电子厂净化空调设计实例
对深圳某电子厂净化间空调系统设计的认识
净化间长年24小时处于稳定的运行状态，净化间洁净度 的保持是HGA品质的重要保证。从而要求对净化间洁净进 行必要的监控。在实际运行过程中，每星期两次采用粒 子计数器（Par
ticleCounter）净化间随机选取的点进行洁净度检测，100 级4个点，10000级50个点，然后将所测粒子数与净化间 标准值进行比较，以便及时了解净化间的运行状况
目前空调的健康技术约有九种：离子集尘技术、负离子 发生技术、双向保温换新风技术、健康除湿技术、多元 光触媒技术、环绕立体自然风技术，三重防御技术、抗 菌技术和静音技术。目前
不少空调企业己在或正在这方面积极研究和努力开发。 二、追求最大舒适度的享受型空调将成为“卖占”据有 关技术资料显示，最佳舒适度应是由温度、相对湿度和 风速等几方面获得，而其
制冷技术对深圳某电子厂净化间空调系统设计的认识潘 葆炯阎彩萍（深圳海量存储设备有限公司深圳518057） （上海美和空气净化工程有限公司上海200051）卢希红 （上海同济
建设监理咨询有限公司上海200092）统形式。通过对净 化间洁净度的监控及系统运行状况的检测，认为该设计 满足了对净化间不间断生产的要求。1.概）兄深圳某电子 厂位于深圳市
ouse.Allrightsreserved，制冷技术进入 高效送风口，经高效过滤后送入净化间。c洁净度的监控 随着计算机产业的飞速
发展，硬盘驱动器（HardDiskDrive期迅速缩短，而磁阻磁 头（HGA）是生产计算机硬盘的关键部件，随着计算机更 新速度的加快，其需求量日益大，这就要求生产HGA的
，中国对空调节能技术亦十分重视，我国空调业在高效 压缩机、高效换热器等方面掌握着世界前沿的技术。中 国节能认证中心经检测试验去年及今年己向国内16家空 调企业颁发了节能认证
江苏某电子厂房净化空调设计
江苏某电子厂房净化空调设计摘要简介了江苏某电子厂房净化空调设计关键词：电子厂房净化空调过渡季工况1.工程概况项目位于江苏省宜兴市工业产业园，项目建设建筑封装管壳研制楼.占地面积约2435.70m 2，建筑面积约7547.78m 2。
2.建筑平面布置封装管壳研制楼主要生产双列集成电路陶瓷外壳、无引线陶瓷外壳、表面贴装陶瓷外壳及陶瓷片、臭氧发生片、陶瓷加热片等产品。
本项目生产工艺要求生产车间为洁净室。
系统设计二层生产区域，面积1444m2，洁净等级为ISO7；三层生产区域，面积1444m2，洁净等级为ISO8。
各房间净化及温湿度要求见表1表13.系统计算和划分3.1工艺设备负荷计算本工程工艺设备有电动和电热设备电热设备的散热量QS (W)可按下式计算：QS= n1n2n3n4N式3-1n1--------同时使用系数，即同时使用的安装功率与总安装功率之比，一般为0.5~1.0；n2--------安装系数，即最大实耗功率与安装功率之比，一般为0.7~0.9；n3--------负荷系数，即小时实耗功率与最大实耗功率之比，一般为0.4~0.5；n4--------通风保温系数，见表；N--------电热设备总安装功率，W。
表2电动机和工艺设备均在空调区的散热量此时电热设备的散热量QS (W)可按下式计算：QS= n1n2n3N/η式中N--------电动设备总安装功率，W;η--------电动机的效率;n1，n2，n3--------同式3-1表3（只举例二层工艺设备符合）3.2空调冷负荷计算室内冷负荷为围护结构冷负荷、人员冷负荷、设备冷负荷、照明冷负荷之和。
本工程各房间冷负荷见下表：表43.3系统送风量计算表5小结：二层万级洁净区划分为两个空调系统。
系统一选用一台组合式空调箱AHU-1，风量为70460 m3/h。
系统二选用一台组合式空调箱AHU-2，风量为47510 m3/h。
三层十万级洁净区划分为两个空调系统。
电子洁净厂房空调系统设计
