质量流量传感器英文
E+H质量流量计培训Promass
Endress+Hauser – 质量流量计Proline Promass 培训
f
E+H China Slide 8
R
1 = ⋅ 2π
c m
2011-6-27
Endress+Hauser – 质量流量计Proline Promass 培训
测量原理 – 质量流量计中的密度测量
E+H流量生产中心 基础知识 测量原理 产品系列 特殊功能 安装 计量交接
mt
1 c ⋅ 2π mfl + mt mfl = V ⋅ ρfl fR =
应用场合： • 低压气体 (e.g. 天然气, 空气，氮气等) • LPG液化石油气 (e.g. 丁烷, 丙烷) • 燃料油和汽，柴油 • 果汁 • 菜油, 动物油脂 • 酒精 • 清洁剂和溶剂 • 乳胶，硅胶 • 苯，甲苯 “适合几乎所有的应用场合!”
E+H China Slide 21
2011-6-27
E+H流量生产中心 基础知识 测量原理 产品系列 特殊功能 安装 计量交接 应用业绩
弹性系数: 20 N/m 振幅: 10 cm
弹性系数: 20 N/m 振幅: 10 cm
质量: 1 kg
质量: 10 kg
谐振周期: 1.40 s
最大速度: 2.00 m/s
谐振周期: 4.44 s
最大速度: 0.20 m/s
•S-DAT™, T-DAT™, F-CHIP™
2011-6-27
Endress+Hauser – 质量流量计Proline Promass 培训
产品系列 - Promass 83: 显示和操作
E+H流量生产中心 基础知识 测量原理 产品系列 特殊功能
汽车行业的英文缩写(中文含义)对应表
汽车行业的英文缩写（中文含义）对应表 APQP 产品先期质量策划 Quattro-全时四轮驱动系统 Tiptronic-轻触子-自动变速器Multitronic-多极子-无级自动变速器 ABC-车身主动控制系统 DSC-车身稳定控制系统 VSC-车身稳定控制系统 TRC-牵引力控制系统 TCS-牵引力控制系统 ABS-防抱死制动系统 ASR-加速防滑系统 BAS-制动辅助系统 DCS-车身动态控制系统 EBA-紧急制动辅助系统 EBD-电子制动力分配系统 EDS-电子差速锁ESP-电子稳定程序系统 HBA-液压刹车辅助系统 HDC-坡道控制系统 HAC-坡道起车控制系统 DAC-下坡行车辅助控制系统 A-TRC--车身主动循迹控制系统 SRS-双安全气囊 SAHR-主动性头枕GPS-车载卫星定位导航系统 i-Drive--智能集成化操作系统 Dynamic.Drive-主动式稳定杆 R-直列多缸排列发动机 V-V 型汽缸排列发动机B-水平对置式排列多缸发动机 WA-汪克尔转子发动机 W-W 型汽缸排列发动机 Fi-前置发动机（纵向） Fq-前置发动机（横向） Mi-中置发动机（纵向） Mq-中置发动机（横向） Hi-后置发动机（纵向） Hq-后置发动机（横向） OHV-顶置气门，侧置凸轮轴 OHC-顶置气门，上置凸轮轴 DOHC-顶置气门，双上置凸轮轴 CVTC-连续可变气门正时机构 VVT-i--气门正时机构Un Re gi st er edVVTL-i--气门正时机构 V-化油器ES-单点喷射汽油发动机 EM-多点喷射汽油发动机SDi-自然吸气式超柴油发动机 TDi-Turbo 直喷式柴油发动机 ED-缸内直喷式汽油发动机 PD-泵喷嘴D-柴油发动机（共轨） DD-缸内直喷式柴油发动机 TA-Turbo（涡轮增压） NOS-氧化氮气增压系统 MA-机械增压 FF-前轮驱动 FR-后轮驱动 Ap-恒时全轮驱动 Az-接通式全轮驱动 ASM 动态稳定系统 AYC 主动偏行系统 ST-无级自动变速器 AS-转向臂 QL-横向摆臂 DQL-双横向摆臂 LL-纵向摆臂 SL-斜置摆臂 ML-多导向轴 SA-整体式车桥DD-德迪戎式独立悬架后桥 VL-复合稳定杆式悬架后桥 FB-弹性支柱DB-减震器支柱 BF-钢板弹簧悬挂 SF-螺旋弹簧悬挂 DS-扭力杆GF-橡胶弹簧悬挂 LF-空气弹簧悬挂 HP-液气悬架阻尼 HF-液压悬架 QS-横向稳定杆 S-盘式制动Si-内通风盘式制动 T-鼓式制动Un Re gi st er edSFI-连续多点燃油喷射发动机 FSI-直喷式汽油发动机 PCM - 动力控制模块~ EGR -废气循环再利用 BCM - 车身控制模块~ ICM - 点火控制模块~ MAP - 空气流量计 ST-无级自动变速器FF-“前置引擎前轮驱动” FR-“前置引擎后轮驱动” RR-“后置引擎后轮驱动”AAE American Association of Engineers 美国工程师协会 AB air bag 安全气囊ABS anti-lock brake system 防抱死制动系统 AC alternating current 交流电 air conditioner 空调器 automobile club 汽车俱乐部ADL automatic door clock 自动门锁AEC automobile emission control 汽车排放控制AIME American institute of