清洗制绒作业指导书
清洗制绒生产
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任务一、认识硅片的清洗制绒
任务实施
（2）.湿法腐蚀制绒面
.各向异性腐蚀（碱腐蚀） 单晶硅电池的绒面通常是利用某些化学腐蚀剂对 硅片表面进行腐蚀而形成，常用腐蚀剂一般分为两类： 一类是有机腐蚀剂，包括EPW（乙二胺、邻苯二酸和 水）和联胺等；另一类是无机腐蚀剂，包括碱性腐蚀 液，如KOH、NaOH、LiOH、CsOH和NH4OH等。
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任务一、认识硅片的清洗制绒
任务实施
1.去除损伤层
多线切割的硅片机械损伤层大概有10um左右，光 伏企业一般采用NaOH溶液在80~90℃温度腐蚀数分 钟来除去晶体硅片表面的机械损伤层，如图3-1所 示。
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任务一、认识硅片的清洗制绒
任务实施
硅片
机械损伤层（10微米）
采用NaOH溶液腐蚀去除
图3-1 去除硅片损伤层示意图
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清洗制绒生产
目录
任务1.认识硅片的清洗制绒 任务2.单晶硅清洗制绒流程 任务3.操作清洗制绒机 任务4.清洗制绒生产 任务5.操作甩干机 任务6.使用D8积分反射仪检测硅片
2
项目目标
1.知道硅片清洗制绒原理。 2.掌握清洗制绒的流程。
3.会操作清洗制绒生产设备。
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项目描述
硅片清洗制绒的主要目的是去除硅片表面 的损伤层及在硅片表面制成绒面。本项目的 学习是让同学们掌握硅片清洗制绒的流程、 清洗制绒机的操作、甩干机的操作、金相显 微镜和D8积分反射仪和电子天平的操作。
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任务一、认识硅片的清洗制绒
任务实施
（2）.湿法腐蚀制绒面
.各向同性腐蚀（酸腐蚀） 多晶硅表面的晶向是随意分布的，因此碱溶液的 各向异性腐蚀现象对于多晶硅来说并不理想，而且由 于碱性腐蚀液对多晶硅表面不同晶粒之间的方向速度 不一样，会产生台阶和裂缝，不能形成均匀的绒面。 酸腐蚀法的工作原理也是利用某些化学腐蚀剂对 硅片表面进行腐蚀而形成绒面，常用一定比例的HF和 HNO3的酸混合液。这种腐蚀对硅的不同晶面有相同的 腐蚀速度，因此也称各向同性腐蚀法。
作业指导书-制绒清洗
2.3.8制绒工序做好各种记录表格，包括：DI水电阻率检查表、制绒槽中定量补药记录表、每个槽的药液和水的更换记录表每个槽生产批次及停止生产时间记录表。
2.3.9当发现单面刻蚀深度低于8μm或高于13μm时，应及时调整该槽中KOH的加入量，通常以0.1L为单位。
4.5发现工艺槽槽体及液体颜色出现异常时，应立即通知设备工程师和工艺工程师。
4.6不允许将片盒或篮ຫໍສະໝຸດ 直接放在地面上并与金属直接接触。4.7每条线制绒与扩散工序之间的在制品在置时间不能超过4小时。
4.8每批测量3片硅片来检查腐蚀厚度，第一片架的第5片，第二片架的第55片，第三片架的第95片。
4.9在更换所有药液做清洗工作时，所有槽只需做一次溢流清洗，然后用水枪清洗干净即可。
3.2工具：防护用品（耐酸碱长袖手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩）、PVC/昵绒手套。
3.2材料：硅片、NaOH、HF、HCL、IPA、DI水。
