等离子技术PPT课件
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《等离子体溅射镀膜》课件
VS
溅射功率是等离子体溅射镀膜过程中的关键参数，它决定了溅射产额和膜层的性质。
详细描述
溅射功率越大，溅射产额越高，膜层的生长速率也就越快。然而，过高的溅射功率可能导致基材损伤、膜层粗糙度增加以及粒子反弹等问题。因此，需要根据具体的镀膜要求和工艺条件选择合适的溅射功率。此外，溅射功率的选择还需要考虑靶材的特性和溅射气体的种类。
详细描述
总结词
通过射频电源产生电场，使惰性气体离子化并加速向靶材撞击，将靶材粒子溅射出来并附着在基片上形成薄膜的技术。
要点一
要点二
详细描述
射频溅射镀膜技术利用射频电源产生电场，使惰性气体离子化。这些离子在电场的作用下加速向靶材撞击，将靶材粒子溅射出来。溅射出来的靶材粒子随后附着在基片上，形成薄膜。该技术具有沉积速率高、薄膜成分和结构可控等优点，广泛应用于各种领域。与直流溅射镀膜技术相比，射频溅射镀膜技术具有更高的沉积速率和更稳定的溅射过程。
总结词
通过高频电源产生电场，使惰性气体离子化并加速向靶材撞击，将靶材粒子溅射出来并附着在基片上形成薄膜的技术。
详细描述
高频溅射镀膜技术利用高频电源产生电场，使惰性气体离子化。这些离子在电场的作用下加速向靶材撞击，将靶材粒子溅射出来。溅射出来的靶材粒子随后附着在基片上，形成薄膜。该技术具有较高的沉积速率和良好的薄膜附着力，广泛应用于各种领域。
05
CHAPTER
等离子体溅射镀膜的优缺点
等离子体溅射镀膜技术具有较高的沉积速率，可以快速形成均匀、连续的薄膜。
高沉积速率
由于等离子体溅射镀膜过程中，基材表面受到高能离子的轰击，表面粗糙度增加，使得镀膜与基材的附着力增强。
高附着力
等离子体溅射镀膜技术可以制备高纯度的薄膜，适用于对材料纯度要求高的领域。
电感耦合等离子体-质谱法 ppt课件
PPT课件
37
基体效应：
ICPMS中所分析的试样，—般为固体含量其质量分数 小于1％，或质量浓度约为1000ug.mL-1的溶液试样。 当溶液中共存物质量浓度高于500—1000ug.mL-1 时， ICPMS分析的基体效应才会显现出来。共存物中含有 低电离能元素例如碱金属、碱土金属和镧系元素且超 过限度。由它们提供的等离子体的电子数目很多，进 而抑制包括分析物元素在内的其它元素的电离，影响 分析结果。试样固体含量高会影响雾化和蒸发溶液以 及产生和输送等离子体的过程。试样溶液提升量过大 或蒸发过快，等离子体炬的温度就会降低，影响分析 物的电离，使被分析物的响应下降、基体效应的影响 可以采用稀释、基体匹配、标准加入或者同位素稀释 法降低至最小。
Ion Optics Mass Separation Device
Turbo Molecular Pump
Turbo Molecular Pump
Mechanical Pump
RF Power Supply
Basic Instrumental Components of ICP-MS
PPT课件 10
PPT课件 33
同质量类型离子干扰
同质量类型离子干扰是指两种不同元素有几乎相 同质量的同位素。对使用四极质谱计的原子质谱仪来 说，同质量类指的是质量相差小于一个原于质量单位 的同位素。使用高分辨率仪器时质量差可以更小些。 周期表中多数元素都有同质量类型重叠的一个、二个 甚至三个同位素。 如：铟有113In+和115In+两个稳定的同位素 前者与113Cd+重叠，后者与115Sn+重叠。 因为同质量重叠可以从丰度表上精确预计．此干扰 的校正可以用适当的计算机软件进行。现在许多仪器 已能自动进行这种校正。
第一章 等离子体概述(共50张PPT)
PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) -- 等离子体增强化学气相沉积法 典型的工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理