mechanical engineers 美国机械工程师协会 AIAE American institute of automobile engineers 美国汽车工程师协会 A/M automatic/manual 自动/手动AMT automatic machincal transmission 机械式自动变速器 APC automatic performance control 爆震自动控制系统 ASC anti-slip control 驱动防滑控制系统 AT automatic transmission 自动变速器 ATA anti-thief alarm 防盗报警ATC automatic temperature control 自动温度控制 ATS anti-thief system 防盗系统 AWD all-wheel drive 全轮驱动AWS all-wheel steering 全轮转向 BWI body in white 白车身CAD computer-aided design 计算机辅助设计 CAM computer-aided management 计算机辅助设计 CAN controller area network 控制器区域网络 CCS cruise control system 巡航控制系统 CNG compressed natural gas 压缩天然气CIM computer-integrated manufacturing system 计算机集成制造系统 CVT continuously variable (belt) transmission （带式）无级变速器 CR-V comfortable recreational vehicle(本田)舒适休闲车 DC drag coefficient 风阻系数 digital control 数字控制l direct current 直流电Un Re gi st er edDCI direct cylinder injection 直接喷入汽缸 DCS deceleration control system 减速控制系统DEFI digital electronic fuel injection 数字式电子控制燃油喷射 D-EFI 压力计量空气流量的电控燃油系统 DFI digital fuel injection 数字式燃油喷射 Direct fuel injection 直接燃油喷射 DCM diagnostic control mode 诊断控制模块 DI direct injection 直接喷射 DI diesel engine 直喷式柴油发动机 DI gasoline engine 直喷式汽油发动机 DOHC double overhead camshaft 双顶置凸轮轴 DPB dual power brake 双回路助力制动 DTC diagnostic trouble code 诊断故障码EAT electronic automatic transmission 电控自动变速器 EAS electronic (control) air suspension 电子控制空气悬架 EBS electronic brake system 电子制动系EBTC electronic brake and traction control 制动和牵引力电子控制 ECD electronic control diesel 电子控制柴油机 ECI electronic control injection 电子控制喷射ECI-turbo electronic control injection turbo 电子控制燃油喷射涡轮增压发动机 ECS Engine Control System 发动机控制系统Electronic control suspension 电子控制悬架 Electronic Control System 电子控制系统 ECU electronic control unit 电子控制模块EFI electronic fuel injection 电子控制燃油喷射 EGR exhaust-gas recirculation 废气再循环EHPS electronic hydrostatic power steering 电子液压蛀力转向 EHV electric and hybrid vehicle 电动和混合动力汽车ECVT eletro-continuously variable (belt) transmission 电子控制（带式）无级变速器EGI electronic gasoline injection 电子汽油喷射 EPI electronic petrol injection 电子汽油喷射 ESC electronic spark control 电子点火控制electric suspension control system 电子控制悬架电子控制悬架 ESP electronic stability program 电子稳定程序ESCS electronic suspension control system 