微纳米气泡发生器厂家-南京蓝洁环保科技有限公司

微纳米气泡快速发生装置的原理：微纳米气泡快速发生装置为旋回式气液混合型微纳米气泡发生发生器，按照流体力学计算为依据进行结构设计，在进入发生器的气液混合流体在压力作用下高速旋转，并在发生器的中部形成负压轴，利用负压轴的吸力可将液体中混合的气体或者外部接入的气体集中到负压轴上。

当高速旋转的液体和气体在适当的压力下从特别设计的喷射口喷出时，由于喷口处混合气液的超高的旋转速度与气液密度比（1:1000）的力学上的相乘效果，在气液接触界面间产生高速强力的剪切及高频率的压力变动，形成人造极端条件，在这种条件下生成大量微米、纳米级气泡的同时具有打碎聚合分子团，形成小分子团活性水的效果，并能够将小部分水分子电离分解，可以在微纳米气泡空间中产生活性氧、氧离子、氢离子和氢氧离子等自由基离子，尤其氢氧自由基有超高的还原电位，具有超强氧化效果可以分解水中正常条件下也难以分解的污染物，实现水质的净化。

二、微纳米气泡快速发生装置的特点

曝气管路可移动、便于和现有设备、设施进行结合；

可以外接多种气源，实现不同种类气液间自由组合，满足水处理的要求；

设备达到饱和溶气状态的时间短，效率高，节约能耗；

结构坚固、部件少、拆装简便、易维修、抗腐蚀。

三、微纳米气泡快速发生装置的应用领域

农业生产：营养液增氧与消毒、增氧灌溉

水产与畜牧养殖：水质净化与消毒、水体增氧

污水治理：水质净化、消毒、增氧

医疗养生：杀菌、消毒、洗浴保健

食品加工：果蔬清洗、消毒、保鲜

南京蓝洁环保科技有限公司是一家环保全产业链的综合服务业，以南京地区各大环境设计院研究所及华东地区设计院，环保公司进行合作，专门从事于高浓度工业有机废水、工业交通民用环境噪音污染、高难度工业废水烟尘处理以及工业废水余热回收利用技术等方面的综合性的环境工程服务，开拓新产品，集科研开发、设计、生产、销售和售后服务于一体。

