半导体器件寿命影响因素分析及处理方法

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半导体器件寿命计算

半导体器件寿命计算

半导体器件寿命计算半导体器件的寿命计算主要包括两个方面:物理寿命和维修寿命。

物理寿命是指半导体器件在正常工作条件下由于材料老化或磨损而失效的时间,包括器件的失效率和失效时间。

维修寿命是指半导体器件在发生故障后能够修复并继续正常工作的时间。

物理寿命的计算需要考虑半导体器件中诸多因素,如电流密度、温度、工作环境等。

常见的物理寿命计算方法有基于实验数据的经验公式方法和基于理论模型的解析计算方法。

其中,经验公式方法是通过实验和统计分析获得相关参数和关系,并在基于这些参数和关系的基础上进行寿命预测。

而解析计算方法是通过建立物理模型,考虑半导体器件的结构、材料、工艺等因素,并运用物理方程和数值计算方法进行寿命计算。

维修寿命的计算需要考虑维修的可行性和成本。

维修可行性是指半导体器件发生故障后是否可以通过修复来恢复正常工作。

成本包括修复成本和维修时间,需要考虑到人力、材料、设备等方面的投入。

维修寿命的计算可以通过对历史数据和故障分析的统计分析来进行,也可以基于可靠性工程的方法进行。

在半导体器件寿命计算中,还需要考虑到器件失效机制和失效模式的影响。

常见的半导体器件失效机制有热失效、电压应力、电流应力、尘埃污染等,失效模式包括器件失效率、失效时间、失效形态等。

通过对这些因素的分析和研究,可以有效提高半导体器件的寿命和可靠性。

半导体器件寿命计算是半导体器件设计和可靠性评估的重要环节,可以帮助设计人员评估器件的寿命和可靠性,并进行相应的改进和优化。

加强对半导体器件寿命计算的研究和应用,对于提高半导体器件的质量和可靠性,推动半导体产业的发展具有重要意义。

半导体器件中的载流子寿命及其控制原理

半导体器件中的载流子寿命及其控制原理

半导体器件中的载流子寿命及其控制原理导体中的载流子是在电场作用下,带电粒子在导体中传输电荷的负载。

对于半导体器件而言,载流子的寿命是一个非常重要的参数,对其性能和工作稳定性起着决定性的作用。

因此,了解载流子寿命及其控制原理对于半导体器件的设计和优化具有重要意义。

半导体器件中的载流子可以分为两种类型:电子和空穴。

电子是负电荷,而空穴是正电荷。

在半导体器件中,它们被施加的电场引导并控制。

载流子的寿命是指载流子在半导体器件中的平均存在时间,在其存在时间结束后,载流子会被重新组合或被捕获,以保持半导体器件的工作状态。

对于电子而言,它们存在的时间是由两个主要因素决定的:复合和漂移。

载流子复合是指电子和空穴之间的相遇和重新结合过程。

在一些半导体材料中,电子和空穴可以通过碰撞的方式相遇并重新组合,从而结束其在半导体器件中的寿命。

另一方面,载流子漂移是指电子在半导体材料中受电场力作用而移动的过程。

电子会在半导体中移动,并在一段时间后被重新组合或捕获,从而结束其寿命。

对于空穴而言,它们的寿命也由复合和漂移两个因素决定。

在一些情况下,空穴可以与电子相遇,并重新结合,从而结束其寿命。

空穴也可以通过漂移移动,而移动的过程中会与电子发生碰撞,并重新组合或被捕获。

载流子寿命可以通过控制复合和漂移过程来进行调节。

为了延长载流子的寿命,可以采取以下措施:1.精心设计和制造材料:选择合适的半导体材料和工艺,可以降低复合率和提高载流子的寿命。

2.引入掺杂物:通过在半导体材料中引入掺杂物,可以改变其电子能带结构,并减少载流子的复合。

3.应用电场:适当的电场可以加速载流子移动,并减少其与其他载流子的碰撞机会,从而延长寿命。

4.使用浅杂质能级:在半导体材料中引入浅杂质能级,可以有效地减少载流子的复合,从而延长寿命。

总之,半导体器件中的载流子寿命是一个重要的性能参数,可以通过控制复合和漂移过程来进行调节。

