AFM-原子力显微镜PPT课件
10
11
AFM的组成
12
13
AFM成像原理
原子力显微镜是一种通过研究样品表
面力同距离关系而获得样品表面形貌信 息的显微术。它不使用STM的金属探针， 而使用一个尖端附有探针的极灵敏的弹 簧壁来作为敏感元件，称之为微悬臂。
将微悬臂的一端固定（对微弱力极敏
感），另一端有一微小的针尖，针尖与 样品表面轻轻接触。针尖尖端原子与样 品表面的原子间存在极其微弱的排斥力。 随后可通过以下两种工作模式中的任何 一种得到表面形貌有关的信息，然后经 过计算机采集、处理，最后成像。
原子力显微镜 Atomic Force Microscope (AFM)
1
透射电镜成像偏差原因
球差：孔径角不同造成折射能力不同 畸变：离轴距离的改变导致放大倍数的改变 慧形差：旁轴射线与非旁轴射线成像 场曲：磁场汇聚作用的差异 色差：电子初速度不完全相同 轴上色散：磁透镜非严格对称 衍射差：类似光学显微镜由透镜导致的
16
AFM中的作用力
两个紧密排列的原子或 者分子之间的相互作 用可用LennardJones 势能来表示。
利用排斥力为敏感信号的接触式力显微镜（Contact AFM）
利用吸引力为敏感信号的非接触式力显微镜（Non-contact
AFM）。
17
力的传感元件称为Cantilever，力的变化均可以通过这个 Cantilever被检测。
表面的高分辨率图象； 3.使用环境宽松； 4.应用领域宽广； 5.价格相对来讲较低。
5
STM的缺陷
1.只限于直接观测导体或半导体的表面结构； 2.非导电材料须在其表面覆盖一层导电膜； 3.当表面存在非单一电子态时，STM得到的是表
面形貌和表面电子性质的综合结果。
6
7
AFM发展概况
• 1981年，Binnig G和Rohrer提出扫描隧道显微镜 (STM)原理．并因此而获得1986年诺贝尔物理奖。 STM的分辨能力达原子级，可以用来确定导电物 质固体表面的原子结构和性质。
22
薄膜的AFM成像
23
硅原子的阶梯图案，利用标准的硅单原子的台阶分布（高 度为0.31nm）进行1埃~1纳米范围内的AFM高度定标。 24
研究DNA结合蛋白质中的应用
25
电沉积方法制备ZnO纳米结构薄膜
（不仅具有疏水特性，还兼具导电性）
AFM image
SEM image
26
27
Photo of the Cicada Orni
为了准确反应出针尖相对于样品表面微弱的力的变化， Cantilever和针尖的制备是十分关键的，是决定AFM灵 敏 度 的 核 心 ， 因 此 AFM 仪 器 的 发 展 过 程 实 际 上 是 Cantilever的不断改进的过程。
Cantilever通常要满足以下条件：（1）较低的力的弹 性系数；（2）高的力学共振频率；（3）高的横向刚性； （4）尽可能短的悬臂长度；（5）Cantilever需要配有 镜面或者电极，使得能通过光学或者隧道电流方法检测其 动态位移；（6）带有一个尽可能尖锐的针尖。
18
AFM的优缺点
原子级的高分辨率； 宽松的测试条件； 可以得到力学等众多信息。
➢ AFM观察的始终是样品的外部信息； ➢ 样品固定； ➢ 视野局限；
19
AFM的应用
✓AFM成像（形貌观察） ✓力学性能测试 ✓电、磁性能测试 ✓加工、操纵
20
云母表面结构AFM成像
21
石墨表面结构AFM成像
AFM像中，A和B位置是Байду номын сангаас乎等同的
2
透射电镜的不足
工作环境：必须要真空 样品：直径3mm，厚度几十nm，制样复杂 信号：不能对信号进行后处理 图像：无色彩
3
SEM的缺陷
分辨率：分辨率受电子束斑直径限制， 分辨率一般情 况只能到10nm
工作条件：必须在真空条件下测试 样品：样品需要导电
4
STM的优点
1.具有极高的分辨率； 2.得到的是实时的、真实的样品
➢ 可实时地观测表面的三维立体图像，这种实时观测的性能 可用于表面扩散等物理化学过程的监视、检测。
➢ 可在真空、大气、常温等不同环境下工作，甚至可以将样 品浸在水和其他溶液中，且不需要特别的制样技术。探测 过程中对样品无损伤。可以对导体、半导体、绝缘体等多 种样品成像，可用于各种表面膜的实时观测。
➢ 不需要高真空的必要工作条件，且体积小，成本低，性价 比高，远远低于一般的扫描电镜。
两种工作模式：恒高模式（保持样品与探针间的距离不变，
测量每一点作用力的大小）和恒力模式（保持样品和探针间作
用力不变，测量每一点高度的变化）。
14
• 检测微悬臂弯曲的方法：1－隧道电流法； 2－电容检测法；3－光学检测法（干涉法 和光束反射法）
• 选择检测方法的原则：检测方法本身对悬 臂产生的作用力应该小到可以忽略的程度。
• l986年，Binnig G在扫描隧道显微镜基础上进一 步提出了的原子力显微镜(AFM)。AFM可以测量 绝缘体表面形貌，达到接近原子分辨水平，还可 以测量表面原子间力，测量表面的弹性、塑性、 硬度、摩擦力等诸多性质。
8
原子力显微镜（AFM）
9
AFM的优点
➢ 具有原子级高分辨率，即可以分辨出单个原子，且放大倍 率连续可调（几百倍－上千倍）；与传统的电子显微镜， 特别是与扫描电子显微镜相比，它具有非常高的横向分辨 率（0.1-0.2 nm）和纵向分辨率（0.01 nm）。
28
AFM image of the cicada wing
3D image
