伺服系统故障诊断与维修
数控机床进给伺服系统类故障诊断与处理(3篇)

数控机床进给伺服系统类故障诊断与处理数控机床进给伺服系统是数控机床中非常关键的一个组成部分,它直接影响机床加工的精度和效率。
然而,在使用过程中,由于各种原因,进给伺服系统可能会出现故障。
本文将介绍数控机床进给伺服系统的常见故障及其诊断与处理方法。
一、数控机床进给伺服系统常见故障1. 运动不平稳:机床在加工工件时,出现运动不平稳的情况,可能是由于进给伺服系统的故障引起的。
这种情况表现为运动过程中有明显的抖动或者不稳定的现象。
2. 运动失效:机床无法正常运动,不响应操作指令。
这种情况可能是由于进给伺服系统的电源故障、控制器故障或者连接线路故障引起的。
3. 位置误差过大:机床在加工过程中,位置误差超过了允许范围,导致加工工件的尺寸不准确。
这种情况可能是由于进给伺服系统的位置反馈元件(如编码器)故障引起的。
4. 加工速度过慢:机床在加工时,进给速度远低于预设值,导致加工效率低下。
这种情况可能是由于进给伺服系统的电机故障或者速度控制回路故障引起的。
二、故障诊断与处理方法1. 运动不平稳的诊断与处理:首先,检查机床的润滑系统,确保润滑油是否充足,并且清洁。
其次,检查机床的传动系统,确保螺杆和导轨的润滑良好。
如果问题还未解决,可以通过检查进给伺服系统的控制器参数是否正确、电机驱动器是否正常工作等方式进一步诊断。
2. 运动失效的诊断与处理:首先,检查进给伺服系统的电源供应情况,确保电源正常。
其次,检查进给伺服系统的连接线路,包括电源线、编码器连接线等,确保线路没有松动或者断裂。
如果问题还未解决,可以通过检查进给伺服系统的控制器和电机驱动器是否正常工作等方式进一步诊断。
3. 位置误差过大的诊断与处理:首先,检查进给伺服系统的位置反馈元件,如编码器是否损坏或者松动。
如果问题还未解决,可以通过检查进给伺服系统的控制器参数是否正确、电机驱动器是否正常工作等方式进一步诊断。
4. 加工速度过慢的诊断与处理:首先,检查进给伺服系统的电机是否正常工作,包括电机是否有异常声音或者发热等。
数控机床伺服系统常见故障诊断及排除

R fi n i ea c ein a dMa fn n e Ig I n
改装与维修
可控硅 , 故障排除。
②伺服系统增益设置不 当; ③位 置检测装置有污染或 损坏 ; ④进给传动链 累计误差过大; ⑤主轴箱垂直运动 时平衡装置不稳。例 : 大连机床厂生产的加工 中心 , 配 用 F N C一 M系统。机床启动后 ,R 显示 3 AU 7 CT 8号报 警 。故障诊断 :8号报警 的含义是 z轴误差 超 出范 3
维普资讯
改装与维修 Rn i n eiaM C fgda e i n n
数控机 床伺 服系统常见故障诊断及 排除
林洪君
( 山东 华源莱 动 内燃机 有 限公 司 , 山东 莱 阳 250 ) 620
Dig o i fCo a n ss o mmo r r fS r o S s e a d T O be h O ig n Er s o e v y t m n r u Is O t o n
LN Hogu I n jn ( hn o gH a unL io gE g eC . Ld , a a g2 5 0 C S a dn u y a a n ni o , t. L i n 6 2 0, HN) d n y
数控机床进给伺服系统 由进给驱动装置、 位置检
低电平 的跳变信号 , 工作 台便 以参数 N .3 o54设定的 速度慢慢 向参考点移动; 当减速挡块释放减速开关时, 减速开关触点重新 闭合 , 1. X 65由“ ” 0 变为“ ” P C l ,M 收到一个由低电平到高 电平的跳变信号之后 , 系统检 测编码器信号 , 当编码器发 出一个零位脉 冲 1 , 0后 工 作台再移动参数 N .0 设 定的一段距 离后 , o5 8 工作 台 停止 , 参考点确立 , 完成 轴 回参考 点操作。从故 障 现象 看 , 轴能进 行返 回参 考点 操作 且 运 动情 况 正常 , 说明 C C系统找参考点指令正常 , N 伺服和测量 系统也 无问题。由于 轴始终以一个速度运动 , 可以判定参 考点开关有 问题 。通过 P C梯形 图观察 IO指示 , L / X 65 1. 始终不变化 , 诊断参考点开关 失效 。通过更换
