扩散岗位作业指导书

合集下载

上油岗作业指导书

上油岗作业指导书

上油岗作业指导书一、岗位介绍上油岗是指负责加注车辆燃油的工作岗位。

在该岗位上工作的人员需要具备一定的专业知识和技能,能够熟练操作加油设备,并且对燃油的使用和储存有一定的了解。

二、工作职责1. 负责接待前来加油的车辆,了解车辆加油需求。

2. 根据车辆类型和用途,选择合适的燃油。

3. 检查车辆油箱,确保油箱密封良好,没有泄漏情况。

4. 使用加油设备,将汽油或柴油加注到车辆油箱中。

5. 在加注过程中,注意监控油位,避免溢油现象的发生。

6. 加油完成后,核对加注数量,与车主确认。

7. 维护加油设备的正常运行,保持清洁卫生。

8. 做好燃油的储存和管理工作,确保安全。

三、工作流程1. 接待车辆在车辆到达加油岗时,及时接待车主,并了解车辆加油需求。

2. 检查油箱仔细检查车辆油箱,确保密封良好,没有泄漏情况。

如果发现油箱有问题,及时通知车主,以免发生事故。

3. 选择燃油根据车辆类型和用途,选择合适的燃油。

一般车辆使用汽油,货车等大型车辆使用柴油。

4. 加注燃油使用加油设备,将燃油加注到车辆油箱中。

在加注过程中,需要注意油位,避免溢油。

根据车辆油箱容量加注适量的燃油。

5. 核对加注数量加注完成后,与车主确认加注数量,确保准确无误。

6. 维护设备加油设备是工作的重要工具,需要经常保养和检修,保持设备的正常运行。

同时,保持加油站的清洁卫生,确保安全。

7. 燃油储存和管理做好燃油的储存和管理工作,确保燃油的安全性。

定期检查燃油储存设施,及时处理损坏和泄漏的情况。

四、注意事项1. 加注燃油时,需仔细检查加油枪和油箱接口,确保无杂物和异物,以免影响加注效果和发生事故。

2. 加注过程中,要注意观察油位,避免溢油现象的发生,以免造成环境污染和浪费。

3. 加注完成后,及时清理加油设备和工作现场,保持清洁卫生。

4. 加注数量必须准确无误,与车主确认后方可离开。

5. 燃油在储存和使用过程中,需要注意防火防爆措施,确保安全。

6. 发现燃油泄漏或设备故障时,应立即报告上级,并采取适当措施进行处理,避免事故发生。

实验室作业指导书

实验室作业指导书

第一部分水样采集、贮存和运输操作实施细则一.水样的分类(一)综合水样把从不同采样点同时采集的各个瞬时水样混合起来所得到的样品称为“综合水样”。

(二)瞬时水样对于组成较稳定的水体或水体的组成在相当长的时间和相当大的空间范围变化不大,采瞬时样品具有很好的代表性。

(三)混合水样是指在同一采样点上于不同时间所采集的瞬时样的混合样。

(四)平均污水样对于排放污水的企业而言,生产的周期性影响着排污的规律性,在排放流量不稳定的情况下,可将一个排污口不同时间的污水样,依照流量的大小按比例混合。

(五)其它水样例如为监测洪水期或退水期的水质变化,调整水污案事故的影响等都须采集相应的水样,采集这类水样时,须根据污染物进入水系的位置和扩散方向布点并采样,一般采集瞬时水样。

二.地表水和地下水样的采集(一)水样的类型(1)表层水在河流、湖泊可以直接汲水的场合,可用适当的容器如水桶采样,要注意不能混入漂浮于水面上的物质。

(2)一定深度的水在湖泊、水库等采集一定深度的水时,可用直立式或有机玻璃采水器。

(3)泉水、井水(3) 对于自喷的泉水,可在涌口处直接采样,采集不自喷的泉水时,将停滞在抽水管的水汲出,新水更替之后,再进行采样。

从井水采集水样,必须在充分抽汲后进行,以保证水样能代表地下水水源。

(4)自来水或抽水设备中的水采集这些水样时,应先放水数分钟,使积留在水管中的杂质及陈旧水排出,然后再取样。

采集水样前,应先用水样洗涤采样器容器、盛样瓶及塞子2-3次(油类除外)。

(二)采样前的准备a.确定采样负责人主要负责制定采样计划并组织实施。

b.制定采样计划采样负责人在制定计划前要充分了解该项监测任务的目的和要求;应对要采样的监测断面周围情况了解清楚;并熟悉采样方法、水样容器的洗涤、样品的保存技术。

在有现场测定项目和任务时,还应了解有关现场测定技术。

采样计划应包括:确定的采样垂线和采样点位、测定项目和数量、采样质量保证措施,采样时间和路线、采样人员和分工、采样器材和交通工具以及需要进行的现场测定项目和安全保证等。

