ITO镀膜玻璃培训
ITO导电玻璃入门知识 ITO表面处理方法
⏹ITO導電玻璃入門知識⏹ITO表面處理方法⏹ITO玻璃技術之SiO2阻擋膜層規格ITO導電玻璃入門知識2006-5-30--------------------------------------------------------------------------------ITO導電玻璃是在鈉鈣基或矽硼基基片玻璃的基礎上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫（俗稱ITO）膜加工製作成的。
液晶顯示器專用ITO導電玻璃，還會在鍍ITO層之前，鍍上一層二氧化矽阻擋層，以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內液晶裏擴散。
高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理，以得到更均勻的顯示控制。
液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃，所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。
因此，最終的液晶顯示器都會沿浮法方向，規律的出現波紋不平整情況。
在濺鍍ITO層時，不同的靶材與玻璃間，在不同的溫度和運動方式下，所得到的ITO層會有不同的特性。
一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些，更容易出現“麻點”現象；有些廠家的玻璃ITO層會出現高蝕間隔帶，ITO層在蝕刻時，更容易出現直線放射型的缺劃或電阻偏高帶；另一些廠家的玻璃ITO層則會出現微晶溝縫。
ITO導電層的特性：ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。
在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧化錫導電能力強，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。
由於ITO具有很強的吸水性，所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳並產生化學反應而變質，俗稱“黴變”，因此在存放時要防潮。
ITO層在活性正價離子溶液中易產生離子置換反應，形成其他導電和透過率不佳的反應物質，所以在加工過程中，儘量避免長時間放在活性正價離子溶液中。
ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫過程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時會損耗一定的能量，所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高，電阻也增大。
镀膜培训教材
1.什么是镀膜玻璃？答：应用物理或化学方法在玻璃表面沉积金属或金属化合物薄膜，使玻璃表面具有一定的反射太阳能的作用。
这种沉积了薄膜的玻璃通常被称为镀膜玻璃。
2．镀膜玻璃有那几种生产方法？工程玻璃镀膜线采用的是哪种生产方法？答：蒸发沉积、离子沉积、溅射沉积。
此三种属于物理沉积。
热分解气相沉积、等离子体气相沉积皆属于化学沉积。
工程玻璃镀膜线采用的是溅射沉积法。
3．工程玻璃镀膜线生产的镀膜玻璃分为哪两大类？试将现有牌号按此两大类进行划分。
答：工程玻璃镀膜线生产的镀膜玻璃分为阳光控制膜和低辐射膜（LOW-E）两大类。
阳光控制膜有AC系列、SC系列、BD系列、TS系列等。
低辐射膜有LE系列、CE系列、LER系列、LET系列、TE系列、RE系列等。
4．请举出标准锡基LOW-E玻璃的膜层结构，并说明低辐射膜的基本作用原理和各膜层的作用。
答：GLASS/SnOx/Ag/NiCr/SnOx银是自然界中辐射率最低的物质，在玻璃上镀一层10~30纳米的金属银层，就可以使玻璃的辐射率从0.84降低至0.04-0.12,这是低辐射膜的基本作用原理—玻璃经过这种工艺处理后，其辐射热损耗可以减少90%，将其制成低辐射中空玻璃以后，热阻可以比普通中空玻璃再提高一倍以上。
SnOx在LOW-E中的作用有：a调节透反射及色，b.能比较好的结合GLASS、Ag层，提高结合强度。
C.顶层SnOx起到保护和隔离空气的作用。
NiCr起到在镀顶层SnOx时保护Ag层不被迅速氧化的作用。