合理设计半导体材料和结构,选择适当的掺杂和应用电场等方法,能够有效地延长载流子的寿命,从而提升半导体器件的性能和可靠性。

半导体温度寿命曲线

半导体温度寿命曲线

半导体温度寿命曲线1. 什么是半导体温度寿命曲线半导体温度寿命曲线是指在特定的温度下,半导体器件的寿命与时间之间的关系。

它描述了半导体器件在不同温度下的可靠性和稳定性。

2. 温度对半导体器件寿命的影响温度是影响半导体器件寿命的重要因素之一。

通常情况下,提高温度会加速器件老化和损坏。

这是因为高温会增加载流子活动性和材料内部缺陷产生的速率,从而加速电迁移、热应力等现象。

3.半导体温度寿命曲线的特点•曲线形状:半导体温度寿命曲线通常呈现出一个倒U型或S型曲线。

随着温度的增加,器件寿命逐渐减少,但在某个临界点后,随着温度继续上升,器件寿命反而开始增加。

•临界点:临界点是指在该点之前,随着温度的升高,器件寿命逐渐减少;而在该点之后,随着温度的继续上升,器件寿命反而开始增加。

这是由于在低温下,器件老化和损坏主要由电迁移等因素引起;而在高温下,材料内部缺陷会被修复,从而提高了器件的可靠性。

•温度范围:半导体温度寿命曲线通常在一定的温度范围内有效。

在低于临界点的温度下,器件寿命主要受到电迁移等因素的影响;而在高于临界点的温度下,材料内部缺陷会被修复,但由于其他因素(如热应力)的影响也会导致器件寿命减少。

4. 影响半导体温度寿命的因素除了温度外,还有其他一些因素也会对半导体器件的寿命产生影响:•电流密度:较高的电流密度会加速载流子活动和材料老化速率。

•封装方式:不同封装方式对散热效果有差异,进而影响器件工作温度和寿命。

•工作环境:湿度、氧气浓度等环境因素也会对半导体器件的寿命产生影响。

•设计和制造质量:器件的设计和制造质量直接影响其可靠性和寿命。

5. 如何优化半导体器件的温度寿命为了优化半导体器件的温度寿命,可以采取以下措施:•降低工作温度:通过散热设计、提高散热效率等方式降低器件的工作温度,从而延长其寿命。

•优化封装方式:选择合适的封装方式,以提供更好的散热效果。

•控制电流密度:合理设计电路,控制电流密度在合适范围内,避免过高的载流子活动和材料老化速率。

半导体器件的寿命估算

半导体器件的寿命估算

EA
k A e RT
k——速率常数
R——摩尔气体常量
T——热力学温度
EA——为表观活化能 A——指前因子
摩尔气体常量:R=8.314510 J/(mol·K)
阿伏伽德罗常数:NA=6.022×1023
电子伏特与焦耳的换算:1eV=1e·1V≈1.602×10-19 C·V=1.602×10-¹9J
JEDEC85标准介绍
Methods for Calculating Failure Rates in Units of FITs (以菲特为单位的失效率计算方法)
案例I 估算的假设条件
无试验间断(2000小时单次读值) 失效机理未知 应力试验时施加额定电压
已知样本数和寿命试验终点测试的失效数,试验仅施加应力温度, 不对失效进行分类或分析确定失效机制,因此假定所有失效都是一 个表观激活能。
2t ss AF
式中
χC2L,2 f +—2 —χ2分布
2f+2——自由度
AF——加速因子
CL——置信度
f——失效数
t——试验时间 ss——样本数
关于置信度
例:九级元器件
置信度为60% → CL(p)=0.6 做2.02231×109(器件·小时)试验
→ t = 2.02231×109 h 允许1个样本失效
→ 自由度(ν)= 2 f + 2 = 2 × 1 + 2 = 4 查表(GB4086.2 统计分布数值表 χ2分布)得:
2 0.6,4
4.04463
GB4086.2 统计分布数值表 χ2分布
关于置信度
举例(续)
根据公式计算
λ=
χC2L,2 f +2 2t • ss • AF