电子悬架控制系统 ETC electronic traction control 电子牵引力控制装置 ETS exhaust-gas-turbo-supercharger 废气涡轮增压器 Euro 2 欧洲第二阶段排放限制标准EEC European economic community 欧共体ETCC European touring car championship 欧洲房（旅游、高性能）车锦标赛 F1 Formula 1 一级方程式（汽车赛）FES Federal emission standard (美)联邦排放标准 FF front front（发动机）前置前驱动Un Re gi st er edFMS flexible manufacturing system 柔性制造系统 FR front rear（发动机）前置后驱动 FWD four wheel drive 四轮驱动 Front wheel drive 前轮驱动 FWS four-wheel steering 四轮转向GT grand touring(轿车分类)高性能类，房车类，旅游类 GTCC German touring car championship 德国房车冠军赛 GPS global positioning system 全球卫星定位系统 HTV hybrid test vehicle 混合动力试验车HUD head up display 抬头显示，前窗玻璃映像显示 HV hybrid vehicle 混合动力车 HC hydrocarbon 碳氢化合物ICE internal combustion engine 内燃机 ICS intercooler system 中冷系统IDI indirect fuel injection 间接燃油喷射IEEE institute of electrical and electronics engineers（美）电气与电子工程师学会IFS independent front suspension 前轮独立悬架 INFLATABLE RESTRAINT （仪表板字符）安全气囊指示灯ISO international standard organization 国际标准化组织 LAN local area network 局域网LCD liquid crystal display 液晶显示 LNG liquefied natural gas 液化天然气 LPG liquefied petroleum gas 液化石油气 LMG liquefied mathane gas 液化甲烷气 MAN manual 手动的MT manual transmission 手动变速器MIL malfunction indicator lamp 故障指示灯 MPFI multi port fuel injection 多点燃油喷射 MPI multi point injection 多点喷射 MPV multipurpose vehicle 多用途车NCAP new car assessment program 新型汽车鉴定程序 NG netural gas 天然气NOX nitrogen oxide 氮氧化和物OBD system on-board diagnostic system 车载诊断装置 PCV positive crankcase ventilation 曲轴箱强制通风 PS power steering 动力转向PUC pickup car 客货两用小汽车，皮卡 PU foam polyurethane foam 聚氨酯泡沫塑料 PVC polyvinyl chloride 聚氯乙烯RC engine rotary combustion engine 转子发动机 RR rear rear（发动机）后置后驱动 RV recreational vehicle 休闲车 RWD rear-wheel drive 后轮驱动Un Re gi st er edSAE society of automotive engineers,Inc. （美）汽车工程师学会 SAMT semi-automatical transmission 半自动机械式变速器 SFI sequential fuel injection 顺序式燃油喷射SEPFI sequential electronic port fuel injection 顺序电子燃油喷射 SLV sport luxury vehicle 运动型豪华多用途车 SLS sport luxury sedan 运动型豪华轿车 ST sport touring car 运动型旅行车SUV sport utility vehicle 运动型多用途车 SRD spin resistant differential 防滑差速器SRS supplemental restraint system 辅助约束装置（又称安全气囊） SRT street racing technology 公路赛车技术TBI throttle body fuel injection 节气门体燃油喷射 TC technical