1～4电等子伏，离电流子为1态～10常0安及被以上称。 为“超气态”，它和气体有很多相似之处，
集体效应起主导作用：等离子体中相互作用的电磁 力是长程的。
宇宙中90％物质处于等离子体态
人类类的的生生存存伴伴随随着着水水，，水存水在存的在环的境环是境地是球地文球明得文以明进得化以、进发化展、的发的展热 的力学的环热境力，学这环种境环，境这远种离等环离境子远体离物等态离普子遍体存物在的态状普态遍。存因在而的，状天态然。等 因离子而体，就天只然能等存离在子于远体离就人只群能的存地在方于，远以闪离电人、群极的光地的方形，式以为闪人电们、所极敬 光畏、的所形赞式叹为。人们所敬畏、所赞叹。
温度 (度)
等离子体参数空间
星云
太阳风 星际空间
日冕
霓虹灯 荧光
磁约束 聚变
氢弹
惯性聚变
太阳核心 闪电
气体 液体 固体
北极光
火焰
人类居住环境
密度(cm-3)
等1.按离存在子分：体的分类
天然等离子体：太阳、恒星、星云、极光、雷电等
人工等离子体：日光灯、霓虹灯、电火花、电弧等
2.按电离度分： 等离子体：电子(ne )、正离子(离子 ni)、中性粒子（分子、
Tonks)首先引入等离子体（ Plasma ）这个名称。
涉及分子间作用力，而等离子体由气态转化时需要克服原 特点是焊缝平整，可以再加工,没有氧化物杂质,焊接速度快。
人类的生存伴随着水，水存在的环境是地球文明得以进化、发展的的热力学环境，这种环境远离等离子体物态普遍存在的状态。
1～4电等子伏，离电流子为1态～10常0安及被以上称。 为“超气态”，它和气体有很多相似之处，
集体效应起主导作用：等离子体中相互作用的电磁 力是长程的。
宇宙中90％物质处于等离子体态
人类类的的生生存存伴伴随随着着水水，，水存水在存的在环的境环是境地是球地文球明得文以明进得化以、进发化展、的发的展热 的力学的环热境力，学这环种境环，境这远种离等环离境子远体离物等态离普子遍体存物在的态状普态遍。存因在而的，状天态然。等 因离子而体，就天只然能等存离在子于远体离就人只群能的存地在方于，远以闪离电人、群极的光地的方形，式以为闪人电们、所极敬 光畏、的所形赞式叹为。人们所敬畏、所赞叹。
温度 (度)
等离子体参数空间
星云
太阳风 星际空间
日冕
霓虹灯 荧光
磁约束 聚变
氢弹
惯性聚变
太阳核心 闪电
气体 液体 固体
北极光
火焰
人类居住环境
密度(cm-3)
等1.按离存在子分：体的分类
天然等离子体：太阳、恒星、星云、极光、雷电等
人工等离子体：日光灯、霓虹灯、电火花、电弧等
2.按电离度分： 等离子体：电子(ne )、正离子(离子 ni)、中性粒子（分子、
Tonks)首先引入等离子体（ Plasma ）这个名称。
涉及分子间作用力，而等离子体由气态转化时需要克服原 特点是焊缝平整，可以再加工,没有氧化物杂质,焊接速度快。
人类的生存伴随着水，水存在的环境是地球文明得以进化、发展的的热力学环境，这种环境远离等离子体物态普遍存在的状态。
等离子体表面处理PPT课件
2020/11/8
26
阴极溅射的主要特点
（1）一个粒子轰击阴极表面可溅射出的原子 数，称为溅射系数。
溅射系数随加速电压的增大而增大，但是当加 速电压过高时，由于轰击的正离子撞入阴极材 料内部的几率增大，一旦撞入内部，能量将平 均散逸给大量的周围原子，不能使个别原子获 得逸出的能量。
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27
（2）阴极电位降和轰击粒子的质量越大， 阴极溅射越激烈。
当气体和阴极的种类一定时，阴极位降 将随电流密度增加而增加，溅射量近似 地与电流密度平方成正比，与气压和极 间距离的乘积成反比。
2020/11/8
28
（3）在其它条件一定时，气压越小溅射 越严重，当气压大时，由于溅出的粒子 易与周围高密度的气体碰撞而返回表面， 因而溅出量减少。
2020/11/8
4
离子轰击渗镀的基 本方法如图所示。
