铝钛硼合金靶材
铝
概况（Survey）：
铝（英语：Aluminium / Aluminum）是化学元素。化学符号是Al。原子序数是13。
性状（Character）：
铝有特殊化学、物理特性，是当今工业常用金属之一，不仅重量轻，质地坚，而且具有良好延展性、导电性、导热性、耐热性和耐核辐射性，是国家经济发展的重要基础原材料。铝在空气中会迅速形成一层致密的氧化铝薄膜，阻止腐蚀的继续进行。
物理性质（Physical property）：
状态：固态
密度（接近室温）：2.70 g²cm−3
熔点时液体密度：2.375 g²cm−3
熔点：933.47 K，660.32 °C，1220.58 °F
沸点：2792 K，2519 °C，4566 °F
熔化热：10.71 kJ²mol−1
汽化热：294.0 kJ²mol−1
比热容：24.200 J²mol−1²K−1 原子性质（Atomic properties）：
氧化态：3, 2, 1（两性氧化物）
电负性：1.61（鲍林标度）
原子半径：143 pm
共价半径：121±4 pm
范德华半径： 184 pm
铝靶
名称 规格尺寸 纯度
铝丝（Al） Φ0.2—1.0mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+%
99.9999% 99.9999+%
Φ1.0—3.0mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+%
99.9999% 99.9999+%
Φ3.0—6.0mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+%
99.9999% 99.9999+%
铝片（Al） （50*50*0.2-1.5mm） 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
（100*100*0.2-1.5mm） 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+% （200*250*0.2-1.5mm） 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
铝棒（Al） Φ（10-152.4）*1000mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ25.4*1000mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ50.8*500mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ76.2*200mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ101.6*200mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ127*200mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ152.4*200mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
铝粒（Al） 1-10mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ2*10mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ3*3mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ3*10mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ6*6mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
Φ6*12mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
铝块（Al） 10-100mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
铝粉（Al） 0.5-75um 99.5% 99.9% 99.95% 99.99%
钛
概况（Survey）：
钛是一种化学元素，化学符号Ti，原子序数22。
性状（Character）：
是一种银白色的过渡金属，其特征为重量轻、强度高、具金属光泽，亦有良好的抗腐蚀能力（包括海水、王水及氯气）。
物理性质（Physical property）：
状态：固态
密度（接近室温）：4.506 g²cm−3
熔点时液体密度：4.11 g²cm−3
熔点：1941 K，1668 °C，3034 °F