5．何为第二面LOW-E和第三面LOW-E？分别有哪些系列？答：一片低辐射中空玻璃从室外到室内依次为第一到第四面，客户从室外向室内看。
由于膜层总在中空玻璃腔体内，即总在第二面或第三面。
第二面LOW-E指中空玻璃室外片为膜片，客户从室外向室内看到的是室外片的玻璃面颜色，所以在生产时需要控制的是该膜片的玻璃面颜色，即Rg、ag*、bg*。
第二面LOW-E 有CE系列、LER系列、LET系列、TE系列、RE系列等。
ITO导电玻璃入门知识 ITO表面处理方法
⏹ITO導電玻璃入門知識⏹ITO表面處理方法⏹ITO玻璃技術之SiO2阻擋膜層規格ITO導電玻璃入門知識2006-5-30--------------------------------------------------------------------------------ITO導電玻璃是在鈉鈣基或矽硼基基片玻璃的基礎上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫（俗稱ITO）膜加工製作成的。
液晶顯示器專用ITO導電玻璃，還會在鍍ITO層之前，鍍上一層二氧化矽阻擋層，以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內液晶裏擴散。
高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理，以得到更均勻的顯示控制。
液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃，所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。
因此，最終的液晶顯示器都會沿浮法方向，規律的出現波紋不平整情況。
在濺鍍ITO層時，不同的靶材與玻璃間，在不同的溫度和運動方式下，所得到的ITO層會有不同的特性。
一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些，更容易出現“麻點”現象；有些廠家的玻璃ITO層會出現高蝕間隔帶，ITO層在蝕刻時，更容易出現直線放射型的缺劃或電阻偏高帶；另一些廠家的玻璃ITO層則會出現微晶溝縫。
ITO導電層的特性：ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。
在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧化錫導電能力強，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。
由於ITO具有很強的吸水性，所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳並產生化學反應而變質，俗稱“黴變”，因此在存放時要防潮。
ITO層在活性正價離子溶液中易產生離子置換反應，形成其他導電和透過率不佳的反應物質，所以在加工過程中，儘量避免長時間放在活性正價離子溶液中。
ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫過程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時會損耗一定的能量，所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高，電阻也增大。
ITO玻璃基础知识1.0
钠钙型玻璃基本成份: 钠钙型玻璃基本成份
成份 含量
Al2O3
0.5-1.9 0.5-
CaO 7-12
Fe2O3 0-0.2
MgO 1.0-4.5 1.0-
Na2O+ K2 O 13-15 13-
SO2
0-0.3
S iO 2
70-73 705
深圳市宇顺电子有限公司
二、ITO玻璃的基本结构 玻璃的基本结构
（2）抛光工艺流程： ）抛光工艺流程：
用研磨料将玻璃表面磨平，使玻璃表面平整。对于 用研磨料将玻璃表面磨平，使玻璃表面平整。对于STN型ITO 型 玻璃是必须经过的一道生产流程
倒角后原 片抛光
清洗
检查
包装
入库
深圳市宇顺电子有限公司
13
四、ITO玻璃的生产工艺流程 玻璃的生产工艺流程
（3）镀膜工艺流程： ）镀膜工艺流程：
深圳市宇顺电子有限公司
20
五、ITO玻璃的评价参数 玻璃的评价参数
5.3.3基板垂直度 用a/L表示 如图 基板垂直度: 表示(如图 基板垂直度 表示 如图)
用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度 L