电子洁净厂房空调系统设计摘要：通过介绍某电子洁净厂房净化空调系统设计，阐述了电子洁净厂房空调设计的主要系统，介绍了洁净室新风空调箱的控制原理，并总结出实际工程设计中应注意的问题，并提出此类设计对日后施工、运行和管理的要求。
关键词：电子洁净厂房净化空调新风空调机组干盘管1.工程概况本电子洁净厂房净化空调系统设计为某光工厂研发生产项目，工程建设地点位于湖北省武汉市，丙类，77905.86m2，层数：-1/3，建筑高度29.75m，地面建筑共分三层：地下一层为水泵提升站，一层为辅助动力区、下夹层区，二层为洁净生产区、MOCVD区、辅助动力区+辅助办公区，三层为洁净钢屋架层、洁净预留区。
本文主要介绍二层洁净生产区的净化车间的空调系统设计。
具体平面布置图详见以下附图1：图1 二层洁净生产区平面布置图2.工程设计参数按工艺生产要求及工艺专业提供的设计条件，并按照GB50073-2013《洁净厂房设计规范》及GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》的要求，净化车间室内设计参数如下表1：表1 通风设备设计参数表3.净化空调系统设计3.1 冷热源系统本项目生产区净化空调冷源采用6℃/12℃低温冷冻水及13℃/19℃中温冷冻水，由动力站房供给；热源采用38℃/28℃中温热水及80℃/60℃高温热水，接自动力站房。
3.2 洁净室空气循环系统电子洁净厂房中，工艺设备散热量大，造成空调冷负荷较大，并且按照设计规范要求，洁净等级较高的区域或房间换气次数高达50~60 次[1]。
为满足负荷和换气次数的要求，必须保证足够的送风量，而送风量的加大又使净化空调机组、风机及风管的尺寸的偏大，加之吊顶上空间的限制，给设计和施工带来了很多困难。
“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DCC）” [2]的空调形式是电子净化厂房空调设计中经常采用的一种空调系统。
在该系统中，MAU 处理新风负荷：夏季冷却新风并除湿，冬季加热新风并加湿；DCC 处理室内负荷，一般为全年供冷；FFU 用来循环空气从而达到洁净度要求的换气量。
电子洁净厂房的空调系统设计
２ ． ２ ． ２空调 形 式
１ ） １ ０ ０ 级净 化 间 采用 Ｆ Ｆ Ｕ 送 风 单 元送 风 垂 直 层 流 ，穿 孔 高 架 地 板 回 风 。 Ｆ Ｆ Ｕ 送风 单元 额 定风 量 为８ ４ ８ ． ５ ｍ Ｖ ｈ ， 超 高效 过 滤器 效 率 为９ ９ ． ９ ９ ９ ％（ ＼ ０ ． １ “ｍ） ， 满 布 率 为９ ０ ％， 净 化 间的 总送 风 量 为３ ７ ２ ０ ０ ｍ ３ ／ ｈ ， 折 合换 气 次数 为 ３ ７ ０ ０ Ｕｄ ＂ 时，
布高效送风 口１ ６ １ 个， 每只风 口额定风量为１ ４ ０ ０ ｍ Ｖ ｈ ， 净化间换气次数为３ ０ 次／
小时 ， 总送 风量 为 ２ ２ ５ ４ ０ ０ ｍ３ ／ ｈ ， 回风 ｔ ￣４ ｏ ５ － ， 共设 空 调机 组 ｌ ５ 台。
２ ． ２ ． ３空 气处理 过 程
２ 系统 设计
２ ） 循 环风 处理
量光主ｉ
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２ ６ ． ７
３ ． Ｏ ２ ３ 士２ ５ Ｏ ±ｌ ０
２ ３ 士２ ３ ． Ｏ ７ ０ ０ 《Ｅ ｊ Ｉ
净 化 问 内人员 的 操作 是产 尘 的主 要原 因 ， 除一 部 分尘 粒 由真 空 吸尘 系 统
２ １室 内主要 功 能 区域的 分布 及设 计 参数 功 能 区域分 布 如 图１ 所示 ， 室内 主要 设计 参数 见 表 １ 。
名棒
竣
１ ） 新 风 的处 理
净 化间 新风 由净 化 新风 机组 集 中处 理 ， 夏 季首 先 室 外新 风 通过 新 风 入 口 处 的无 纺 布初 效 过滤 器 滤 除大 颗 粒尘 粒 ， 经 纯净 水 喷 淋 室 除尘 ， 由离 心 式通
某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介