center 技术中心 Traffic control 交通控制 Turbo charger 涡轮增压器Turbocharged coupe 涡轮增压双门跑车TCC transaxle converter clutch 变矩器离合器，变速驱动桥 TCCS Toyota computer controlled system 丰田计算机控制系统 TCS traction control system 牵引力控制系统 TD turbo diesel 涡轮增压柴油机 TDI turbo-DI 涡轮增压柴油机TFT thin film transistor 薄膜液晶管TUV Toyota universal vehicle 丰田多用途车T-VIS Toyota variable induction system 丰田可变进气系统 TWC three-way catalyst 三元催化转换器 TWD two-wheel drive 两轮驱动UTCS urban traffic control system 城市公交管理系统 VSC vehicle speed control 车辆速度控制Vehicle stability control 车辆稳定控制装置VTSS vehicle theft security system 车辆防盗安全系统 VIVT variable inlet-valve timing 可变进气门正时V-TCS viscous traction control system 粘性牵引力控制系统 ABSanti-lock brake system 防抱死制动系统 ASRacceleration slip regulation 加速防滑转调节（控制）系统AT（ATM）automatic transmission 自动变速器Un Re gi st er edABVair bypass valve 旁通空气阀 CCScruise control switch（system） 巡航控制开关（系统） CDMchassis dynamometer 底盘测功仪 CKPcrankshaft position 曲轴位置 CMPcamshaft position sensor 凸轮轴位置传感器 CCMcentral control module 中央控制模块 EBDelectronic brake（force）distribution 电子控制的制动力分配（系统） ECMengine control module 发动机控制模块ECTSengine coolant temperature 发动机冷却液温度传感器 ECUelectronic control unit 电子控制单元 EGRexhaust gas recirculation 废气再循环Un Re gi st er edEFIelectronic fuel injection 电子控制燃油喷射 EPIelectronic petrol injection 电子控制汽油喷射EVAPevaporative emission control system 燃油蒸发排放控制系统 ESPelectronic stability program 电控稳定系统EVAP-CPCSEVAP-canister purge control solenoid EVAP 碳罐净化控制电磁阀EVAP-TPCVEVAP-tank pressure control valve EVAP 油箱压力控制阀 FPRfuel pump relay 燃油泵继电器HO2Sheated oxygen sensor 加热型氧传感器 IACidle air control 怠速空气控制 IDLidle throttle position sensor 怠速节气门位置传感器 IGTignitor（primary frigger） 点火装置（初级触发器）Un Re gi st er edISCidle speed control 怠速控制 IATintake air temperature 进气温度 KNKknock sensor 爆震传感器 MAFmass air flow 质量空气流量 MAPmanifold absolute pressure 进气歧管绝对压力 MATmanifold air temperature 进气歧管空气温度 MFImultiport fuel injection 多点燃油喷射 PCVpositive crankcase ventilation 曲轴箱强制通风 PFIport fuel injected（system）进气道燃油喷射系统（即多点喷射） PSPpower steering pressure 动力转向压力 P/Spower steering 动力转向Un Re gi st er edSPDvehicle speed sensor 车速传感器 SIRsupplemental inflatable restraint 辅助充气式气囊保护（约束）装置 TCStraction control system 牵引力控制系统TP（TPS）throttle position （sensor） 