Cross section
29
PPV及CNPPV混合高分子薄膜表面相 分离的AFM影像
左图为薄膜表面形貌; 右图为摩擦力影像 30
31
电化学原子力显微镜
1、电化学原子力显微镜原理及其技术 （ECAFM）
15
光学检测法
能检测出微悬臂0.01nm幅度的弯曲
光束反射法－从激光器中发出的激 光聚焦在微悬臂背面，从其表面反 射。在进行样品扫描时，微悬臂弯 曲δz ，这一弯曲使反射的角度偏移 2δz / l ， l为微悬臂的长度（通常为 100－200μm）。反射光束的偏移 可用一灵敏光电二极管检测出来。 干涉法―一个优点，即不要求微悬 臂具有特别平滑的高反射性表面 （对于使用细丝微悬臂的磁力显微 镜和静力显微镜特别重要，应为细 丝微悬臂不具有高反射性表面）。
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AFM的组成
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AFM成像原理
原子力显微镜是一种通过研究样品表
面力同距离关系而获得样品表面形貌信 息的显微术。它不使用STM的金属探针， 而使用一个尖端附有探针的极灵敏的弹 簧壁来作为敏感元件，称之为微悬臂。
将微悬臂的一端固定（对微弱力极敏
感），另一端有一微小的针尖，针尖与 样品表面轻轻接触。针尖尖端原子与样 品表面的原子间存在极其微弱的排斥力。 随后可通过以下两种工作模式中的任何 一种得到表面形貌有关的信息，然后经 过计算机采集、处理，最后成像。
原子力显微镜 Atomic Force Microscope (AFM)
1
透射电镜成像偏差原因
球差：孔径角不同造成折射能力不同 畸变：离轴距离的改变导致放大倍数的改变 慧形差：旁轴射线与非旁轴射线成像 场曲：磁场汇聚作用的差异 色差：电子初速度不完全相同 轴上色散：磁透镜非严格对称 衍射差：类似光学显微镜由透镜导致的
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AFM中的作用力
两个紧密排列的原子或 者分子之间的相互作 用可用LennardJones 势能来表示。
利用排斥力为敏感信号的接触式力显微镜（Contact AFM）
利用吸引力为敏感信号的非接触式力显微镜（Non-contact
AFM）。
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力的传感元件称为Cantilever，力的变化均可以通过这个 Cantilever被检测。
表面的高分辨率图象； 3.使用环境宽松； 4.应用领域宽广； 5.价格相对来讲较低。
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STM的缺陷
1.只限于直接观测导体或半导体的表面结构； 2.非导电材料须在其表面覆盖一层导电膜； 3.当表面存在非单一电子态时，STM得到的是表
面形貌和表面电子性质的综合结果。
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AFM发展概况
• 1981年，Binnig G和Rohrer提出扫描隧道显微镜 (STM)原理．并因此而获得1986年诺贝尔物理奖。 STM的分辨能力达原子级，可以用来确定导电物 质固体表面的原子结构和性质。
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薄膜的AFM成像
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硅原子的阶梯图案，利用标准的硅单原子的台阶分布（高 度为0.31nm）进行1埃~1纳米范围内的AFM高度定标。 24
研究DNA结合蛋白质中的应用
25
电沉积方法制备ZnO纳米结构薄膜
（不仅具有疏水特性，还兼具导电性）
AFM image
SEM image
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Photo of the Cicada Orni
为了准确反应出针尖相对于样品表面微弱的力的变化， Cantilever和针尖的制备是十分关键的，是决定AFM灵 敏 度 的 核 心 ， 因 此 AFM 仪 器 的 发 展 过 程 实 际 上 是 Cantilever的不断改进的过程。
Cantilever通常要满足以下条件：（1）较低的力的弹 性系数；（2）高的力学共振频率；（3）高的横向刚性； （4）尽可能短的悬臂长度；（5）Cantilever需要配有 镜面或者电极，使得能通过光学或者隧道电流方法检测其 动态位移；（6）带有一个尽可能尖锐的针尖。
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AFM的优缺点
原子级的高分辨率； 宽松的测试条件； 可以得到力学等众多信息。
➢ AFM观察的始终是样品的外部信息； ➢ 样品固定； ➢ 视野局限；
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AFM的应用
✓AFM成像（形貌观察） ✓力学性能测试 ✓电、磁性能测试 ✓加工、操纵