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江苏省2011年第十七批工程技术研究中心建设项目单位

— 1 —

— 2 —

2011年省工程技术研究中心建设项目表

序号项目编号工程技术研究中心名称承担单位主管部门总投资

（万元）起止时间项目

负责人

1 BM2011137 江苏省生物诊断试剂工程技术研究中心南京医药产业集团南京市科委 2000 2011-2014 叶青

2 BM2011138 江苏省通信用特种高分子材料工程技术研究中心南京华格电汽塑业有限公司南京市科委 2776 2011-2014 王文柏

3 BM2011139 江苏省云计算平台及创新应用工程技术研究中心南京中兴新软件有限责任公司南京市科委 4000 2011-2014 陆平

4 BM2011140 江苏省企业供应链管理软件工程技术研究中心江苏润和软件股份有限公司南京市科委 2500 2011-2014 周红卫

5 BM2011141 江苏省移动互联网恶意软件防护工程技术研究中心国家计算机网络与信息安全管理中心江苏分中心南京市科委 1800 2011-2014 许继金

6 BM2011142 江苏省电能质量工程技术研究中心南京亚派科技实业有限公司南京市科委 3085 2011-2014 晏金彪

7 BM2011143 江苏省潜水电泵工程技术研究中心南京蓝深制泵集团股份有限公司南京市科委 1000 2011-2014 陈斌

8 BM2011144 江苏省功能性聚醚工程技术研究中心南京博特新材料有限公司南京市科委 3000 2011-2014 刘加平

9 BM2011145 江苏省齿轮箱工程技术研究中心南京金鑫传动设备有限公司溧水县科技局 1000 2011-2014 章宇顺

10 BM2011146 江苏省海洋大气环境综合监测系统工程技术研究中心南京鹏力科技有限公司江宁高新技术工业园科技局 2500 2011-2014 吴兴旺

11 BM2011147 江苏省有色金属材料加工设备工程技术研究中心南京斯迈柯特种金属装备股份有限公司江宁高新技术工业园科技局 1000 2011-2014 郑世平

江苏省2018第四批高新技术企业名单

附件：江苏省2018年第四批拟认定高新技术企业名单序号企业名称1江苏杰克仪表有限公司2合兴集团汽车电子（太仓）有限公司3苏州跃盟信息科技有限公司4江苏仪化信息技术有限公司5南京皇保电动车制造有限公司6南京盛视无限文化传媒有限公司7南京金榜麒麟家居股份有限公司8苏州佳图智绘信息技术有限公司9江苏精良高分子材料有限公司10徐州新电高科电气有限公司11苏州业隆纺织有限公司12南京环届信息科技有限公司13南京汽轮电机集团电站配件制造有限公司14江阴市得灵机械有限公司15江阴市一达管件科技有限公司16昆山品岱电子有限公司17东台市水洲盈华船舶配件有限公司18南京一擎机械制造有限公司19南京七猫电子科技有限公司20昆山市人帆鞋业有限公司21连云港检验认证有限公司22江苏汇鑫电力科技有限公司23昆山百德利电子有限公司24南京中旭电子科技有限公司25江苏墨汀互联网络科技有限公司26常熟威怡科技有限公司27扬州金泉旅游用品有限公司28南京丹枫机械科技有限公司29南通市恒达机械制造有限公司30江苏天悦生态农业有限公司31南京大树生物医疗技术股份有限公司32扬州联博药业有限公司33苏州星诺奇科技股份有限公司34无锡多普力科技有限公司35连云港海恒生化科技有限公司36英莱特照明工程集团有限公司37江苏纽唯盛机电有限公司38新沂大江化工有限公司39南通哥班玻璃纤维制品有限公司40罗森伯格技术（昆山）有限公司41扬州市金鑫高压配套设备有限公司42江苏贝豪控股集团有限公司43盐城通盛数控机床有限公司44江苏玉河教玩具有限公司45南京市罗奇泰克电子有限公司46苏州智奇胜软件科技有限公司47江苏丰远新材料科技有限公司48扬州市新天河绳业有限公司49南京湶膜科技有限公司50苏州盈宇纺织科技有限公司51江苏天宇检测技术有限公司52邦道科技有限公司53苏州济能安防科技有限公司54南京引光医药科技有限公司55宿迁至诚纺织品有限公司56苏州市中地行信息技术有限公司57苏州盈点点信息科技有限公司58江苏迩高新能源科技有限公司59江苏鼎英电力设备有限公司60佛吉亚（无锡）座椅部件有限公司61艾科卡特催化器丹阳有限公司62苏州犇犇网络科技有限公司63南京分布文化发展有限公司64南京恒泰信息技术有限公司65徐州安联木业有限公司66江苏罡阳转向系统有限公司67盐城联