三氟碘甲烷实现量产
第3期国内简讯53
子筛型纳米炭片，
实现了多种混合气的高效分离。
炭质吸附剂因其化学性质稳定、
耐水汽、
孔隙结
构发达等特点，
被广泛应用于气体吸附分离，
微孔尺
寸是决定其分离性能的关键因素。
然而，
由于常规
炭前驱体的颗粒尺寸多在微米量级以上，
热解过程
中存在传质和传热不均勻的问题，
导致微孔尺寸难
以调控。
此外，
常见多孔炭骨架结构单元尺寸大、
孔
壁厚，
由此导致的气体分子扩散路径长、
内部微孔利
用率低等问题也亟待解决。
陆安慧教授团队基于温控相转变方法，
合成了
孔径精准可控的分子筛型纳米炭片，
这种纳米炭片
碳含量超过80%，
微孔孔径在0.
53 ~0. 58 nm范围
精准可调，
炭片厚度在30 ~65 nm精准可控。
用于
气体分离时，
纳米炭片可实现低压下对吸附质分子
的大量、
快速吸附。
在常温常压条件下，
纳米炭片对
CO"，
C"H'和C)=表现出高吸收量和选择性。
此外，
模拟真实天然气组成的动态穿透实验进
一步证实，
该多孔炭材料具有吸附量大、
选择性好、
再生容易、
耐水汽性能好的优点。
青个苹民融合I
俅uv
中<成立
2018年6 , 6日，
中国航天科技集团组建成立
我国首个军民融合氢能工程技术研发中心。
该中心
将以推动航天氢能技术军民融合发展、
推动氢能利
用领域高端技术装备研发和工程应用为目标，
为我
国氢能综合开发利用注入动力。
据了解，
新成立的氢能工程技术研发中心拥有
中国科学院院士 3名，
享受政府特殊津贴的高级专
家及学科带头人20余名，
其研究、
生产、
试验设施完
备，
并达到国际先进水平。
中心将依托航天科技集团六院所属的北京航天
动力研究所、
北京航天试验技术研究所，
围绕氢能利
用领域高端技术装备工程应用，
重点开展高效低成
本制氢储氢技术、
氢液化技术、
质子交换膜燃料电
池、
氢能装备检测和安全应用等关键技术研究，
建立
氢能产业链技术体系和标准体系，
实现氢能利用技
术在国防和民用领域广泛应用。
据介绍，
航天科技集团六院长期致力于氢能在
火箭发动机领域的研究和应用。
在氢燃烧技术领
域，
掌握了高可靠氢点火技术、
燃料供应及低温液氢
泵送和流动控制技术。
在燃料电池技术领域，
具备
百千瓦级氢氧/氢空及再生燃料电池系统研制能力。
在氢制备与储运领域，
形成了液氢大规模制备、
储存、使用和高效安全运输能力。
玉氣碘甲虼实规量产
一种名为三氟碘甲烷（CF3I)的含氟化合物，日
前在北京宇极科技发展有限公司实现量产。
三氟碘甲烷的合成、生产、纯化技术过去一直受
控于国外，北京宇极公司依托其氟化工研发团队，开
发出一条过程安全、适于工业化的生产线路。
据介绍，三氟碘甲烷具有安全性高、无毒、阻燃、
油溶性和材料相容性好等特点，可作为半导体刻蚀
气体、电气设备绝缘与灭弧气体以及替代氟氯烃的
制冷剂。此外，三氟碘甲烷还能与有机金属试剂作
用，是有机合成中引入氟代甲基的重要含氟中间体。
太规嫫鳥他藏产uv
投用
近日，烟台同业化工技术有限公司对外宣布，采
用其自主开发的HYS硫化氢合成技术建成的7000
t/a高纯硫化氢生产装置，已在新疆一家硫化工生产
厂实现平稳运行。所生产的硫化氢气体纯度达99.
