无尘室 洁净室 净化车间标准规格说明(美标、日标)
无尘车间洁净度标准
无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。
这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。
但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。
最新版已成为No209E，名称也进行了变更。
No.209E 的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。
在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。
在日本，相应的规格是JIS B9920。
JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。
表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。
表7 美国联邦规格No.209B级别上限值是各级别名。
上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。
** 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。
粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um）***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写）图1 ，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
（）内数值是用English unit 表示级别。
图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度表9，JIS B 9920主要内容表10，美国航空宇宙局规格主要内容三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。
但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。
例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。
洁净室规格要求
洁净室规格要求一、洁净室要求1、洁净室（区）空气洁净度等级注：1 在静态条件下洁净室（区）检测的悬浮粒子数、浮游菌数或沉降菌数必须符合规定。
侧设计方法应符合现行国家标准《医药工业洁净室（区）悬浮粒子的测试方法》GB/T 16292、《医药工业洁净室（区）浮游菌的测试方法》GB/T 16293和《医药工业洁净室（区）沉降菌的测试方法》GB/T 16294的有关规定；2 空气洁净度100级的医药洁净室（区），应对大于等于5μm尘数的计数多次采样，当大于等于5μm尘数多次出现时，可认为该测试数值是可靠的。
2、空气洁净度等级和送风量（静态）注：1 换气次数适用于层高小于4m的医药洁净室（区）。
2 室内人员少、发尘少、热源少时应采用下限值。
3 保健食品要求十万级为15次以上。
3、洁净室（区）的温度和湿度，应符合下列规定：3.1 生产工艺对温度和湿度无特殊要求时：空气洁净度100、10000级是洁净室（区）温度应为20-24℃，相对湿度应为45%-60%；空气洁净度为100000级、300000级的洁净室（区）温度应为18-26℃，相对湿度应为45%-65%。
4、不同空气洁净等级的洁净室（区）之间空气静压差不应小于5Pa，洁净室（区）与非洁净室之间的静压差不应小于10 Pa。
5、洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：5.1 主要工作室一般照明的照度值宜为300lx。
5.2 辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。
5.3 对照度有特殊要求的生产部位可设置局部照明。
6、洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB（A）。
二、配置要求1、设备、容器及工器具的清洗和清洗室的设置，应符合下列要求：1）空气洁净度100级、10000级洁净室（区）的设备、容器及工器具宜在本区域外清洗，其清洗室的空气洁净度等级不应低于100000级。
2）如需在洁净区内清洗的设备、容器及工器具，其清洗的空气洁净度等级应与该洁净区相同。
洁净室标准规格说明
洁净室标准规格说明（一）洁净室型态洁净室定义[CLEAN ROOM][Clean ROOM]洁净室，亦名无尘室或清净室，目前已是半导体工业和生物化学、医药、食品界等不可或缺之重要设施。
近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路(VLSI，Very Large Scale Integrated Circuit)之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视之项目，我国亦不例外。
然积体电路与精密轴承(Bearing)、太空航空仪器、光学机械等之精密机械产业，对于空气中之浮游粒子、粉尘等之污染极为敏感，且对于产品之品质、可靠性及良率高低有著极大之影响。
由于以上之产品必须在良好之洁净室内进行生产制造，故工业用之洁净室在各种产业上已被广泛采用。
另一方面在医学上及医疗技术方面，对于手术室，新生儿室、重症加护病房(Intensive Care Unit, ICU)、烫伤病房及冠状动脉加护病房，(Coronary Care Unit,CCU)等场所所为达成高度医疗效果，亦需有去除空气中浮游细菌之无菌之无菌环境，以维人员生命安全。
其次在制药工作、食品制造业及医疗仪器制造业、生化及细菌培养等为提高产品品质及安全卫生，以去除空气中浮游细菌或微生物与外界异物之干扰侵犯之无菌洁净室亦应运而生。
针对积体电路（半导体行业）而言，洁净室最重要之作用在于控制产品(如夕晶片等)所接轴之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为[洁净室}。
换言之，洁净室之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之房间。
亦即是不论为在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
车间无尘等级标准
车间无尘等级标准
车间无尘等级标准通常根据国家或行业规范制定。
以下是一些常见的车间无尘等级标准：
1. 美国联邦标准209E：该标准定义了无尘室的等级，从ISO Class 1到ISO Class 9。
ISO Class 1代表最高级别的无尘室，要求每立方英尺内的颗粒物数量不超过0.1粒。
ISO Class 9则代表最低级别的无尘室，要求每立方英尺内的颗粒物数量不超过35,200粒。
2. ISO14644标准：该标准是国际标准化组织（ISO）制定的无尘室等级标准。
其中包括ISO Class 1到ISO Class 9，与美国联邦标准209E相似。