FANUC0i系列伺服系统故障的诊断与维修

器。
第 二,机床 回参考点 , 但是每 次回到 的参考点的位置都不~样, 也就是 所说的绝对零点丢失。而绝对零点丢失一般都是因为基于 以 下几个 原因:首先,绝对位置编码 器的后备 电池 存在掉电情况;其 次,更 换了伺服放大器;再者 ,更换 了编码器或者是伺服 电机 。为 了判 断是以上的哪个 原因导致 出现 了绝对零点丢失的情况 ,首先就
机 、 自动控 制、精 密机械 、检测等 高新的技术 。随 着数控技 术的不 断发展 ,数 控机床的应用领域也越来越广泛 ,同时伴 随着的 系统故 障也 多样化 复杂化 。 本文就伺服 系统进行 介绍 , 然后针对 F A NUC 0 i
系 列伺 服 系统 故 障进 行 了主要 研 究 。
机械与设备
F A N U C 0 i 系列伺服系统故障的诊断与维修
刘学峰
( 中航工业南方航空工业 ( 集团 ) 有限公司 ,湖南 株 洲 4 1 2 0 0 2)
【 摘 要】 数控机床是典型 的机 电一体化设备 ,它综合 了计算
现 象进行分析 ,并给 出维修方法 。 第一 ,机床不 能回参考 点。所 谓的机 床不能够 回参 考点,就是 说手动 回零 的时候 ,机床不会 减速 ,而且会 出现 超程报 警的现 象, 又或者在采取手动 回零 时,机床会减速 ,但 是减速 以后 并没有 让轴 停止运动 ,最终 导致 出现 9 0 # 报警 。根据 增量回零条件 原理可 知, 出现上述 的现 象的原因可能为减速 开关进油或者是进水,又或者输
否有变化 。如果没有漂移 ,只是位置显示有偏差 ,则检查工件坐标 偏置是否有效;若机械 位置 偏移,则 绝对脉冲编码器故障 。 第三 ,在手动方式 下,机床不能运行 。这个故 障的原 因是显示
4伺服系统故障诊断与维修

数控机床的伺服系统是以直线运动或旋转运动作为控制 对象的自动控制系统,习惯上又称为驱动系统。它接受来自 数控装置的位移、速度指令,经变换、调节和放大后驱动执 行元件,转化为各进给轴及主轴的直线或旋转运动,是联系 数控装置(CNC)和机床的中间环节,是数控机床的重要组成 部分。
1
4.1.1伺服系统工作原理
M 19
主轴停止
M 03
M 04
M 05
复位
急停 定向指令信号
主轴准停的 PMC 程序
35
4 FANUC伺服有关参数的设置
1).伺服初始化的准备
首先确认以下基本数据,以便进行初始化工作。 • 数控系统的型号。 • 伺服电动机的型号、规格、电机代码。 • 电动机内装的脉冲编码器的型号、规格。 • 伺服系统是否使用外部位置检测器件,如使用,需要
27
适用与FANUC 0i Mate系统的βi伺服单元
(a)βis系列单轴型伺服单元 (b)βiSVSP一体型伺服单元(SVSP)
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FANUCβi系列伺服单元端子及接口
βis系列单轴型伺服单元的连接
29
βiSVSP一体型伺服单元的连接
30
3 主轴准停功能
主轴准停又称为主轴定向,是指主轴周向的准 确定位功能。主轴准停功能的作用主要有:
• 光栅尺拆装时要用静力,不能用硬物敲击,以 免引起光学元件的损坏。
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4.磁栅尺
磁栅又叫磁尺,是一种直线位移检测装置,它由磁性 标尺、拾磁磁头和检测电路组成。磁栅测量精度较高、安 装调整方便,对使用环境要求低,如对周围的电磁场的抗 干扰能力较强,在油污和粉尘较多的场合使用有较好的稳 定性,长度在2米以上性价比优势愈加明显 。
数控机床伺服系统常见故障的诊断及其处理

数控机床伺服系统常见故障的诊断及其处理数控机床伺服系统是机床的重要组成部分,其故障会严重影响机床的生产效率和质量。
本文将对数控机床伺服系统常见故障进行分析,提供相应的诊断和处理方法,帮助机床维修工程师进行有效的故障排查。