.%，完全满足该厂生产二甲基二硫产品对高纯度硫
化氢的要求。
据测算，该厂采用这一新技术生产二甲基二硫
的日产量在5月底已达30.3 /实现了日产30 t的
设 标。
该公司技术负责人孙晓辉介绍，HYS硫化氢合
成技术的主要创新点是实现了高纯度硫化氢的大规
模制备。国外现有的硫化氢制备技术为无催化法，
该法单程转化率低，采用该类技术的生产装置规模
较小，一般为1000 ~ 2000 /;，最大生产规模为5000
t/a。而HYS硫化氢合成技术的硫化氢转化率'
95%，催化剂选择性'95%，装置规模可达1万/a，
投资却仅为国外同类装置的1/3。
+ HYS硫化氢合成技术的另一个创新点是解决了
设备选材及多硫化氢不易脱除等关键性技术难题。”据
孙晓辉介绍，他们在原有高纯硫(氢)化钠生产技术基
础上，通过增加产品气精制和多硫化氢脱除设施来解
决上述问题。该技术除用于二甲基二硫生产外，还可
用于蛋氨酸、聚苯硫醚、苯硫酚、巯基乙醇、巯基乙酸、
高纯硫(氢)化钠等精细硫化工产品的生产。
HYS硫化氢合成技术是直接利用氢气或含氢
材料和硫黄发生反应制备硫化氢，氢气来源广泛，可
以是甲醇/液氨裂解制氢、天然气蒸汽转化制氢、电
解制氢、焦炉煤气制氢、
煤及碳质材料制合成气等。
201107江苏三美化工有限公司年产6万吨ODS替代品、5万吨无水氟化氢、1万吨高纯电子级氢氟酸等项目审批公示
江苏三美化工有限公司年产6万吨ODS替代品(包括年产1万吨HFC-32二氟甲烷、1万吨HFC-125五氟乙烷、1万吨HCF-143a三氟乙烷、2万吨HFC-134四氟乙烷及1万吨HFC-245五氟丙烷)、5万吨无水氟化氢、1万吨高纯电子级氢氟酸、3万吨偏二氯乙烯、3万吨三氯乙烯、0.5万吨聚偏二氟乙烯树脂；联产19万吨石膏、17万吨盐酸、0.55万吨40%氢氟酸、0.6万吨氟硅酸、0.1万吨四氯乙烯及850吨六氟丙烯项目
审批公示
我局于2011年7月18日受理了江苏三美化工有限公司年产6万吨ODS替代品(包括年产1万吨二氟甲烷、1万吨五氟乙烷、1万吨三氟乙烷、2万吨四氟乙烷及1万吨五氟丙烷)、5万吨无水氟化氢、1万吨高纯电子级氢氟酸、3万吨偏二氯乙烯、3万吨三氯乙烯、0.5万吨聚偏二氟乙烯树脂；联产19万吨石膏、17万吨盐酸、0.55万吨40%氢氟酸、0.6万吨氟硅酸、0.1万吨四氯乙烯及850吨六氟丙烯项目环境影响评价文件许可申请材料，根据《环境影响评价法》、《行政许可法》、《环境影响评价公众参与暂行办法》的有关规定，现将有关内容公告如下：
建设项目名称：江苏三美化工有限公司年产6万吨ODS替代品(包括年产1万吨二氟甲烷、1万吨五氟乙烷、1万吨三氟乙烷、2万吨四氟乙烷及1万吨五氟丙烷)、5万吨无水氟化氢、1万吨高纯电子级氢氟酸、3万吨偏二氯乙烯、3万吨三氯乙烯、0.5万吨聚偏二氟乙烯树脂；联产19万吨石膏、17万吨盐酸、0.55万吨40%氢氟酸、0.6万吨氟硅酸、0.1万吨四氯乙烯及850吨六氟丙烯
建设地点：江苏省如东沿海经济开发区高科技产业园二期内
（一）主体工程及产品方案
序号 工程名称（车间、生产装置或生产线） 产品名称及规格 产品
代号 设计
能力
（t/a） 使用
说明 最终产品（t/a）
一、主产品
1 无水氟化氢生产线 无水氟化氢 AHF 50000 全自用，尚需外购1229t 0
三氟甲烷刻蚀二氧化硅反应方程式
三氟甲烷刻蚀二氧化硅反应方程式
引言