某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介摘要：介绍某电子洁净厂房净化空调系统的设计，阐述了净化空调系统的形式及净化空调系统的控制原理。
关键词：电子洁净厂房净化空调设计自动控制1.概况本项目电子洁净厂房主要生产工艺为半导体产品的封装后测试。
生产厂房为地上三层（局部设夹层）为丙类二项多层厂房，建筑面积约43643.44平米，建筑高度约23.09米。
生产工艺段为一层上芯、压焊、塑封，二层晶圆库、切筋打印、锡化，三层测试及各生产辅助用房等组成。
随着半导体产业的发展，相关产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高，半导体生产厂房的洁净度和洁净系统的运行状态对产品品质及通过率有着至关重要的影响。
因此洁净厂房空调系统的设计就显得尤为关键。
1.室内外设计计算参数2.1室外计算参数夏季：空调干球温度：30.8℃；湿球温度：21.8℃；通风干球温度：26.9℃；冬季：空调干球温度：-5.7℃；相对湿度：62%；通风干球温度：-2.0℃；2.2室内设计参数主要房间室内设计参数：上芯/晶圆库/减划/压焊：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度1K；正压值20Pa；塑封/锡化/测试：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度10K；正压值15Pa；1.净化空调系统设计3.1冷热源系统本项目空调系统低温冷媒为7~12°C冷水，中温冷媒为13~18°C冷水，热媒为45~40°C热水。
热、冷水、中温水系统供水压力为0.7MPa，空调加湿采用0.2MPa蒸汽。
冷水、热水、中温水均接自厂区原有动力站房管网。
3.2净化空调系统电子洁净厂房最大的特点是热湿比大（热负荷极大、而散湿量小）、回风量大、大面积的净化区域。
要达到净化要求房间的换气次数则高达50~60次/h，为满足负荷和换气次数要求必须保证足够的送风量。
设计采用“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DC）”的空调形式，这也是电子净化厂房中常用的一种空调系统。
100级大面积电子厂房净化空调设计【最新版】
100级大面积电子厂房净化空调设计1 概况本工程位于苏州某工业园内,厂房共有二层,每层建筑面积约36500m2。
洁净厂房分阶段完成,共分4期完成。
本次工程为第二期,100级洁净厂房约为2680m2,千级面积约为580m2,普通区域(testarea)面积为5000m2(厂房平面图略)。
2 设计主要参数设计主要参数见表1。
3 洁净空调系统设计3.1 洁净冷负荷计算夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。
经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。
普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。
3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU+DCU+FFU 的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。
其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高效过滤处理。
新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高效段。
其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。