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云母表面结构AFM成像
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石墨表面结构AFM成像
AFM像中，A和B位置是Байду номын сангаас乎等同的
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透射电镜的不足
工作环境：必须要真空 样品：直径3mm，厚度几十nm，制样复杂 信号：不能对信号进行后处理 图像：无色彩
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SEM的缺陷
分辨率：分辨率受电子束斑直径限制， 分辨率一般情 况只能到10nm
工作条件：必须在真空条件下测试 样品：样品需要导电
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STM的优点
1.具有极高的分辨率； 2.得到的是实时的、真实的样品
➢ 可实时地观测表面的三维立体图像，这种实时观测的性能 可用于表面扩散等物理化学过程的监视、检测。
➢ 可在真空、大气、常温等不同环境下工作，甚至可以将样 品浸在水和其他溶液中，且不需要特别的制样技术。探测 过程中对样品无损伤。可以对导体、半导体、绝缘体等多 种样品成像，可用于各种表面膜的实时观测。
➢ 不需要高真空的必要工作条件，且体积小，成本低，性价 比高，远远低于一般的扫描电镜。
两种工作模式：恒高模式（保持样品与探针间的距离不变，
测量每一点作用力的大小）和恒力模式（保持样品和探针间作
用力不变，测量每一点高度的变化）。
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• 检测微悬臂弯曲的方法：1－隧道电流法； 2－电容检测法；3－光学检测法（干涉法 和光束反射法）
• 选择检测方法的原则：检测方法本身对悬 臂产生的作用力应该小到可以忽略的程度。
• l986年，Binnig G在扫描隧道显微镜基础上进一 步提出了的原子力显微镜(AFM)。AFM可以测量 绝缘体表面形貌，达到接近原子分辨水平，还可 以测量表面原子间力，测量表面的弹性、塑性、 硬度、摩擦力等诸多性质。
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原子力显微镜（AFM）
9
AFM的优点
➢ 具有原子级高分辨率，即可以分辨出单个原子，且放大倍 率连续可调（几百倍－上千倍）；与传统的电子显微镜， 特别是与扫描电子显微镜相比，它具有非常高的横向分辨 率（0.1-0.2 nm）和纵向分辨率（0.01 nm）。
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AFM image of the cicada wing
3D image
Cross section
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PPV及CNPPV混合高分子薄膜表面相 分离的AFM影像
左图为薄膜表面形貌; 右图为摩擦力影像 30
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电化学原子力显微镜
1、电化学原子力显微镜原理及其技术 （ECAFM）
15
光学检测法
能检测出微悬臂0.01nm幅度的弯曲
光束反射法－从激光器中发出的激 光聚焦在微悬臂背面，从其表面反 射。在进行样品扫描时，微悬臂弯 曲δz ，这一弯曲使反射的角度偏移 2δz / l ， l为微悬臂的长度（通常为 100－200μm）。反射光束的偏移 可用一灵敏光电二极管检测出来。 干涉法―一个优点，即不要求微悬 臂具有特别平滑的高反射性表面 （对于使用细丝微悬臂的磁力显微 镜和静力显微镜特别重要，应为细 丝微悬臂不具有高反射性表面）。
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原子力显微镜原理及操作流程讲义(PPT 42页)
4.1 激光系统
激光器是光反馈通路的信号源。由于 悬臂尖端的空间有限性，就对照射器上的光 束宽度提出了一定要求：足够细、单色性好、 发散程度弱；同时也要求光源的稳定性高， 可持续运行时间久，工作寿命长。 而激光正 是能够很好地满足上述条件的光源。
4.2 微悬臂系统
微悬臂是探测样品的直接工具，它的属 性直接关系到仪器的精度和使用范围。 微悬 臂必须有足够高的力反应能力，这就要求悬 臂必须容易弯曲，也易于复位，具有合适的 弹性系数，使得零点几个纳(nN)甚至更小的 力的变化都可以被探测到；同时也要求悬臂 有足够高的时间分辨能力，因而要求悬臂的 共振频率应该足够高，可以追随表面高低起 伏的变化。
5.4三种模式的比较
1、接触模式（Contact Mode）： 优点：扫描速度快，是唯一能够获得“原子分
辨率”图像的AFM垂直方向上有明显变化的质硬样 品，有时更适于用Contact Mode扫描成像。
缺点：横向力影响图像质量在空气中，因为样 品表面吸附液层的毛细作用使针尖与样品之间的粘 着力很大，横向力与粘着力的合力导致图像空间分 辨率降低，而且针尖挂擦样品会损坏软质样品（如 生物样品，聚合体等）。