刻蚀是一种常用的工艺，用于制造微电子器件和集成电路。在刻蚀过程中，化学气相刻蚀（CVD）是一种常见的方法。三氟甲烷（CHF3）是一种常用的刻蚀气体，被广泛应用于刻蚀二氧化硅（SiO2）薄膜。本文将介绍三氟甲烷刻蚀二氧化硅的反应方程式以及相关的反应机理。
三氟甲烷（CHF3）
三氟甲烷是一种无色、无味、无毒的气体，化学式为CHF3。它是一种强氧化剂，可以与许多物质反应，包括二氧化硅。三氟甲烷具有低沸点和高化学稳定性，因此在刻蚀过程中被广泛使用。
二氧化硅（SiO2）
二氧化硅是一种常见的无机化合物，化学式为SiO2。它是一种绝缘体，具有良好的电绝缘性能和化学稳定性。二氧化硅在微电子器件和集成电路的制造中扮演着重要的角色，常用于制造衬底、栅极绝缘层等。
三氟甲烷刻蚀二氧化硅反应机理
三氟甲烷刻蚀二氧化硅的反应机理是一个复杂的过程，涉及多个中间产物和反应步骤。以下是一个简化的反应机理示意图：
1. 初始吸附：三氟甲烷分子吸附在二氧化硅表面。
2. 解离：吸附的三氟甲烷分子发生解离，生成CH2F和HF。
3. 表面扩散：CH2F和HF在二氧化硅表面扩散。
4. 反应：CH2F和HF与二氧化硅发生反应，生成氟化硅和水蒸气。
5. 脱附：氟化硅和水蒸气从表面脱附。
以上是一个简化的反应机理示意图，实际反应机理可能更为复杂，涉及更多的中间产物和反应步骤。不同的实验条件（温度、压力、气体浓度等）也会对反应机理产生影响。
三氟甲烷刻蚀二氧化硅反应方程式
根据上述反应机理，可以得到三氟甲烷刻蚀二氧化硅的反应方程式：
CHF3 + SiO2 -> SiF4 + CO2 + H2O 在反应中，三氟甲烷与二氧化硅反应生成四氟化硅（SiF4）、二氧化碳（CO2）和水（H2O）。这是一个放热反应，产物中的氟化硅可以被进一步脱附，从而实现对二氧化硅的刻蚀。
结论
三氟甲烷刻蚀二氧化硅是一种常用的刻蚀工艺，广泛应用于微电子器件和集成电路的制造。本文介绍了三氟甲烷和二氧化硅的基本性质，以及三氟甲烷刻蚀二氧化硅的反应机理和反应方程式。了解反应机理和反应方程式对于优化刻蚀工艺、提高刻蚀效率具有重要意义。
二氟甲烷 生产工艺
二氟甲烷 生产工艺
二氟甲烷，也被称为氟利昂12（Freon-12），是一种无色无臭的气体。它是一种重要的工业中间体，用于制造制冷剂、气溶胶喷雾剂和发泡剂等。
二氟甲烷的生产工艺可以分为直接氟化法和间接氟化法两种方法。
直接氟化法通过三氟甲基氯化铝作为催化剂，将甲烷或滴滴涕与氟化氢气体反应制得。具体的步骤如下：
1. 将甲烷与氯化铝反应生成三氟甲基氯化物（CH3ClF2）。
CH4 + AlCl3 → CH3ClF2
2. 将三氟甲基氯化物与氟化氢反应生成二氟甲烷。
CH3ClF2 + HF → CH2F2 + HCl
这种方法的优点是反应原料简单、反应产率高，但是需要高纯度的原料氟化氢和催化剂氯化铝。
间接氟化法是通过甲溴与三氟甲酸或三氟乙酸氟化得到二氟甲烷。具体的步骤如下：
1. 将甲溴与三氟甲酸或三氟乙酸反应生成三氟甲酸甲酯或三氟乙酸甲酯。
CH3Br + CF3COOH → CF3COOCH3
2. 将三氟甲酸甲酯或三氟乙酸甲酯与氟化氢反应生成二氟甲烷。 CF3COOCH3 + HF → CH2F2 + CF3COOH
这种方法对原料选择要求宽松，原料可以来源于一些废弃物和副产品。但是由于原料较为复杂，反应步骤较多，工艺相对较复杂。