半导体器件可靠性与失效分析微电子

半导体器件可靠性与失效分析微电子

半导体器件可靠性与失效分析微电子半导体器件可靠性与失效分析是微电子领域的重要课题。

半导体器件的可靠性是指在一定的使用环境和使用条件下,器件在规定时间内能够正常工作的概率。

而失效(Failure)是指器件不能在规定的时间内正常工作。

半导体器件的可靠性与失效分析旨在通过对器件的性能和可靠性进行评估和分析,找出器件失效的原因,并提出相应的改进措施,从而提高器件的可靠性。

1.可靠性评估:通过一系列实验和测试,评估器件在特定环境和使用条件下的可靠性。

常见的可靠性评估方法包括寿命测试、温度循环测试、湿度测试、可靠性建模等。

通过这些评估手段,可以得到器件的失效概率和失效的规律,进而为改进器件的设计和制造提供依据。

2.失效分析:失效分析是通过对失效的器件进行物理和电学特性分析,找出失效的原因和机制。

常见的失效分析方法包括显微镜观察、扫描电子显微镜(SEM)、能量色散X射线光谱分析(EDX)、微动电压测量、故障注入方法等。

通过失效分析可以确定故障位置和失效原因,为改进器件的设计和制造提供指导。

3.失效模式与机制研究:失效模式与机制的研究是指通过理论和实验手段,研究器件失效的模式和机制。

通过对失效模式和机制的研究,可以了解器件失效的根本原因,并提出相应的改进措施。

例如,晶体管的漏电流增加、介质击穿等都是半导体器件失效的常见模式和机制。

4.退化机制分析:半导体器件的寿命会随着使用时间的增加而发生退化,导致器件性能下降甚至失效。

退化机制分析是指通过实验和测试,研究器件在使用过程中的退化机制。

常见的退化机制包括电子迁移、电子捕捉、热失效等。

通过退化机制分析可以确定退化的原因,为延长器件寿命提供参考。

半导体器件的可靠性与失效分析对于微电子行业具有重要的意义。

高可靠性的器件可以减少电子产品的故障率,提高产品的性能和稳定性。

同时,通过对失效原因和机制的研究,可以指导器件的设计和制造,提高器件的可靠性和寿命。

因此,半导体器件的可靠性与失效分析是微电子领域一个重要的研究方向,也是推动微电子技术发展的关键之一。

少子寿命实验报告

少子寿命实验报告

一、实验目的1. 了解光电导法测试少数载流子寿命的原理。

2. 熟练掌握LTX2高频光电导少数载流子寿命测试仪的使用方法。

3. 测量非平衡载流子的寿命。

二、实验原理少子寿命是指半导体材料中少数载流子的平均生存时间。

在半导体器件中,少数载流子的寿命对器件的性能具有重要影响。

光电导衰减法是测量少数载流子寿命的一种常用方法。

其原理是在样品上施加一定频率的高频电场,使样品中的载流子产生振荡,从而产生光电导现象。

通过测量光电导衰减曲线,可以计算出少数载流子的寿命。

三、实验仪器与材料1. 仪器:LTX2高频光电导少数载流子寿命测试仪、样品测试夹具、示波器、信号发生器、频率计、稳压电源等。

2. 材料:样品(如硅单晶、锗单晶等)、光注入源、腐蚀液、钝化液等。

四、实验步骤1. 准备样品:将样品进行清洗、切割、抛光等处理,使其表面光滑、平整。

2. 设置实验参数:根据样品类型和测试要求,设置合适的测试频率、测试时间等参数。

3. 连接仪器:将样品夹具、信号发生器、示波器、频率计、稳压电源等仪器连接好,确保连接正确、牢固。

4. 光注入:使用光注入源对样品进行光注入,产生非平衡载流子。

5. 测量光电导衰减曲线:打开测试仪,记录光电导衰减曲线。

6. 数据处理:对光电导衰减曲线进行拟合,计算少数载流子的寿命。

五、实验结果与分析1. 光电导衰减曲线:实验测得的光电导衰减曲线如图1所示。

图1 光电导衰减曲线2. 少子寿命计算:根据光电导衰减曲线,拟合得到少数载流子的寿命为5.6×10^-6 s。

3. 影响因素分析:(1)样品材料:不同材料的样品,其少子寿命不同。

例如,硅单晶的少子寿命一般比锗单晶长。

(2)样品制备:样品的制备过程对少子寿命有较大影响。

如样品表面粗糙度、杂质浓度等都会影响少子寿命。

(3)光注入强度:光注入强度越大,产生的非平衡载流子越多,从而影响少子寿命。

(4)测试参数:测试频率、测试时间等参数对少子寿命的测量结果有一定影响。

带隙与载流子寿命的关系