合伟业化工有限公司68南京热典智能科技有限公司69江苏爱德福乳胶制品有限公司70江苏天鹏机电制造有限公司71江苏思源彩印包装有限公司72常州乐奥医疗科技股份有限公司73江苏四象软件有限公司74江阴钟舟电气智控科技有限公司75江苏云意电气股份有限公司76南京哈柏医药科技有限公司77高邮市环邮泵业有限公司78苏州易诺贝新材料科技有限公司79泰州金宝来纺织有限公司80江苏海雷德蒙新能源有限公司81苏州铂普乐新材料科技有限公司82江苏益力达生物科技有限公司83太仓宏达俊盟新材料有限公司84江苏一脉科技有限公司85徐州荣昌玻璃制品有限责任公司86江苏矽时代材料科技有限公司87招商局重工（江苏）有限公司88昆山市福玛精密钣金有限公司89南京末梢信息技术有限公司90苏州楚天光电设备有限公司91江苏华阳管业股份有限公司92吴江市恒达纺织整理有限公司93江苏利思德新材料有限公司94江苏强盾消防设备有限公司95太仓丽盛制版有限公司96无锡市新宇线缆有限公司97无锡和源精密机械有限公司98苏州市智盈电子技术有限公司99徐州江龙炭素制品有限公司100苏州万店掌网络科技有限公司101南京华兴压力容器制造有限公司102江苏亿诺车辆部件有限公司103江苏世懋电气工程有限公司104江苏奥神新材料股份有限公司105扬州市武坚体育用品有限公司106南京步惊云软件有限公司107南京鼎山信息科技有限公司108常州常工电子科技股份有限公司109森松（江苏）重工有限公司110靖江市中亿汽车配件制造有限公司111江苏恒屹变压器有限公司112苏州拍拍淘信息技术有限公司113南京鼎淳电气有限公司114南京东升货架制造有限公司115苏州普源精电科技有限公司116中之有限公司117昆山市惠盛实业有限公司118浩翔电气集团有限公司119苏州华德纺织有限公司120江苏戴格诺思生物技术有限公司121永鑫精密材料（无锡）有限公司122苏州市乐测检测技术服务有限公司123南京方生和医药科技有限公司124江苏三合声源超声波科技有限公司125苏州博豪精密机械有限公司126绿金在线电子商务有限公司127江苏南农高科动物药业有限公司128南京睦泽信息科技有限公司129江苏沪江线业有限公司130江苏瑞银不锈钢制品有限公司131江苏菲尔克斯换热科技有限公司132昆山华恒工程技术中心有限公司133江苏蔚翔新能源汽车有限公司134江苏业勤服饰有限公司135镇江香江云动力科技有限公司136泰州鑫宇精工股份有限公司137南京风城云码软件技术有限公司138南京海泰医疗信息系统有限公司139扬州正大机械制造有限公司140江苏力野精工科技有限公司141苏州太谷电力股份有限公司142南京文易特电子科技有限公司143昆山市健侑科技有限公司144南京麦澜德医疗科技有限公司145泰州中来光电科技有限公司146南京嘉源润新环保科技有限公司147赛特斯信息科技股份有限公司148江苏展宏环保科技有限公司149南京柯富锐软件科技有限公司150连云港市万达电站辅机厂151南京宁馨净化工程有限公司152泰州阿法光电科技有限公司153江苏众凯环保科技有限公司154南京宜凯瑞新材料有限公司155江苏天瑞精准医疗科技有限公司156南京荣创软件技术有限公司157江苏明德玩具股份有限公司158江苏晟能售电有限公司159托普工业(江苏)有限公司160南通科兴石墨设备有限公司161江苏苏通碳纤维有限公司162南通海利源船舶设备工程有限公司163昆山国显光电有限公司164智慧芽信息科技(苏州)有限公司165江苏九州电器有限公司166常熟市亿盛日用品有限公司167江苏德瑞博新能源汽车制造有限公司168苏州市兆丰精密机械有限公司169常州市第八纺织机械有限公司170江苏高鑫高温新材料科技有限公司171江苏中煦高分子材料有限公司172江苏金陵体育器材股份有限公司173江苏新蓝智能装备股份有限公司174江苏牛观数据科技有限责任公司175江苏永发医用设备科技股份有限公司176江苏火凤凰线缆系统技术股份有限公司177盐城世邦布业有限公司178钢铁研究总院淮安有限公司179江苏瑞京科技发展有限公司180苏州塞一澳电气有限公司181昆山汇之胜电子科技有限公司182苏州林华医疗器械股份有限公司183江苏睿孜星智控科技有限公司184东台友铭船舶配件有限公司185高邮市顺达动力机电有限公司186凯思轩达医疗科技无锡有限公司187伟速达（中国）汽车安全系统有限公司188南通恒光大聚氨酯材料有限公司189昆山科信成电子有限公司190常州汉科汽车科技有限公司191镇江大全伊顿电器有限公司192南京先维信息技术有限公司193苏州正和保健品有限公司194