计 DVD读写头 军事夜视系统 导弹头锥体 高能激光光学 医疗人工晶体 航空航天领域
y
M(x, y)
n1
P
O
s
这样,得到的是一个四次曲线
n2
方程,将此曲线绕光轴旋转而 形成的曲面称为笛卡儿卵形面,
P′ 它就是PP′ 等光程面。此面只
s′
x 是轴上物点的等光程面。
由于卵形面加工困难,一般透镜采用球面系统,能对光轴附近 的小物体成像——傍轴成像
N M
[FMF′] = [FNF′]
F′
z= 1+
cy2 1 − (1 + K )c2 y2
+α2 y2
+α4 y4
+α6 y6
+⋅⋅⋅
y
旋转轴
z
7、Zemax中的非球面公式
x= 1+
cy2 1 − (1 + K )c2 y2
+α1 y2
+α2 y4
+α3 y6
+⋅⋅⋅
二次非球面
第1项为二次非球面,第2项为抛物面方程。
第1项的顶点曲率半径R1=1/c,第2项的顶点曲率半径 R2=1/2α1 。 Zemax程序中偶次非球面“曲率半径”指的是R1 。
F
从椭圆右焦点F以任何角度发出的光线经椭圆面反射后都能到达左 焦点F’,并且所经的光程为恒定值,椭圆为F和F’的等光程面。
抛物面对平行光的反射特性1
抛物面对平行光的反射特性2
f
抛物面对平行光的反射特性3
双曲面的反射特性
n1OP + n2 PQ = n1OQ′
上式化为 n1( x2 + y2 )1/ 2 + n2 (d − x) = n1d
旋转双曲面
旋转双曲面的标准方程:
x2 − y2 − z2 = 1 (a > 0, b > 0) a2 b2 b2
y2 a2

x2 b2

z2 b2
=1
(a
> 0, b
> 0)
或:z 2 a2

x2 b2

y2 b2
=1
(a
> 0, b
> 0)
椭球面
椭球面的标准方程:
x2 + y2 + z2 = 1 (a > 0, b > 0) a2 b2 b2
轴对称非球面设计概述
目录
非球面的基本原理 光学设计中非球面的优势 非球面的应用 非球面的基本形式 二次非球面的主要光学性质 非球面的制造 非球面的测量
一、非球面的基本原理
1、光程面
物像对应只需单个反射面或折射面 该面=物像共轭点的等光程面
y
M(x, y)
n1
P
O
s
n2
P′
s′
x
n1MP + n2 MP′ = n1s + n2s′ n1 (s + z)2 + x2 + n2 (s′ − z)2 + x2 = n1s + n2s′ 或 n2 (s′ − (s′ − z)2 + x2 ) + n1(s + (s + z)2 + x2 ) = 0
a
椭圆(-1<K<0)
截面与圆锥的轴线成某一角度
椭圆的标准方程:
x2 a2
+
y2 b2
=1
(a
>
0, b
> 0)
或: y 2 a2
+
x2 b2
=1
(a
>
0, b
> 0)
离心率:e = c (0<e<1) (c = a2 − b2 )
a
3、典型轴对称非球面 抛物面
抛物面的标准方程:
y2 + z2 = ±2 px ( p > 0) 或 z2 + x2 = ±2 py ( p > 0) 或 x2 + y2 = ±2 pz ( p > 0)
S 是一个焦点
c = a2 − b2 = n2d /(n1 + n2 ) 偏心率e = n2 < 1
n1
Σ n1
S
dO
Σ
O
d
S
n1
2、什么是非球面?
• 非球面最简单的定义为“旋转对称的且不 是球面的表面”。
二、光学设计中非球面的优势
(1)减小边缘视场的像差,成像更清楚。
(2)可以完全消除色差
接触式轮廓仪Form Talysurf
测量原始数据
(2)非接触式测定方式
非接触测量是以光电、电磁等技术为基础,在 不接触被测物体表面的情况下,得到物体表面参 数信息的测量方法。典型的非接触测量方法如激 光三角法、剪切干涉法、光栅相移法、电涡流法、 超声测量法、机械视觉测量等。
• 对于精度较高,多次方系数 较多的情况,也可采用非接 触式的三次元测量仪 Panasonic UA3P。
非接触式测量仪Panasonic UA3P
非球面和球面的带差∆z
图纸中的重点参数
• 对于非球面,误差平行于非球面轴 • 对于球面,误差沿最佳拟合圆的法向
2、非球面轮廓测量方法
(1)接触式测定方式
测量探针从被测表面滑过,电脑通过精密传感器记录下探针 所经过的轨迹,此轨迹即为被测表面的轮廓形状。
非球面测量的目的:测量定制的非球面形状与设计的非球面形 状之间的误差;
对于精度较高, 多次方系数较多 的情况,一般使 用接触式轮廓仪, 如Form Talysurf。
四、非球面的基本形式
1、圆锥曲线
圆锥曲线的定义:平面内到一个定点F和到一个 定直线L(F不在L上)的距离的比等于常数e的轨迹。
e为圆锥的离心率,定点F是圆锥的焦点,直线L 是圆锥的准线。
e=0, 球面 0<e<1,椭圆 e>1, 双曲线 e=1, 抛物线
(K=0) (-1<K<0) (K<-1) (K=-1)
如果 α1 ≠ 0,则实际曲面顶点的曲率半径R决定于R1
和R2,即: R = R1R2 R1 + R2
如果c和α1异号,数值上R1>R2, R将与R1异号。
8、二次曲面的非球面度
• 非球面度——非球面表面和一个比较球面在研沿光轴方向 的偏差。一般希望非球面度尽可能小,因此,要选择一个 最佳比较球面。
( x − n2d )2 n1 + n2
d 2n12 /(n1 + n2 )2
+
(n1