带隙与载流子寿命的关系

带隙与载流子寿命的关系带隙是固体中能带中电子能级的差值,是材料的一个重要性质。

在半导体器件中,带隙决定了材料的导电性质和光学性质。

同时,带隙与载流子寿命之间存在着密切的关系。

本文将探讨带隙与载流子寿命之间的关系,并分析其影响因素。

一、带隙对载流子寿命的影响带隙对半导体材料的载流子寿命有着显著的影响。

带隙越大,载流子寿命越长。

这是因为带隙的大小决定了电子在固体中的能量分布情况。

当带隙较大时,能量差异较大,电子难以跃迁到较高的能级,导致载流子寿命变长。

同时,带隙的大小也决定了固体对光的吸收和发射能力。

带隙较小的材料能够吸收和发射短波长(高能量)的光,而带隙较大的材料只能吸收和发射长波长(低能量)的光。

根据普朗克关系,能量与频率成正比,而载流子的寿命与吸收或发射光的能量有直接关系。

因此,带隙越大,载流子寿命越长。

二、影响带隙与载流子寿命的因素除了带隙本身的大小外,还有其他因素会对带隙与载流子寿命的关系产生影响。

1. 杂质和缺陷:杂质和缺陷是半导体材料中常见的问题。

它们会在材料中引入额外的能级,改变带隙的分布情况,从而影响载流子的寿命。

2. 结构缺陷:材料的晶格结构缺陷也会对带隙和载流子寿命产生影响。

例如,晶格缺陷可能导致载流子的非辐射复合,从而降低载流子的寿命。

3. 温度:温度对带隙与载流子寿命的关系也有明显的影响。

在常温下,载流子的热激发速率会增加,这会导致带隙对载流子寿命的影响减弱。

4. 应力应变:应力应变可以改变材料的晶格结构,从而改变载流子的能带结构和寿命。

这种效应在纳米尺度材料中尤为显著。

总结起来,带隙决定了材料的载流子寿命,并受到诸多因素的影响。

对于半导体器件的设计和优化,了解带隙与载流子寿命的关系十分重要。

通过调控材料性质和结构,可以实现对载流子寿命的调控,从而提高器件性能。

工艺控制载流子寿命方法

工艺控制载流子寿命方法

工艺控制载流子寿命方法工艺控制是指通过合理的工艺设计和优化,以控制和延长载流子的寿命。

载流子寿命是指在特定工作条件下,载流子能够维持其活跃状态的时间。

在半导体器件中,载流子寿命的长短直接影响器件的性能和可靠性。

工艺控制载流子寿命的方法有很多,下面将介绍几种常用的方法。

1. 温度控制:温度是影响载流子寿命的重要因素之一。

高温环境会加速载流子的退化和损失,降低器件的可靠性。

因此,通过控制工艺过程中的温度,可以延长载流子的寿命。

一般来说,降低温度可以减少载流子的退化速度,但过低的温度也可能导致其他问题,如结构损坏或性能下降。

因此,需要根据具体的器件和工艺要求,合理控制温度。

2. 材料选择:材料的选择对载流子寿命也有重要影响。

不同的材料具有不同的载流子寿命特性。

例如,硅材料具有较长的载流子寿命,而硒化物材料具有较短的载流子寿命。

因此,在工艺设计中,可以根据需要选择合适的材料,以实现所需的载流子寿命。

3. 掺杂控制:掺杂是半导体器件制备过程中的关键步骤之一。

通过控制掺杂剂的浓度和分布,可以调节载流子的寿命。

一般来说,适量的掺杂可以提高载流子的寿命,但过高的掺杂可能导致材料损伤和性能下降。

因此,在工艺过程中,需要精确控制掺杂参数,以实现合适的载流子寿命。

4. 表面处理:半导体器件的表面处理也是影响载流子寿命的重要因素之一。

表面处理可以改变载流子与表面之间的相互作用,从而影响载流子的寿命。

例如,通过氮化处理可以提高载流子的寿命。

因此,在工艺设计中,可以通过合适的表面处理方法,来调节载流子的寿命。

5. 结构优化:器件的结构设计也可以影响载流子的寿命。

例如,在MOSFET器件中,通过优化栅极结构和介质层的设计,可以改善载流子的寿命。

因此,在工艺设计中,可以通过结构优化的方法,来延长载流子的寿命。

工艺控制载流子寿命的方法包括温度控制、材料选择、掺杂控制、表面处理和结构优化等。

通过合理应用这些方法,可以延长载流子的寿命,提高器件的性能和可靠性。

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半导体器件寿命影响因素分析及处理方法
摘要:随着半导体器件的广泛使用,其寿命指标受到业界普遍关注。

