洁净室规范对设备材料的要求
JGJ71-90洁净室施工及验收规范
符合设计规定 并有出厂合格证或质量鉴定证明文件 对质量有怀
疑时 必须进行检验 过期材料不得使用
第
条 洁净室施工过程中 应在每道工序施工完毕后
进行中间检验验收 并记录备案
第
条 洁净室的施工及验收除执行本规范外 还应符
合国家现行的有关标准的规定
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第二章 建 筑 装 饰
第一节 一 般 规 定
应相同 严禁在密封垫上刷涂涂料
于
第
条 踢脚板部分施工时应与墙面平齐或略缩进
当踢脚板与地面材料相同时可做成小圆角 其圆角半径
应大于等于
当踢脚板与地面材料不同时 应用弹性材料
嵌固 见图
1
2-3mm
2
R 50mm
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第 定
图
踢脚板部分做法
踢脚板 密封嵌固材料
条 洁净室的装饰表面质量应符合表
的规
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中华人民共和国行业标准
洁净室施工及验收规程
北京
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中华人民共和国行业标准
洁净室施工及验收规范
主编单位 批准部门 施行日期
中国建筑科学研究院 中华人民共和国建设部
年月日
关于发布行业标准 洁净室施工及 验收规范 的通知
建标字第 号
根据原国家计委计标函
第 号文的要求 由中国建
耐潮湿 霉变 耐潮湿 霉变 耐潮湿 霉变
涂 地料
卷 材
面水 磨 石
不起壳 脱皮
不虚铺 缝隙对齐 不积灰
不起砂 密实 光滑
耐磨 耐磨 耐磨
耐 清 洗 电阻为 耐 清 洗 电阻为 耐清洗
目 气密性
板缝平齐 密封
板缝平齐 密封
百万级洁净室判定标准
百万级洁净室判定标准百万级洁净室是指洁净度达到百万级别（ISO 6级）的无尘房间，适用于对洁净度要求较高的行业，如半导体、光电子、医药等。
以下是百万级洁净室的一般标准和要求：1. 洁净度要求：百万级净化车间的洁净度要求为ISO 6级，即每立方米空气中的颗粒物不得超过0.1微米以上的颗粒数为100万个。
2. 压差控制：百万级净化车间需要实现正压或负压控制，以防止外部空气或污染物进入车间。
通常采用空气流向控制和压差控制装置来实现。
3. 空气过滤系统：百万级净化车间需要配备高效过滤器，如HEPA（高效颗粒空气过滤器）或ULPA（超高效颗粒空气过滤器）等，以过滤空气中的颗粒物。
4. 温湿度控制：百万级净化车间需要对温度和湿度进行严格控制，以满足工艺要求和产品质量要求。
通常采用空调系统、加湿器和除湿器等设备来实现控制。
5. 静电控制：对于对静电敏感的行业，百万级净化车间需要采取静电控制措施，如地面导电、静电消除器等，以防止静电对产品和设备的影响。
6. 材料选择：百万级净化车间的装修材料需要符合洁净度要求，常见的选择包括不锈钢、铝合金、特殊塑料等，具有耐腐蚀、易清洁、不产生颗粒物等特点。
7. 设备布局：百万级净化车间的设备布局需要合理，以确保空气流通和工作效率。
设备之间的间距和通道的设置应符合洁净度要求，并便于维护和操作。
8. 照明设计：百万级净化车间的照明设计需要提供适宜的照明亮度，同时避免光污染。
选择合适的照明设备和布局，以满足工作需求和洁净度要求。
9. 安全控制：百万级净化车间需要考虑安全因素，如防火、防爆、紧急逃生等。
设置安全设施和应急措施，确保车间的安全运行和人员的安全。
百万级洁净间的具体标准和要求可能会根据不同行业和具体工艺要求有所差异。
在设计和建设过程中，需要参考相关的行业标准和规范，并咨询专业的净化工程师或顾问的意见，以确保车间的洁净度和工艺要求得到满足。
gb50591-2010洁净室施工及验收无尘车间
《GB505912010洁净室施工及验收无尘车间》一、洁净室施工要点1. 设计合规性在进行洁净室施工前，要确保设计图纸符合GB505912010标准。