天聚地合（苏州）数据股份有限公司195江阴市液压油管有限公司196张家港海锅新能源装备股份有限公司197南京上元分析仪器有限公司198全兴工装设备（南京）有限公司199江苏展邦智能科技有限公司200苏州市东苏发五金粘胶制品有限公司201徐州佳生医药科技有限公司202常州市拓源电缆成套有限公司203南京三叶金鹰摩托车有限公司204江苏冠创医疗科技有限公司205南京艾科朗克信息科技有限公司206付霸信息科技有限公司207江苏绿怡智能科技有限公司208苏州高新区华成电子有限公司209苏州海德新材料科技股份有限公司210南京天力信科技实业有限公司211苏州布禄纺织科技有限公司212埼玉铝合金精密锻造(丹阳)有限公司213江苏国恒安全评价咨询服务有限公司214中天宽带技术有限公司215云南白药集团无锡药业有限公司216江苏童讯科技有限公司217镇江中谊抗震科技股份有限公司218苏州琅润达检测科技有限公司219吉龙塑胶制品江苏有限公司220江苏中科西北星信息科技有限公司221江苏中建盈科自动化工程有限公司222苏州苏试广博环境可靠性实验室有限公司223太仓昂泽威建筑工程材料有限公司224中建八局第三建设有限公司225江苏跃马建工集团有限公司226江苏沃银数据服务有限公司227南京业恒达智能系统股份有限公司228江苏宝娜斯针织有限公司229扬州天朗水务设备有限公司230苏州市德莱尔建材科技有限公司231江苏英特玻节能建材有限公司232江苏雁蓝检测科技有限公司233常州豪凯机械有限公司234无锡恺瑞化纤有限公司235南京玛岸网络科技有限公司236江苏宜兴德融科技有限公司237江苏新丝路纺织科技有限公司238南通东源新能源科技发展有限公司239江苏法尔胜光子有限公司240常州浩瀚万康纳米材料有限公司241江苏润创信息系统工程有限公司242徐州海兰特桑拿设备有限公司243江阴恩特莱特镀膜科技有限公司244南京横渡医疗技术有限公司245南京君度科技有限公司246南通华兴磁性材料有限公司247徐州金鼎恒立液压件有限公司248扬州中汇生物技术有限公司249南京聚力纤维材料有限公司250泰州敬道电力工程有限公司251江苏远华轻化装备有限公司252南京五创机械制造有限公司253扬州海昌新材股份有限公司254苏州坤厚自动化科技有限公司255中新春兴新能源电力（苏州）有限公司256响水县龙华纺织制衣有限公司257镇江视程影视有限公司258南京天印健华医药科技有限公司259新沂市福田石英材料有限公司260扬州中润环保工程有限公司261南京铭旷电子科技有限公司262高邮市新潮自动化机械有限公司263中荣印刷(昆山)有限公司264南京东方价值线软件技术有限公司265苏州臻品建筑装饰有限公司266江苏同科蓄电池股份有限公司267苏州珀力玛高分子材料有限公司268南通海林汽车橡塑制品有限公司269常州中海电力科技有限公司270江苏飞尚安全监测咨询有限公司271南京博士朗电子技术有限公司272常州泉晋光电有限公司273江苏华夏灯业制造有限公司274南通威卓环保设备有限公司275张家港保税区创典炉窑通风设备有限公司276无锡欧莱美激光科技有限公司277顺帆家庭用品（南通）有限公司278江苏光辉粘合科技有限公司279滨海明昇化工有限公司280新沂市永恒熔融石英有限公司281江苏省中成建设工程总公司282德泰生物科技（南京）有限公司283南京普派医疗科技有限公司284扬州天星门窗幕墙有限公司285江苏奥博金医药科技有限公司286江苏海美新材料有限公司287江苏凤程纸业有限公司288徐州贝尔斯电子科技有限公司289南京蓝鲸人网络科技有限公司290南京佳盛机电器材制造有限公司291南京安链数据科技有限公司292邳州正康生物技术有限公司293扬州日精电子有限公司294无锡市银杏塑业科技有限公司295扬州天泓科技实业有限公司296江苏中媒标牌制造有限公司297中节能(宿迁)生物质能发电有限公司298东宏建设股份有限公司299江苏恒大不锈钢精密铸造有限公司300苏州源德福科技有限公司301太仓市鑫海纸业有限公司302常州商机旺旺汇网络科技有限公司303南京安居防护科技有限公司304涟水永丰纸业有限公司305南京双善涂料有限公司306张家港市天源机械制造有限公司307南京华赛福保安器材有限公司308江苏勇龙电气有限公司309南京肯迈得机床制造有限公司310无锡汇跑体育有限公司311徐州达一锻压设备有限公司312江苏绿之源生态建设有限公司313苏州华博电子科技有限公司314铜山县丰华工贸有限公司315无锡合壮智慧交通有限公司316南京天源冷冻设备有限公司