一、伺服电机输出不稳定或不工作的故障1. 伺服电机电气连接故障。
在伺服电机输出不稳定或不工作的情况下,首先要检查电气连接是否良好,包括伺服电机与伺服主轴电机之间的电气连接是否正常、伺服驱动器电气与伺服电机之间的连接是否正确、接地是否合格等,排除电气连接问题。
2. 伺服电机本身故障。
伺服电机的故障如轴承磨损、线圈断路、电机转子故障等都会导致输出不稳定或不工作的情况,需要进行检测和维修。
常见的检测方法如用万用表测量电机的电阻,检查电机转动是否灵活、轴承是否正常等。
3. 伺服驱动器故障。
伺服驱动器的故障如防护电路故障、电源故障、接口板连接不良等都会导致伺服电机输出不稳定或不工作,需要检查相应的部件进行排查。
常见的检测方法如检查驱动器是否有报警信号、电源是否正常、接口板是否正确插接等。
二、伺服系统位置偏移或误差过大的故障1. 导轨故障。
导轨质量差、磨损严重或进刀太大等都会导致伺服系统位置偏移或误差过大,需要检查导轨表面是否有磨损痕迹以及导向面是否平整。
2. 动态中的机械振动、系统震动或机床本身质量不好。
这些因素在机床运行中都会产生影响,导致伺服系统位置偏移或误差过大,需要进行检查和调整。
调整方法可采用优化机床支撑结构、调整伺服参数等。
3. 伺服系统参数设置错误。
如伺服系统的比例系数、积分系数和微分系数未能正确设置,将导致位置偏移或误差过大。
此时需要检查和调整伺服系统的参数设置。
三、伺服系统温度过高或过低的故障伺服系统的温度过高或过低都会导致数控机床性能下降,进而影响机床的精度和稳定性。
常见的故障原因包括:1. 冷却系统故障。
如冷却水温度过高或过低、冷却系统中水泵或水管路堵塞、扇叶损坏等都会导致伺服系统温度异常。
数控机床主轴伺服系统常见故障诊断与维护

SCIENCE &TECHNOLOGY VISION科技视界2011年8月第23期科技视界Science &Technology Vision1伺服系统简介1.1伺服系统的概念数控机床伺服系统是指以机床移动部件的位置和速度作为控制量的自动控制系统,又称随动系统。
在数控机床中,伺服系统是连接数控系统和数控机床本体的中间环节,是数控机床的“四肢”。
因为伺服系统的性能决定了数控机床的性能,所以要求伺服系统具有高精度、快速度和良好的稳定性。
1.2伺服系统的工作原理伺服系统是一种反馈控制系统,它以指令脉冲为输入给定值与输出被调量进行比较,利用比较后产生的偏差值对系统进行自动调节,以消除偏差,使被调量跟踪给定值。
所以伺服系统的运动来源于偏差信号,必须具有负反馈回路,并且始终处于过渡过程状态。
在运动过程中实现了力的放大。
伺服系统必须有一个不断输入能量的能源,外加负载可视为系统的扰动输入。
2直流主轴伺服系统从原理上说,直流主轴驱动系统与通常的直流调速系统无本质的区别,但因为数控机床高速、高效、高精度的要求,决定了直流主轴驱动系统具有以下特点:2.1调速范围宽。
2.2直流主轴电动机通常采用全封闭的结构形式,可以在有尘埃和切削液飞溅的工业环境中使用。
2.3主轴电控机通常采用特殊的热管冷却系统,能将转子产生的热量迅速向外界发散。
2.4直流主轴驱动器主回路一般采用晶闸管三相全波整流,以实现四象限的运行。
2.5主轴控制性能好。
2.6纯电气主轴定向准停控制功能。
3交流主轴伺服系统主轴驱动交流伺服化是数控机床主轴驱动控制的发展趋势,交流主轴伺服系统的特点如下:3.1振动和噪声小3.2采用了再生制动控制功能3.3交流数字式伺服系统控制精度高3.4交流数字式伺服系统用参数设定(不是改变电位器阻值)调整电路状态4主轴伺服系统的常见故障形式4.1当主轴伺服系统发生故障时,通常有三种表现形式4.1.1是在操作面板上用指示灯或CRT 显示报警信息;4.1.2是在主轴驱动装置上用指示灯或数码管显示故障状态;4.1.3是主轴工作不正常,但无任何报警信息。
伺服系统常见故障与排除

11. 不 能 准 备 好 系 统 , 报 警 显 示 伺 服 VRDY OFF 〔0,16/18/0i为401〕