y2 n2 )d 2 /(n1
+
n2 )
=
1
椭圆方程
椭圆的几何参量:
中心 [n2d /(n1 + n2 ), 0] a = n1d /(n1 + n2 ) b = (n1 − n2 ) /(n1 + n2 )d
无论是哪种二次曲线,其坐标原点都在曲线的顶点处;
R0是曲线顶点的曲率半径,离心率e决定了曲线的形状;
包含了扁球面——即绕椭圆的短轴旋转而形成的二次曲
面(在非球面光学设计中经常要用到)。 y
e2<0, 扁圆
e2>1 e2=1
e2=0, 圆
0<e2<1, 椭圆 e2=1, 抛物线
e2<0 e2=0
0<ee22=<01
y2
或:
a
2
+
z2 b2
+
x2 b2
=1
(a
& a2
+
x2 b2
+
y2 b2
=1
(a
>
0, b
>
0)
非球面公式
(1)国内常用公式:
y2 + z2 = 2R0 x − (1 − e2 ) x2 + α x3 + β x4 + γ x5 + ⋅⋅⋅
光学设计中常用的公式,也是最方便的公式之一。
六、非球面的制造与测量
1、非球面制造:金刚石车削
• 典型加工时间(50mm口径):<10分钟 • 典型形状精度:0.1µm 至 1 µm 。 • 材料:有色金属,如铝、铜、高分子聚合等

刀尖的形状误差
刀具刀尖的形状误差将会被复制到工件的表面上。
通常要先对刀具的半径和形状误差进行检查。
形状误差的方向
母线在x轴方向的柱面方程为:
y2 = 2R0z − (1 − e2 )z2 + α z3 + β z4 + γ z5 + ⋅⋅⋅
母线在y轴方向的柱面方程为:
x2 = 2R0z − (1 − e2 )z2 + α z3 + β z4 + γ z5 + ⋅⋅⋅
超环面
• 球面或非球面曲线作为母线绕一条在该母线平面内并垂直 于该母线对称轴的直线旋转而成的曲面称为超环面:
• 最佳比较球面:一个与非球面在顶点与边缘接触的球面。
y 非球面度
非球面
最佳比较球面
o
x
• 当相对孔径很大时,应根据非球面方程式和比较球面方程式 作数值计算求非球面度。
非球面度的大小反映加工的难度,但是不 能只看其绝对值,还与镜面的口径大小有 关。
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