该工程新风量取35000m3/h;DCU为干表冷盘管(Drycoilunit),在每一个洁净房内的回风夹墙中,都设置了干冷盘管。
干冷盘管的主要作用是对洁净房进行等湿降温,所以,通过干盘管的冷冻水的温度稍大于洁净房的露点温度,保证洁净房空气通过干冷盘管时不结露;FFU为带风机的高效过滤器(Fanfilterunit),FFU将洁净房内的通过干冷盘管冷却的回风,再与新风机组处理的新风混合后,通过FFU中的高效过滤器送到洁净房中。
该洁净房地面采用1m高的导电高架地板,实现顶送底回的送风形式,进一步保证气流的垂直度的层流送风形式。
某电子洁净厂房暖通空调设计
某电子洁净厂房暖通空调设计发布时间：2022-09-07T08:58:19.125Z 来源：《建筑实践》2022年9期作者：刘晓晨[导读] 本工程位于浙江省嘉兴市，为一栋半导体的抛光打磨生产厂房。
刘晓晨关键词洁净厂房；净化空调系统一、工程概况本工程位于浙江省嘉兴市，为一栋半导体的抛光打磨生产厂房。
建筑东西长138.6 m，南北宽131.4 m，总建筑面积61410.96m2，地上4层，一层层高为5.4m,二层层高为4.8m，三层层高为7.9，四层层高为5.7。
抛光打磨生产厂房火灾危险性分类为丙类，建筑耐火等级为二级。
抛光打磨生产厂房三层为净化空调区域，其中设置了双面抛光间、酸碱腐蚀间、抛光工作间、研磨间工作间、切割间更衣室、研磨间更衣室、双面研磨/边角研磨间、最终清洗间、最终检测间、包装间、清洗后片盒检测和暂存间、气锁间等和相应动力配套设施；其它区域为舒适性空调区域；本文主要介绍净化区域的空调设计。
二、空调设计参数2.1.室外气象参数资料[1]位置：东经121.05° 北纬30.37°大气压力：冬季 1025.4Pa夏季 1005.3Pa夏季空气调节室外计算干球温度 33.5°C；夏季空气调节室外计算湿球温度 28.3°C；夏季通风室外计算温度 30.7°C；夏季通风室外计算相对湿度 74%；夏季室外平均风速： 3.6m/s；冬季空气调节室外计算温度 -2.6°C；冬季空气调节室外计算相对湿度 81%；冬季通风室外计算干球温度 3.9°C；冬季室外平均风速： 3.1m/s。
2.2 室内设计参数三、空调系统设计3.1空调系统本项目洁净厂房的空气处理系统中采用 MAU+FFU+DC 的方案。
根据工艺生产及规范的要求，洁净室设置的MAU为三套系统,新风机组MAU-02-401~403,为边角抛光间、双面抛光间、研磨间工作间等房间供应新风,规格为130000CMH;MAU-02-405,为最终检测间、包装等房间供应新风,规格为136000CMH;新风机组MAU-02-404,为备用机组,平时作为MAU-02-405的热备用机组,新风机组MAU-02-401~403机组出现故障时作为其备用机组。
电子工业洁净厂房净化空调系统设计
电子工业洁净厂房净化空调系统设计摘要：近年来，国内大力支持和发展半导体技术，而半导体产品生产所需要的洁净厂房在国内同步地得到发展，洁净厂房兴建的规模和室内的洁净等级越来越高，而一些生产制造设备在工艺制程中，不可避免地产生污浊的空气或者废气的排放，在排放废气的同时，为了维持洁净厂房的正压环境，则需要向厂房内不断输送新鲜的室外空气，用以弥补因废气排放导致的洁净厂房正压失衡。
关键词：电子工业；洁净厂房；净化空调；系统设计1溶液空调系统与传统空调的对比溶液空调与水冷式、风冷式传统空调相比，其优点尤为明显。
从系统构成来看，传统空调需要设置的设备较为复杂，如水冷式空调包括冷水机组、冷却水系统、冷冻水系统、蒸汽锅炉净化空调箱等；风冷式空调系统由风冷热泵、冷冻水系统、净化空调箱和排风机组成，这两种传统空调在运行管理中不够灵活，对分区控制的实现十分不利。
溶液空调机组自带热泵系统，在独立运行中可以实现冷却、除湿、加热、加湿等功能，对分区控制、独立启停等运行管理十分有利，并能达到很好的节能效果。