无论是直接氟化法还是间接氟化法，得到的二氟甲烷都需要进一步进行提纯和分离，以获得符合要求的纯度。提纯的过程通常包括物理方法（如冷凝、蒸馏等）和化学方法（如反应、吸附等）。
总的来说，二氟甲烷的生产工艺主要包括直接氟化法和间接氟化法。这些方法都有其优点和局限性，生产厂家需要根据实际情况选择适合自己的方法。随着环境保护意识的提高，越来越多的制造商开始采用更环保的生产工艺，减少对环境的污染。
三美化工ODS替代项目在江苏奠基
三美化工ODS替代项目在江苏奠基
佚 名
【期刊名称】《低温与特气》
【年(卷),期】2011(29)1
【摘 要】由浙江三美化工股份有限公司投资的江苏三美化工有限公司日前在江苏省如东县洋口镇经济开发区奠基，目标是打造成为全国乃至世界上享有较高声誉的新型环保制冷剂和氟材料的先进制造基地。 该项目投资总额达12．57亿元，主要项目为年产6万tODS替代品（1万t二氟甲烷、1万t五氟乙烷、1万t三氟乙烷、2万t四氟乙烷、1万t五氟丙烷）。
【总页数】1页(P49-49)
【关键词】ODS替代品;江苏省;化工;投资总额;五氟乙烷;经济开发区;环保制冷剂;制造基地
【正文语种】中 文
【中图分类】TQ222
【相关文献】
1.江苏华昌化工新型生态肥料项目奠基 [J],
2.河北廊坊在建替代品生产基地ODS替代品项目陆续启动 [J],
3.中国履行国际环境公约对氟化工行业ODS替代品发展的影响分析 [J], 林楠峰
4.萃取精馏在ODS替代品纯化工艺中的应用进展 [J], 邵赛蓉;丁元胜
5.三美化TODS替代项目在江苏奠基 [J], 因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买
三氟碘甲烷的合成及机理
第３５卷第６期
２０１１年１２月 南京理工大学学报
Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｎａｎｊｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｖ０１．３５ Ｎｏ．６
Ｄｅｃ．２０１ｌ
三氟碘甲烷的合成及机理
李勤华，谈玲华 ，杭祖圣 ，冒爱琴 ，潘仁明
（１．南京理工大学化工学院，江苏南京２１００９４；２．南京工程学院材料工程学院，江苏南京２１１１６７）
摘 要：该文采用气相催化法以三氟甲烷（ＣＨＦ ）和碘为原料合成了三氟碘甲烷（ＣＦ Ｉ）。对产
物进行气相色谱一质谱、气相色谱、傅里叶变换红外光谱和分子量等测试，并对使用前后的催化
剂进行ＢＥＴ（Ｂｒｕｎａｕｅｒ、Ｅｍｍｅｔｔ和Ｔｅｌｌｅｒ）比表面积测试和热重分析。结果表明：反应生成ＣＦ Ｉ，
转化率达到５２．３％，选择性达到５６．２％。催化剂的比表面积和孔体积降低，分别由反应前的
７７６．８ ｍ ／ｇ和Ｏ．３８ ｃｍ ／ｇ下降到反应后的３５９．２ ｍ ／ｇ和Ｏ．１８ ｃｍ ／ｇ。反应后的催化剂在
２５０～３５０℃之间失重率达到１２ｗｔ％，说明在反应过程中催化剂表面产生积炭。根据二氟卡宾
（ＣＦ ）的歧化机理和催化剂的表面积炭现象，提出了产物ｃ Ｉ和副产物可能的形成机理。
关键词：三氟碘甲烷；合成；机理；二氟卡宾
中图分类号：０６４３．３６；ＴＱ４２６．９４ 文章编号：１００５—９８３０（２０１１）０６—０８６３—０４
Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ ａｎｄ Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｏｆ ＣＦ３ Ｉ