半导体器
件寿命的延续是一种性能退化过程,最终导致失效。

造成这种退化的原因很多,
如人为使用不当、浪涌和静电击穿等,但通过一定的预防措施和增加必要的附加
电路可以有效延长半导体器件的寿命。

关键词:半导体器件;寿命;处理办法
作为现代信息社会基础的半导体材料和器件有着相当重要的地位,半导体电
子器件本身就具有很多不错的优点,不管是在工业上,还是在电力设备当中,半
导体电子器件的应用越来越多。

可是,半导体电子器件也是存在着或多或少的不
足之处,再加上自身的特点,所以在设计使用的时候要注意。

电子元器件是产品
的最小组成部分, 其可靠性高低直接影响着在此基础上设计的产品可靠性。

尤其
是微电子技术的发展使得集成电路的可靠性愈来愈重要, 若其可靠性得不到保证,
不仅影响最终产品的可靠性, 还会影响研制进度、信誉及经济效益。

1 半导体电子器件的发展
随着科学技术的快速发展,电子器件的功能也就越来越强大了。

人类的发展
对器件的需求也推动了半导体器件的发展,而半导体的发展又带动了器件的发展。

1)真空电子管。

关于真空电子管的意思是指把电子引导进入真空的环境之中,用加在栅极上的电压去改变发射电子阴极表面附近的电场从而控制阳极电流大小,由此来把信号放大。

真空电子管的材料有钨、钼、镍、钡锶钙氧化物等等,再以
真空电子学为理论依据,利用电子管制造工艺来完成工作。

2)固体晶体管。

固体晶体管具有检波、整流、放大、开关、稳压、信号调制
等多种功能。

固体晶体管作为一种可变电流开关,能够基于输入电压控制输出电流。

与普通机械开关不同,固体晶体管利用电讯号来控制自身的开合,而且开关
速度可以非常快,实验室中的切换速度可达100GHz以上。

2 半导体器件的退化和失效
大量试验表明,半导体器件的失效随时间的统计分布规律呈浴盆状,失效期
包括早期的快速退化失效、中期的偶然失效与后期的快速损耗失效。

早期快速失
效一般是由半导体材料本身原因造成;中期偶然失效期的时域较宽,在此期间导
致半导体器件失效的原因具有一定的偶然性;后期失效概率较高,主要由各种损
耗积累与综合爆发引起。

由此可知,只要通过初期的严格筛选,同时加强质量管
理和改进生产工艺,防止偶然失效,半导体器件就能获得较长的寿命。

如图所示。

3 半导体器件寿命影响因素及预防措施
PN 结是半导体器件的核心,对电压冲击的承受能力很差,一旦被击穿,便无法产生非平
衡载流子。

在使用过程中,半导体器件的损坏多半是由浪涌或静电击穿造成的。

浪涌是一种
突发性的瞬间电信号脉冲,具有很强的随机性,一般表现为尖脉冲,脉宽很窄,但峰值较高,容易使半导体器件瞬时过压造成PN 结击穿,即使不致于一次性使半导体器件产生完全失效,但在多次浪涌的冲击下也会加速它的性能退化和最终失效。

在电路的使用过程中,出现比较
多的浪涌是开启或关断电源时抑或器件接触不良时产生的电压/ 电流冲击,以及由于电网波
动或其它大功率电器启动而产生的电压/ 电流冲击。

另外,静电也是造成PN 结损坏或击穿的
重要原因。

1)短路保护开关。

为半导体器件并联一个电阻较小的短路保护开关是一种简单的消浪涌
方法。

当需要启动半导体器件电源时,先闭合短路保护开关,让启动电源瞬间产生的浪涌经
短路保护开关放电,待电源工作稳定后,断开短路开关,稳定的电源便可正常工作于半导体
器件。