2.AFM简介
原子力显微镜（Atomic Force Microscope ， AFM），是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体 材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表 面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相 互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微 弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针 尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使 得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品 时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分 布信息，从而以纳米级分辨率获得表面结构信息。
原子力显微镜培训课件-新版.ppt
烟草花叶病毒扫描图
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AFM的缺点
受样品因素限制较大（不可避免） 针尖易磨钝&受污染（磨损无法修复；污染
清洗困难） 针尖—样品间作用力较小
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敲击模式的优越性：
敲击模式尽管没有接触模式的分辨率高，但 是敲击模式在一定程度上减小样品对针尖 的粘滞现象，因为针尖与样品表面接触时， 利用其振幅来克服针尖-样品间的粘附力。 并且由于敲击模式作用力是垂直的，表面 材料受横向摩擦力和剪切力的影响都比较 小，减小扫描过程中针尖对样品的损坏。 所以对于较软以及粘附性较大的样品，尽 量选用敲击模式。
1985年，IBM公司的Binning和Stanford大 学的Quate研发出了原子力显微镜（AFM）， 弥补了STM的不足
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原理
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原 子 间 范 德 华 力
图1、原子与原子之间的交互作用力因为彼 此之间的距离的不同而有所不同，其之间 的能量表示也会不同。
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硬件架构： 在原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM） 的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检
测部分、反馈系统。
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力检测部分： 在原子力显微镜（AFM）的系统中，所要
检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在 本系统中是使用微小悬臂（cantilever）来检测 原子之间力的变化量。这微小悬臂有一定的规格， 例如：长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状， 而这些规格的选择是依照样品的特性，以及操作 模式的不同，而选择不同类型的探针。
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原子力显微镜的应用 AFM可以满足多种不同样品的要求，用于多
扫描隧道显微镜与原子力显微镜原理及应用介绍 ppt课件
ppt课件
9
4.STM的应用
“看见”了以前所看不到的东西 STM具有惊人的分辨本领，水平分辨率小于0.1纳米，垂直分辨率小于0.001纳米。 一般来讲，物体在固态下原子之间的距离在零点一到零点几个纳米之间。在扫 描隧道显微镜下，导电物质表面的原子、分子状态清晰可见。
ppt课件
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4.STM的应用
在分子水平上构造电子学器件 一般情况下金属和半导体材料具有正的电导，即流过材料的电流随着所施加的电压的 增大而增加。但在单分子尺度下，由于量子能级与量子隧穿的作用会出现新的物理现 象──负微分电导。中国科技大学的科学家仔细研究了基于C60分子的负微分电导现象。 他们利用STM针尖将吸附在有机分子层表面的C60分子“捡起”，然后再把C60移到另 一个C60分子上方。这时，在针尖与衬底上的C60分子之间加上电压并检测电流，他 们获得了稳定的具有负微分电导效应的量子隧穿结构。这项工作通过对单分子操纵构 筑了一种人工分子器件结构。这类分子器件一旦转化为产品，将可广泛的用于快速开 关、震荡器和锁频电路等方面，这可以极大地提高电子元件的集成度和速度。
1990年，IBM公司的科学家展 示了一项令世人震惊的成果， 他们在金属镍表面用35个惰性 气体原子组成“IBM”三个英文 字母。