年产500台（套）垃圾综合处理设备环保设备矿山设备建设项目环评报告公示

建设项目基本情况项目名称郑州格林威尔环保科技有限公司年产500台（套）垃圾综合处理设备、

环保设备、矿山设备建设项目

建设单位郑州格林威尔环保科技有限公司

法人代表刘潇洋联系人张宏镝

通讯地址河南省荥阳市龙港工贸园区郑州双赢机械有限公司

联系电话187****7925传真/邮政编码450199

建设地点郑州市荥阳市龙港南路与科技二路交叉口东南侧

立项审批部门荥阳市发展和改革委员会项目代码2018-410182-34-03-078846

建设性质新建■改扩建技改行业类别

及代码环境保护专用设备制造[C3591]、矿山机械制造[3511]

占地面积

（m2）13808.69绿化面积

（m2）2500

总投资

（万元）8000其中：环保投资

（万元）200占总投资的比

例（%）2.5

评价经费（万元）/预期投产日期2021年01月

工程内容及规模：

1、项目由来

近年来，由于各地经济的发展和人们生活水平的提高，以及国家对环保行业的重视和

各地矿山的陆续开采，垃圾综合处理设备、环保设备、矿山设备的需求量日益增加，郑州

格林威尔环保科技有限公司在广泛市场调研的基础上，拟投资8000万元在郑州市荥阳市龙

港南路与科技二路交叉口东南侧（位于荥阳市五龙产业集聚区内）建设郑州格林威尔环保

科技有限公司年产500台（套）垃圾综合处理设备、环保设备、矿山设备建设项目。

经查阅《产业调整指导目录（2011年本）》（2013年修正），本项目不属于淘汰类和

限制类，应属于允许类，符合国家产业政策，荥阳市发展和改革委员会以

2018-410182-34-03-078846号文同意项目备案（备案证明见附件2）。

项目土地性质为工业用地（建设用地规划许可证见附件3、荥阳市五龙产业集聚区总体发展规划（2018-2035）-远期用地规划布局图见附图6），符合荥阳市五龙产业集聚区总体

规划要求，荥阳市五龙产业集聚区管理委员会同意项目入驻（入驻证明见附件4）。

根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》以及国务

CIBF-2021参展商名单

CIBF2021

第十四届中国国际电池技术交流会/展览会

参展商名单

由中国化学与物理电源行业协会主办、中电科能源有限公司协办的“第十四届中国国际电池技术交流会/展览会(CIBF2021)”将于3月19日在深圳会展中心隆重开幕！

CIBF是中国电池行业第一个通过商标注册保护的国际会展项目，每两年在中国举办一届。CIBF2021包括展览会、买家洽谈会、国际先进电池前沿技术研讨会、新能源汽车及动力电池国际交流会和中国国际电池产业合作峰会等多项专场活动。