4.注意事项
4.1检查制绒质量，观察是否出现异常,详细参照代表性样品。若出现异常情况，目测或参考有代表性的样品，在WI规定范围内做调整（见2.2.8）整，问题仍不能解决则通知技术员做工艺调整。
2.3.2每一制绒槽中的溶液必须在十批硅片后更换。
2.3.3如果中间停止生产45分钟的话，制绒槽中加入IPA1.3 L，KOH补0.8 L。
2.3.4如果中间停止生产一小时的话，制绒槽中加入IPA1.7 L,KOH补0.8 L。
作业指导书
制绒清洗
文件号：YLOT-OI-S5D65-TEX
版本：2011.001（试行）
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审核
标准化
清洗制绒设备操作规程
RENA制绒设备操作规程v09.10.01序言为更好地加强制绒设备生产与维修，保障设备开机效率以及设备完好状态，结合制绒使用说明书及车间使用经验，特制订编制本手册，以达到操作标准化为目的，同时为设备队伍的培训提供教材参考。
凡操作人员必须经过培训，且熟练掌握设备操作规程，方可对设备进行操作!目录一、目的二、适用范围三、主要技术性能四、结构特征五、使用前的准备六、设备的操作七、更换化学药品时的安全操作规范八、安全操作规范九、设备常见故障及简单解决方法十、操作和维护注意事项及维护表十一、常用化学药品特性及处理预案十二、安全标识一、目的：硅片在切割过程中会在表面形成大约10μm厚的损伤层，这一层因为与硅片基体的状态已经不同，基本上已经剥离于集体，会严重影响半导体器件（太阳电池）的性能。
清洗工序制绒工艺就是利用硅片的这一层损伤层，通过硝酸对其氧化制绒，形成高低不平的表面，大大增加电池片表面的受光面积，减少反射，从而提高太阳电池的转换效率。
二、适用范围：RENA Inline Texture Etching060309------CSC05(100MW车间制绒北侧设备) RENA Inline Texture Etching060308------CSC06(100MW车间制绒中部设备) RENA Inline Texture Etching060310------CSC07(100MW车间制绒南侧设备) 三、主要技术性能：1、使用环境条件a) 环境温度：0 ℃～40 ℃ b) 相对湿度：＜85%、无凝露 c ）周围环境：无腐蚀性气体 2、附属设施消耗电池车间 100MWp 制绒工序基础设施消耗设备名称 数量 连接功率kW 额定功率kW 纯水L/M冷却水L/M 压缩空气L/M废水排放L/M 废气排放m3/h 电压V 单台 合计 单台 合计 单台 合计 单台 合计 单台 合计 单台 合计单台 合计5道硅片清洗机 2 380五线 19.539 19.5 39 20 40 43 86 3683 7366 DN50DN40 DN20 4670 93408道硅片清洗机1 380五线32 32 32 32 30 30 43 86 5883 5883 DN50DN40 DN207140 7140四、结构特征：上图为RENA Inline Texture Etching060309设备外形Station1: 腐蚀槽 Station5：HF/HCL 润洗Station2：冲洗1槽 Station6: 冲洗3槽Station3：KOH润洗 Station7: 气刀风干Station4：冲洗2槽RENA Inline Texture Etching包括上料→HNO3及HF腐蚀→冲洗1→KOH 润洗→冲洗2→HF/HCl润洗→冲洗3→气刀风干→下料。
清洗制绒操作规程
清洗制绒操作规程1.目的为规范清洗制绒的操作流程，正确的、有效的、高效的进行生产，特制定本规程。