世界首例STM原子ppt课操件纵
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4.STM的应用
单分子化学反应已经成为现实 单原子、单分子操纵在化学上是一个极具诱惑力且具有潜在应用 “选键化学”，可 以对分子内的化学键进行选择性的加工。 一个直观的例子是由Park等人完成的，他们将碘代苯分子吸附在Cu单晶表面的原子台 阶处，再利用STM针尖将碘原子从分子中剥离出来，然后用STM针尖将两个苯活性基 团结合到一起形成一个联苯分子，完成了一个完整的化学反应过程。
原子力显微镜课件PPT
物理吸附
亲水
疏水
2021/3/10
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2. 毛细力及其对AFM测量的影响
Fa2Rh/r
在R = 50～100 nm，相对湿度在40～80％ 时，毛细力大约在几十nN数量级。
3. 液体中针尖－试件间的相互作用力
探针和试件都浸入液体内进行测量 时，可以完全消除毛细现象，因此可不受 毛细力的干扰，使测量时的作用力大大减 小，而且可以：
z
1
ki kc
h
故在恒力测量模式时，测出的试件廓形高低, 大于 真实的高低，即测量结果在垂直方向有放大作用， 造成测量廓形的误差
3)在AFM测量时, 针尖的预置力越大，纵向测量结果的放大作用也越大，即纵 向畸变也增大。为减小测量误差，应尽量采用小的针尖预置力。
4) AFM测量结果的纵向放大量（畸变）和微悬臂的刚度有关。在采用等间隙 测量模式时，从式中可看，采用刚度kc较低的微悬臂较为有利，可以减小纵 向测量误差。但如采用恒力测量模式时，为减小纵向测量误差, 应采用刚度较 高的微悬臂，这和采用等间隙测量模式时正好相矛盾。因此可知，微悬臂刚 度的选择和AFM的测量模式有关。
2021/3/10
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3. 探针尖曲率半径对测量结果的影响
使 用 商 品 的 Si3N4 四 棱 锥 探 针 尖 检 测所获得的聚酰亚胺薄膜AFM图像
使用ZnO晶须作探针尖检测，所获 的聚酰亚胺薄膜AFM图像
3）AFM测量时利用的相互作用力 在接触测量时，检测的是它们间的相互排斥力； 在非接触测量时，检测的是它们间的相互吸引力
4）针尖－试件间其他作用力及其应用于各种扫描力显微镜
针尖－试件间相互作用的磁力，可制成检测材料磁性能的磁力显微镜(MFM)； 针尖－试件间相互作用的静电力，可制成检测材料表面电场电势的静电力显微镜 (EFM)； 探针－试件接触滑行时的摩擦力，可制成研究材料摩擦磨损行为的摩擦力显微镜 (FFM)；
扫描探针显微技术之二——原子力显微镜(AFM)技术ppt课件
Atomic force microscopy (AFM)
Lateral Force Microscopy (LFM)
Magnetic Force Microscopy (MFM)
Electrostatic Force Microscopy (EFM)
Chemical Force Microscopy (C学检测部分 反馈电子系统 计算机控制系统
10
工作模式
接触模式 (contact mode) 非接触模式 (non-contact mode) 轻敲模式 (tapping / intermittent contact mode)
van der Waals force curve
Near Field Scanning Optical Microscopy
(NSOM)
3
基本原理
1986，IBM，葛·宾尼（G. Binnig）发明了原子力 显微镜(Atomic Force Microscope ,AFM)——新一代 表面观测仪器．
原理：利用原子之间的范德华力（Van Der Waals
52
原子力显微镜 Atomic Force Microscopy
1
主要内容
发展历史 基本原理 应用
2
扫描探针显微镜SPM
SPM是指在STM基础上发展起来的一大类显微镜， 通过探测极小探针与表面之间的物理作用量如光、 电、磁、力等的大小而获得表面信息。
scanning tunneling Microscopy (STM， 1982)
11
工作模式-接触模式
d ＜０.０３nm
van der Waals force curve
针尖始终向样品接触并简单地在表面上移动，针 尖—样品间的相互作用力是互相接触原于的电子间 存在的库仑排斥力，其大小通常为10－8 —10－11N。
Lateral Force Microscopy (LFM)
Magnetic Force Microscopy (MFM)
Electrostatic Force Microscopy (EFM)
Chemical Force Microscopy (C学检测部分 反馈电子系统 计算机控制系统
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工作模式
接触模式 (contact mode) 非接触模式 (non-contact mode) 轻敲模式 (tapping / intermittent contact mode)
van der Waals force curve