ＬＩ Ｑｉｎ—ｈｕａ ，ＴＡＮ Ｌｉｎｇ．ｈｕａ ’ ，ＨＡＮＧ Ｚｕ—ｓｈｅｎｇ ’ ，ＭＡＯ Ａｉ—ｑｉｎ ，ＰＡＮ Ｒｅｎ．ｍｉｎｇ
（１．Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮＵＳＴ，Ｎａｎｊｉｎｇ ２１００９４，Ｃｈｉｎａ；
２．Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｎａｎｊｉｎｇ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ ２１ １ １６７，Ｃｈｉｎａ）
三氟甲烷副产物的综合利用方案(一)
三氟甲烷副产物的综合利用方案
一、背景
三氟甲烷（CHF3）是一种无色、无味、无毒的气体，具有良好的化学稳定性和不燃性。在工业生产中，三氟甲烷主要作为制冷剂、发泡剂、清洗剂、刻蚀剂等。然而，在三氟甲烷的生产过程中，会产生大量的副产物，如一氯甲烷（CH3Cl）、二氯甲烷（CH2Cl2）、三氯甲烷（CHCl3）等。这些副产物不仅对环境造成污染，而且浪费了宝贵的资源。因此，对三氟甲烷副产物进行综合利用，具有重要的经济和环境意义。
二、工作原理
1. 利用途径
三氟甲烷副产物可以通过以下几种途径进行利用：
（1）作为有机溶剂：一氯甲烷、二氯甲烷、三氯甲烷等可以作为有机溶剂，用于涂料、油漆、油墨等行业。
（2）生产其他化学品：一氯甲烷可以作为生产硅烷、四氯化碳等化学品的原料；二氯甲烷可以作为生产氟里昂、聚碳酸酯等化学品的原料；三氯甲烷可以作为生产氯仿、四氯化碳等化学品的原料。 （3）燃料：一氯甲烷、二氯甲烷等可以作为燃料，用于锅炉、窑炉等。
2. 技术方案
（1）分离技术：采用精馏、吸附等分离技术，将三氟甲烷副产物从混合气体中分离出来。
（2）催化转化技术：采用催化转化技术，将一氯甲烷、二氯甲烷等转化为更有价值的化学品。
（3）燃烧技术：采用燃烧技术，将一氯甲烷、二氯甲烷等作为燃料使用。
3. 工艺流程
（1）分离工艺流程：混合气体→预处理→精馏→吸附→产品
（2）催化转化工艺流程：原料→催化反应→分离→产品
（3）燃烧工艺流程：原料→燃烧→热能利用→废气处理→排放
三、实施计划步骤
1. 项目规划：制定详细的项目规划，包括投资规模、建设周期、工艺流程、设备选型等。
2. 技术研发：开展技术研发工作，包括分离技术、催化转化技术、燃烧技术等。
3. 生产准备：进行生产准备工作，包括场地准备、设备安装调试、人员培训等。
4. 安装调试：对设备进行安装调试，确保设备正常运行。 5. 运行维护：对设备进行日常运行维护工作，确保设备长期稳定运行。
三氟碘甲烷
中文名：三氟碘甲烷 三氟一碘甲烷
中文别名：三氟甲基碘
英文名：Iodotrifluoromethane
别名：Trifluoromethyl Iodide
CAS：2314-97-8
分子结构
分子量：195.91
分子式：CF3I
纯度：98.5%
外观：无色无味气体
密度：2.361g/ml(-32.5℃)
凝固点：-110℃
临界压力：3.95MPa
临界温度：123.3℃
包装规格：1KG \2KG \5KG \10KG \50KG\100KG