系统开机自检后,如果没有急停和报警,那么发 出*MCON信号给所有轴伺服单元,伺服单元承受到 该信号后,接通主接触器,电源单元吸合,LED由 两杠〔――〕变为00,将准备好〔电源单元准备 好〕信号,送给伺服单元,伺服单元再接通继电 器,继电器吸合后,将*DRDY信号送回系统,如果 系统在规定时间内没有承受到*DRDY信号,那么发 出此报警,同时断开各轴的*MCON信号,因此,上 述所有通路都是可能的故障点。
8)观察所有伺服单元的LED上是否有其他报警信号, 如果有,那么先排除这些报警
9)如果是双轴伺服单元,那么检查另一轴是否未接 或接触不好或伺服参数封上了〔0系统为8×09#0, 16/18/0i为,s1,s2设定如下: s1-TYPEA,s2-TYPEB
d.伺服放大器的内部过热检测电路故障,更换伺服放 大器或修理
③伺服放大器检测到主回路过热
a.关机一段时间后,再开机,如果没有报警产生, 那么可能机械负载太大,或伺服电机故障,检 修机械或更换伺服电机
b.如果还有报警,检查IPM模块的散热器上的热 保护开关是否断开,更换
c.更换伺服放大器
例如:某直流伺服电机过热报警,可能原因有: ①过负荷。可以通过测量电机电流是否超过额定值 来判断。②电机线圈绝缘不良。可用500V绝缘电阻 表检查电枢线圈与机壳之间的绝缘电阻。如果在 1MΩ以上,表示绝缘正常,否那么应清理换向器外 表的炭刷粉末等。③电机线圈内部短路。可卸下电 机,测电机空载电流,如果此电流与转速成正比变 化,那么可判断为电机线圈内部短路。应清扫换向 器外表,如外表上有油更易引起此故障。④电机磁 铁退磁。可通过快速旋转电机时,测定电机电枢电 压是否正常。如电压低且发热,那么说明电机已退 磁。应重新充磁。⑤制动器失灵。当电机带有制动 器时,如电机过热那么应检查制动器动作是否灵活。 ⑥CNC装置的有关印制线路板不良。
ABB机器人伺服电机故障诊断及维修【技巧】

直流伺服电机是abb机器人的主要动力部件,通过对直流伺服电机故障进行诊断,找出了故障产生的原因,自制了维修专用工具进行故障维修,使ABB机器人能够正常生产,取得了较好的效果。
ABB机器人故障现象ABB机器人加工过程中经常出现伺服报警停机问题,主要是伺服电机的问题我们了解到ABB 机器人在正常加工烧结厂台车的过程中,出现报警停机故障,报警号过重新启动,重复故障现象,通过向操作者了解到报警前ABB机器人声音异常,有振动的感觉,伺服机外壳较热故障原因分析通过查找资料分析到:报警信号是伺服系统轴速度控制信号中断,报警信号是ABB机器人停车时轴的误差寄存器内容大于允许值。
对报警信号401分析依资料分析轴的速度控制系统出现问题速度控制系统包括:(1)速度给定指令值;(2)测速反馈系统;(3)位置检测系统;(4)速度执行元件;(5)热保护器等 .这其中至少有一项出现问题就会发出报警指令因为ABB机器人是在运行中停机,首先确认在ABB机器人故障前的运行情况从现场看ABB机器人正在加工台车,运行进给所用伺服电机是轴电机轴电机和主轴电机,了解到操作者在故障前因调整刀具位置,利用手动快速调整轴坐标,而后在运行中出现了伺服报警停机根据以上了解和伺服电机发热的情况,结合报警指示,分析可能是轴伺服电机速度控制系统元件发生故障导致停机。
对报警信号420的分析:因为电枢电流和输出转矩成正比关系,电机转速与电压成正比关系,故障点间有大的冲击电流,造成4.2对Fanuc 50M 型伺服电机进行拆解首先打开电刷盖取出电刷发现弹簧已过热失效,又打开一侧盖发现换向器已严重烧坏,必需全机解体检查修理由于型伺服电机密闭性能强,成本很高,以前没有拆解经验,也无专用拆解工具,如拆解处理不好,整台电机将报废,责任很大,会影响我厂大型工件的加工生产为此查阅很多资料,认真分析观察,自做卸轮器专用改锥加长内六方旋具等,结合现场情况对伺服电机进行了拆解拆解步骤:(1)用自制合适的非标专用改锥把伺服电机电刷盖打开,取出电刷;(2)在电机壳与刷架之间做一位置记号,防止刷架的位置不在中性线上,引起换向不正常;(3)打开伺服电机后罩时注意内部有测速机和旋转变压器热保护元件等;(4)拆下旋转变压器后,再用卸轮器拆下旋转变压器的大齿轮;(5)拆下测速发电机拆测速发电机刷架时注意小电刷不能损坏;(6)拆下伺服机转子时注意伺服机的磁钢与转子之间存在着很强的吸力,要拆下机壳时需几人合作才能拔出;(7)从转子上拆下滚珠轴承并清洗首先对伺服换向器现状进行分析,电刷多数已烧坏,弹簧压力尽无,刷座有两个已松动,三个已开线;整流子凹凸不平,烧痕较深测速机换向器处碳粉较多,经分析伺服机长期运行,环境差,特别是油污较大,使电刷被油浸湿由于上述原因导致的后果如下:a、使电刷与整流子的接触器电阻增大,发热;b 