Near Field Scanning Optical Microscopy
(NSOM)
3
基本原理
1986，IBM，葛·宾尼（G. Binnig）发明了原子力 显微镜(Atomic Force Microscope ,AFM)——新一代 表面观测仪器．
原理：利用原子之间的范德华力（Van Der Waals
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原子力显微镜 Atomic Force Microscopy
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主要内容
发展历史 基本原理 应用
2
扫描探针显微镜SPM
SPM是指在STM基础上发展起来的一大类显微镜， 通过探测极小探针与表面之间的物理作用量如光、 电、磁、力等的大小而获得表面信息。
scanning tunneling Microscopy (STM， 1982)
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工作模式-接触模式
d ＜０.０３nm
van der Waals force curve
针尖始终向样品接触并简单地在表面上移动，针 尖—样品间的相互作用力是互相接触原于的电子间 存在的库仑排斥力，其大小通常为10－8 —10－11N。
扫描隧道显微镜和原子力显微镜课件 STM与AFM
STM存在的问题
在Vb 和I保持不变的扫描过程中，如果功函数随样 品表面位置而异，也同样会引起探针与样品表面间距 S 的 变 化 ， 因 而 也 引 起 控 制 针 尖 高 度 的 电 压 Vz 的变 化。如样品表面原子种类不同，或样品表面吸附有原 子、分子时，由于不同种类的原子或分子团等具有不 同的电子态密度和功函数，此时STM给出的等电子态 密度轮廓不再对应于样品表面原子的起伏，而是表面 原子起伏与不同原子和各自态密度组合后的综合效 果。STM不能区分这两个因素。 利用表面功函数，偏置电压与隧道电流之间的关 系，可以得到表面电子态和化学特性的有关信息。
Potential barrier
0 V ( x) V0
for | x | d/2 for | x | d/2
Schroedinger’s equation of motion
d 2u ( x ) 2m 2 V0 E u ( x ) 0 2 dx
Electron (mass m, energy E) has finite probability of ‘tunneling’ through
原理
量子力学：
认为金属中的自由电子还具有波动性，这种 电子波φ1 向金属边界传播，在遇到表面位垒 时，部分反射为φR ，部分透过为φT 。这样， 即使金属温度不是很高，仍有部分电子穿透金 属表面位垒，形成金属表面上的电子云。这种 效应称为隧道效应。
Theory I: Quantum Barrier
P ( E ) e 2 kd
k 2 m (V0 E ) / 2
Theory II: Tunneling Current
insulator
metal 1
AFM-原子力显微镜PPT课件
1.只限于直接观测导体或半导体的表面结构； 2.非导电材料须在其表面覆盖一层导电膜； 3.当表面存在非单一电子态时，STM得到的是表
面形貌和表面电子性质的综合结果。
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AFM发展概况
• 1981年，Binnig G和Rohrer提出扫描隧道显微镜 (STM)原理．并因此而获得1986年诺贝尔物理奖。 STM的分辨能力达原子级，可以用来确定导电物 质固体表面的原子结构和性质。
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AFM的组成
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AFM成像原理
原子力显微镜是一种通过研究样品表
面力同距离关系而获得样品表面形貌信 息的显微术。它不使用STM的金属探针， 而使用一个尖端附有探针的极灵敏的弹 簧壁来作为敏感元件，称之为微悬臂。
将微悬臂的一端固定（对微弱力极敏
感），另一端有一微小的针尖，针尖与 样品表面轻轻接触。针尖尖端原子与样 品表面的原子间存在极其微弱的排斥力。 随后可通过以下两种工作模式中的任何 一种得到表面形貌有关的信息，然后经 过计算机采集、处理，最后成像。
为了准确反应出针尖相对于样品表面微弱的力的变化， Cantilever和针尖的制备是十分关键的，是决定AFM灵 敏 度 的 核 心 ， 因 此 AFM 仪 器 的 发 展 过 程 实 际 上 是 Cantilever的不断改进的过程。
Cantilever通常要满足以下条件：（1）较低的力的弹 性系数；（2）高的力学共振频率；（3）高的横向刚性； （4）尽可能短的悬臂长度；（5）Cantilever需要配有 镜面或者电极，使得能通过光学或者隧道电流方法检测其 动态位移；（6）带有一个尽可能尖锐的针尖。
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➢ 可实时地观测表面的三维立体图像，这种实时观测的性能 可用于表面扩散等物理化学过程的监视、检测。