设计人员需充分考虑无尘车间的功能需求、空气洁净度等级、设备布局等因素，确保施工顺利进行。
2. 材料选用3. 施工工艺（2）地面施工：选用不起尘、易清洁、耐磨损的材料，如环氧自流平地坪。
施工过程中，注意地面平整度、坡度及排水系统。
4. 设备安装（1）空气处理设备：包括风机、过滤器、风管等，应按照设计图纸及GB505912010标准进行安装。
（2）照明设备：选用高效、节能、低噪音的照明灯具，合理布局，确保无尘车间光照均匀。
（3）电气设备：遵循国家相关电气规范，确保无尘车间供电稳定、安全。
二、无尘车间验收要点1. 空气洁净度检测采用尘埃粒子计数器等检测设备，对无尘车间的空气洁净度进行检测。
检测结果应符合GB505912010标准及设计要求。
2. 气密性检测对无尘车间的墙体、地面、吊顶等部位进行气密性检测，确保无尘车间整体气密性良好。
3. 设备性能检测检查空气处理设备、照明设备、电气设备等运行状况，确保设备性能稳定、安全可靠。
4. 装修质量验收检查无尘车间的装修质量，包括材料、施工工艺、细节处理等方面，确保符合GB505912010标准及设计要求。
5. 竣工资料审查审查无尘车间的施工图纸、材料验收报告、设备检测报告等竣工资料，确保齐全、真实、有效。
《GB505912010洁净室施工及验收无尘车间》三、无尘车间日常维护与管理1. 人员管理（1）进入无尘车间的人员必须经过专业培训，了解无尘车间的各项规定和操作流程。
（2）工作人员应穿戴符合洁净度要求的服装、鞋帽和手套，以减少尘埃的产生。
（3）严格控制无尘车间的进出人数，避免人员过多导致洁净度下降。
2. 物料管理（1）物料进入无尘车间前，需进行清洁、消毒处理，确保不带入污染物。
（2）物料存放区域应划分明确，标识清晰，防止交叉污染。
净化工程洁净室施工(3篇)
第1篇一、施工准备1. 设计方案：根据洁净室的使用需求和规范要求，制定详细的设计方案，包括洁净室布局、设备选型、空气净化系统等。
2. 材料设备：选择符合洁净要求的材料，如彩钢板、不锈钢板、防静电地板等。
同时，准备好施工所需的设备和工具，如切割机、焊接机、卷圆机、吊装设备等。
3. 人员培训：对施工人员进行洁净室施工规范和操作流程的培训，确保施工人员掌握相关知识和技能。
二、施工流程1. 基础施工：在洁净室基础施工过程中，要确保基础平整、坚实，避免出现裂缝、沉降等问题。
2. 围护结构施工：采用彩钢板、不锈钢板等材料进行围护结构施工。
施工过程中，要注意接缝严密，避免出现漏风、漏尘现象。
3. 地面施工：选用防静电、耐磨、易清洁的地板材料。
在施工过程中，要确保地面平整、无裂纹、无尘土。
4. 顶棚施工：采用彩钢板、铝板等材料进行顶棚施工。
施工过程中，要注意顶棚的平整度、接缝严密性。
5. 空气净化系统施工：安装新风机组、回风口、过滤器等设备。
在施工过程中，要确保设备安装牢固、管道连接严密。
6. 洁净设备安装：安装风淋室、传递窗、高效过滤器等洁净设备。
在施工过程中，要确保设备安装位置合理、功能正常。
7. 电气系统施工：安装照明、插座、插座箱等电气设备。
在施工过程中，要确保电气线路布置合理、连接牢固。
8. 装修施工：安装吊顶面板、墙面材料等。
在施工过程中，要确保装修材料符合洁净要求，施工工艺规范。
三、施工注意事项1. 施工过程中，要严格控制施工现场的尘埃、细菌等污染物，确保洁净室的环境。
2. 施工人员要穿戴洁净服、口罩、手套等防护用品，防止污染洁净室。
3. 施工过程中，要严格按照规范操作，确保施工质量。
4. 施工完成后，要对洁净室进行验收，确保各项指标达到要求。
总之，洁净室施工是一项复杂、严格的工程。
在施工过程中，要注重施工质量、环境保护，确保洁净室的质量和效果。
第2篇一、施工准备1. 设计方案：根据洁净室的使用需求，制定合理的设计方案，包括布局、设备选型、空气处理系统等。
洁净室施工及验收规范