CIBF2021展会面积达到10万平方米，截止2021年3月8日，共有国内外参展商1310家，德国和韩国继续组团参展，预计参观人数达到6万人次。CIBF2021展览会将集中展示全球动力电池、储能电池、3C电池、各种电池材料、制造设备、动力及储能系统解决方案，特别将重点展示近两年来全球在各种乘用车、新能源客车、物流车及电动两轮车用动力电池领域和新能源储能领域的一系列成果。

序号展商名称展品名称展位号

1 裕质能科技(深圳)有限公司电池充电器 1B001

2 广州市君盘实业股份有限公司 BMS，充电器 1B003,1B002

3 广州市腾惠超声波技术有限公司超声波锂电池专用焊接机、全自动制片卷绕正负极超声波焊接机、大功率动力电池超声波焊接机 1B005

4 武汉中原长江科技发展有限公司锂-亚硫酰氯电池，锂-二氧化锰电池，锂离子电池、定制电1B006 池组、复合脉冲电容、物联网电池组

5 哈尔滨威星动力电源科技开发有限责任公司拜伦思锂电池组维护仪 1B007

6 上海多商电子有限公司铅酸电池充电器锂电池充电器燃料电池充电器

ACDC充电电源 DCDC充电电源 1B007-1

7 菏泽天宇锂电能源科技有限公司低温电池、矿用电池、数码电池 1B008

8 深圳南风电气技术有限公司智能充电机(器) 1B010,1B009

9 广东科正技术服务有限公司锂电池类产品检测认证 1B011

北京市涉及饮用水卫生安全产品卫生许可批件信息

如有你有帮助，请购买下载，谢谢！

1页北京市涉及饮用水卫生安全产品卫生许可批件信息（）

一、国产产品

产品名称产品型号企业名称企业地址实际生产企业批件有效期批准文号

碧水源牌OW-RO-10型纯净水机 OW-RO-10、OW-RO-11 北京碧水源净水科技有限公司北京市怀柔区雁栖经济开发区乐园南二街4号2层北京碧水源科技股份有限公司 2013年1月8日-2017年1月8日京卫水字(2013)第2051号

浪潮牌LC-50G型纯水机 LC-50G、LC-100G、LC-200G、LC-400G 深圳市润元环保科技有限公司深圳市龙岗区布吉街道宝丽路55号泽润华庭D栋商场22（办公住所）百年康（北京）科技发展有限公司 2013年1月8日-2017年1月8日京卫水字(2013)第2053号

乾顺牌QS-WFY-12-6-2型无负压供水设备 QS-WFY-[流量]-[扬程]-[水泵台数]型北京乾顺隆达工贸有限公司北京市通州区台湖镇口子村南北京乾顺隆达工贸有限公司 2013年1月8日-2017年1月8日京卫水字(2013)第2054号

乾顺牌组合式SMC水箱 QS-SMC-[容积]型北京乾顺隆达工贸有限公司北京市通州区台湖镇口子村南北京乾顺隆达工贸有限公司 2013年1月8日-2017年1月8日京卫水字(2013)第2055号

乾顺牌组合式搪瓷钢板水箱 QS-TCGB-[容积]型北京乾顺隆达工贸有限公司北京市通州区台湖镇口子村南北京乾顺隆达工贸有限公司 2013年1月8日-2017年1月8日京卫水字(2013)第2056号

易润牌给水用聚乙烯（PE）冷水管材（黑色） dn20-630 北京嘉源易润工程技术股份有限公司北京市海淀区复兴路2号北京嘉源易润工程技术股份有限公司 2013年1月8日-2017年1月8日京卫水字(2013)第2058号

福倚生牌FRO-20型水质处理器 FRO-20、FRO-1500 北京致福倚生环保净化科技有限公司北京市通州区梨园镇曹园村委会南200米北京朗润时代环保科技有限公司 2013年1月8日-2017年1月8日京卫水字(2013)第2059号