以工件为阴极， 容器壁为阳极，调 节渗剂送气和抽气 速率，使维持 133～1333Pa的压 力，极间施以300V 以上的直流电压， 使产生辉光放电。
2020/11/8
5
2020/11/8
6
用离子轰击进行渗镀，有以下优点：
（1）由于离子对表面的轰击可使表面高 度活化，加之离子和随离子一起冲击表 面的活性原子都易被表面吸收，因而渗 镀速度特快。
2020/11/8
12
②运动中的电子与气体碰撞几率与气体 的密度或压力成正比。
设 为电子连续两次碰撞的平均距离， 称平均自由程，显然碰撞几率与 成反 比。而平均自由程又与气压成反比，即；
2020/11/8
13
③电子在低压气体电场E中的动能 ， 可以下式表示：
可见，在场强E一定的情况下，电子的动能与气压 成反比。这就是说，如果气压P太小， 电子在单位 距离内与气体碰撞的几率太小，或者说电子所获得
等离子体水处理技术 45页PPT文档
塘或灌溉
超等AOP技术→外排或灌
溉
80,000 ～ 120,000
80,000 ～ 120,000
500 ～3,000
300 ～ 1,000
1000 25,000以上
1000 1,500 ～ 2,000
3～7
5(沼气发电)
HRT（停留时间） 投资总成本(万元)
7天 1500 ～ 2000
5天 1,300
的运行成本较高。
等离子高级氧化(AOPs)污水预处理机
• 生活污水： 市政、大型酒店宾馆、 休闲旅游度假村的生活污水 处理及中水回用。
• 高浓度难生物降解工业废水： 如印染污水、电镀污水、造纸废水、化工污水、冶金 厂污水、石化污水、酒精制糖污水、淀粉厂污水、填 埋场垃圾渗滤液等。
• 医院污水消毒深度处理： 代替二级生化处理，代替二氧化氯、臭氧消毒。
• 微波放电的电离度高，气体具有更高的活化程度，因而能 在更低温度下获得和维持具有更高能量的等离子体，更适 合对温度敏感材料如有机薄膜的处理，但设备造价较高。
• 国内外现在已有许多利用微波放电的例子，如大连化学物 理研究所曾用微波放电来脱除一氧化氮。
高压脉冲放电等离子体
滑动弧放电等离子体
介质阻挡放电等离子体
甲基紫、苯酚和纺织品染料水溶液
辉光放电等离子体
苯、酚类水溶液（苯酚、硝基甲苯、1-萘胺、2，4二氯苯酚、苯、硝基苯、4-氯苯酚、苯酚、 甲苯酚、 邻苯二胺）；
染料模拟废水（茜素红、亮绿、甲基紫）
介质阻挡放电等离子体 苯、酚类水溶液（苯酚、氯苯酚、苯、甲苯、二甲
苯）；
染料模拟废水（靛蓝二磺酸钠、茜素红、酸性橙-7）
宇宙中90％物质处于等离子体态
等离子体基本原理优秀课件
blue yellowwhite
blue
Positive Column
Red-pink red-brown dark-red blue-purple
whitegreen pink red-yellow red-yellow red-yellow
7
介质阻挡放电（DBD）
8
滑动电弧放电等离子体
9
激光
密度(cm-3)
17
地球上，人造的等离子体也越来越多地出现在我们的周围。 日常生活中：日光灯、电弧、等离子体显示屏、臭氧发 生器 典型的工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷 涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理 高技术应用：托卡马克、惯性约束聚变、氢弹、高功率 微波器件、离子源、强流束、飞行器鞘套与尾迹
12
空间天体等离子体 什么保护了地球：等离子体
13
空间天体等离子体
北极光
14
空间天逃体离等太离阳子体的等离子体
15
空间天星体系等：离巨子体大的聚变反应堆
16
等离子体参数空间
温度 (度)
星云
太阳风 星际空间
日冕
霓虹灯 荧光
磁约束 聚变
氢弹
惯性聚变
太阳核心 闪电
气体 液体 固体
北极光
火焰
人类居住环境
＋
－
在等离子体内部，正、负电荷数几乎相等——准中性 ne ni
30