第一章总则第二章建筑装饰第一节一般规定第二节材料要求第三节构造与装饰要求第四节施工要求第五节装配式洁净室的安装第三章净化空调系统第一节一般规定第二节风管及其部件的制作第三节系统安装保温施工时不得在风管壁上开孔和上螺钉，不得破坏系统的密闭性。
风阀和清扫孔的保温措施不应妨碍阀和门的开启。
第四节高效过滤器安装第六节空气净化设备和装置的安装本节未包括的或有特殊要求的设备，其安装施工及验收的技术要求，应按设备的技术文件（如说明书、装配图、技术要求等）的规定执行。
一、设备无缺件，表面无损坏和锈蚀等情况；二、内部各部分连接牢固。
一、生物安全柜在安装搬运过程中，严禁将其横倒放置和拆卸，宜在搬入安装现场后拆开包装；二、生物安全柜安装位置在设计未指明时应避开人流频繁处，并应避免房间气流对操作口空气幕的干扰；三、安装的生物安全柜的背面、侧面离墙壁距离应保持在80～300mm之间。
对于底面和底边紧贴地面的安全柜，所有沿地边缝应加以密封。
四、生物安全柜的排风管道的连接方式，必须以更换排风过滤器方便确定。
一、压力渗漏试验，应确认所有接缝的气密性及整个设备没有漏气；二、高效空气过滤器的渗漏试验，应确认高效空气过滤器本身及其安装接缝处没有渗漏；三、操作区气流速度试验，应确认整个操作区的气流速度均满足规定的要求；四、操作口气流速度试验，应确认整个操作口的气流速度均满足规定的要求；五、操作口负压试验，应确认通过整个操作口的气流流向均指向柜内；六、洗涤盆漏水程度试验，应确认盛满水的洗涤盆经过1h后无漏水现象；七、接地装置的接地线路电阻试验，应确认接地的分支线路在接线及插座处的电阻不超过规定值。
第四章水、气、电系统第一节一般规定第二节给水排水一、给水管道、工艺设备的冷却循环水管道宜为镀锌钢管；二、纯水、高纯水管道为不锈钢（SUS）管、硬聚氯乙烯（PVC）管、聚丙烯（PP）管和工程塑料（ABS）管等；三、管道的配件应采用与管道相应的材质。
洁净无尘室之定义标准和设备要求
洁净无尘室之定义(一)洁净室之定义（供大家参考）洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、、、M3…..依此行推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=(m之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以、、….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以(m微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
洁净室安装标准
洁净室安装标准一、建筑设计1. 洁净室（区）的建筑布局设计应合理，符合《洁净厂房设计规范》等要求。
2. 洁净室（区）的地面、墙面、天花板应平整、光滑、无颗粒物，易于清洁和消毒。
3. 洁净室（区）应设置单独的物流通道和物流口，物流通道应与洁净室（区）相连通，并设有缓冲间。
4. 洁净室（区）的门窗应密封、易清洁，不得设置门槛。
5. 洁净室（区）内应设置单独的洗手设施和消毒设施。
二、空调系统1. 洁净室（区）的空调系统应独立设置，不得与其他空气净化系统共用。
2. 空调系统的送风口、回风口、排风口的位置应合理设置，防止洁净室（区）内的交叉污染。
3. 空调系统的风管、过滤器等设备应易于清洁和消毒。
4. 空调系统的温度、湿度、压力、洁净度等参数应符合《洁净厂房设计规范》等要求。
三、洁净设备1. 洁净室（区）内使用的设备、器具应符合相关的卫生标准和规定。
2. 洁净室（区）内的设备、器具应易于清洁和消毒。
3. 洁净室（区）内的设备、器具应按照要求进行安装和维护，确保其正常运行和使用效果。
四、洁净室门禁系统1. 洁净室（区）应设置独立的门禁系统，控制人员进出和物品流动。
2. 门禁系统应配备自动感应装置和消毒设施，防止人员和物品带来的污染。
3. 进入洁净室（区）的人员应按规定更换洁净服、鞋、帽等个人防护用品，并进行手部清洁和消毒。