2.适用范围上海超日太阳能科技发展有限公司辖区内的清洗车间。
3.职责3.1操作不规范可能引起原材料硅片的损耗，在进行操作之前，务必仔细阅读本规程。
3.2熟练掌握每道操作步骤的注意点，精确掌控每道操作步骤的时间。
3.3严格根据本规程对化学品进行合适的操作。
4. 定义4.1生产车间只负责按规程操作，没有改动化学品含量的权利4.2对于生产过程中需要改变的参数，必须经由技术部门的授权。
5. 程序5.1将各槽注满去离子水，打开控制柜上的电源开关，打开1、3、5、7、15槽的加热开关，打开3、5、7槽的循环泵开关。
5.2将硅片插入花篮，插片时若发现硅片外观不良的挑出，插完一篮后扣好档条、夹上夹子。
5.3在10槽前槽加入规定量的柠檬酸，用玻璃棒搅拌直至其完全溶解。
5.4待3槽水温达到50℃后，在后槽加入规定量的氢氧化钠。
5.5待5槽水温达到60℃后，在后槽加入规定量的氢氧化钠。
5.6将四篮硅片放入1槽内进行超声波清洗。
花篮在槽内遵循先进先出原则。
5.7将硅片放入2槽进行超声波漂洗。
5.8开启鼓泡开关，氮气流量大小应适中。
5.9将硅片放入3槽进行去损伤，从冒泡反应起开始计时。
5.10将硅片拿出迅速放入4槽进行漂洗。
5.11在5槽后槽加入规定量的异丙醇，10分钟后将4槽的硅片放入5槽进行制绒。
5.12将硅片拿出迅速放入8槽进行漂洗。
漂洗结束后，取出1~2片观察绒面情况。
5.13将硅片放入9槽进行漂洗。
5.14打开10槽的超声波电源开关，将硅片放入10槽进行超声波酸洗。
5.15打开11槽的超声波电源开关，将硅片慢慢从10槽拿出，放入11槽进行超声波漂洗。
5.16将硅片放入13槽进行漂洗。
5.17将硅片放入14槽进行漂洗。
5.18开启15槽前槽注水开关，待前槽水量约有3/4时将硅片放入15槽进行切水，切水时取下夹子。
5.19将硅片放入烘箱内烘干。
1.RENA制绒工序作业指导书
文件修订记录目录1.目的 (3)2. 范围 (3)3. 职责 (3)4. 内容 (3)5. 记录 (3)6. 附件 (4)1. 目的规范多晶硅电池片生产中制绒工序的各项操作。
2. 范围用于本公司156 多晶电池片生产中RENA 清洗机制绒工序的操作作业指导。
3. 职责3.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。
3.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺和设备人员反应，工艺和设备人员及时提供帮助。
3.3电池技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。
4. 内容4.1 制绒工序注意事项规定，见5-8页。
4.2 RENA制绒上料操作作业指导书（多晶），见9-10页。
4.3 RENA制绒流程操作作业指导书(多晶)，见11-12页。
4.4 RENA制绒下料操作作业指导书（多晶），见13-14页。
4.5 减薄量测试作业指导书, 见15页。
4.6返工片操作作业指导书，见16-20页。
4.7产线异常控制作业指导书，见21页。
4.8 D8反射率使用作业指导书见22-23页。
5. 记录5.1 制绒减重反射率记录表（电子版）5.2 制绒换液记录表5.3 制绒工艺日常点检表5.4 电池生产流程单6. 附件6.1制绒常见异常处理方法（设备），见24-25页。
6.2多晶制绒工艺流程图，见26页。
6.3 化学品安全使用和应急处理，见27-28页。