建筑工程作业指导书

建筑工程作业指导书

建筑工程作业指导书作业概述为了确保建筑工程的顺利进行和质量达标,本作业指导书为相关从业人员提供了详细的操作指导和注意事项。

请在进行建筑工程作业时严格按照以下指导进行。

一、安全要求建筑工程的安全是一项至关重要的任务。

在进行作业前,请确保做到以下各项安全要求:1.1个体防护在施工现场,所有工作人员都必须佩戴符合标准的个人防护装备,包括安全帽、安全鞋、耳塞、防护眼镜等。

请确保个人防护装备的合适和完好。

1.2设备安全在使用建筑工程设备之前,必须充分了解和熟悉设备的操作方法和安全规程。

请确保设备的安全性能良好,并严格按照操作手册操作。

1.3施工现场安全施工现场必须设置明确的警示标识,并且保持整洁,以防止材料散乱和作业区域混乱。

请确保施工区域内没有隐患,例如坑洞、尖锐物品等,以及确保通道畅通。

二、施工工序在进行建筑工程作业时,按照以下工序进行操作:2.1前期准备在开始施工前,必须进行全面、认真的前期准备工作,包括但不限于场地清理、测量定位、环境检查等。

请在施工前明确工程要求和作业方法。

2.2基础施工基础施工是建筑工程的重要环节。

请根据设计图纸和要求进行地基处理、基坑开挖、填充材料等工作。

确保基础施工质量合格。

2.3结构施工结构施工是建筑工程的核心部分。

请根据工程图纸和技术规范进行钢筋、模板、混凝土浇筑等工作,同时进行严格的质量检查。

2.4装饰施工装饰施工是建筑工程的最后阶段。

请根据设计要求进行墙面、地面、天花板等装饰材料的安装和施工,保证装饰质量达到预期效果。

三、质量要求建筑工程的质量是保证工程长期安全和可靠的关键。

请确保作业过程中达到以下质量要求:3.1材料选择在选择建筑材料时,请根据设计要求和相关技术规范进行选定,确保材料质量符合标准。

3.2工序控制在进行施工过程中,请严格按照设计图纸和工艺要求进行操作,确保工序的顺利进行和质量的合格。

3.3质量检查在完成各工序作业后,请进行及时、全面的质量检查,并记录检查结果。

电镀车间特殊岗位安全操作规程(3篇)

电镀车间特殊岗位安全操作规程(3篇)