当需要关闭电源时,先闭合短路保护开关,然后断开电源开关,以避免瞬间电流浪涌
损坏半导体器件。

实践证明,该方法对消除开关驱动电源时瞬间产生的电压/ 电流浪涌冲击
是可行的。

但也存在不足,即该方法不仅给半导体器件操作员增加了一部分繁琐的工作量,
且无法消除来自外电路的浪涌所带来的影响。

2)电源软启动电路。

为解决以上不足,可采用电源软启动电路,该电路不但可以消除电
源启动/ 关闭瞬间产生的浪涌,还可以保证半导体器件两端避免突然加上阶跃电压,因为这
种上升沿很陡的电压,即使幅值很低,也会对半导体器件产生不良影响,如图。

(a)和(b)给出了有/ 无采取软启动情况下半导体器件驱动电流I 随时间t 的变化。


没有电源软启动电路的情况下接通电源开关,驱动电源会产生幅度较大的电流浪涌,随后经
过过渡过程才趋向稳定。

采用电源软启动电路之后,工作电压不会瞬间加在整个稳流电路上,而是在一定的时间内,电流从零开始逐渐上升到正常工作值。

利用RC 充电原理实现软启动
的电源电路,电路中的R1、C7、C8、Q1、Q2 为电压缓慢上升电路,电路两边增加了两个π
型滤波器电路,防止电流突变。

该软启动电路可以使得半导体器件两端的电压逐渐加上,不
会产生浪涌信号对半导体器件带来破坏。

3)数字电路中浪涌消除电路。

在很多情况下,半导体器件的管脚不是通过焊接而是直接
插入管座中,然而管脚和插座接触不良或者机械振动都会造成时通时断而产生连续多个电压
浪涌。

另外,某些功能控制开关和功率调节开关接触不良或动作瞬间也会产生连续多个电压
浪涌。

在数字电路中,这些电压浪涌幅值较低(波形表示为短脉宽的高/ 低电平"1" 和"0"),这些浪涌边沿很陡,呈高低电平交替状态,若未经处理直接将它加在半导体器件两端会影响
其寿命,同时也会给系统带来干扰。

电路中的CLNR 是触发器清零信号,K1_in 和K2_in 表示
两组带有浪涌的输入信号,K1_out 和K2_out 表示所对应的经过消浪涌后的输出信号。

电路
采用了分频采样、移位寄存和计算判断方法,采用4个D 触发器连续对输入信号K1_in 进行
移位采样,并随时钟信号的触发寄存于数组K1中。

若数组中相邻两个数据都为高电平就默
认为高电平"1",其它情况则表示低电平"0"。

用逻辑最简公式表示为:
K1_out=K11K12+K13K14+(!K11)K12K13(!K14)。

由于半导体管脚和插座接触不良或机械振
动等现象引起的连续电压浪涌扫描周期一般不超过10 ms,因此电路中采用了频率为200 Hz、周期为5 ms 的clk_200 时钟信号进行数据移位寄存。

当输入信号K1_in 在低电平输入过程中
连续出现多个脉宽小于或等于10 ms 的高电平浪涌时,输出信号K1_out 仍为低电平;当输入
信号K2_in 在高电平输入过程中连续出现多个脉度小于或等于10 ms 的低电平浪涌时,输出
信号K2_out 仍为高电平。

由此可知,该电路能很好地消除连续出现的浪涌,作为半导体器件浪涌消除电路可有效延长半导体器件寿命指标,并具有良好的抗浪涌信号干扰的能力。

另外,从信号延时来看,该电路的输入信号仅有5 ms 的时序延时,与同类的浪涌消除或抖动信号消除电路相比较,该延时较小。

随着半导体器件生产工艺日趋成熟,其应用范围已覆盖了国防、工业、科研和民用等领域,并发挥着重要的作用,因此,有必要针对它的寿命特性和延寿方法开展进一步的研究,
分析了影响半导体器件寿命的主要原因,讨论了浪涌和静电的特点及其预防措施,分别给出
了应用于模拟电路和数字电路中的电源软启动电路和连续浪涌消除电路,电路结构简单,性
能良好,值得推广。

参考文献:
[1] 路国光.基于失效机理的半导体器件寿命模型研究[J].可靠性物理与失效分析技术,2017,25(6):15-18.
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[3] 吕长志,李志国.电子元器件加速寿命试验方法的比较[J].半导体技术,2016,31(9)3.。

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