2012环保行业治理企业名单

污水处理单位

序号单位名称联系人产品名称

01 沈阳天净环保科技有限公司陈平复合生化法污水处理技术

02 宜兴市兴宇环保工程设备厂黄全荣生物氧化接触法AO工艺生活污水处理技术；XYJ-系列周边传动、中心传动、刮泥机、吸泥机；QMZM盘式模片微孔曝器

03 沈阳科林环境工程有限公司张如 A/O法生活污水处理技术

04 北京德高航空监测材料有限责任公司丛长林荧光废水处理技术

05 恩锑希（沈阳）环保产业有限公司李爱顺 JDS 生活污水处理技术

沈阳碧澄环保有限公司尹相志 MBR — BCHT 污水处理及中水回用工艺技术系统

07 南通北辰机械设备制造有限公司孙小山 BCG工业废水处理技术、BCS生活污水处理、BCY医疗废水处理、BCZ中水回用技术

08 沈阳东学碧水环境工程有限公司胡西海 SBR、MBR、BAF接触氧化工艺、中水回用、污水处理技术

09 沈阳碧海水处理设备有限公司汪长虹二氧化氯发生器

10 广东鑫都环保实业有限公司迮德林倒置A2O生活污水处理工艺

11 青岛国标环保有限公司祁月化学法、生化法、电镀及生活污水处理技术

12 沈阳世纪清源环境工程有限公司李强生物接触氧化法生活污水处理技术

13 沈阳清井环保机械有限公司曲津忠中水处理及污水深度处理技术

14 沈阳军区能源研究所刘方 SH 生活污水处理技术

15 辽宁天兴环境科技开发有限公司刘国昌多元强化物化法污水处理技术

16 中国航空工业规划设计研究院吕秀峰生活污水、荧光液废水处理技术

17 沈阳天丰环保工程有限公司郝锋 UASB+AF 、 MBR 、 SBR 污水处理工艺

18 江苏神洲环境工程有限公司王常会曝气器、刮泥机、沉砂除砂系统

2020新版江苏省苏州空气净化设备工商企业公司名录名单黄页联系方式大全41家

企业名称所在省所在市详细地址主营业务联系人

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纳米压印光刻技术综述

魏玉平;丁玉成;李长河

【摘要】In this paper,the processes are described firstly and then the

traditional and state-of-the-arts review is presented. Furthermore, the key

techniques involved in the nano-imprint lithography and the technical

challenges faced in application of this process for fabricating the

integrated circuit are discussed.%文章在阐述纳米压印工艺构成要素的基础上,对几种传统压印技术工艺及其工艺变种进行了简要介绍,总结出了纳米压印中所涉及的几个关键技术问题,并对纳米压印在集成电路制造中所面临的挑战进行了分析.

【期刊名称】《制造技术与机床》

【年(卷),期】2012(000)008

【总页数】8页(P87-94)

【关键词】纳米压印光刻;关键技术;技术挑战

【作者】魏玉平;丁玉成;李长河

【作者单位】青岛理工大学机械工程学院,山东青岛266033;青岛理工大学机械工程学院,山东青岛266033;青岛理工大学机械工程学院,山东青岛266033

【正文语种】中文

【中图分类】TG580

自1947年世界上第一只晶体管问世以来，半导体微电子技术以及由此引发的各种微型化技术已经发展成现代高科技技术产业的主要支柱。作为微加工关键技术之一的光刻技术的发展印证了每18～24个月集成度翻一番的摩尔定律的预言。随着经济发展的要求促使半导体业特征尺寸朝着不断缩小的方向发展，但受曝光波长衍射极限的限制，光学光刻的技术已无法满足纳米制造技术对线宽高分辨率的要求。在现有技术条件下提高光学光刻分辨率制造设备的成本将以指数形式增长。为了避免使用昂贵且复杂的光源和投影光学系统，纳米压印光刻技术（nano－imprint

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