沸点：3560 K，3287 °C，5949 °F
熔化热：14.15 kJ²mol−1
汽化热：425 kJ²mol−1
比热容：25.060 J²mol−1²K−1 原子性质（Atomic properties）：
氧化态：4, 3, 2, 1（两性氧化物）
电负性：1.54（鲍林标度）
原子半径：147 pm
共价半径：160±8 pm
钛靶
名称 规格尺寸 纯度
钛丝（Ti） Φ0.2—1.0mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+% 99.9999%
99.9999+%
Φ1.0—3.0mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+% 99.9999%
99.9999+%
Φ3.0—6.0mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+% 99.9999%
99.9999+%
钛片（Ti） 50*50*（0.2-1.5）mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999%
99.9999+%
100*100*（0.2-1.5）mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999%
99.9999+%
硼
概况（Survey）：
硼是一种化学元素，它的化学符号是B。它的原子序数是5。
性状（Character）：
硼绝少单独存在，通常以硼砂（Na2B4O7²10H2O）的化合形式出现。硼砂可用作水软化剂和清洁剂。
物理性质（Physical property）：
状态：固态
熔点时液体密度：2.08 g²cm−3
熔点：2349 K，2076 °C，3769 °F
沸点：4200 K，3927 °C，7101 °F
熔化热：50.2 kJ²mol−1
汽化热：480 kJ²mol−1
比热容：11.087 J²mol−1²K−1 原子性质（Atomic properties）：
氧化态：4, 3, 2, 1（弱酸性氧化物）
电负性：2.04（鲍林标度）
原子半径：90 pm
共价半径：84±3 pm
范德华半径：192 pm
名称 规格尺寸 纯度
硼粉（B） 0.1um—3.5um -200目---400目 95.0% 99.0% 99.9% 99.99% 99.999%
硼粒（B） 1-5mm 10-25mm 95.0% 99.0% 99.9% 99.99% 99.999%
磁控溅射用金属及合金靶材
磁控溅射用金属及合金靶材
磁控溅射是一种新型的物理气相沉积方式，它利用电子枪系统将电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜。
在磁控溅射中，金属及合金靶材的选择和使用是至关重要的。常见的金属及合金靶材包括高纯度金属靶材（如铝、铜、钛等）、高熔点金属靶材（如钨、钼等）、贵金属靶材（如金、银等）以及各种合金靶材（如不锈钢、镍合金等）。
这些靶材的纯度和质量对沉积膜层的性能有着重要影响。一般来说，高纯度靶材可以获得高纯度的沉积膜层，而合金靶材则可以获得具有特定性能的合金膜层。
在选择金属及合金靶材时，需要考虑以下因素：
1. 纯度：靶材的纯度对沉积膜层的纯度和质量有着重要影响。一般来说，高纯度靶材可以获得高纯度的沉积膜层。
2. 密度：靶材的密度对沉积膜层的致密性和硬度有着重要影响。一般来说，高密度靶材可以获得高致密性和硬度的沉积膜层。
3. 晶粒结构：靶材的晶粒结构对沉积膜层的结晶度和力学性能有着重要影响。一般来说，粗晶粒靶材可以获得粗晶粒的沉积膜层，而细晶粒靶材则可以获得细晶粒的沉积膜层。
4. 抗腐蚀性：靶材的抗腐蚀性对沉积膜层的耐腐蚀性和使用寿命有着重要影响。一般来说，耐腐蚀性好的靶材可以获得耐腐蚀性好的沉积膜层。
5. 成本：不同种类和质量的靶材成本差异较大，因此在选择靶材时需要考虑成本因素。
总之，在选择磁控溅射用金属及合金靶材时，需要根据具体的应用需求和工艺条件进行综合考虑，选择合适的靶材以获得最佳的沉积膜层性能。
磁控溅射用金属及合金靶材 2
磁控溅射用金属及合金靶材
磁控溅射技术是一种常见的表面处理技术，用于在材料表面形成薄膜。在磁控溅射过程中，金属或合金靶材被高能粒子轰击，从而使其释放出原子，形成薄膜。磁控溅射用金属及合金靶材在这一过程中起着关键作用。本文将介绍磁控溅射技术以及常见的金属靶材和合金靶材的应用。
一、磁控溅射技术概述
磁控溅射技术是一种基于电火花放电原理的物理气相沉积技术。在磁控溅射过程中，通过定向加速高能粒子轰击靶材，使靶材释放出原子、离子或中性原子，从而形成薄膜。磁控溅射技术具有较高的薄膜质量、较好的附着力、较高的沉积速率等优点，因此被广泛应用于半导体、光电子、显示器件等工业领域。
二、常见的金属靶材
1. 铜靶材