就等离子体本身而言，它具有变成为电中性的强烈 倾向，故离子和电子的电荷密度几乎相等，此种情况称 为准中性，是带相反电荷粒子间的强电作用的结果。
等离子体中电荷分离仅可能由外加电场或等离子体 本身的内能（热能）来维持，可由等离子体动力学温度 维持的对电中性的最大偏离估算出来。
blue
Positive Column
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介质阻挡放电（DBD）
8
滑动电弧放电等离子体
9
激光
密度(cm-3)
17
地球上，人造的等离子体也越来越多地出现在我们的周围。 日常生活中：日光灯、电弧、等离子体显示屏、臭氧发 生器 典型的工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷 涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理 高技术应用：托卡马克、惯性约束聚变、氢弹、高功率 微波器件、离子源、强流束、飞行器鞘套与尾迹
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空间天体等离子体 什么保护了地球：等离子体
13
空间天体等离子体
北极光
14
空间天逃体离等太离阳子体的等离子体
15
空间天星体系等：离巨子体大的聚变反应堆
16
等离子体参数空间
温度 (度)
星云
太阳风 星际空间
日冕
霓虹灯 荧光
磁约束 聚变
氢弹
惯性聚变
太阳核心 闪电
气体 液体 固体
北极光
火焰
人类居住环境
＋
－
在等离子体内部，正、负电荷数几乎相等——准中性 ne ni
30
就等离子体本身而言，它具有变成为电中性的强烈 倾向，故离子和电子的电荷密度几乎相等，此种情况称 为准中性，是带相反电荷粒子间的强电作用的结果。
等离子体中电荷分离仅可能由外加电场或等离子体 本身的内能（热能）来维持，可由等离子体动力学温度 维持的对电中性的最大偏离估算出来。
电感耦合等离子体质谱法ppt课件
缺点：光谱干扰严重
火花源无机质谱用于痕量元素分析 (SSMS)
优点：谱图简单，分辨率适中，检出限低 缺点：样品制备困难，分析速度慢
常规离子源效率低
ICP-AES + SSMS
ICP-MS
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
ICP-MS检测限及质量分析范围
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
Part II: ICP-MS系统组成及工作原理
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
质谱仪
接口 等离子体源 进样系统
A Typical ICP-MS in 1990s (PE, PlasmaQuad II)
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
ICP-MS Lab. in Phys. Sci. Center, USTC (Thermo VG Elemental, PlasmaQuad III)
火花源无机质谱用于痕量元素分析 (SSMS)
优点：谱图简单，分辨率适中，检出限低 缺点：样品制备困难，分析速度慢
常规离子源效率低
ICP-AES + SSMS
ICP-MS
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
ICP-MS检测限及质量分析范围
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
Part II: ICP-MS系统组成及工作原理
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
质谱仪
接口 等离子体源 进样系统
A Typical ICP-MS in 1990s (PE, PlasmaQuad II)