、使换向器绝缘下刻模形成碳粉短路,造成更大的电流转入形成环流,加剧换向器损坏;c、测速反馈换向器碳粉多,油湿加碳粉使刷架与电机壳短路,影响了测速反馈信号的稳定,也促使伺服电机运行抖动不稳免责申明:⽂章来源于网络综合整理,如⽂意中侵犯您的权益,请及时联系我们删除处理。
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伺服系统故障诊断与维修
4.1.1伺服系统工作原理
• 如图所示是数控机床的半闭环伺服系统,反馈信号取自 伺服电机,通过采样其旋转角度进行检测,而不是直接检测最 终运动部件的实际位置
•CNC •位 置 控 制 单
插补 元 指令•+
•位置
•-
•调节
•实际 位置反
馈
•速度控制单元
•+
•速度 •+
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伺服系统故障诊断与维修
3.光栅尺
• 光栅尺是高精度的直线位移测量元件,在高精度的 数控机床上,常使用光栅尺作为位置检测装置。
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•海德汉公司的封闭式直线光栅 尺
伺服系统故障诊断与维修
海德汉封闭式直线光栅尺结构示意图
• 光栅尺由标尺光栅和扫描单元两部分组成,铝制外 壳可以保护光栅尺、扫描单元和轨道免受灰尘、切屑和切 削液的影响。标尺光栅一般安装在机床的活动部件上,如 工作台。扫描单元安装在机床固定部件上。扫描光栅安装 在扫描单元中。
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伺服系统故障诊断与维修
2.旋转编码器
• 旋转编码器是一种旋转式脉冲发生器,用 于角位移的测量,同时也作为速度检测装置
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•旋转编码器
伺服系统故障诊断与维修
• 增量式旋转编码器的结构如图所示。在一个圆盘的圆周上刻 有相等间距的线纹,称为圆光栅。圆光栅和工作轴一起旋转。与圆 光栅相对的,平行放置一个固定的扇形薄片,称为指示光栅。上面 制有相差1/4节距的两个狭缝,称为辨向狭缝。此外,还有一个零位 狭缝(一转发出一个脉冲)。
伺服系统故障诊断与维 修
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2020/11/4
伺服系统故障诊断与维修
4.1 伺服系统
• 数控机床的伺服系统是以直线运动或旋转运动作为控制 对象的自动控制系统,习惯上又称为驱动系统。它接受来自 数控装置的位移、速度指令,经变换、调节和放大后驱动执 行元件,转化为各进给轴及主轴的直线或旋转运动,是联系 数控装置(CNC)和机床的中间环节,是数控机床的重要组成 部分。
•CNC插 •位置控制单元
补指令•+
•位置
•-
•调节
•实际 位置反
馈
•速度控制单元
•+
•速度 •+
•- •调节
•实际 速度反
馈
•电流 •- •调节
•转换 •驱动
•电流反馈
•速度检测与反馈
•机械执行部件 •电机
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•位置检测与反馈
•全闭环伺服系统
伺服系统故障诊断与维修
1.检测信号的反馈形式
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伺服系统故障诊断与维修
扫描单元的工作原理
•扫描单元由光源、聚光镜、扫描光栅、光敏元件和驱动电路等组成
•LED光源
•聚光镜