三氟碘甲烷作为灭火剂具有灭火效率高、安全性能好、经济效用高、灭火后不留痕迹等特点，是哈龙1301优选替代品种，经NFPA的标准认证，可正式使用。在航空、航天等领域具有不可替代的作用。作为制冷剂，三氟碘甲烷不燃，具有油溶性和材料相容性很好的特点，被认为是传统氟利昂制冷剂组元的理想替代品之一。另外，三氟碘甲烷在含氟中间体、半导体蚀刻、发泡剂等其它领域也具有广泛的应用前景。
北京奥博奥科技有限公司可以批量生产
三氟碘甲烷实现量产
三氟碘甲烷实现量产
第3期国内简讯53
子筛型纳米炭片，实现了多种混合气的高效分离。
炭质吸附剂因其化学性质稳定、耐水汽、孔隙结 构发达等特点，被广泛应用于气体吸附分离，微孔尺 寸是决定其分离性能的关键因素。然而，由于常规 炭前驱体的颗粒尺寸多在微米量级以上，热解过程 中存在传质和传热不均勻的问题，导致微孔尺寸难 以调控。此外，常见多孔炭骨架结构单元尺寸大、孔 壁厚，由此导致的气体分子扩散路径长、内部微孔利 用率低等问题也亟待解决。
陆安慧教授团队基于温控相转变方法，合成了 孔径精准可控的分子筛型纳米炭片，这种纳米炭片 碳含量超过80%，微孔孔径在0.53
~0. 58 nm范围 精准可调，炭片厚度在30 ~65 nm精准可控。用于
气体分离时，纳米炭片可实现低压下对吸附质分子 的大量、快速吸附。在常温常压条件下，纳米炭片对 CO"，C"H'和C)=表现出高吸收量和选择性。
此外，模拟真实天然气组成的动态穿透实验进 一步证实，该多孔炭材料具有吸附量大、选择性好、再生容易、耐水汽性能好的优点。
青个苹民融合I俅u v中
2018年6 , 6日，中国航天科技集团组建成立 我国首个军民融合氢能工程技术研发中心。该中心 将以推动航天氢能技术军民融合发展、推动氢能利 用领域高端技术装备研发和工程应用为目标，为我 国氢能综合开发利用注入动力。
据了解，新成立的氢能工程技术研发中心拥有 中国科学院院士 3名，享受政府特殊津贴的高级专 家及学科带头人20余名，其研究、生产、试验设施完 备，并达到国际先进水平。
中心将依托航天科技集团六院所属的北京航天 动力研究所、北京航天试验技术研究所，围绕氢能利 用领域高端技术装备工程应用，重点开展高效低成 本制氢储氢技术、氢液化技术、质子交换膜燃料电 池、氢能装备检测和安全应用等关键技术研究，建立 氢能产业链技术体系和标准体系，实现氢能利用技 术在国防和民用领域广泛应用。
据介绍，航天科技集团六院长期致力于氢能在 火箭发动机领域的研究和应用。在氢燃烧技术领 域，掌握了高可靠氢点火技术、燃料供应及低温液氢 泵送和流动控制技术。在燃料电池技术领域，具备 百千瓦级氢氧/氢空及再生燃料电池系统研制能力。在氢制备与储运领域，形成了液氢大规模制备、储存、使用和高效安全运输能力。
三氟碘甲烷合成与应用进展
２０１０年第１期 刘坤峰杨会娥等・环保制冷剂ＨＦＣ一１３４ａ中含氟烯烃的脱除方法 ３３・
三氟碘甲烷合成与应用进展
吕咏梅 （中石化南化公司，江苏南京２１００４８）
摘要：三氟碘甲烷作为目前主流灭火剂、制冷剂的主要替代品，性能优越、高效环保，具有很大市场需求潜力和良好的 发展前景，介绍了三氟碘甲烷合成技术进展，同时较为详细的评述其在消防、制冷等多个领域的应用研究情况。 关键词：三氟碘甲烷；合成；应用
１ 概述
三氟碘甲烷，英文名称：Ｔｒｉｆｌｕｏｒｏｉｏｄｏｍｅｔｈａｎｅ，分
子式ＣＦ Ｉ，代号ＦＩＣ一１３１１。主要物性数据如下：相
对分子质量１９５．９，温室效应潜值（ＧＷＰ）＜５，臭氧
损耗潜值（ＯＤＰ）为零，密度为２．３６１ ｇ／ｍＬ，凝固点 １１０℃，沸点一２２℃，临界温度１２３．３℃，临界压力