节气门位置（传感器） TVVthermal vacuum valve 热力真空阀 THAintake air temperature sensor 进气温度传感器 THWcoolant temperature sensor 冷却水温度传感器 TBIthrottle body fuel injection 节气门体燃油喷射（单点喷射） TWCthree way catalyst converter 三元催化转换器 VSVvacuum solenoid valve 真空电磁阀 VCVvaccum control valve 真空控制阀Un Re gi st er edVTAthrottle position sensor 节气门位置传感器 VSSvehicle speed sensor 车速传感器变速器M（Manual）：手动变速器A（Automatic）：自动变速器A4：四速自动变速器发动机LLengtn：气缸排列法，代表直列。
流量传感器
流量传感器1. 简介流量传感器是一种用于测量流体流动速度的装置。
它广泛应用于工业控制、环境监测、智能家居等领域。
流量传感器通过测量流体通过的体积或质量，并转化为电信号，从而实现对流量的监测和控制。
2. 工作原理流量传感器的工作原理主要分为以下几种：2.1 堵塞型流量传感器堵塞型流量传感器通过测量流体通过的压差来确定流速。
它由一个管道和一个压差传感器组成。
当流体通过管道时，会产生一定的压差。
压差传感器测量这个压差，并将其转化为与流速成比例的电信号。
2.2 旋转翅片流量传感器旋转翅片流量传感器是一种机械式流量传感器。
它由一个转子和一个磁感应器组成。
当流体通过转子时，转子会旋转，磁感应器检测转子的旋转速度，并将其转化为与流速成比例的电信号。
2.3 电磁式流量传感器电磁式流量传感器利用法拉第电磁感应定律测量流体的速度。
它由一个电磁流体管和一个电磁感应器组成。
当流体通过电磁流体管时，会产生一个交变的电磁场。
电磁感应器测量这个电磁场的强度，并将其转化为与流速成比例的电信号。
3. 应用领域流量传感器广泛应用于以下领域：•工业控制：流量传感器用于监测和控制工业生产中的液体或气体流量，确保生产过程的稳定性和安全性。
•环境监测：流量传感器可以用于监测废水、气体排放等环境参数，帮助保护环境和预防环境污染。
•智能家居：流量传感器可以应用于智能家居系统中，用于监测和控制自来水、煤气等资源的使用，实现节能和智能化管理。
•汽车工业：流量传感器在汽车领域可以用于测量燃油、空气等的流量，帮助优化汽车引擎的性能和燃油经济性。
4. 优点和缺点4.1 优点•准确性高：流量传感器可以实时监测流体的流动速度，并提供准确的测量值。
•可靠性强：流量传感器采用先进的技术和材料制造，具有较高的可靠性和耐用性。
•安装方便：流量传感器通常可以直接安装在管道上，安装简单方便。
•高度可定制：流量传感器可以根据不同的应用需求进行定制，灵活性强。
4.2 缺点•价格较高：流量传感器的制造成本较高，价格相对较贵。
流量传感器质量标准
流量传感器质量标准流量传感器是一种用于测量流体流量的装置，广泛应用于石油、化工、冶金、科研等领域。
其质量标准对于确保测量的准确性和可靠性至关重要。
以下是流量传感器质量标准的详细内容：1. 流量传感器的定义和分类流量传感器是一种将流体流量转换为电信号的装置，根据测量原理不同，可以分为涡轮流量传感器、电磁流量传感器、超声流量传感器、质量流量传感器等。
2. 流量传感器的质量标准（1）准确性：流量传感器的准确性是指其测量结果与真实值之间的偏差。
高质量的流量传感器应具有高准确性，其测量结果与真实值之间的偏差应尽量小。
（2）重复性：流量传感器的重复性是指其在相同条件下进行多次测量时，测量结果的一致性。
高质量的流量传感器应具有高重复性，多次测量结果之间的差异应尽量小。
（3）稳定性：流量传感器的稳定性是指其在长时间使用过程中，测量性能的保持程度。
高质量的流量传感器应具有高稳定性，长时间使用后，其测量性能应保持不变。
（4）抗干扰性：流量传感器在使用过程中，可能会受到各种外部干扰，如温度、压力、电磁干扰等。
高质量的流量传感器应具有较好的抗干扰性，能够在各种干扰下保持准确的测量结果。
（5）防护等级：流量传感器应根据使用环境的不同，具有相应的防护等级。
例如，对于潮湿环境，流量传感器应具有防潮功能；对于腐蚀性气体环境，流量传感器应具有防腐功能。
3. 流量传感器的质量检验流量传感器的质量检验主要包括以下几个方面：（1）外观检查：检查流量传感器的外观，包括壳体、连接件、显示仪表等，应无损坏、变形、漏液等现象。
（2）电气性能检查：检查流量传感器的电气性能，包括电源电压、电流、输出信号等，应符合产品说明书的要求。
（3）静态性能检查：在无流体流动的情况下，检查流量传感器的输出信号，应为零或规定的常数。
（4）动态性能检查：在流体流动的情况下，检查流量传感器的输出信号，应与流体流量呈线性关系。
（5）稳定性检查：在长时间使用过程中，检查流量传感器的测量性能，应保持不变。
流量计CAD符号
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流量检测元件的通用符号
