半导体英文术语
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是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。利用蚀刻液与铜层反应,蚀去线路板上
无尘服更换车间 附属设备和二次配管路区域 计量单位 设备异常警报 设备运行过程中报错 半导体设备真空设备 真空是指定空间内低于大气压力的气体状态 制作表格或绘制wafer表图 设备对相应物体扫描 半导体常见有光感传感器和触感感应器 检测设备加热温度的传感器 互锁设备装置
英文全拼 Chemical Vapor Deposition Physical Vapor Deposition Chemical Mechanical polishing Technical Development Department
Radio Frequency
Partition Spec PCW CW DIW Exhaust Scrubber Scrubber Exhaust Slovent Exhaust Detector Follow Flow From Inform Switch Manual Auto Automation Locd Service Card RC Split Merge Hold WAIT-ENG HOLD-ENG WAIT-MFG TEST Idle Run Single Sign off Success Fail Replace Repair Skeptical Leak LR BP VAT APC Valve Need Valve Overhaul Pump down
区分;划分 规范;范围 工艺冷却水 自来水 纯水 排风 尾气处理器 酸碱排 有机排 检测器;侦测器 遵循;跟随 流程 来自;从 通知;告知 转换;切换 手动 自动 自动化 手动操作 服务 卡片;纸牌 运行卡片 分批 合并 暂停 机台故障 机台暂停 等待制造部 测试 闲置 运行;跑货 单一;单个 签核 成功 失败；不及格 更换;置换 修复 怀疑 漏 漏率 底压 压力控制器 自动控压系统 阀门 调节阀;调速阀 大修;彻底检修 抽真空
散热制冷降温 降温冷却装置 冷却器对刻蚀机下电极循环冷却液体以达到控温要求 小型电流发电器 由射频打出的能量电流功率 可以辐射到空间的电磁频率，射频也可称射频电流 调整匹配从射频发射器打出的电流值。 延误程序作业 程序作业超时 半导体生产原料硅晶圆 机械手臂运转传送 半导体设备传送晶圆机械 手臂处理 对设备参数或配置进行更改
一般指晶圆或特定空间的污染颗粒
对某中参数或事物划分或区分澄清问题 一般机台射频所用到的冷却水纯度99.999% 一般尾气处理器所用水 部件清洗所用水或Matel腔体内水蒸气所用 纯度99.9999%
挂机状态一般由制造部挂 挂机状态一般由工程部挂 挂机状态交还制造部处理 挂机状态机台在测试 机台状态空闲 机台状态运行中
对机台进行大气抽至真空的过程
经光源作用将原始底片上的图像转移到感光底板上 机台设备零部件
对停止或暂停的使其继续或持续下去 监控制造工艺的一种方式
英文 Semiconductor Fab PM Trouble shooting CVD PVD CMP Metal Litho TD ETCH Asher Gowning room Gray area Size Alarm Error Pump Vacumm Map Mapping Sensor TC sensor Interlock Heater Cooling Cooling station Coolant Generator Power RF RF Match Delay Time out Wafer Transfer Robot Treating Adjust Control Temperature Pressure Process Defect Effect particle
Equipment Engineer Process Engineer Process Integration Engineer
Critical dimension
Special Gas Inert gas Plasma Model Abort Continue Pause Double Handle Max Min Mean Mask Highlight Again Photomask Lifter Pin Pick Station Get Put Buffter Standby install Installtion Start Use User Enable Delete Function Button Disabler Type Head Source Source power Impact Pad Acceptance testing Baseline Window CIM Index Cycle Layer
转向 完善；圆满 产品；结果；作品 产量；产物
用途 导电性能介于金属导体和绝缘体之间的物质,一般是固体,其中杂质含量和外界条件的改变都 常指半导体制造生产厂区 机台设备再规定周期做维护保养 发现异常并解决处理 是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或 指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程 使用化学腐蚀及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平坦化处理 使用金属连线使芯片具有导电性质多应用在一些金属或类似于金属的网格上面，不会显示出 光刻技术是集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传