制绒工序注意事项规定1．制绒工序区域环境要求1.1 洁净度：控制线8000 级，停产线10000 级1.2 温度：22±2℃1.3 湿度：<70%1.4 对参观通道保持3pa 正压1.5 排风：（500±50）Pa(RENA 机排风)2．着装及劳保用品使用要求2.1 人员着装要求：现场作业人员、支持人员须穿戴整齐（包括公司配备的洁净服、洁净帽、工作鞋、口罩）并保证着装整洁（如脏污须清洗或更换）。
2.2 手套使用要求：现场作业人员须戴乳胶手套作业，沾污、破损必须更换新手套；手动放片每两小时更换一次手套，出入车间后更换手套。
清洗作业指导书
清洗作业指导书标题：清洗作业指导书引言概述：清洗作业指导书是指导清洗工作的操作手册，其中包含了清洗的流程、方法、注意事项等内容。
制定一份清洗作业指导书能够匡助清洗工作更加规范、高效，确保清洗效果达到预期。
一、清洗作业指导书的重要性1.1 提高清洗效率：清洗作业指导书明确了清洗流程和方法，能够匡助清洗人员快速高效地完成工作。
1.2 保证清洗质量：指导书中包含了清洗的注意事项和细节要求，能够确保清洗质量达标。
1.3 提升工作安全性：清洗作业指导书规范了清洗操作步骤，减少了操作失误的风险，提升了工作安全性。
二、清洗作业指导书的内容2.1 清洗流程：指导书中应包含清洗的具体流程，包括准备工作、清洗步骤、清洗剂选择等。
2.2 清洗方法：指导书中应详细描述清洗的方法和技巧，如擦洗、浸泡、喷洒等。
2.3 注意事项：指导书中应列出清洗中需要注意的事项，如防止交叉污染、注意安全防护等。
三、制定清洗作业指导书的步骤3.1 调研：首先需要对清洗对象进行调研，了解清洗的难度和要求。
3.2 制定流程：根据调研结果，制定清洗的具体流程和方法。
3.3 审核：清洗作业指导书需要经过相关部门的审核，确保内容准确、可行。
四、清洗作业指导书的更新与维护4.1 定期检查：清洗作业指导书需要定期检查更新，及时修订内容。
4.2 培训：清洗人员需要接受相关培训，熟悉清洗作业指导书的内容和要求。
4.3 反馈：清洗人员在实际操作中遇到问题，应及时反馈并修订指导书。
五、清洗作业指导书的实际应用5.1 提高效率：清洗作业指导书的实际应用能够提高清洗效率，节省时间成本。
5.2 保证质量：指导书的应用能够保证清洗质量，降低质量风险。
5.3 提升安全性：清洗作业指导书的应用能够提升工作安全性，减少事故发生的可能性。
结语：清洗作业指导书是清洗工作的重要工具，制定和遵守指导书能够提高清洗效率、保证清洗质量，同时提升工作安全性。
希翼清洗单位能够重视清洗作业指导书的制定和应用，确保清洗工作顺利进行。
RG-2011-ES-001制绒机作业指导书
清洗机作业指导书文件编号:制绒清洗机作业指导书编制：审核：批准：文件批号：高平市融高太阳能开发有限公司清洗机作业指导书文件编号:作业指导书一、目的本程序为清洗工序的生产作业提供文件化的标准作业指导。
二、适用范围本程序规定适用于清洗工序所有操作人员（包括班组长等）的作业流程。
三、职责1、让使用本台机器的所有操作人员都熟悉操作，尽量减少操作失误。
2、清洗工序的相关操作人员要严格按照该程序操作。
工艺人员和班组长管理人员对该工序的生产操作行使管理和监督职能。
四、作业程序简介:该全自动17槽制绒清洗机控制系统采用PLC和人机界面相结合组成，利用触摸屏提供友好的人机操作界面，监控画面按清洗工艺流程设计，对清洗过程实现全自动监视与控制。
㈠、指示灯及操作面板控制器件的含义、功能1.1 三色指示灯黄色：原点指示灯。
绿色：运行指示灯。
红色：故障指示灯。
1.2 ‘自动/手动’开关：自动/手动切换。
‘停止’开关：按下时，机械手完成步骤后，整机停止运作。
‘蜂鸣器停止’开关：按下时，可停止当前正在鸣响的报警。
‘紧急停止’按钮：按下时，整机立即停止运作，不能启动，动力电源被切断，同时红灯闪烁报警。