铜靶材是磁控溅射技术中常见的一种金属靶材。铜靶材具有导电性良好、热导率高、热膨胀系数低等特点，适用于制备导电薄膜，常见的应用包括电子器件、太阳能电池、触摸屏等。
2. 铝靶材 铝靶材也是磁控溅射技术中常用的金属靶材之一。铝靶材具有低密度、导热性好、可与多种材料形成合金等特点，常用于制备反射膜、保护膜等。
3. 钛靶材
钛靶材在磁控溅射技术中应用广泛。钛靶材具有良好的耐腐蚀性、低密度、高强度等特点，常用于制备防腐蚀膜、装饰膜等。
4. 铬靶材
铬靶材是一种硬质金属靶材，具有高熔点、高硬度等特点，常用于制备耐腐蚀膜、阻隔膜等。
三、常见的合金靶材
1. 铜铬合金靶材
铜铬合金靶材是磁控溅射技术中常见的合金靶材之一。铜铬合金具有低熔点、高硬度、抗氧化性好等特点，适用于制备硬质合金、陶瓷膜等。
2. 镍铁合金靶材
镍铁合金靶材也是常用的合金靶材之一。镍铁合金具有高磁导率、低热膨胀系数等特点，适用于制备磁性材料、磁存储膜等。
3. 钛铝合金靶材
钛铝合金靶材具有低密度、高强度等特点，适用于制备耐磨膜、耐腐蚀膜等。 四、金属及合金靶材的制备技术
金属及合金靶材的制备技术包括铸造、粉末冶金等方法。铸造是一种常见的制备金属及合金靶材的方法，其步骤包括材料选取、熔化、浇铸、热处理等。粉末冶金方法通过将金属粉末与添加剂混合，经过成型、烧结等步骤，制备靶材。不同的制备技术可以得到不同性能的金属及合金靶材，因此需要根据具体应用的要求选择适合的制备方法。
铝钛硼检测标准
铝钛硼检测标准
全文共四篇示例，供读者参考
第一篇示例：
铝钛硼检测标准是指针对含有铝、钛和硼元素的材料进行检测与分析的相关标准和方法。铝钛硼合金是一种重要的金属材料，具有高强度、耐热性和耐腐蚀性等优良性能，被广泛应用于航空航天、汽车制造、化工等领域。对铝钛硼合金进行质量检测和分析是非常重要的。
一、铝钛硼检测的重要性
铝钛硼合金中含有的铝、钛和硼元素对材料性能具有重要影响，分析这些元素的含量和分布可以帮助确定材料的成分和质量。通过铝钛硼检测，可以确保材料符合相关标准和规定，保证产品质量，提高产品竞争力。
铝钛硼检测一般采用的方法包括化学分析法、光谱分析法和表面分析法等。
1. 化学分析法
化学分析法是铝钛硼检测中常用的方法之一，通过化学反应和分析仪器对样品中的元素含量进行定量测定。常用的化学分析方法包括火花光谱法、原子吸收光谱法和电感耦合等离子体发射光谱法等。这些方法具有测定范围广、精确度高的特点，可以满足不同要求的检测需求。
表面分析法主要用于对铝钛硼合金表面进行分析，包括扫描电子显微镜、能谱仪和拉曼光谱仪等。这些方法可以揭示材料表面的微观结构和成分，帮助了解材料的性能和质量。
三、铝钛硼检测标准
为了保证铝钛硼合金产品的质量和安全性，国际上制定了一系列的标准和规范，包括化学成分、机械性能、工艺要求等方面。
化学成分是影响铝钛硼合金性能的重要因素，相关标准对铝、钛和硼等元素的含量和比例进行了规定。根据不同的应用领域和要求，铝钛硼合金的化学成分标准也有所不同。
2. 机械性能标准
机械性能是衡量铝钛硼合金产品质量的重要指标，包括强度、硬度、延伸率、抗疲劳性等方面。相关标准对这些机械性能进行了详细规定，确保产品符合要求。
3. 工艺要求标准
铝钛硼合金产品的生产工艺也是影响产品质量的关键因素，相关标准对生产工艺、热处理工艺、表面处理等方面进行了规范，提供了专业的技术指导。 以一家航空航天企业为例，他们在生产铝钛硼合金零部件时，需要对材料进行严格的检测和分析，确保产品质量满足技术要求。他们采用化学分析法、光谱分析法和表面分析法等多种方法对铝钛硼合金进行检测，保证了产品的质量和可靠性。
钽靶材
钽
概况（Survey）：
钽是化学元素，化学符号是Ta，
原子序数是73。
性状（Character）：
钽是蓝灰色过渡金属，并为高熔点金属（熔点2996℃）。钽富有延展性、坚硬、具抗腐蚀性，钽不会与王水发生反应，用作制造化工器材、真空管、医疗器具及植入物等。
物理性质（Physical property）：
物质状态：固态
熔点：3290 K（3017 °C）
沸点：5731 K（5458 °C）
摩尔体积：10.85×10-6m3/mol
汽化热：743 kJ/mol
熔化热：31.6 kJ/mol
蒸气压：0.776 帕（3269K）
声速：3400 m/s（293.15K） 原子性质（Atomic properties）：
原子量：180.94788(2) 原子量单位
原子半径（计算值）：145（200）pm
共价半径：138 pm
范德华半径： 无数据
价电子排布： [氙]4f145d36s2
电子在每能级的排布：2，8，18，32，11，2
氧化价（氧化物）：5（弱酸性）
晶体结构：体心立方晶格
钽靶
名称 规格尺寸 纯度
钽丝（Ta） Φ0.5mm—3.0mm 99.9% 99.99% 99.995% 99.999%
钽粒（Ta） 1mm--10mm 99.9% 99.99% 99.995% 99.999%
钽片（Ta） T 0.10mm—T 2mm. 99.9% 99.99% 99.995% 99.999%