在整堂课的教学中，刘教师总是让学 生带着 问题来 学习， 而问题 的设置 具有一 定的梯 度，由 浅入深 ，所提 出的问 题也很 明确
ICP-MS Lab. in Phys. Sci. Center, USTC (Thermo VG Elemental, PlasmaQuad III)
等离子及燃烧器-PPT课件
损。
四、 等离子燃烧器检修内容 冷 却 水 系 • • 冷却水系统 ▲按水泵厂家提供的设备使用说明书进行定期维护；
•
• •
▲冷却水温度，泵出口压力是否正常；
▲水泵电机温度声音是否正常； ▲冷却水独立水箱水位是否正常；
统
及 载 体 风 系 统 的 维 护
•
• •
▲系统及管路有无泄漏现象。
载体风系统 ▲按风机厂家提供的设备使用说明书进行定期维护；
四、 等离子燃烧器检修内容
典 型 阳 极
剖
面 图
四、 等离子燃烧器检修内容 • 发 生 器 ▲ 发生器周围是否有漏粉漏油现象（漏粉现象要检查发生器附近锅炉密封是否不良，等离 子燃烧器是否结焦以及输送弧烧损、磨损泄漏导致阳极处返粉）
•
• •
▲发生器内外是否漏水，漏气；
▲电源线是否有松动发热现象； ▲水压，风压是否合适，是否有波动；
及
仪 表 组
•
•
▲水循环是否良好，水温是否正常（发生器进水管应比回水管温度低）
▲保证冷却水进水过滤器通畅无堵塞（冷却水进水过滤器堵塞冷却效果不好导致阴、阳极 寿命短）
件
• •
▲载体风过滤器通畅无堵塞 （载体风过滤器堵塞将导致阳极支架或输送弧的烧损 ） ▲发生器保护罩的完好（保护罩的缺失将导致人员的触电伤亡及等离子发生器的损坏）
▲风煤比调整不当，风速过低或出力过大； ▲磨出口风温过高或热风送粉热风温度过高；
•
•
▲壁温测点安装不到位，或测点损坏；
▲发生器功率过大。
五、等离子燃烧器故障现象及处理方法
• 故 障 现 象 及 处 • •
及
辅 助 系 统 的 维
• • • • •
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SPR的响应模式
n1 sinθ1 = n2 sinθ2 因为 sinθ2 = 1 所以 sinθ1 = n2/n1
SPR的检测模式
直接检测： 适用于大分子 （>1000 Da）
SPR的检测模式
抑制模式：
将待测小分子 固定在传感器 表面，在样品 中加入过量对 应大分子。
SPR仪的结构及工作原理
等离子技术
简介
表面等离子共振技术(Surface Plasmon Resonance technology，SPR)是20世纪90年代发展起来的，应 用SPR原理检测生物传感芯片(biosensor chip)上配 位体与分析物作用的一种新技术。
发展简史
1902年，Wood在光学实验中发现SPR现象 1941年，Fano解释了SPR现象 1971年，Kretschmann为SPR传感器结构奠定了基础 1983年，Liedberg将SPR用于IgG与其抗原的反应测定 1987年，Knoll等人开始SPR成像研究 1990年，Biacore AB公司开发出首台商品化SPR仪器
1.消逝波
菲涅尔定理： n1 sinθ1 = n2 sinθ2
当光从光密介质 密 入射到光疏介质 时（n1>n2）就 会有全反射现象 疏 的产生。
密
疏
1.消逝波
密
界面
疏
这表示沿X轴方向传播而振幅衰减的一个波，这就是消逝波。 全反射的光波会透过光疏介质约为光波波长的一个深度，再 沿界面流动约半个波长再返回光密介质。光的总能量没有发 生改变。透入光疏介质的光波成为消逝波。
传感芯片——光波导耦合器件
Krestschmann棱 镜型
Otto棱镜型
光纤在线传输式
光栅型
光纤终端反射式
金属膜 分子敏感膜
棱镜型装置工作原理
(a) Otto 型
(b)
Kretschmann 型
光纤型光波导耦合器
在线传输式SPR 光纤传感器
光纤型光波导耦合器
终端反射式SPR 光纤传感器
光栅型光波导耦合器