4. 洁净室（区）内应设置监控摄像头等安全设施，确保生产过程的安全性和可追溯性。
五、排水系统1. 洁净室（区）的排水系统应独立设置，不得与其他排水系统共用。
2. 排水系统的管道应采用不锈钢管或其他符合卫生标准的材料制作，防止细菌、病毒等微生物滋生。
3. 排水系统的设备、器具应易于清洁和消毒，防止细菌、病毒等微生物滋生。
4. 排水系统的排放口应设置过滤装置，防止污染物排放到环境中。
六、其他要求1. 洁净室（区）内应设置应急照明设施和消防设施，确保生产过程的安全性。
2. 洁净室（区）内的温度、湿度、噪音等环境参数应符合《洁净厂房设计规范》等要求，保证员工的舒适度和生产环境的稳定性。
《洁净室施工及验收规范》
《洁净室施工及验收规范》第一章总则第1 0 1条为了在洁净室（含装配式洁净室，下同）施工中，贯彻国家有关的方针政策和统一施工验收要求，统一检测方法，做到保证工程质量、节约能源、保护环境和安全操作，特制定本规范。
第1 0 2条本规范适用于新建和改建的工业洁净室和一般生物洁净室的施工及验收，不适用于有生物学安全要求的特殊生物洁净室的施工及验收。
第1 0 3条洁净室必须按设计图纸施工，施工中需修改设计时应有设计单位的变更通知。
没有图纸和技术要求的不能施工和验收。
第1 0 4条洁净室施工前应制订详尽的施工方案和程序，施工中各工种之间应密切配合，按程序施工。
先行施工的工种，不得妨碍后续的施工。
第1 0 5条工程所用的主要材料、设备、成品、半成品均应符合设计规定，并有出厂合格证或质量鉴定证明文件。
对质量有怀疑时，必须进行检验。
过期材料不得使用。
第1 0 6条洁净室施工过程中，应在每道工序施工完毕后进行中间检验验收，并记录备案。
第1 0 7条洁净室的施工及验收除执行本规范外，还应符合国家现行的有关标准的规定。
第二章建筑装饰第一节一般规定第2 1 1条洁净室建筑装饰施工应于屋面防水工程和外围护结构完成，外门、外窗安装完毕，主体结构验收后进行，其内容包括室内装饰工程，门窗安装，缝隙密封，以及各种管线、照明灯具、净化空调设备、工艺设备等与建筑的结合部位缝隙的密封作业。
第2 1 2条洁净室建筑装饰施工进度安排应与其他专业工种制订明确的施工协作计划，按程序施工，互相配合。
施工主要程序见附录二。
第2 1 3条洁净室建筑装饰施工除应符合现行国家标准《装饰工程施工及验收规范》GBJ21 0和《地面与楼面工程施工及验收规范》GBJ 2 0 9的要求外，还应保证施工的气密性，减少施工作业的发尘量和保持施工现场的清洁。
有防腐蚀要求时，还应符合现行国家标准《建筑防腐蚀工程施工及验收规范》T J212的规定。
第2 1 4条洁净室建筑装饰施工现场的环境温度应不低于1 0C, 但对特殊的装饰工程，应按装饰材料说明书要求的温度施工。
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洁净室规范对设备材料的要求中国电子工程设计院陈霖新☆The Requriment Of CIeanroom Code for Equipment and MaterialsByCHENGLinsing**China Electronics Engineering Design Institufe☆陈霖新，男，1937年2月生，高级工程师，“工厂动力”《洁净厂房设计与施工》主编，100840 北京307信箱 (010)68207517 收稿日期：2003-10-281 洁净室建造中设备材料的重要性设备材料的重要性表现为：·实现洁净度、满足产品要求的主要依据；·确保安全、可靠运行的条件；·实现降低建造费用、经济运行的前提。
合理、准确选用洁净室建造用设备、材料是工程设计的重要工作。
2 洁净室设备材料分类及有关要求(1)产品生产设备·选择依据是产品品种、规模及其生产工艺等；·布置在洁净室中的生产设备应表面平整、光洁、不易脱落污染物；·局部净化与生产设备；·隔离装置；·微环境。