差压式指示流量计法兰或角接取压孔板 法兰或角接取压测试接头，
不带孔板
4 5 6
理论取压孔板 理论取压、径距取压或管道取压孔板，差压式流量变送器 径距取压测试接头不带孔板
7 8 9
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快速更换装置中的孔板 皮托管或文丘里皮托管 文丘里管
10 11 12
均速管 峡槽 堰
13 14 15
涡轮或旋翼式流量计 转子流量计 位移式，流量积算指示器
16 17 18
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流量控制器 超声波流量计 旋涡传感器
19 20 21
靶式传感器 流量喷嘴 电磁流量计
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MF-质量流量计
EMF-电磁流量计
IFO-内藏孔板
VOT-旋涡传感器
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质量流量传感器 原理
质量流量传感器原理质量流量传感器是一种用于测量液体或气体流动质量的设备。
它通过测量流经管道的流体的质量来确定流量。
质量流量传感器的原理基于质量守恒定律和热力学原理。
我们需要了解质量守恒定律。
根据质量守恒定律，流经管道的质量流量等于流体密度乘以流体速度乘以管道的横截面积。
因此，我们可以通过测量流体的质量和速度来计算质量流量。
质量流量传感器利用热力学原理来测量流体质量。
热力学原理指出，在恒定的温度下，流体的热容量与其质量成正比。
因此，通过测量流体的温度变化，我们可以推断出流体的质量。
基于上述原理，质量流量传感器通常采用热物理或热电传感器来测量流体的温度变化。
其中，热物理传感器通过加热元件和温度传感器来测量流体的温度变化。
当流体流过传感器时，加热元件将向流体传输热量，而温度传感器将测量流体的温度变化。
根据流体的热容量与质量的关系，我们可以计算出流体的质量。
另一种常见的质量流量传感器是热电传感器。
热电传感器利用热电阻或热电偶来测量流体的温度变化。
当流体流过传感器时，热电阻或热电偶将感知到流体的温度变化，并产生相应的电信号。
通过测量电信号的变化，我们可以得出流体的质量。
除了热物理和热电传感器，质量流量传感器还可以采用其他原理，如压差传感器、振荡管传感器、声速传感器等。
这些传感器利用不同的物理特性来测量流体的质量。
总结起来，质量流量传感器是一种用于测量液体或气体质量流量的设备。
它通过测量流体的质量和速度、温度变化等参数来计算流体的质量流量。
根据测量原理的不同，质量流量传感器可以采用热物理、热电、压差、振荡管、声速等传感器来实现。
这些传感器在工业生产、环境监测、流体控制等领域具有重要的应用价值。
通过准确测量流体的质量流量，我们可以实现对流体流动的有效控制和管理。
质量流量计结构和原理
质量流量计结构和原理质量流量计是一种用于测量流体质量流量的仪器，它在工业生产和科学研究中有着广泛的应用。
质量流量计的结构和原理对于了解其工作原理和性能具有重要意义。
本文将介绍质量流量计的结构和原理，帮助读者更好地理解这一仪器。
质量流量计的结构主要包括传感器、转换器和显示器三个部分。
传感器是质量流量计的核心部件，它通过测量流体的动态参数来实现质量流量的测量。
传感器通常采用热敏电阻、热电偶或压电晶体等元件，通过测量流体温度、压力或速度等参数来实现对流体质量流量的测量。
转换器是用于处理传感器输出信号的部件，它将传感器输出的信号转换为标准的电信号，并进行放大、滤波和线性化处理，以便于后续的数据处理和显示。
显示器则是用于显示质量流量计测量结果的部件，通常采用数字显示或模拟指针显示的形式，直观地展示流体的质量流量数值。
质量流量计的原理是基于热物理学和流体力学原理的。
在热物理学原理下，质量流量计利用传感器测量流体温度的变化来计算流体的质量流量。
当流体通过传感器时，传感器受热后温度会发生变化，根据流体的传热特性和热量平衡原理，可以计算出流体的质量流量。
在流体力学原理下，质量流量计利用传感器测量流体速度和压力的变化来计算流体的质量流量。
根据质量守恒和动量守恒原理，可以通过测量流体速度和压力的变化来计算流体的质量流量。
总的来说，质量流量计的结构和原理是相辅相成的，传感器通过测量流体的动态参数来实现对流体质量流量的测量，转换器将传感器输出的信号转换为标准的电信号，并进行处理，显示器用于直观地展示流体的质量流量数值。
而质量流量计的原理则是基于热物理学和流体力学原理的，利用传感器测量流体的温度、速度和压力等参数来计算流体的质量流量。
通过本文的介绍，相信读者对质量流量计的结构和原理有了更清晰的认识，这对于正确使用和维护质量流量计具有重要意义。
在实际应用中，需要根据具体的流体性质和测量要求选择合适的质量流量计，并严格按照使用说明进行操作，以确保测量结果的准确性和可靠性。
mems热式质量流量计工作原理
MEMS热式质量流量计是一种常用于测量气体流量的仪器，其工作原理基于MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微电子机械系统）技术和热物理学原理。