PPT文档演伺模板 服驱动装置之间有专门的通讯协议,为串伺服行系统编故障码诊断器与维。修
由于编码器是光电元件,在使用过程中要注 意以下几点:
1) 编码器安装后的径向跳动要小于0.1mm; 2) 编码器安装环境不能有强烈的振动,避免敲击; 3) 编码器不能承受过大的径向力;
4) 编码器安装环境不能有严重的粉尘、油雾污染。
• 检测装置是数控机床闭环伺服系统的重要组成部分。 它的主要作用是检测位移和速度,并发出反馈信号。检测系 统的精度和数控机床的加工精度紧密相关,高精度的数控机 床必须系统故障诊断与维修
1.旋转变压器
• 旋转变压器是一种常用的角位移检测元件,由于它结构 简单,工作可靠,且其精度能满足一般的检测要求,因此曾被 广泛应用在数控机床上。
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•光电式旋转编码器的结构示意图
伺服系统故障诊断与维修
• 如图所示,A和B信号的相位相差90°,经放大 整形后成为方波形信号。通过判断A、B两相信号的相 位,可以确定电机的旋转方向,通过对脉冲计数,可 以知道电机转过的角度。
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•光电式旋转编码器的输出波形
伺服系统故障诊断与维修
•- •调节
•实际 速度反
馈
•电流 •- •调节
•转换 •驱动
•电流反馈
•位置/速度检测与 反馈
•半闭环伺服系统
•机械执行部件
•电 机
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伺服系统故障诊断与维修
•4.1.1伺服系统工作原 理
• 如图所示是数控机床的全闭环伺服系统,位置反馈信号取 自最终运动部件,直接采样其直线位移信号进行检测。
•(3). 转速、位置信号处理分离
•(2).转速、位置信号处理均由CNC完 成
•(4).数字式伺服系 统
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伺服系统故障诊断与维修
2.数控机床对伺服系统的要求
(1)精度高 (2)调速范围宽 (3)快速响应 (4)低速大转矩
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伺服系统故障诊断与维修
4.1.2 常用检测反馈元件
αiMZ αiBZ αiCZ
4096 360000 3600000
主轴用编码器(带一 转信号) 内装主轴用编码器 (带一转信号)
高精度轮廓控制用编 码器(带一转信号)
• 型号中字母“A”表示绝对值编码器,字母“I”的为增量式
编码器。
• FANUC编码器并没有输出常见的A、B、Z、 并行六脉冲 信号,只有两根信号线RD、*RD,这是串行输出,编码器和
分辨率(ppr) 绝 对 / 增 型号 分 辨 率 绝对/增量
量
(ppr)
αiA16000 16 000 000 绝对 βiA 64 65536(216) 绝对
αiA1000 1 000 000 绝对 αiM 4096
主轴用编码器(不带 一转信号)
αiI1000 1 000 000 增量 βiA 128 131 072(217) 绝对
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1壳体 2旋转变压器本体定子 3附加变压器定子 4附加变压器原边线圈 5附加变压器转子线圈 6附加变压器次边线圈 7旋转变压器本体转子 8转子轴
•无刷式旋转变压器
伺服系统故障诊断与维修
• 旋转变压器的输出为模拟量信号,精度不如数字量输出 的检测元件,但结构简单、坚固、耐热、耐冲击、抗干扰、信 号输出幅度大、成本低,适用于恶劣环境。
• 绝对式旋转编码器是一种直接编码、直接测量的检 测装置,它能指示绝对位置,没有累积误差。
• 二进制码盘的计数图案的改变按二进制规律变化。 格雷码的计数图案的切换每次只改变一位,误差可以控制 在一个单位内。
PPT文档演模板
•二进制编码盘
•格雷码盘 伺服系统故障诊断与维修
•FANUC控制用编码器
型号