(2)人净、物净设施①空气吹淋室·高速洁净气流吹落、清除人员表面附着的微粒；·设在洁净室人员入口处，并与洁净服更衣室相邻；·单人吹淋室最大班人数每30人设一台；·5级(100级)以上的垂直单向流洁净室，宜设气闸室；·洁净区(室)人员超过5人时，吹淋室应设旁通门，各类洁净室设置吹淋室的做法各不相同，实践说明吹淋室有人净效果，并具有气闸作用、警示作用。
②气闸室、缓冲间·垂直单向流洁净室人口；·阻隔室外或邻室的污染气流、压差控制；·洁净室(区)与非洁净室(区)之间必须设；·洁净室(区)的物料出人口设置，并配置清洁措施；·物料传递用洁净室专用传递窗。
③洁净工作服·选材、式样及穿戴方式应与生产操作和洁净度等级要求适应；·各类、各等级的洁净服不得混用，并应分别清洗、整理；·质地光滑、不产生静电、不脱落纤维和颗粒；·无菌洁净服必须包盖全部头发、胡须及脚部，并能滞留人体脱落物；·洁净服洗涤室的空气洁净度等级不宜低于8级(10万级)；·洁净服更衣室的空气洁净度等级宜按低于相邻洁净室(区)1～2级。
(3)装饰材料·是达到空气洁净度的条件之一；·确保洁净室安全、可靠运行；·选用符合消防、环保要求的材质；·符合具体工程设计的构造；·气密性良好，温湿度变化变形小；·便于清洁或清洗；·抗化学／微生物的侵蚀；。
·不产尘、积尘，不霉变等。
①内墙壁、顶棚·表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光，便于清洁或清洗；·少或无凹凸面，无裂缝、接口严密、无颗粒脱落；·墙壁与地面的交界处宜成弧形或采取其他措施，减少微粒积聚；·踢脚不应突出墙面；·构造和施工缝隙，均应可靠的气密；·色彩宜淡雅柔和，光反射系数宜为0.6~0.8；·严于8级(10万级)的洁净室，宜采用轻质壁板结构；·应为不燃烧体(包括夹芯材料)，且不得采用有机复合材料；·顶棚耐火极限不应低于0.4h，疏散走廊顶棚不应低于1.0h。
②抹灰、涂料·当内墙壁、顶棚采用抹灰时，应为高级抹灰，养护时间应充分；·面层涂料应为难燃、不开裂、耐清洗、表面光滑；·涂料不易吸水变质发霉；·不得采用受热、湿影响产生变形、霉变、粉化的材料；·不得采用可持续挥发有机化学物质的材料。
③门、窗·当洁净室(区)设外窗时，应采用双层固定窗，并应有良好气密性；·构造和施工缝隙，均应采取可靠的气密措施；·窗宜与墙面齐平，不宜设窗台；·门应避免水平面，表面无突纹，不用门坎；·门应减少五金部件的磨损、易于清洁；·洁净区与非洁净区或与室外相通的安全疏散门应加闭门器；·安全疏散门不应采用吊门、转门、侧拉门、卷帘门和电控自动门。
④地面·应满足产品生产工艺要求；·应平整、耐磨、易清洗、防滑；·不易积聚静电，避免眩光；·不开裂；·地面垫层宜配筋，潮湿地区应防潮；·格栅地板、多孔地板。
(4)空气净化系统设备、材料①空气净化设备的能力确定与下列因素有关：·空气洁净度等级、气流流型；·产品生产特点；·净化空调系统的划分；·拟采用的设备特性。
②气流流型与送风量·气流流型应满足空气洁净度等级要求；·工作区的气流速度应满足产品生产工艺要求；·工作区的气流分布应均匀；·洁净室送风量应取下列三项中的最大值；-为达空气洁净度等级的洁净送风量；-按热湿负荷计算的送风量；-洁净室所需新鲜空气量。
③空气过滤器·根据空气洁净度等级合理选用；·处理风量应小于或等于额定风量；·三阶段空气过滤：室外空气的预过滤(粗、中、化学法等)；空气处理装置内空气过滤(中高、亚高、化学法等)；最终过滤(高、超高)。
·同一洁净室(区)内的“高效”的阻力、效率应相近；·“高效”安装前应进行检漏(严于5级)，安装应严密，易于更换；·洁净室和净化空调系统清洁，并连续试运转后，才能安装“高效”。
表1 气流流型和送风量(静态)④压差控制-洁净室外与周围空间必须维持静压差；·按产品生产工艺要求确定压差值(正或负)；·洁净室(区)与非洁净室(区)、不同等级的洁净室(区)之间的压差，应不小于5pa；·洁净室(区)与室外的压差，应不小于10Pa：-生产青霉素类等高致敏性药品……分装室应保持负压；·操作有致病作用的微生物应在专门区域内进行.并保持负压；·送风、回风和排风系统的启动应联锁；·应设压差控制装置。