面形貌和表面电子性质的综合结果。
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AFM发展概况
• 1981年，Binnig G和Rohrer提出扫描隧道显微镜 (STM)原理．并因此而获得1986年诺贝尔物理奖。 STM的分辨能力达原子级，可以用来确定导电物 质固体表面的原子结构和性质。
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AFM的组成
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AFM成像原理
原子力显微镜是一种通过研究样品表
面力同距离关系而获得样品表面形貌信 息的显微术。它不使用STM的金属探针， 而使用一个尖端附有探针的极灵敏的弹 簧壁来作为敏感元件，称之为微悬臂。
将微悬臂的一端固定（对微弱力极敏
感），另一端有一微小的针尖，针尖与 样品表面轻轻接触。针尖尖端原子与样 品表面的原子间存在极其微弱的排斥力。 随后可通过以下两种工作模式中的任何 一种得到表面形貌有关的信息，然后经 过计算机采集、处理，最后成像。
为了准确反应出针尖相对于样品表面微弱的力的变化， Cantilever和针尖的制备是十分关键的，是决定AFM灵 敏 度 的 核 心 ， 因 此 AFM 仪 器 的 发 展 过 程 实 际 上 是 Cantilever的不断改进的过程。
Cantilever通常要满足以下条件：（1）较低的力的弹 性系数；（2）高的力学共振频率；（3）高的横向刚性； （4）尽可能短的悬臂长度；（5）Cantilever需要配有 镜面或者电极，使得能通过光学或者隧道电流方法检测其 动态位移；（6）带有一个尽可能尖锐的针尖。
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➢ 可实时地观测表面的三维立体图像，这种实时观测的性能 可用于表面扩散等物理化学过程的监视、检测。
原子力显微镜简介PPT课件
2.磁力显微镜(Magnetic Force microscopy，MFM)
3.静电力显微镜(Eelectrostatic Force microscopy，EFM)
4.化学力显微镜(Chemical Force microscopy，CFM)
5.力调置显微镜(Force modulation microscopy，FMM)
2021
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AFM探针的针尖
1、探针系统
探针组件是AFM的关键部分。 由微悬臂和微悬臂末端的针尖组成。
随着精细加工技术的发展，人们 已经能制造出各种形状和特殊要求 的针尖。
微悬臂是由Si或Si3N4经光刻技术 加工而成的．微悬臂的背面镀有一 层金属以达到镜面反射。
2021
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2、扫描系统
AFM对样品扫描的精确控制是靠扫描器来实现的。 扫描器中装有压电转换器，压电装置在X，Y，Z三个 方向上精确控制样品或探针位置。
显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。 这样可以用来研究生物宏观分子，甚至活的生物组 织。
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AFM的缺点
扫描范围较小（10nm到100μm），成像范围 小，容易将局部的、特殊的结果当作整体的结果 而分析，以及使实验结果缺乏重现性。
由于分辨率很高，使得在样品制备过程中产生 的或者是从背景噪音中产生的极小赝像都能够被 检测、观察到，产生赝像。
轻敲模式：
用处于共振状态、上下振荡的微悬臂探 针对样品表面进行扫描，样品表面起伏使微 悬臂探针的振幅产生相应变化，从而得到样 品的表面形貌。
该模式下，针尖对样品进行“敲击”， 两者间只有瞬间接触，能有效克服接触模式 下针尖引起的相互损伤，适合于柔软或吸附 样品的检测。
相位移模式：
原子力显微镜AFM精品PPT课件
➢ 两种测量模式
（1）等高测量模式： 探针以不变高度在试件表面扫描，隧 道电流随试件表面起伏而变化，从而 得到试件表面形貌信息。
（2）恒电流测量模式：
探针在试件表面扫描，使用反馈电 路驱动探针，使探针与试件表面之 间距离（隧道间隙）不变。此时探 针移动直接描绘了试件表面形貌。 此种测量模式隧道电流对隧道间隙 的敏感性转移到反馈电路驱动电压 与位移之间的关系上，避免了非线 性，提高了测量精度和测量范围。
F pair 排斥部分
d 吸引部分
原子 原子
原子 排斥力
原子
吸引力
原子间的作用力
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AFM实物照片
扫描探针 磁盘图像
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正是因为AFM工作时不需要探测隧 道电流，所以它可以用于分辨包括绝缘体 在内的各种材料表面上的单个原子，其应 用范围无疑比STM更加广阔。但从分辨 率来看，AFM要比STM略微低一些。