同时，传统空调除湿效果不佳，其原理主要为冷凝除湿，除湿后相对湿度达90%～95%，不能满足实验动物环境对空调系统所需送风相对湿度的要求，需要电或蒸汽加热对冷凝除湿，再热则会因冷热抵消使空调能耗加大。
溶液空调则是利用溶液特性，通过调节溶液浓度来控制相对湿度，符合实验动物环境要求，并能避免系统过度冷却后再热的能源消耗。
此外，传统空调系统如用在实验动物室采用全新风系统会增加交叉污染的风险，通常不设置全热回收装置，因此会产生巨大的新风能耗；溶液空调系统新风和排风不是直接接触，溶液具有杀菌功能，可设置全热回收能量，避免交叉污染，使新风处理能耗大大降低。
在最初投资和运行成本上，传统空调投资成本较低，运行成本较高；溶液空调在最初投资上会有较高成本，但由于其运行成本低，一般可在三年后收回成本。
2洁净厂房正压控制在厂房内，洁净环境与非洁净环境之间必须维持一定的正压值，相邻的不同级别的洁净厂房之间也需要维持一定的正压梯度，设计规范中明确规定，相邻的洁净区与非洁净区，以及级别不同的洁净厂房压差数值不小于5Pa，同样洁净区与室外环境的压差数值也不应小于10Pa。
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ZHAO Ji2fang (Shanghai Railway Office2Fuzhou Reconnaissance and Design Institute , Fuzhou 350013 , China)
1 洁净车间结构设计概况与净化要求
洁净车间是生产 VCD 和 DVD 电子元件的关 键部分 ,在建筑平面上被安排在厂房的中间 (如图 1) 。厂房为钢结构 ,生产车间为单层建筑 ,办公部分 为两层建筑 ,洁净车间的吊顶高度为 3. 3m ,层高为 811m 。洁净车间吊顶与屋面之间 ,敷设送风管 、回 风管 、排风管等多种工艺管道和高效过滤器 ,吊顶由 内夹聚氨脂塑料泡沫层的夹心彩钢板组装而成 ,上 人吊顶与墙面之间的缝隙用密封胶填密 ,地面到吊 顶采用埃特板构成回风井道 ,并和回风管连接 。
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图 1 厂房布置平面图
图 2 系统原理图
2. 2 洁净车间送风量和新风量的确定
洁净车间送风量根据车间的洁净度要求确定 ,
车间的换气次数为 22 次/ h ,并通过下式计算 。
N
=
60 G ·10 + M ·n ·(1 - S ) ·(1 n [1 - S ·(1 - ηr) ]
ηn)
式中 N ———室内空气含尘量 ,粒/ L
·81 ·
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赵季芳 : 电子厂净化空间设计实例
G ———室内发尘量 ,粒/ (m3·min) M ———大气含尘浓度 ,粒/ L
n ———换气次数 ,次/ h S ———回风量和全风量的比 ηn ———新风通路上过滤器总效率 ηr ———回风通路上过滤器总效率 洁净车间新风量的确定 ,主要从三个方面考虑 ; 第一 、室内工作人员所需的新风量 ,每人按 40m3/ h 考虑 。第二 、车间内的排气量 。第三 、保持正压时的 门窗缝隙的漏风量 。本工程选择新风量占全风量的 12 %至 15 %。正压采用余压阀控制 。各车间的送 风 、排风 、新风的参数见表 2 。
2 净化空调系统的设计
2. 1 净化系统的划分 该厂的净化车间 ,最大单间面积 2160m2 ,空间
大 ,风量大 ,相邻空调机房的噪声处理困难以及吊顶 内的管线多 ,为此净化空调分设三个独立的系统 。
每个净化系统均设初效 、中效 、高效过滤器 。初 效过滤器安装在新风管上 ,中效过滤器安装在空调 柜内 ,高效过滤器安装在吊顶上 ,见图 2 。
3
实验室
24
0. 5
0. 07
4
卫生室
25
0. 34
0. 04
3
吹淋通道
1. 2
10