凝胶、水凝胶、高分子膜、多肽等） 3. 单分子复合膜法 4. 分子印膜技术
Biacore 3000液体处理系统
Biacore 3000的LED状态指示器
LED（light-emitting diode）
Ready：亮/灭 Error：亮/灭 Temperature：稳定/闪烁 Sensor Chip：稳定/闪烁 Run：亮/灭
朱倩 90513126
Biacore Control
工作仪器
Biacore 3000工作仪器
核心部件： 传感器芯片 液体处理系统 光学系统
其他： LED状态指示器 温度控制系统
Biacore 3000核心部件
Biacore 3000的光学系统
Biacore 3000传感器基本结构
1. 光波导合器件 2. 金属膜 3. 分子敏感膜
恒定入射角度, 反射系数与波长关系 入射角度: 1 为80Ü, 2 为70Ü, 3 为72Ü, 4 为6815Ü,5 为6515Ü
金属膜厚度对SPR 谱的影响
λ= 63218nm 介质为水( n = 1.333) 棱镜折射率为1.515
50nm
传感芯片——分子敏感膜
成膜方法： 1. 金属膜直接吸附法 2. 共价连接法（生物素-亲和素、葡聚糖
SPR用途简介
实时分析，简便快捷地监测DNA与蛋白质之间、蛋白质分 子之间以及药物—蛋白质、核酸—核酸、抗原—抗体、受 体—配体等等生物分子之间的相互作用，在生命科学、医 疗检测、药物筛选、食品检测、环境监测、毒品检测、法 医鉴定等领域具有广泛的应用需求。
表面等离子共振原理
1. 消逝波 2. 等离子波 3. SPR的光学原理
光源
He2Ne激光器 LED 白炽灯——卤钨灯
传感芯片——金属膜
反射率高 化学稳定性好 厚度合适
金属材料的选择
Ag膜、Au膜的比较
金膜(实线) 和银膜(虚线) SPR 光谱理论值
恒定波长, 反射系数与入射角度关系 波长: 1 和2 为750nm,3 为600nm,
4 为500nm
3.SPR光学原理
当消逝波与表面等离子波发生共振时，检测到的反射光 强会大幅度地减弱。能量从光子转移到表面等离子，入 射光的大部分能量被表面等离子波吸收，使得反射光的 能量急剧减少。
3.SPR光学原理
可以从反射光强的响应曲线看到一个最小 的尖峰，此时对应的入射光波长为共振波 长，对应的入射角为SPR角。SPR角随金 表面折射率变化而变化，而折射率的变化 又与金表面结合的分子质量成正比。这就 是SPR对物质结合检测的基本原理。
化学应用
通过检测共振角或共振波长的变化 来检测待测分子的成分、浓度以及 参与化学反应的特性
生物学应用
生物学应用
生物学应用
主要用于检测生物分子的结合作用或者 通过生物分子结合作用的检测来完成特 定生物分子的识别及其浓度的测定
生物学应用
药物领域
药物与蛋白之间的相互作用
药物筛选与新药开发
Biacore 3000的温度控制系统
SPR 技术的应用
黄辰90513125
物理学应用
若某种物理量会引起特定敏感膜折射率 的变化，就可以采用SPR 传感技术进 行检测。
例如，基于温度变化引起特定敏感膜的 吸湿量变化，并导致其折射率变化，从 而利用SPR 传感技术进行检测的湿度 传感系统，以及基于氢化无定型硅的热 光效应的温度传感系统等。
SPR技术因其实时效性，高通量，特异性
及能在天然状态下研究药物分子与靶点的相互作
用，为新药研发提供了有力的工具
食品工业及环境监测领域
维生素检测 生物毒素检测 细菌和病原菌检测 农、兽药残留量检测
2.等离子波
等离子体 等离子体通常是指由密度相当高的自由正、负 电荷组成的气体，其中正、负带电粒子数目几 乎相等。
金属表面等离子波 把金属的价电子看成是均匀正电荷背景下运动 的电子气体，这实际上也是一种等离子体。由 于电磁振荡形成了等离子波。
3.SPR光学原理
3.SPR光学原理
我们在前面提到光在棱镜与金属膜表面上发生全反射现 象时，会形成消逝波进入到光疏介质中，而在介质（假 设为金属介质）中又存在一定的等离子波。当两波相遇 时可能会发生共振。