这种流量计具有精度高、响应速度快、体积小等特点，广泛应用于工业和科研领域。
下面将从结构特点、工作原理和应用领域等方面介绍MEMS热式质量流量计的工作原理。
一、结构特点1.微型化结构MEMS热式质量流量计主要由微加工技术制作而成，整体结构非常微小。
其尺寸通常在毫米级别，因此具有体积小、重量轻的特点。
2.热敏传感器流量计的核心部件是热敏传感器，它通常采用热敏电阻、热电偶或热敏薄膜等器件。
当气体流经热敏传感器时，热敏传感器的温度会随流体流速的变化而发生相应变化。
3.微型加热器为了维持热敏传感器的恒定温度，MEMS热式质量流量计通常还配备有微型加热器。
微型加热器可以根据流体流速的变化调节热敏传感器的温度，从而实现流量的测量。
二、工作原理1.传感器供电当MEMS热式质量流量计接通电源后，热敏传感器和微型加热器会被供电，开始工作。
2.热传导机制当气体流经热敏传感器时，气体与热敏传感器的热量交换会引起热传导效应。
气体的流速越大，热量的带走越快，热敏传感器的温度就会相应下降。
3.温度补偿为了准确测量气体流速，需要对热敏传感器的温度进行补偿。
而微型加热器就起到了这一作用。
通过微型加热器对热敏传感器的加热，可以保持热敏传感器的温度始终处于一个稳定的状态，从而实现对气体流速的精确测量。
三、应用领域MEMS热式质量流量计由于其体积小、功耗低、响应速度快等特点，被广泛应用于各种气体流量测量领域。
1.工业自动化在工业自动化控制系统中，常常需要对气体流量进行准确测量。
MEMS热式质量流量计可以满足工业自动化设备对于流量测量的需求，广泛应用于气体流量的监测和控制。
2.能源领域在能源行业，对气体流量的准确测量是非常重要的。
MEMS热式质量流量计可以用于天然气、煤气等能源的流量测量和监测，为能源行业的生产和管理提供重要支持。
简述一多流量传感的微型电子机械系统
cal systems 的 缩写， 微电 机械系 它 即 子 统， 是 建立 米/ 纳 技术 在微 米 (micro/ nanotechn
ol ogy )基础上的2 1 世纪前沿技术， 使之对微 米/ 纳米材料进行设计、 加工、 制造和控制的 技术。 它可将机械构件、 光学系统、 驱动部件、 电控系统、数字处理系统集成为一个整体单 元的微型系统。这种微电子机械系统不但能 够采集、处理与发送信息或指令， 还能够按照 所获取的信息自主地或根据外部指令采取行 动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体 微加工、硅表面微加工、LIGA 和晶片键合等 技术)相结合的制造工艺， 制造出各种性能优 异、 价格低廉、 微型化的传感器、 执行器、 驱 动器和微系统， 既有微电子的处理功能， 又有 微机械的传感与执行功能， 是一全智能系统。 MEMS 特点主要有三点:1、 微型化:MEMS 器 件体积小， 重量轻， 耗能低， 惯性小， 谐振频率 高， 响应时间 2、 短。 集成化:可以把不同功能， 不同敏感方向和致动方向的多个传感器或执 行器集成于一体， 形成微传感器阵列或微执行 器阵列， 甚至可以把多种器件集成在一起以形 成更为复杂的微系统， 微传感器， 微执行器和 1C 集成在一起可以制造出高可靠性和高稳定 性的。3, 智能化:MEMS 的制造涉及电子， 机 械， 材料， 信息与自 动控制， 物理， 化学和生物 等多种学科， 同时MEMS 也为上述学科的进 一步研究和发展提供了 有力的工具。 本文介绍的此MEMS 是一种全集成质量 流量传感器， 具有气体流速、 流向、 气体种类、 温度、压力等多种传感功能， 并具有同片集成
传感。
上 个电 执 点 有四 极 行四 式Van der pauw 装
(3)气体种类传感 这种传感单元也采用多晶硅加热器， 窗口
质量流量计工作原理
质量流量计工作原理
质量流量计是一种用于测量流体质量流量的仪器，它的工作原理基于质量守恒定律和热力学原理。
质量流量计主要由传感器和信号处理单元组成。
工作原理如下：
1. 传感器：质量流量计的传感器通常由两个主要部分组成：流道和热敏电阻。
流道是流体通过的通道，热敏电阻则位于流道上方或者内部。
当流体通过流道时，流体会带走部分热量，热敏电阻会受到流体温度的影响而发生变化。
2. 热敏电阻：热敏电阻是一种电阻值随温度变化的传感器，其电阻值与温度呈反比关系。
热敏电阻通常由铂制成，称为热敏电阻铂热敏电阻。
在质量流量计中，热敏电阻的电阻值随着流体通过流道带走的热量而发生变化。
3. 测量原理：当流体通过流道时，流体会带走流道和热敏电阻的热量。
测量过程中，控制系统通过恒定的加热电流，维持热敏电阻的温度始终高于流体温度。
流体通过时，热敏电阻的温度发生变化，并通过测量瞬时电阻值的变化，来获取流体质量流量的信息。
4. 信号处理：测得的瞬时电阻值变化将被传输至信号处理单元，该单元负责根据预先设定的电阻变化与质量流量的关系进行计算处理。
最后，信号处理单元将质量流量输出作为结果。
通过以上工作原理，质量流量计可以准确测量流体的质量流量，广泛应用于工业自动化控制、流体传递过程中的计量等领域。