长距离同轴度测量方法及实验

成相印;方仲彦

【期刊名称】《计量学报》

【年(卷),期】1997(018)002

【摘要】本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统，该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜，一个作为测量元件，另一个作为补偿元件，采用比相技术处理测量信号，因而测量元件可以暂时移出光路，能够进行同轴度的测量，系统的光学设计使激光光束的平衡和角漂不影响测量结果，对激光的漂移有自适应性，两束干涉光基本符合共光路原则，因而对大气湍流，空气扰动的影响具有更强的适应性，可用于长距离直线度，同轴度的测量。该系统与【总页数】5页(85-89)

【关键词】直线度测量;同轴度测量;自适应;双频激干涉仪

【作者】成相印;方仲彦

【作者单位】清华大学;清华大学

【正文语种】英文

【中图分类】TG839

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