特殊气体 惰性气体 等离子体 模式 中止计划 继续;连续 暂停；停滞 重复；双倍 操作；操控 最大值 最小值 平均值 面具；护具 强调；突出 再次；此外 光刻板 升降机 顶针 拾取；抓取 配置；安置 抓到；得到 放置于某处 缓冲区；空间 待命；准备 安顿；任命；安装 安装；装置 开始；启动 使用；功能 使用者；用户 使能够；授权 删除 功能 按钮；纽扣；按键 使启用功能丧失启用能力 类型 头；首脑 来源；根源 功率来源 影响；对...产生影响 垫，衬垫; 护具 验收测试 标准流程 窗口；眼镜 远程控制； 指数；指标 次数；循环周期 层次
充气 吹扫 慢充 快充 第一;优先 知道;察觉 不知道;未察觉 腔体 加载；装载 夹住；固定 松开 发现；侦测到 位置；安置地方 反应；回应 反馈 回复 联系；接洽 接通；开启 请求；应用 请求；要求（礼貌用语） 汇报；报告 设置；安装 仿制品；测试芯片 设备；器材 工程师 设备工程师 工艺工程师 工艺整合工程师 曝光 主机 试run 读取器 通讯；交流；传递 备件 风险；危险 危险的；不安全的 隐藏的；潜在的 关键尺寸 释放；放走 图标 暖机；测试 燃烧 点火；燃烧 熄灭；毁灭；扑灭 升降机 关闭；停止运作 消耗；耗材
Computer Integrated Manufacturing
Duction Perfection Product Products
翻译 半导体 工厂 维护保养 维修故障 化学气相沉积 物理气相沉积 化学机械平坦化 金属 光刻 技术研发部门 刻蚀 去胶 净化区 灰区 尺寸 报警 误差 泵 真空 绘制图 映射；扫描 传感器;感应器 测温传感器 互锁；连锁 加热 冷却 冷却装置 冷却液 射频发射器 能量；动力；功率 电流频率 射频匹配器 延时,延误 超时 晶圆 传送 机械手臂 处理 更改;调试 控制；支配 温度 压力 制程;工艺 缺陷;缺点 影响;效果 颗粒
百度文库
Specification Process Colling Water City Water Deionized Water
Run Card
Leak rate Base Pressure Auto Pressure control
Vent Purge Sol Vent Fast Vent First Know Unknow Chamber Loadlock Clamp Unclamp Detected Position Reaction Feedback Reply Hookup Turn on Apply Request Report Setup Dummy Equipment Engineer EE PE PIE Exposure Host Pi-run Tag reader Communication Parts Risk Dangerous Latent CD Release Chart Season Burn ignite Extinguish Lifter Shut down Consume
无尘服更换车间 附属设备和二次配管路区域 计量单位 设备异常警报 设备运行过程中报错 半导体设备真空设备 真空是指定空间内低于大气压力的气体状态 制作表格或绘制wafer表图 设备对相应物体扫描 半导体常见有光感传感器和触感感应器 检测设备加热温度的传感器 互锁设备装置
英文全拼 Chemical Vapor Deposition Physical Vapor Deposition Chemical Mechanical polishing Technical Development Department
Radio Frequency
Partition Spec PCW CW DIW Exhaust Scrubber Scrubber Exhaust Slovent Exhaust Detector Follow Flow From Inform Switch Manual Auto Automation Locd Service Card RC Split Merge Hold WAIT-ENG HOLD-ENG WAIT-MFG TEST Idle Run Single Sign off Success Fail Replace Repair Skeptical Leak LR BP VAT APC Valve Need Valve Overhaul Pump down
区分;划分 规范;范围 工艺冷却水 自来水 纯水 排风 尾气处理器 酸碱排 有机排 检测器;侦测器 遵循;跟随 流程 来自;从 通知;告知 转换;切换 手动 自动 自动化 手动操作 服务 卡片;纸牌 运行卡片 分批 合并 暂停 机台故障 机台暂停 等待制造部 测试 闲置 运行;跑货 单一;单个 签核 成功 失败；不及格 更换;置换 修复 怀疑 漏 漏率 底压 压力控制器 自动控压系统 阀门 调节阀;调速阀 大修;彻底检修 抽真空
散热制冷降温 降温冷却装置 冷却器对刻蚀机下电极循环冷却液体以达到控温要求 小型电流发电器 由射频打出的能量电流功率 可以辐射到空间的电磁频率，射频也可称射频电流 调整匹配从射频发射器打出的电流值。 延误程序作业 程序作业超时 半导体生产原料硅晶圆 机械手臂运转传送 半导体设备传送晶圆机械 手臂处理 对设备参数或配置进行更改
一般指晶圆或特定空间的污染颗粒
对某中参数或事物划分或区分澄清问题 一般机台射频所用到的冷却水纯度99.999% 一般尾气处理器所用水 部件清洗所用水或Matel腔体内水蒸气所用 纯度99.9999%
挂机状态一般由制造部挂 挂机状态一般由工程部挂 挂机状态交还制造部处理 挂机状态机台在测试 机台状态空闲 机台状态运行中
对机台进行大气抽至真空的过程
经光源作用将原始底片上的图像转移到感光底板上 机台设备零部件
对停止或暂停的使其继续或持续下去 监控制造工艺的一种方式