通常a/L≤0.1% Βιβλιοθήκη 常 a深圳市宇顺电子有限公司
21
五、ITO玻璃的评价参数 玻璃的评价参数
5.4化学稳定性 化学稳定性: 化学稳定性
L2 I
R=ρ×L1/(d×L2) × ×
d
L1
我公司目前使用玻璃的电阻及要求: 我公司目前使用玻璃的电阻及要求
类别(Ω/□) 类别( □ ITO阻值标准 /□) 阻值标准( 阻值标准 □ 阻值中心值(Ω/□ 阻值中心值(Ω/□) (Ω/ ≤7 5-7 6 ≤ 10 7-10 8 ≤ 15 12-14 13 ≤ 30 20-25 22 ≤ 50 40-50 45 ≤ 80 60-80 70
ITO薄膜基础必学知识点
ITO薄膜基础必学知识点
以下是ITO薄膜基础必学的知识点：
1. ITO膜的组成：ITO（Indium Tin Oxide）薄膜由铟、锡和氧组成。
2. ITO膜的制备：常用的制备方法有磁控溅射法、电弧离子镀法、溶
胶-凝胶法等。
3. ITO薄膜的特性：ITO薄膜具有良好的透明性、导电性和光学性能。
4. ITO薄膜的透明性：ITO薄膜在可见光范围内具有较高的透过率。
5. ITO薄膜的导电性：ITO薄膜的导电性主要来自于氧化铟和氧化锡
中的自由电子。
6. ITO薄膜的光学性能：ITO薄膜具有较高的折射率和较低的反射率，可用于制备具有抗反射性能的光学器件。
7. ITO薄膜的应用：ITO薄膜广泛应用于平板显示器、太阳能电池、
触摸屏、EMI屏蔽等领域。
8. ITO薄膜的缺点：ITO薄膜存在溶解性、机械性能差和成本较高等
缺点。
9. ITO薄膜的改性：为了克服ITO薄膜的缺点，可以通过掺杂其他金
属或合金、表面镀膜等方法来改善其性能。
10. ITO薄膜的未来发展：随着电子产品对透明导电膜需求的增加，ITO薄膜的研究和应用将持续发展进步。
ITO玻璃镀膜简介
ITO玻璃教育訓練教材第一章ＬＣＤ简介第二章ＩＴＯ玻璃２．１ＩＴＯ玻璃简介２．２ＩＴＯ玻璃制造流程２．３ＩＴＯ玻璃生产管理第三章切割及裂片作业说明３．１制程简介３．２治具规格说明３．３制程操作说明及制程条件设定３．４机台故障排除ˋ停电处理程序３．５质量自主检查３．６其它注意事项第四章磨边及倒角作业说明４．１制程简介４．２治具规格说明４．３制程条件４．４机台操作及故障排除４．５质量自主检查４．６其它注意事项第五章清洗作业说明５．１制程简介５．２洗净配药方法５．３制程条件５．４机台操作及故障排除５．５质量自主检查５．６其它意事项第六章抛光作业说明2.1抛光玻璃作业流程简介2.2抛光原理2.3抛光玻璃之规格第七章机台简介与制程条件设定2.1抛光机台简介2.2制程条件设说明第八章抛光五大控制因素3.1 P.P的管理3.2 Pad的管理3.3 template的管理3.4研磨剂的管理3.5振幅的管理第九章机台操作与抛光作业注意事项4.1作业前之确认事项4.2机台操作4.3抛光作业注意事项4.4破片处理程序第十章研磨剂测量及Pad修正6.1研磨剂测量6.2 Pad的修正第十一章质量检验作业程序及标准5.1抽检作业5.2质量检验作业第一章前言1.1LCD简介●ＬＣＤ：液晶屏幕显示器(Liquid Crystal Display)。
●ＬＣ：液晶，遇电场会使液晶分子从平躺状态旋转成站立情况，使光线从无法穿透变成可穿透，进而产生明暗对比的情形。
●ＬＣＤ依其扭转的程度可分为：(1)ＴＮ型(2)ＨＴＮ型(3)ＳＴＮ型，目前公司主要生产的为ＴＮ型及ＳＴＮ型ＬＣＤ。
●ＬＣＤ以图型来区分可分为：(1)七段式（适用于计算器、电子表等）(2)点矩阵式（适用于电子字典、计算机等）。
●ＬＣＤ作动的原理为：组合两片ＩＴＯ导电玻璃，之间灌入液晶，当导电玻璃通电时，上下两片图形、线路有重迭部分就会产生电场，改变液晶分子方向，即会颢示。
●玻璃基板：一般ＴＮ／ＳＴＮ显示器是使用碱石灰玻璃作为基板，即俗称的钠玻璃。
镀膜工艺技能培训
镀膜工艺技能培训资料用于建筑玻璃的镀膜玻璃一般都镀薄膜。
我们把厚度低于1um的膜层叫薄膜，厚度高于1um的膜叫厚膜镀膜工艺是用不同的材料在基片表面形成新表面的方法。
镀膜的方法很多，真空蒸发、真空溅射、化学还原、溶胶凝胶法等。
它要求膜层要有非常强的附着力，附着力不强的叫覆盖。
要获得强附着力，就必须将玻璃表面清洁干净。
镀膜前的清洁在进行镀膜前都必须将基片进行清洁，对于在线镀膜来说，这是很小的事情，但对离线镀膜来说却相当重要，而且操作起来也比较困难，对于大面积的镀膜来说，将玻璃基片完全清洁干净是不可能的，因此，如何达到镀膜所必须要求的洁净程度就变得非常重要。
要保持清洁程度足够高，如果清洁程度不够，膜层容易老化，甚至脱膜等现象。