电镀车间特殊岗位安全操作规程一、入岗前准备1.岗位人员必须接受相关岗前培训,并具有相关证书和资质。

2.岗位人员须熟悉岗位操作规程,了解岗位的相关安全风险和应急预案。

3.入岗前须穿戴好个人防护装备,包括防护服、安全帽、手套、安全眼镜、耳塞等。

二、岗位操作规程1.在进行任何操作之前,必须先检查岗位设备和工具的完好性,如有损坏或故障应及时报告维修。

2.操作过程中必须按照操作规程和相关操作指南进行,严禁任意操作或超负荷操作。

3.操作人员须经过严格的岗位安全培训,熟悉操作流程和操作方法。

4.严禁跨越或站立在机械设备的工作范围内,以免造成安全事故。

5.操作过程中必须严格遵守操作规程,不得私自改变操作流程或方法。

6.严禁操作人员带有金属物品进入操作区域,以免导致触电或短路。

7.操作人员需定期检查操作设备和工具的使用状态,如有异常应及时停止工作并报告维修。

8.操作人员在操作过程中发现异常情况,应当立即停止操作并向上级汇报。

三、应急预案1.岗位人员需熟悉应急预案和逃生通道的位置,一旦发生意外事故,应迅速采取逃生措施。

2.疏散途径必须保持畅通,不得堆放杂物或阻挡疏散通道。

3.在发生火灾等紧急情况时,必须迅速采取灭火措施或使用灭火器进行灭火,同时向上级报告。

4.岗位人员应定期参加应急演练和消防培训,提高应对突发事件的能力。

四、个人防护要求1.操作人员在操作过程中必须佩戴防护口罩,以免吸入有害气体和颗粒。

2.操作人员须戴安全帽,以防止物体坠落或撞击伤害头部。

3.操作人员须佩戴防护眼镜,以防止溅射物质或碎片对眼部造成伤害。

4.操作人员须佩戴防护手套,以防止接触有害物质和化学品。

5.操作人员须佩戴防护耳塞或耳罩,以防止噪音对听力造成损害。

五、危险废物处理1.操作人员须严格按照规定的程序和方法进行危险废物的收集、包装、储存和运输。

2.危险废物应存放在指定的密闭容器中,避免泄漏或扩散。

3.操作人员在搬运危险废物时必须使用合适的工具和设备,避免直接接触。

PECVD岗位说明书

PECVD岗位说明书
5.5.4 镀膜发白要减少工艺时间,发红要增加工艺时间,镀膜发黄,员工在装片时没有
将硅片与舟很好的接触; 5.5.5 工艺运行,发生报警现象,立即通知设备人员,不要私自处理; 5.5.6 各线小车不可以通用,以免造成撞舟; 5.5.7 注意工艺圆点大小,工艺圆点尺寸大于 1.6mm 则停止使用该舟,记录并通知设备
5.2.8 插满一面后,将吸笔挂好,双手按住小推车把手,缓慢用力将舟放平,右手扶住小车底部,
缓慢转动小推车台面,将舟旋转 180 度,然后双手按住小车把手将舟倾斜 40 度,将另一面 插满,其间手不得接触硅片;
文件名称
PECVD 岗位作业指导书
文号: 版别: 页次: 4 / 11
5.2.9 片子插完后,双手按住小车把手将舟放平; 5.2.10 对石墨舟内片子进行确认,检查硅片是否与舟璧贴合,有无漏等现象; 5.2.11 确认电极孔的完好,无异物,同时确认电极孔的一端朝向炉内放置
b.冷却水压力、压差、流量、温度确认,真空泵工作状态确认;
c.自动上料机械臂状态确认,能否正常上下舟;
d.确认机器是否有其它报警现象;
e.作业环境洁净度要求:10 万级 温度:21~25 度 湿度 45--55%; f.发现报警等异常及时反馈给设备; 5.1.4 5S 及岗位工艺卫生: a.正确配戴好、口罩、手套, 每班上班后立即清理岗位现场及设备卫生,以保证车间的洁净度; b.禁止直接用手接触硅片或石英吸笔头,取出四盒后放于插片台,其他硅片应全部放在洁净柜
5.2.5 将放置有石墨舟的小推车缓慢推入净化工作台,注意小推车和石墨舟勿与工作台撞击;
文件名称
PECVD 岗位作业指导书
文号: 版别: 页次: 3 / 11
5.2.6 双手按住小推车把手,向下缓慢用力将舟倾斜 40 度,并检查舟的放置是否平稳;

卧式密闭砂磨机安全操作规程 安全操作规程 岗位作业指导书 岗位操作规程

卧式密闭砂磨机安全操作规程 安全操作规程 岗位作业指导书 岗位操作规程

××××有限公司标准安全操作规程文件编号:XXX-XXX-XXX卧式密闭砂磨机安全操作规程编制:审核:批准:版本:受控状态:20××年10月10日发布20××年10月10日实施标准、完整的Word版文档,下载后可根据实际工作情况适当修改,自由编辑,适合相关行业人员参考,实际使用请删除本行文字。

卧式密闭砂磨机安全操作规程一、油漆生产工艺流程图:我公司生产品种为醇酸漆、硝基漆、氨基漆、聚氨酯漆、防锈漆等生产工艺由此上述工艺相同。

二、机器设备操作规程1.卧式密闭砂磨机一种微分研磨分散机,它具有效率高、工作连续性强,少污染,自控可靠等优点。

2.打开电源开关,指示灯亮。

3.根据原料设定通体内部的压力和出料管温度,压力设定为0.2MPa,温度设定70℃。

4.输送泵将经过预稀搅拌后的液固体混合原料泵入筒体内,筒体内的研磨介质对原料进行研磨分散。

研磨介质大小根据产品而定,但是同一个桶内应加补同一种材质和粒径的介质。

5.研磨后可以自动控制将研磨介质与产品分离三、危险化学品物质相关理化特性:1.危险特性:以二甲苯为例燃烧性易燃闪点(℃):25爆炸下限(%):1.1爆炸上限(%):7.0引燃温度(℃):463最小点火能(mJ):无资料最大爆炸压力(MPa):0.764危险特性:易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。