３．９５ ＭＰａ。由于其优越的性能，被认为是氢氟烃、氢
氯氟烃和哈龙灭火剂的理想替代产品之一。
２合成技术
文献报道三氟碘甲烷合成工艺众多，其中已经
工业化或具有工业化前景的合成工艺主要有以下几
种。
２．１ 全氟羧酸盐热分解法
全氟羧酸盐热分解法是最早被提出具有工业化
和实用价值的合成方法，以ＣＦ３ＣＯＯＭ（Ｍ＝Ａｇ、Ｎａ、
Ｋ、Ｈｇ、Ｐｂ、Ｂａ）和Ｉ 的热分解反应。反应方程式如
下：
＾ ＣＦ３ＣＯ２Ｍ＋Ｉ２—＿＝ ＣＦ３Ｉ＋ＣＯ２＋ＭＩ
（Ｍ＝Ｎａ，Ｋ，Ａｇ，Ｐｂ等）
其中以银盐的热分解应用最广，因为以全氟羧
酸银盐热分解产率较高，可以达到８０％以上，但是
银盐价格昂贵，而且用明火加热固体反应混合物时 候，容易冲料，生产安全得不到有效的保证。
随后研究者一直试图用价格相对便宜的钠盐或
钾盐代替银盐，但是结果不是非常理想，产率一直较
低，约在４０％左右，２０世纪６Ｏ年代，Ｐａｓｋｏｖｉｃｈ等人
发现，在溶剂二甲基甲酰胺（ＤＭＦ）回流的温度下，可
以明显提高Ｃ Ｉ的产率到７０％左右。随后国内外
浅述高纯三氟甲烷的生产及应用
浅述高纯三氟甲烷的生产及应用
何双材徐娇胡欣齐海张金柯 白占旗 (浙江省化工研究院有限公司)
作为一种氟利昂替代品，三氟甲烷可用作低温(．100℃)制冷剂；也是一种有机氟化合 物的原料，用来制备灭火剂三氟碘甲烷CIF3、聚合物单体C2F4(TFE，四氟乙烯)、C3F6(HFP， 六氟丙烯)和VDF(偏氟乙烯，Cf{2=CF2)等。随着电子、微电子行业的发展，研究人员发 现高纯度的三氟甲烷可作为MOCVD工艺的清洗剂和化学离子蚀刻、等离子体化学蚀刻、反 应离子刻蚀(IBE)、反应离子束刻蚀(ⅪBE)工艺的优良蚀刻气体。目前，高纯三氟甲烷已 经是主要的氟碳类蚀刻气体，广泛用于电子和微电子行业。近年来由于全球半导体工业的发 展，高纯度三氟甲烷的需求量快速增长。
目前，国内生产高纯三氟甲烷的企业较少，一些企业处于筹划或研发阶段，主要分为两 类，一类为拥有高纯气体生产经验并以气体为主业的气体公司；另外一类是氟化工企业，他 们利用具有合成技术或副产三氟甲烷的优势进行提纯研究，希望以此为切入口进入高端含氟 气体市场。尽管国内氟化工企业拥有原料优势，但由于5N以上高纯气体与工业级气体的生 产技术有着很大的区别，国产三氟甲烷纯度与进口产品还有一定差距，因此国内电子级三氟 甲烷几乎全部来自于外资气体公司。世界上具有生产能力的厂家主要集中在欧美、日韩等国 家，主要生产商有空气产品及化学公司、液化空气公司、普莱克斯、关东电化、林德等。 1三氟甲烷的性质与制备 三氟甲烷又称三氟甲、氟仿、氟利昂一23、HFc一23灭火剂，分子式为cHF3，英文名称： trinuoroInethane，相对分子量70．0138，熔点．155℃，沸点．84℃，饱和蒸汽压2．5 MPa(20℃)， 临界温度25．7℃，临界压力4．84 MPa。常温常压下，是无色、无味、无臭、不易燃、微溶于 水、能溶于大部分有机溶剂的液化气体。
由于碳一氟键的稳定性，决定了三氟甲烷具有较高的热稳定性、化学性质不活泼、低毒、 不易燃烧等性质。三氟甲烷可与易燃气体混合燃烧并分解生成有毒氟化物；通常情况下三氟 甲烷不和水发生化学反应：在170℃以上温度，三氟甲烷可以与三氧化二氮反应；温度100℃ 时，能与氟化亚硝酰(NOF)反应；三氟甲烷不发生光化学溴化反应，可以发生光化学氯化 反应，但反应非常缓慢。