英文 Semiconductor Fab PM Trouble shooting CVD PVD CMP Metal Litho TD ETCH Asher Gowning room Gray area Size Alarm Error Pump Vacumm Map Mapping Sensor TC sensor Interlock Heater Cooling Cooling station Coolant Generator Power RF RF Match Delay Time out Wafer Transfer Robot Treating Adjust Control Temperature Pressure Process Defect Effect particle
Equipment Engineer Process Engineer Process Integration Engineer
Critical dimension
Special Gas Inert gas Plasma Model Abort Continue Pause Double Handle Max Min Mean Mask Highlight Again Photomask Lifter Pin Pick Station Get Put Buffter Standby install Installtion Start Use User Enable Delete Function Button Disabler Type Head Source Source power Impact Pad Acceptance testing Baseline Window CIM Index Cycle Layer
转向 完善；圆满 产品；结果；作品 产量；产物
用途 导电性能介于金属导体和绝缘体之间的物质,一般是固体,其中杂质含量和外界条件的改变都 常指半导体制造生产厂区 机台设备再规定周期做维护保养 发现异常并解决处理 是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或 指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程 使用化学腐蚀及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平坦化处理 使用金属连线使芯片具有导电性质多应用在一些金属或类似于金属的网格上面，不会显示出 光刻技术是集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传
特殊气体 惰性气体 等离子体 模式 中止计划 继续;连续 暂停；停滞 重复；双倍 操作；操控 最大值 最小值 平均值 面具；护具 强调；突出 再次；此外 光刻板 升降机 顶针 拾取；抓取 配置；安置 抓到；得到 放置于某处 缓冲区；空间 待命；准备 安顿；任命；安装 安装；装置 开始；启动 使用；功能 使用者；用户 使能够；授权 删除 功能 按钮；纽扣；按键 使启用功能丧失启用能力 类型 头；首脑 来源；根源 功率来源 影响；对...产生影响 垫，衬垫; 护具 验收测试 标准流程 窗口；眼镜 远程控制； 指数；指标 次数；循环周期 层次
充气 吹扫 慢充 快充 第一;优先 知道;察觉 不知道;未察觉 腔体 加载；装载 夹住；固定 松开 发现；侦测到 位置；安置地方 反应；回应 反馈 回复 联系；接洽 接通；开启 请求；应用 请求；要求（礼貌用语） 汇报；报告 设置；安装 仿制品；测试芯片 设备；器材 工程师 设备工程师 工艺工程师 工艺整合工程师 曝光 主机 试run 读取器 通讯；交流；传递 备件 风险；危险 危险的；不安全的 隐藏的；潜在的 关键尺寸 释放；放走 图标 暖机；测试 燃烧 点火；燃烧 熄灭；毁灭；扑灭 升降机 关闭；停止运作 消耗；耗材
Computer Integrated Manufacturing
Duction Perfection Product Products
翻译 半导体 工厂 维护保养 维修故障 化学气相沉积 物理气相沉积 化学机械平坦化 金属 光刻 技术研发部门 刻蚀 去胶 净化区 灰区 尺寸 报警 误差 泵 真空 绘制图 映射；扫描 传感器;感应器 测温传感器 互锁；连锁 加热 冷却 冷却装置 冷却液 射频发射器 能量；动力；功率 电流频率 射频匹配器 延时,延误 超时 晶圆 传送 机械手臂 处理 更改;调试 控制；支配 温度 压力 制程;工艺 缺陷;缺点 影响;效果 颗粒
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Specification Process Colling Water City Water Deionized Water
Run Card
Leak rate Base Pressure Auto Pressure control
Vent Purge Sol Vent Fast Vent First Know Unknow Chamber Loadlock Clamp Unclamp Detected Position Reaction Feedback Reply Hookup Turn on Apply Request Report Setup Dummy Equipment Engineer EE PE PIE Exposure Host Pi-run Tag reader Communication Parts Risk Dangerous Latent CD Release Chart Season Burn ignite Extinguish Lifter Shut down Consume