㈡、触摸屏画面介绍1 、通用现象：1.1 画面中控件检测由其它色变为绿色（或从无显示变为绿色显示），表示该位检测有效。
清洗机作业指导书文件编号:1.2 上下马达条处闪动，表示该设备正在动作。
1.3 画面右上角（或底部）“主菜单”按钮，为画面间切换按钮。
2、主菜单画面说明：此画面共分三个子菜单，分别为〈手动控制菜单〉〈实时监控〉〈参数设置〉，触摸子菜单中的各个子按钮，可进入相应的操作界面。
3、系统启动画面说明：此画面为整机自动启动及相关重负载启动监控界面！当需要自动启动时，按如下步骤进行操作：1）将手/自动转换开关打到手动状态。
2）按住回原点按钮1秒钟以上，系统将自动回原点，等到按钮后显示“OK”字样时，表示回原点完成。
3）回原点完成后，将手/自动转换开关打到自动，再按自动启动，按钮后即出现“OK”字样，表示整机已处于自动状态。
织物清洗与消毒管理作业指导书
织物清洗与消毒管理作业指导书
一、收集与暂存
1．污染的窗帘、床单、被服、工作服(以下统称为织物)应分类收集，并打包后方可在院内外运送。
2．收集人员严禁在病区内进行逐件清点与清
理，应尽量减少对污染织物的抖动行为。
防止织物
上病原微生物向周围环境扩散。
3．包装污染织物的袋子，应采用不宜渗漏液体、便于清洗的可反复使用的材质制作。
严禁采用污染
的床单等污染物来包裹。
4．包装袋外层应有醒目的污染织物专用的字
样，如污染被服袋、污染工作服袋。
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格式编号：HCZY 01
样式编号：AAAE02
7.制绒酸洗温度设置
8.制绒
9.开启制绒槽盖
提篮，电子显微镜，天 平，反射率测试仪，量杯
10.抽检
11.目视制绒效果
一次性手套
劳动防护 用品：
防护镜，防毒口罩，耐酸 13.制绒完毕放入水漂洗 碱手套，丁腈手套，耐 酸碱围裙，耐酸碱皮鞋
14.清洗后抽检
15.氮气吹干
改定履历 年 月 日 1 2 3 4 5
11.生产过程中要注意设备运转以及水气供应。
定位置管理说明
1.
2.
3.
管理要点
管理項目
测定法
频度样品数
规定资料及判定标准
金字塔
显微镜
1pcs/30min
2-6um
减重量
天平
1pcs/30min
0.3-0.5g /0.5-0.8g
反射率 改定 确认
测试仪 承认
1pcs/30min
≦14.5%
备 考
改定内容
12.将抽检片放回原处 16.观察制绒效果
文书编号 版本 作成日期 修改日期
HCBZZZ011 01
年月 日 年月 日
承认
确认
作成
应遵守的要点及注意事项
1.穿戴好安防劳保用品。
2.花篮要检查是否完好，放置时不要接触感应器.
3.查看设备是否满足工艺参数要求,或是否达到设定参数值。
4.如有异常则暂停生产！抽检时要注意安全，操作小心。
5.确保制绒清洗槽内液面（一定要淹没硅片）。
6.目视制绒观察有无明显不良情况，有则通知值班工艺员。
7.注意氮气吹干气压适当，不可加大。
8.用50倍显微镜观察时仔细绒面金字塔大小状况，合格流出，
不合格返工，并做好绒面观察记录。
9.添加化学药品时要根据实际的绒面状况来增减化学药品的用量。
10.根据生产实际状况需调整工艺参数的须经当班工艺确认。
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制绒及酸洗作业指导书
设备名/设备编号： 1、制绒机 2、 3、 4、
工序目的：
作业手顺·遵守事项 ●作业手顺
1.安全准备
规范硅片表面制作绒面
使单用晶部硅品片材。料：
单晶硅片
5.等待制绒
使用夹具、 工具：
2.确认设备状态 6.制绒参数设定
3.核对硅片数量及规格 4.把硅片装入承载篮内