⑤净化空调系统的附件及管材·送回风总管，排风系统的吸风总管应设消声措施；·风管应采用不燃材料；-附件、保温材料、消声材料和粘结剂等均采用不燃材料或难燃材料；·风管内表面必须平整、光滑，不得在风管内设加固框及加固筋；-风管不得有横向拼接缝，尽量减少纵向拼接缝；·风管应按设计要求刷涂涂料。
当设计无要求时，可按表2要求。
⑥排风装置、排风管·洁净室内产生粉尘、有害气体的工艺设备，应设局排装置；-易燃、易爆排风系统应有防火防爆措施；·排气中有害物浓度及排放量超标时，应设无害化装置；-洁净厂房疏散走廊，应设机械防排烟设施；·排风系统的风管、附件、阀门等的制作材料和涂料，应按排气介质的性质选用。
表2风管刷涂涂料的要求(5)高纯物质的供应设备及材料①纯水·纯水水质应按产品生产要求确定；·纯水水质要求较严时，应采用循环供水方式；·循环附加水量为纯水使用的30%～100%；-不循环的支管长度不大于6倍管径；·管路系统必须密封，不得有渗气现象；·纯水、注射水系统应能防止微生物的滋生和污染；·纯水、注射水储罐如输送管道应无毒、耐腐蚀。
②纯水管道的管材·必须满足产品生产工艺对水质的要求；·管材应选择化学稳定性好的材料，在纯水中的溶出物最少；·管道内壁光洁度好，避免微粒沉积、微生物的繁殖；·管道及管件的接头平整；·管材可选择：-不锈钢管；-聚氯乙烯(UPVC、CL-PVC)、聚丙烯(PP)、丙二烯晴-丁；-二烯-苯乙烯(ABS)、聚偏氟乙烯(PVDF)等。
·采用PVDF隔膜阀，见图1.(a)二通阀(b)三通阀图1 PVDF隔膜阀③纯气·根据气源和产品生产工艺要求确定供气系统和气体净化装置的配置·气体终端纯化装置宜设在邻近用气点·气体过滤器应按产品生产工艺对洁净度要求确定·终端高精度气体过滤器应设在靠近用气点·高纯气体管道按需要确定管径，最小可采用φ6×1mm：·管道系统应尽量短；·不应出现不易吹除的“盲管”等死角；·与药品接触的干燥空气、压缩空气和隋性气体应进行无菌化处理；④高纯气管道的管材、附件·管材、附件的选用，应满足气体纯度、杂质含量、使用特点；·管道系统严密性好，防渗漏能力强；·管道内壁应进行处理，光洁度好；·气体纯度≥99.999%，D.P.-76℃-316、EP或304、EP，隔膜阀或波纹管阀，见图2；·气体纯度≥99.999%，D.P.-60℃-304、BA，波纹管阀或球阀；·干燥压缩空气，D.P.-70℃-304L、BA；D.P.一40'一I：一304、热镀锌管。
·管道连接应采用焊接；内壁无斑痕的对接焊；Ar焊；·管道与设备、阀连接：金属软管、双卡套、VCR接头：图2隔膜、波纹管式气动阀(6)电气照明①配电·应选用不易积尘、便于擦拭的小型暗装；·不宜采用大型落地安装配电设备；·穿线套管应采用不燃材料；·穿墙(吊线)、安装在墙上的设备应有可靠的密封措施；·净化空调系统的电加热器，应设无风、超温断电保护；·电加湿器应设置无水保护装置。
②照明·洁净室照明光源，宜采用高效荧光灯；·灯具应考虑使用中避免出现不易清洁的部位；·照明灯具为吸顶明装，不应采用格栅性灯具，见图3，图4。
·若采用嵌入顶棚暗装时，应有可靠的密封措施；·洁净厂房内应设疏散用应急照明，在安全出口处应设标志灯；·对照度有特殊要求的部位可设局部照明；·灯具应方便维修，并在维修时不产生污染。
图3洁净灯具安装示意图图4吸顶明装工具(7)消防安全防灾设施·洁净室的生产层及上、下技术夹层(不含不通行)应设室内消火栓；·洁净厂房各场所必须设置灭火器；·当设置自动喷水灭火系统时，宜采用预作用式；·当设置气体灭火系统时，不应采用1211以及能使人窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂；·洁净厂房的生产区(含技术夹层)、机房等均应设火灾探测器；·易燃易爆、有毒气体的贮存，使用场所和管道阀等易泄漏处，应设气体探测器；·火灾报警系统应设有联动控制、显示和广播；·气体报警信号应联动启动相应的事故排风。