3. GMP标准：GMP（Good Manufacturing Practice）是一种世界范围内用于药品生产的质量管理体系标准。
GMP标准中对车间无尘等级有详细的规定，包括空气中颗粒物的数量、尺寸和分布要求等。
4. SEMI标准：SEMI是半导体工业协会，该组织制定了针对半导体生产车间无尘等级的标准，包括SEMI S2、SEMI S6和SEMI F18等。
需要注意的是，不同行业和应用领域对无尘等级的要求可能会有所不同，具体的无尘等级标准应根据实际情况进行确定。
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求标题：无尘车间标准要求引言概述：无尘车间是一种高度洁净的生产环境，广泛应用于电子、医药、食品等行业。
为了确保无尘车间的有效运行和产品质量，各国都有一系列的标准要求。
本文将详细介绍无尘车间的标准要求。
一、空气洁净度要求1.1 空气净化级别：无尘车间的空气洁净度通常根据ISO 14644标准进行分类，常见的级别有ISO 5、ISO 6、ISO 7、ISO 8等。
1.2 空气流速要求：根据车间内的工艺要求和设备布局，空气流速应符合相应标准，确保污染物得以有效排除。
1.3 空气过滤要求：无尘车间内的空气过滤系统需要定期维护和更换，以确保过滤效果和空气质量。
二、温湿度控制要求2.1 温度控制：无尘车间内的温度应符合生产工艺的要求，通常要求在一定的范围内保持稳定。
2.2 湿度控制：对于某些特殊的生产工艺，无尘车间内的湿度也需要进行控制，以确保产品质量和生产效率。
2.3 温湿度监测：无尘车间需要安装温湿度监测设备，实时监测环境参数，及时调整控制参数。
三、地面和墙面要求3.1 地面材质：无尘车间地面通常采用防静电、防滑、易清洁的材料，以确保无尘环境的维护和清洁。
3.2 墙面涂料：墙面要求采用防尘、易清洁的涂料，确保车间内的空气质量和产品质量。
3.3 地面和墙面清洁：无尘车间需要定期清洁地面和墙面，避免灰尘和污垢对生产环境的影响。
四、设备和工具要求4.1 设备密封性：无尘车间内的设备需要具有良好的密封性，防止污染物进入设备内部影响生产质量。
4.2 工具选择：在无尘车间内使用的工具需要符合相关标准，避免产生尘埃或者污染物。
4.3 设备维护：无尘车间内的设备需要定期维护和保养，确保设备正常运行和生产质量。
五、人员行为和着装要求5.1 人员培训：无尘车间内的人员需要接受相关的无尘车间操作培训，了解车间标准要求和操作规程。
5.2 着装要求：进入无尘车间的人员需要穿戴相应的防尘服、鞋套、帽子等防护用具，避免带入外部污染物。
无尘车间洁净度标准综述
无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。
这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。
但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。
最新版已成为No209E，名称也进行了变更。
No.209E 的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。
在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。
在日本，相应的规格是JIS B9920。
JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。
表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。
表8, 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类级别上限值是各级别名。
上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。
** 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。
粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um）***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写）图1 ，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
（）内数值是用English unit 表示级别。
图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度表9，三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。
但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。
例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。
洁净室(无尘室)标准
洁净室(无尘室)标准2006-1-23(一)洁净室之定义洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
无尘车间洁净度规范标准
,.净化间的规格普通合用于美国联邦规格 No.209B 。
这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。
但是，伴有着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格 进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。
最新版已成为 No209E ，名称也进行了变更。
No.209E 的级别表示是把 0.5um 以上的颗粒数为 10x 个/m 3 ，把 X 表示成级别，同时加之米制 M 的意思， 表示成 M3.5 等等。
在表 7 里表示的是美国联邦规格 No.209B ，表 8 表示的是美国联邦规格 No.209E 。
在日本，相应的规格是 JIS B9920。
JIS9920 的级别表示是把 0.1um 以上的 颗粒数规 定为 10X 个，用 Y 表示级别。
表 9、图 2 表示了 JIS B 9920 的级别的主要内容。
表 7 美国联邦规格 No.209B级别上限值是各级别名。
上限值用指定粒径以上的浓度(单位堆积粒子数)表示。