遇明火、高热能引起燃烧爆炸。

与氧化剂能发生强烈反应。

流速过快,容易产生和积聚静电。

其蒸气比空气重,能在较低处扩散到相当远的地方,遇明火会引着回燃。

灭火方法:喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。

灭火剂:泡沫、二氧化碳、干粉、砂土。

2.中毒:侵入途径:吸入、食入、经皮吸收。

健康危害:二甲苯对眼及上呼吸道有刺激作用,高浓度时对中枢神经系统有麻醉作用。

急性中毒:短期内吸入较高浓度本品可出现眼及上呼吸道明显的刺激症状、眼结膜及咽充血、头晕、头痛、恶心、呕吐、胸闷、四肢无力、意识模糊、步态蹒跚。

37甲醛作业指导书

37甲醛作业指导书甲醛作业指导书一、指导原则本指导书旨在规范甲醛作业,保护从业人员的健康和安全。

在进行甲醛作业时,必须严格遵守以下指导原则:1.1 优先采取防护措施:在进行甲醛作业前,必须评估潜在的风险,并采取相应的防护措施,包括但不限于佩戴个人防护装备、通风设备和环境监测等。

1.2 严格遵循操作规程:从业人员必须熟悉并严格遵守相关的操作规程,确保操作过程的安全和有效。

1.3 健康监测与防护:对从业人员进行定期的健康监测,包括但不限于体检、呼吸功能测试等,并提供必要的防护设备和培训。

1.4 废弃物处理:废弃物必须按照相关规定进行正确处理和处置,以防止对环境和人体造成污染和危害。

二、甲醛作业前的准备工作2.1 作业区域准备:在进行甲醛作业前,必须将作业区域进行充分的准备,包括但不限于清除杂物、确保通风畅通等。

2.2 个人防护装备:从业人员必须佩戴适当的个人防护装备,包括但不限于防护服、防护手套、防护眼镜和呼吸器等。

2.3 操作规程培训:对从业人员进行相关的操作规程培训,确保其熟悉并理解相关的操作要求和安全注意事项。

三、甲醛作业操作步骤3.1 准备甲醛溶液:按照规定的比例将甲醛与水混合,制备甲醛溶液。

3.2 作业区域通风:确保作业区域通风良好,采取必要的通风设备和措施,以减少甲醛浓度。

3.3 佩戴个人防护装备:从业人员必须佩戴适当的个人防护装备,包括但不限于防护服、防护手套、防护眼镜和呼吸器等。

3.4 开始甲醛作业:根据操作规程,将甲醛溶液喷洒或涂抹到需要处理的物体表面,确保均匀覆盖。

3.5 监测甲醛浓度:在甲醛作业过程中,必须定期监测甲醛浓度,确保其在安全范围内。

3.6 完成作业后的处理:作业完成后,必须对作业区域进行清理和消毒,确保无甲醛残留。

四、甲醛作业的风险控制措施4.1 通风设备:在作业区域设置有效的通风设备,确保甲醛浓度保持在安全范围内。

4.2 个人防护装备:从业人员必须佩戴适当的个人防护装备,包括但不限于防护服、防护手套、防护眼镜和呼吸器等。

QEW-HR-19动火作业指导书

为了确保公司员工安全,杜绝事故隐患,贯彻“以防为主,防消结合”的消防工作方针,针对公司实际现状,制定本动火作业指导书。

一、公司区域划分及识别1、公司区域划分为:禁火区、非禁火区2、禁火区分为:特级禁火区、一级禁火区、二级禁火区3、区域识别:特级禁火区:无一级禁火区:仓储部汽油暂存库、仓储部成品库(打板区)、技术部气瓶房(三楼易制毒品库气瓶房、室外气瓶房)二级禁火区:除特级、一级、非禁火区外的区域非禁火区:总经理室、会议接待室、吸烟室。