所要求的室内噪声标准 。工程实践证明 ,净化工程 的消声处理不一定要用价格昂贵的微穿孔板消声 器 ;在设计中计算出各倍频中心频率的噪声量后 ,针 对其超标的频率噪声 ,采用廉价的不锈钢板网和中 效无纺布 、多孔材料制作出消声器 ,同样能达到消声 的目的 ,节约工程投资 。另外 ,高效过滤器和中效过 滤器本身也是一种很好的消声器 ,在设计计算中应 考虑它们的消声量 。 2. 5 空气处理
2. 3 洁净车间的气流组织 各洁净车间的气流组织均采用上送下回的形式
如图 3 。设计中利用墙体和隔板构成回风道 ,并与 回风管连接 。这种做法回风均匀 ,每个回风口的风 量不会有较大的差别 。即使吊顶和墙体以及其它围 护结构有些不密封之处 ,渗入的室外空气也只能流 向回风管道 ,而不会污染到室内洁净区 。
图 3 车间气流组织
2. 4 消声处理 在空调设计中噪声是一个很重要的问题 ,对于
大面积的洁净车间 ,它的送风量比一般的空调系统 要大得多 ,且送风的风压也高达 116kPa ,因此通风 机的电机容量也比较大 ,达 90kPa ,通风机的声功级 为 115dB 。消声技术在本工程中尤为突出 。通过减 噪计算 ,配置相应的消声器和消声小室 ,可达到规范
第 22 卷第 2 期 2001 年 4 月
成果与经验
能源技术 EN ER GY TECHNOLO GY
Vol. 22 No. 2 Apr. 2001
电子厂净化空调设计实例
赵季芳 (上海铁路局福州勘测设计院 ,福州 350013)
摘 要 :介绍了某电子厂洁净车间的空调系统设计要求和设计方案 、实施效果 ,给出了系统划 分 ,风量计算和气流组织的方法 ;并指出 :计算倍频中心噪声量 ,针对超标频率采用廉价不锈钢网 、 无纺布等做成消音器 ,可经济有效地控制空调噪声 。
关键词 :清洁生产 ;空调系统 ;电子工厂 中图分类号 : X383 文献标识码 :B 文章编号 :100026656 (2001) 0220081202
A Design Example of Purif ying Air2Condition in Electronics Factory
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图 5 冬季焓湿度
图中点 1 表示室外空气状态点 ,点 2 表示室内 空气和室外空气混合后的空气状态点 ,点 3 表示空 气通过致冷器 (夏) 或加热器 (冬) 后的空气状态点 , 点 S 表示空气通过加热器 (夏) 或加湿器 (冬) 后的空 气状态点即送风空气状态点 ,N 点为室内空气状态 点。
为了满足各车间的洁净要求 ,设计中把洁净车 间分成三个系统 ;第一 、第二车间各设一个系统 ,第 三车间 、实验室 、检测室 、卫生室为一个系统 。空气 处理机由回风段 、致冷段 、加热段 、加湿段 、混合段 、 风机段 、中效段 、送风段组成 。其相应的空气处理过 程焓湿图见图 4 和图 5 。
图 4 夏季焓湿图
表 2 各洁净室的送风 ,排风和新风
洁净室 换气次数 排气量 送风量 新风量 高效个数
名称 第一车间
次/ h 万 m3/ h 万 m3/ h 万 m3/ h
个
22. 5
0. 9
16
2
120
第二车间 22. 5
0. 9
16
2
120
第三车间 22. 5
0. 45
8
1. 1
60
检测室
25
0. 34
0. 04
3 效果
工程竣工后经检测数据如下 :室内粒径 0. 5μm 的尘L , 平均 173 个/ L ;室内温度为 22 ℃、相对湿度为 62 %、正压 力为 12 Pa 、噪声平均为 52dB 。
各项指标达到设计要求 ,满足生产工艺的净化 要求 ,效果良好 。
第 1 、第 2 车间面积各为 2160m2 工作人员各为 400 人 ,第 3 车间面积 1080m2 ,200 人 ;各车间 ,检测 室 ,卫生室和吹淋通道的温度要求为 23 ℃±2 ℃,湿 度 60 % ±10 % ,室内正压大于 10 Pa ,吹淋通道净化 级别为 100 级 ,其余为 10 万级 。