不同用途，不同加工工艺的膜层对清洁程度要求是不一样的，对于目前我司生产的玻璃来说，Low-E玻璃要求的玻璃洁净度不如热反射玻璃高。
目前要为镀膜准备大面积的镀膜玻璃基片，主要采用的是一种湿式清洁技术，这种技术包括三部分：●松动玻璃表面的杂质●去除已经松动的、分离的杂质●干燥已经清洁的玻璃表面对于松动杂质来说，我们把这段叫预清洗，一般都使用刷洗的方法，刷洗的原理是用毛刷机械的分离玻璃表面的灰尘，再利用喷嘴把水或者其他清洁液喷到玻璃上来去除大颗粒灰尘。
在预清洗过程中，基本都使用毛比较粗的盘刷进行清洗，多个小盘刷连接在一个轴承上组成一组，一个清洗机都有多组。
在进行清洁时，盘刷本身转动，利用毛刷的弹力松动玻璃表面的杂质，同时连接轴承左右平动，保证清洁到玻璃的每个部位。
在这个部分里，一般都使用自来水。
如果玻璃基片存放时间过长，或者长时间放在潮湿的环境里，玻璃容易发霉，发霉玻璃的霉斑很难通过一般的刷洗清洁掉，往往进行抛光。
抛光使用的盘刷的刷子要粗，往往加入氧化铈或者柠檬酸在抛光水箱中。
氧化铈是一种粘性物质，可以增加盘刷和玻璃之间的摩擦力，柠檬酸可以适当分解有机物质。
使用氧化铈容易污染清洗机辊道，不容易清洁保养清洗机，一般情况下都不使用。
ITO镀膜讲义玻璃的介绍
ITO镀膜讲义玻璃的介绍ITO镀膜是一种常用的透明导电镀膜技术，通常应用在玻璃材料上。
ITO镀膜的全称为氧化铟锡薄膜（Indium Tin Oxide），是由铟、锡和氧元素组成的化合物。
它具有高透明度、低电阻、优良的导电性能和化学稳定性，因此被广泛应用于液晶显示器、触摸屏、太阳能电池等领域。
首先，ITO镀膜具有高透明度。
ITO薄膜在可见光范围内的透过率通常可达90%以上，因此不会对玻璃的透光性产生明显影响。
这使得ITO镀膜在液晶显示器等需要高透明度的应用中具有重要作用。
其次，ITO镀膜具有低电阻特性。
ITO薄膜的电阻率较低，通常为10^-4～10^-3Ω·cm，这使得ITO镀膜能够提供较好的导电性能。
在触摸屏、电子设备等应用中，低电阻的ITO镀膜能够保证电流的稳定传输，提高设备的响应速度和性能。
此外，ITO镀膜还具有优良的导电性能。
ITO薄膜的载流子浓度高，电子迁移率大，能够提供较好的导电性能。
这使得ITO镀膜在太阳能电池、光电器件等领域中能够有效传输光电信号，提高能量转换效率。
最后，ITO镀膜具有良好的化学稳定性。
ITO膜层能够抵抗氧化、腐蚀等化学侵蚀，具有较好的耐久性和稳定性。
这使得ITO镀膜能够在恶劣的环境条件下长期工作，如户外显示器、汽车玻璃等应用中。
总之，ITO镀膜是一种高透明度、低电阻、优良导电性能和化学稳定性的镀膜技术。
它广泛应用于液晶显示器、触摸屏、太阳能电池等领域，为这些领域的发展提供了重要的支持。
随着科技的不断发展，ITO镀膜技术还将不断创新和进步，为更多领域的应用带来更好的表现。
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第二讲 ITO玻璃简介
第二讲 ITO玻璃简介
ITO是一种无色透明物质，具有良好的导电性，耐碱且易被 酸刻蚀。普遍应用于LCD、TP、CF、OLED、TFT等产品。
普通ITO玻璃由三部分构成：ITO层，SiO2层，玻璃基板。
LCD用ITO玻璃
ITO层 SIO2层 玻璃基板
第一讲 TCO 简介
美国矿产局有关不同元素的世界用量及产量的数据
元素 世界产量(吨/年) 世界用量(吨/年) 剩余产量(吨/年)
Ag 15,000
13,500
1,500
Bi 8,000
4,000
4,000
Cu 10,200,000 8,000,000 2,200,000
In 200
80 to 100 100
基板分类
碱 玻 璃— 钠钙玻璃，用于TN及STN LCD。板硝子NSG，旭硝子Asahi， 中央硝子Central Glass，
硼硅玻璃—德国肖特 Schott 铝硅玻璃—无碱硅酸铝玻璃，主要用于TFT- LCD。美国康宁Corning
第二讲 ITO玻璃简介
识别角2*5mm
浮法方向
相同角1.5*1.5mm
识别角
① 识别浮法方向：5mm的尺 寸方向与浮法方向平行。
② 识别膜面：将2*5mm的识 别角放在左上方，正对观 察者为ITO镀膜面。
③ 通常膜面是玻璃的锡面
第二讲 ITO玻璃简介
② ITO玻璃的分类
按基板类型分
TN
STN
SSTN
TN—原片只切割磨边不抛光 STN—普通等级型抛光原片 SSTN—特殊等级型抛光原片
Sb 122,300
78,200
44,100
Sn 241,000
160,000
81,000
Zn 7,600,000 6,900,000 700,000
元素 铅(Pb)