二、禁火规定:1、禁火区内,严禁吸烟,禁烧物品。

2、特级、一级禁火(易燃易爆)区内,禁烟、禁火、禁火花、禁无阻火器的机动车辆靠近、严禁穿带钉鞋进入、严禁穿脱化纤品外套服装、禁打手机,防静电产生。

3、禁火区内,未办理动火证,禁止私自动火。

三、动火作业分三级管理:(一)特级动火,指在处于运行状态的易燃、易爆生产装置和罐区等重要部位的具有特殊危险的动火作业;区域识别:特级禁火区域内的动火为特级动火。

(二)一级动火,易燃、易爆区域(即:甲、乙类火灾危险区域)的动火作业;区域识别:一级禁火区域内的动火为一级动火。

(三)二级动火,指一级动火及特殊动火以外的动火作业;区域识别:二级禁火区域内的动火为二级动火。

(四)凡全厂、一个车间或单独厂房内全部停车,装置经清洗、置换、分析合格,并采取隔离措施后的动火作业,可根据其火灾危险性大小,全部或局部降为二级动火管理。

(五)遇节、假日或生产不正常情况下的动火,应升级管理。

(六)各类动火作业区域应由公司明文规定,并在厂区平面图上标明(附见:防火识别平面图)。

四、动火分级终审权及有效期规定如下:特级动火由动火部门(设备部)申请、检查、审核和所属动火位置部门主管或经理复审,报公司行政部审核后,再报总经理或技术总监终审批准。

一级动火由动火部门(设备部)申请、检查、审核和所属动火位置部门主管或经理复审后,报公司行政部终审批准。

二级动火由动火部门申请、检查、复审(设备部),报所属动火位置部门主管或经理终审批准。

清洗作业指导书

清洗作业指导书一、引言清洗作业指导书是为了规范清洗作业流程,确保清洗工作的安全性、高效性和质量的文件。

本指导书适合于所有清洗作业,包括但不限于工厂设备清洗、食品加工设备清洗等。

本指导书旨在提供详细的清洗步骤、操作要点和注意事项,以确保清洗作业的顺利进行。

二、适合范围本指导书适合于所有清洗作业,包括但不限于以下方面:1. 工厂设备清洗2. 食品加工设备清洗3. 医疗设备清洗4. 实验室设备清洗5. 建造物外墙清洗6. 汽车清洗7. 家庭清洗三、清洗作业步骤1. 准备工作a. 确保清洗区域的安全,清除杂物和障碍物。

b. 检查清洗设备的工作状态,确保其正常运行。

c. 配备所需的清洗剂、工具和装备。

2. 清洗前准备a. 关闭设备的电源和供应管道。

b. 将设备上的易腐蚀、易损坏或者易掉落的部件进行拆卸或者保护。

c. 清除设备表面的大颗粒污物和沉积物。

3. 清洗操作a. 根据清洗对象的特点选择合适的清洗剂。

b. 将清洗剂按照规定的浓度与水混合。

c. 使用清洗剂浸泡、刷洗或者喷洒在需要清洗的表面上。

d. 使用合适的工具进行刷洗,确保清洗剂充分作用。

e. 注意避免清洗剂进入敏感部位或者对环境造成污染。

4. 清洗后处理a. 将清洗剂和废水进行分类和妥善处理。

b. 清洗设备的残留清洗剂和水分,确保设备干燥。

c. 检查清洗后的设备表面,确保无残留污物。

四、操作要点和注意事项1. 操作要点a. 根据清洗对象的特点选择合适的清洗剂和工具。

b. 按照规定的清洗剂浓度进行配制。

c. 清洗剂的使用量要适量,避免浪费和过量使用。

d. 清洗剂的作用时间要充分,但不要过长。

2. 注意事项a. 在清洗作业中,必须佩戴适当的个人防护装备,如手套、口罩和护目镜。

b. 避免清洗剂接触皮肤和眼睛,如不慎接触,请即将用清水冲洗。

c. 清洗作业过程中,注意防止清洗剂的飞溅和扩散,避免对周围环境和人员造成伤害。

d. 清洗剂和废水的处理要符合环保要求,避免对环境造成污染。

消防检测作业指导书

消防检测作业指导书消防检测是预防火灾和保障人民生命财产安全的一项重要工作。

为了保障消防检测工作的有效进行,特制定本作业指导书。

一、作业目的1. 制定合理、科学的消防检测计划,保障设施的安全可靠运行;2. 提高作业质量,预防火灾事故的发生,减少人员和财产损失;3. 保护环境,减少对周围环境的污染与影响。