*气流换气次数层流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非层流方 式≧20 次/h净化间 级别10010001000010000累计粒 子数1001000 10 10000 65 10000 0 700室内压力PammH 2 O +13 ( +1.3 ) 以上差 (℃)±2.8特 别 时为± 1.4粒子 粒径 um≧0.5≧0.5 ≧5 ≧0.5 ≧5 ≧0.5 ≧5照度1080 --162 0误差 %±10 特 别 时 为 ±5温度推荐 值 (℃)22.2范围(℃)19.4— 25湿度最 低 % 3 0高 ( % )45级别名称**SI***MI M1. 5M2 M2. 5M3 M3. 5M4 M4. 5M5 M5. 5M6EnglishUnit11010010001000010000级别上限值粒径粒径0.1um 0.2um(m3) (ft3 (m3))350 9.9 75.71240 1 2653500 35. 7571200 0 26500 99. 75703500 1 26500 35 0-- 0 7570-- 99 0-- 1 ---- -- ---- -- ---- -- ---- -- ---- -- ----(ft3)2.147.5021.475.0214750214------------粒径0.3um(m3)30.91063091060309010603090------------(ft3)0.8753.008.7530.087.5300875------------粒径0.5um(m3)10.035.310035310003530100003530010000035300010000035300010000000(ft3)0.2831.002.8310.028.31002831000238010000283001000028300粒径5um(m3)--------------2476182470618024706180(ft3)--------------7.0017.570.0175700175* 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
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至于 209E 和 209D 等最大之不同点在于 209E 表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以 “M”字头表示，如 M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位 之标准化。M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um 之微尘粒子数目字以 10 的幂次 方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以 1.5、 2.5、或 3.5......等表示之。表 1-2 即为 1992 年 9 月新颁布之美国联邦标准 209E 之内容， 前述之 M 字母后的数字，可从表中 0.5um 列的数值中求出，读者可试算之。
5um 单位 (ft3) (m3) 0.283 -
1.00 -
(ft3) -
-
M2
3500 99.1 757 21.4 309 8.75
100 2.83 -
-
M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0
353 10.0 -
-
M3
35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 -
表 1-2 美国联邦标准 209E
洁净度等级 0.1um
0.2um
单位
单位
公制 英制 (m3) (ft3) (m3)
M1
350 9.91 75.7
0.3um 单位 (ft3) (m3) 2.14 30.9
微尘粒子
0.5um
单位
(ft3)
(m3)
0.875 10.0
M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3
1080
100 1000 10000
≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0
≦100
≦1 ≦1000 ＞1.3 19.4~25 22.2 特殊 45 30 特殊
≦10
需求
需求
~ 1620
≦10000 ≦65
±1.4
乱流方式≧20
±5
次/hr
≧0.5 100000
≧5.0
≦100000 ≦700
微尘粒子
级数（C 粒子大小 粒子数目 Pa
lass) um rticles/ft3
压力 mmAg
推薦 值域℃
值℃
温度
风速与换气率 照度 lux
（次/hr)
误差 最大 MA 最小 误差%
值℃ X% MIN%
≧0.5
≦1
1
≧5.0
0
层流方式 0.35~
≧0.5 10
≧5.0
≦10 0
±2.8
±10
0.55 m/s
M3.5 100 - - 26500 750 10600 300
3530 100 -
M4
- - 75700 2140 30900 875 10000 283 -
M4.5 1000 - -
-
-
-
M5
--
-
-
-
M5.5 10000 - -
---ຫໍສະໝຸດ -35300 1000 247
-
100000 2830 618
-
- 35 350 3，500 35，000
-
-
-
-
29
290
Class7
107 1，010，000 350，000 2，900
Class8
108 -
10，100，000 3，500，000
29，000
表 1-3 日本 JIS（9920 ~1989）标准
粒径\级 数 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
Class1 Class2 Class Class4 Class5 Class6 3
101
102 103
104
105
106
2
24 236 2，360 23，600
-
1
10 101 1，010 10，100 101，000
-
353000 10000 2470
7.00 17.5 70.0
M6
--
-
-
-
- 1000000 28300 6180
175
M6.5 100000 - -
-
-
-
- 3530000 100000 24700
700
M7
--
-
-
-
- 10000000 283000 61800
1750
美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方 公尺为单位；另外 209D 与日本 JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为 209D 是以 0.5um 之粒 子数为计数基准，而日本则以 0.1um 微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以 Class1,Clas s2,Class3,......Class8 表示，即最好之等级为 Class1,最差则为 Class8,表 1-3 为日本 JIS （9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其 Class1，Class2...之数目字以 0.1um 粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 之幂次方，取其指数而得。
无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一）
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准 209 为多，今就 209D 及 209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表 1-1 为美国联邦标准 209D 之洁净室规格。
表 1-1 美国联邦标准 209D 洁净室规格
洁净室