相对 价格
1
锑(Sb) 2.2
铋(Bi) 7.1
铜(Cu) 2.5
铟(In) 194
银(Ag) 212
锡 (Sn) 6.4
锌(Zn) 1.3
第一讲 TCO 简介
其他的透明导电薄膜
❖ 金属薄膜 — 薄的金属层（10nm以内）大多数是透明导电 薄膜，但附着力差，膜层反射和吸收大，透 过率较低。
❖ 石墨烯 — 制备成本很高，价格达到每克5000元，是黄金 的十几倍。
宁波墨西科技有限公司刘兆平博士在2010年研发出了石 墨烯产业化制备技术，将石墨烯的制造成本从每克5000 元降至每克3元，2011年已开始建中试线试产。
第一讲 TCO 简介
常见的TCO薄膜 ③ ❖ FTO—掺氟二氧化锡 （SnO2：F ）
● 透明 ● 导电 ● 耐酸碱
应用范围
液晶显示、光催化、太阳能电 池、抗静电膜、电致变色等。
生产方式：化学气相沉积 (APCVD)和磁控溅射，但目前磁 控溅射法还处于研究之中。
膜层稳定性好，耐酸碱性能突出，透光性能和导电性能相对 较差。这几年已经有很大的进步。
按电阻高低分
高阻
低阻
触摸屏
高阻—面电阻大于30Ω/口 低阻—面电阻≤30Ω/口 触摸屏—400 Ω/口
第二讲 ITO玻璃简介
TN-LCD
90°
TN= Twist Nematic 扭曲向列型 扭曲角为90°
TN -LCD特点 结构简单、技术难度相对低
成本低
3-2
第二讲 ITO玻璃简介
STN-LCD
第一讲 TCO 简介
AGC/NSG的FTO玻璃性能对比
100
90
80
70
60
50
NSG
AGC
40
#REF!
3020ຫໍສະໝຸດ 100300
400
500
600
700
800
900
1000
110
第一讲 TCO 简介
常见的TCO薄膜
其他的TCO薄膜还有： ❖ CdO — 氧化镉，有中等毒性，有致癌可能性。 ❖ GZO — 氧化锌镓，与AZO类似。 ❖ ATO — 氧化锡锑，导电性是ITO的1/6左右。
● 透明 ● 导电 ● 易酸刻蚀 ● 耐碱腐蚀
应用范围
液晶显示、触摸屏、电子纸、 有机发光二极管、太阳能电池、 抗静电膜、EMI屏蔽膜、光学 镀膜、红外反射膜等。
缺点——铟在地壳中含量少：0.049 ppm （百万分之一） 全球预估铟储量仅5万吨，其中可开采的占50% 。中国是 主要产出国，保有储量为13014吨。
第二讲 ITO玻璃简介
TFT-LCD
第二讲 ITO玻璃简介
① 玻璃基板
常规产品厚度：1.1mm，0.7mm，0.6mm，0.55mm， 0.5mm 0.4mm，0.3mm
常规产品尺寸：14”*14”，14”*16”，14”*17 300*320mm，300*350mm，300*360mm 370*400，370*470，400*500
第一讲 TCO 简介
常见的TCO薄膜 ②
❖ AZO—氧化锌铝（Aluminum zinc oxide）
● 透明 ● 导电 ● 易酸、碱刻蚀
应用范围
液晶显示、触摸屏、太阳能电 池、抗静电膜、光学镀膜等。
AZO在氢等离子体中的稳定性要优于ITO，导电 性比ITO略差，红光透过率比ITO好。
AZO为中性氧化物，不耐酸碱，限制了使用范围。
导电原理： 在导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，其导 电性发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半 导体称为杂质半导体。
第一讲 TCO 简介
TCO的基本要求 ❖ 高的透过率——在可见光范围内T>80% ❖ 高的电导率——体电阻率R <10-3 Ω·cm
第一讲 TCO 简介
常见的TCO薄膜 ① ITO—氧化铟锡（Indium Tin Oxide）
180°~ 270°
STN=Super Twist Nematic 超扭曲向列型 扭曲角为180°~ 270°
黄绿模式、蓝模式、灰模式
STN -LCD特点 扭曲角度的增加，使下列性能得到改善：
显示对比度提高 显示容量增加 视角变宽
对电阻相当敏感，基片需要抛光
高容量显示要求ITO的电阻低，膜要厚
3-3
ITO镀膜玻璃培训
内容提要
❖ TCO简介 ❖ ITO玻璃简介 ❖ ITO玻璃的基本参数 ❖ ITO玻璃的生产流程 ❖ ITO玻璃的标识
第一讲 TCO简介
第一讲 TCO 简介
TCO —Transparent Conductive Oxide
透明导电氧化物，是通过物理或者化学方法制作的导电氧化 物薄膜。主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其复合多元 氧化物薄膜材料。