二、作业内容1. 检测消防水系统:检测消防水箱、消防水泵、水源、消火栓、喷淋系统及水带等消防器材,保障消防水系统安全可靠。

2. 检查消防电源系统:检查消防用电系统的电源和配电箱,电缆线路和电气元器件,保障设施的安全可靠运行。

3. 检查灭火器械和灭火器材:检查灭火器械和材料的种类、数量、位置和使用效能,保障设施在发生火灾时能够及时有效地灭火。

4. 检测疏散通道:检查建筑区域内的疏散通道、楼梯、消防电梯等设施是否满足消防安全要求,保障人员在火灾发生时能够及时疏散,确保人员安全。

5. 检查消防控制中心:检查消防控制中心的设备、维护和运行状态,确保消防控制中心能够及时有效地响应火灾应急事件。

6. 检查防火隔离墙和防火设施:检查防火墙的结构和构造、间隔距离、灭火设施和控制装置的设置,避免火势扩散,保护人员和财产安全。

7. 实际演练:进行实际的应急演练,提高消防应急处理能力和工作效能。

三、操作规程1. 在检测前,要了解作业的具体内容和所需工具材料。

2. 制定检测计划:对需要检测的项目进行分类、细化,并制定详尽的检测计划,确保检测事项漏无遗。

3. 准备工具仪器:根据需要检测的项目准备相应的工具仪器,确保能够顺利地进行检测作业。

4. 进行检测:按照计划进行检测,检测时要认真细致、一项项进行检查,确保作业质量和效能。

5. 消防演练:进行实际的应急演练,检查设施的可靠性和灭火装置的使用效能。

6. 检测报告:对检测结果进行分类、汇总、整理,填写检测报告,及时反映设施的安全状况、存在的问题和改进措施等。

四、安全注意事项1. 对于火源较多或静止的设施,要谨慎操作,注意火源防护,防止引发火灾事故。

  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

生产前工具的准备:石英舟、吸笔、下料垫、下料盒;
打扫,首先用真空吸尘器对操作区域进行吸尘,
用酒精布擦拭插片净化操作台,石英舟存放柜、吸笔、舟叉、黑色卸片盒、机器推舟平台、小推车、操作记录台、少子寿命测试仪、电阻测试仪;
设备及测试仪器状态检查:扩散炉气体流量、温度、恒温箱温度、电阻测试仪、少子寿扩散炉压力表恒温水槽
源瓶状态检查:源量2厘米以上符合扩散工艺要求;
戴好口罩及乳胶手套,打开传递窗,检查硅片数量,双手拿起承载盒检查硅片有无碎片、隐裂,表面是否吹干,确认正常后,双手拿一盒把硅片从传递窗移至净化操作台上,承载盒按照扩散面(非开口方向)朝左统一放置,关闭传递窗口;
操作人员调整承载盒,每两盒为一个单位,即非开口方向相反放置,用真空吸笔每槽两片顺序将硅片从左到右插入石英舟,插片动作轻、稳;同时左手扶住舟叉随时调整石英
硅片插完后,用舟叉端起石英舟向上倾斜度左右将石英舟直接放到碳化硅桨上,先放在炉内位置,然后放在炉口位置,检查放置是否平稳。

(2、3、4步的操作步骤中只允许舟叉和真空吸笔接触石英舟和硅片)
进舟扩散前选择正确的工艺号,打开确认工艺温度、流量是否正常,确认正常,点击确
戴上洁净的乳胶手套在每舟中等间距抽取5片扩散后的硅片,充分冷却后放在四探针电。

I亮显。

按“下降”键使探针接触硅片中心点,换到
校准工作电流后按“上升”键使探针脱离硅片,换到R档;
测试电流156×156为4532mA;
每4h校准一次工作电流,遇电流不稳情况,需多次校验;
测量硅片中心方块电阻。

按“下降”键,待显示数字稳定后记录所测硅片位置的方块电阻,按“上升”键使探针脱离硅片,移动硅片换一个位置测量。

其中中心点方块电阻的测量要在中心附近多取几个点求平均值。

确认扩散后方块电阻及其均匀性是否在检验要求规定的范围内;
为避免测试误差,边缘处的测试位置应离硅片边缘1cm,切不可在同一点反复测量;
电阻少子寿命测试合格后,方可卸片,双手接触硅片侧面,每次最多八片将硅片卸到硅片盒内,扩散面交替叠放在硅片盒中;
将卸好的硅片连同写好的流程卡放入刻蚀用传递窗;
及时清理工作台面的碎片,保持装片和卸片工作台面及周围地面清洁;。

相关文档
最新文档