发展历史 工作原理
应
用
基本原理 仪器构成 工作模式
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扫描隧道显微测量（STM）
➢ 扫描隧道显微镜1981年由在IBM瑞士苏黎世实验室工作
的G.Binning
和
H.Rohrer
发明，可用于观察物体
A
级的表
面形貌。被列为20世纪80年度世界十大科技成果之一，
1986年因此获诺贝尔物理学奖。
G.Binning
◆ 在达到纳米层次后，决非几何上的“相似缩小”， 而出现一系列新现象和规律。量子效应、波动特性、 微观涨落等不可忽略，甚至成为主导因素。
◆ 纳米技术研究的主要内容
➢纳米级精度和表面形貌测量及表面层物理、化学性能 检测； ➢纳米级加工； ➢纳米材料； ➢纳米级传感与控制技术； ➢微型与超微型机械。
原子力显微镜PPT演示课件
原子力显微镜
生科院
Page 2
显微镜的分类
光学显微镜
显 微 镜
暗视野显微镜 实体显微镜 荧光显微镜 偏光显微镜 位相显微镜 倒置式显微镜 微分干涉显微镜 摄影显微镜
透射式电子显微镜
电子显微镜
扫描式电子显微镜
Page 3
扫描隧道显微镜、原子力显微镜
原子力显微镜
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原子力显微镜
原子力显微镜（Atomic Force Microscope ）简称
原子力显微镜技术在生物学领域的应用有赖于样品制备方法和 适合针尖-样品相互作用的缓冲液的研究。原子力显微镜现已 成为一种获得样品表面结构的高分辨率图像的有力工具。而更 为吸引人的是其观察生化反应过程级生物分子构象变化的能力， 因此，原子力显微镜在生物学领域中的应用前景毋庸置疑。而 对于原子力显微镜技术本身，以下几个方面的进展将更加有利 于它在生物学中的应用。大多数生物反应过程相当快速，原子 力显微镜时间分辨率的提高有助于这些过程的观察。生命科学 研究有其自身特点，需设计出适合生物学研究的原子力显微镜。 高分辨率是原子力显微镜的优势。其分辨率在理论上能达到原 子水平，但目前还没有实现，如何做出更细的针尖将有助于其 分辨率的进一步提高。
原子力显微镜可以作为一种力传感器来研究 分子间的相互作用。这是由于原子力显微镜理论 上能够感应10-14nm的作用力，能感应0.01nm的 位移，而接触面积可小到10n㎡.
Page 21
原子力显微镜 在研究物质超微结构中的应用
应用原子力显微镜(AFM)可以直接观察到表面缺陷、 表面重构、表面吸附体的形态和位置、以及有表面吸附体 引起的表面重构等。原子力显微镜(AFM)可以观察许多不 同材料的原子级平坦结构，例如，可以用原子力显微镜 (AFM)对DL－亮氨酸晶体进行研究，可观察到表面晶体分 子的有序排列，其晶格间距与X射线衍射数据相符。另外 原子力显微镜(AFM)还成功地用于观察吸附在基底上的有 机分子和生物样品，如，三梨酸、DNA和蛋白质的表面。
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显微镜的分类
光学显微镜
显 微 镜
暗视野显微镜 实体显微镜 荧光显微镜 偏光显微镜 位相显微镜 倒置式显微镜 微分干涉显微镜 摄影显微镜
透射式电子显微镜
电子显微镜
扫描式电子显微镜
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扫描隧道显微镜、原子力显微镜
原子力显微镜
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原子力显微镜
原子力显微镜（Atomic Force Microscope ）简称
原子力显微镜技术在生物学领域的应用有赖于样品制备方法和 适合针尖-样品相互作用的缓冲液的研究。原子力显微镜现已 成为一种获得样品表面结构的高分辨率图像的有力工具。而更 为吸引人的是其观察生化反应过程级生物分子构象变化的能力， 因此，原子力显微镜在生物学领域中的应用前景毋庸置疑。而 对于原子力显微镜技术本身，以下几个方面的进展将更加有利 于它在生物学中的应用。大多数生物反应过程相当快速，原子 力显微镜时间分辨率的提高有助于这些过程的观察。生命科学 研究有其自身特点，需设计出适合生物学研究的原子力显微镜。 高分辨率是原子力显微镜的优势。其分辨率在理论上能达到原 子水平，但目前还没有实现，如何做出更细的针尖将有助于其 分辨率的进一步提高。
原子力显微镜可以作为一种力传感器来研究 分子间的相互作用。这是由于原子力显微镜理论 上能够感应10-14nm的作用力，能感应0.01nm的 位移，而接触面积可小到10n㎡.
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原子力显微镜 在研究物质超微结构中的应用
应用原子力显微镜(AFM)可以直接观察到表面缺陷、 表面重构、表面吸附体的形态和位置、以及有表面吸附体 引起的表面重构等。原子力显微镜(AFM)可以观察许多不 同材料的原子级平坦结构，例如，可以用原子力显微镜 (AFM)对DL－亮氨酸晶体进行研究，可观察到表面晶体分 子的有序排列，其晶格间距与X射线衍射数据相符。另外 原子力显微镜(AFM)还成功地用于观察吸附在基底上的有 机分子和生物样品，如，三梨酸、DNA和蛋白质的表面。