钽粉（Ta） 10-25mm 1-5um 99.9% 99.99%
钽粉（Ta） -200目 -325目 99.9% 99.99%
铝钛硼合金成分
铝钛硼合金成分
1. 介绍
铝钛硼合金是一种新型的高强度、轻量化金属材料，由铝、钛和硼三种元素组成。它具有优异的力学性能和耐腐蚀性能，被广泛应用于航空航天、汽车制造和电子工业等领域。
2. 铝钛硼合金的组成
铝钛硼合金的主要成分包括铝、钛和硼。其中，铝是合金的基础元素，占比最高；钛是增强材料，能够提高合金的强度和硬度；硼是稀土元素，可以改善合金的热稳定性和耐腐蚀性。
3. 铝钛硼合金的制备方法
铝钛硼合金的制备方法主要有熔炼法和粉末冶金法两种。
3.1 熔炼法
熔炼法是将铝、钛和硼等原料按一定比例混合后，加热至一定温度进行熔炼。熔炼过程中，通过控制温度和时间，使得原料中的各种元素充分混合，并形成均匀的合金液。然后，将合金液进行凝固、铸造或挤压成型，最终得到铝钛硼合金制品。
3.2 粉末冶金法
粉末冶金法是将铝、钛和硼等原料粉末按一定比例混合后，通过压制、烧结等工艺制备成坯料。然后，对坯料进行热处理，使得原料中的各种元素发生反应，形成铝钛硼合金。最后，对合金进行加工，得到所需的铝钛硼合金制品。
4. 铝钛硼合金的性能
铝钛硼合金具有以下优异性能： 4.1 高强度
铝钛硼合金的强度比纯铝高出很多倍，可以达到甚至超过一些钢材的强度。这使得铝钛硼合金在航空航天和汽车制造等领域有着广泛的应用前景。
4.2 轻量化
铝钛硼合金的密度较低，比钢材轻很多。因此，使用铝钛硼合金制造的零部件可以减轻整体重量，提高车辆的燃油效率，降低能源消耗。
4.3 耐腐蚀性
铝钛硼合金具有良好的耐腐蚀性，能够抵抗酸、碱等化学物质的侵蚀。这使得铝钛硼合金在海洋工程和化工设备等领域有着重要的应用。
4.4 良好的加工性能
铝钛硼合金具有良好的可塑性和可加工性，可以进行锻造、挤压、拉伸等多种加工工艺，制造出形状复杂的零部件。
5. 铝钛硼合金的应用
铝钛硼合金广泛应用于航空航天、汽车制造和电子工业等领域。具体应用包括但不限于：
5.1 航空航天
铝钛硼合金生产工艺
铝钛硼合金生产工艺
铝钛硼合金是一种具有良好性能的新型金属材料，具有较高的强度和硬度，广泛应用于航空、航天等领域。以下是铝钛硼合金的生产工艺及工艺流程的简介。
铝钛硼合金的生产工艺主要包括原料准备、材料合成、熔炼、均质处理、挤压和加工等步骤。
首先，原料准备是铝钛硼合金生产的第一步。选择纯度高、含杂质少的铝、钛和硼粉末作为原料，进行严格的筛选和质量检测。
接下来，材料合成是将铝、钛和硼粉末按一定比例混合，在惰性气氛下进行反应合成。这一步骤通常采用机械合金化的方法，如球磨机或高能球磨机，通过机械能产生的剪切力和撞击力使粉末达到高度的均匀混合，并实现元素的弥散。
然后，将合成的铝钛硼合金粉末通过熔炼工艺，如高频感应熔炼或电弧熔炼，将其熔融成液态，在惰性气氛下进行搅拌和除气处理，保证合金的纯度和均匀性。
接着，进行均质处理，将熔融的合金液体在恒温下进行搅拌和晶粒细化处理，以提高铝钛硼合金的强度和硬度。均质处理可以采取气融体浓度均质和凝固处理等方法。
然后，将均质后的铝钛硼合金液体注入预先设计好的铝钛硼合金模具中，通过挤压工艺将合金液体压实成坯料。挤压工艺通常采用等径挤压或变径挤压，通过壁厚变化实现在模具内的金属流动。
最后，将挤压成型的铝钛硼合金坯料进行热处理，进行退火或固溶和时效处理，以进一步提高合金的性能和稳定性。热处理过程中需要严格控制温度、时间和冷却速度等参数。
以上是铝钛硼合金生产的主要工艺流程。随着现代科技的不断发展，铝钛硼合金的生产工艺也在不断创新和改进，以满足更高性能和更复杂应用的需求。
铝钛硼的作用
铝钛硼的作用
铝钛硼（AlTiB）是一种常用的合金添加剂，具有多种功能和作用。它在冶金、航空航天、汽车制造和其他工业领域中得到广泛应用。本文将详细介绍铝钛硼的作用。
铝钛硼在冶金工业中起到了重要的作用。它可以作为铝合金的添加剂，改善合金的性能。添加适量的铝钛硼可以提高铝合金的强度、硬度和耐腐蚀性能。此外，铝钛硼还能够细化和稳定铝合金的晶粒结构，提高材料的塑性和韧性，从而提高制品的加工性能和使用寿命。
铝钛硼在航空航天领域具有重要的应用价值。航空航天工业对材料的性能要求非常高，铝钛硼正是满足这些要求的重要材料。它可以提供航空航天器件所需的高强度和轻量化特性，同时具有良好的耐热性和耐腐蚀性。这使得铝钛硼成为航空航天器件制造中的理想材料之一。
铝钛硼还在汽车制造领域发挥着重要作用。随着汽车工业的快速发展，对汽车材料的要求也越来越高。铝钛硼作为一种优质的添加剂，可以改善铝合金的性能，提高汽车零部件的强度和耐久性。这不仅可以减轻汽车的自重，提高燃油经济性，还可以提高汽车的安全性能和舒适性。
铝钛硼还有其他一些重要的作用。例如，在电子工业中，铝钛硼可以用作电子元器件的材料，具有良好的导电性和热导性。在建筑工业中，铝钛硼可以用于制造轻型建筑材料，如铝合金门窗和铝合金屋顶。
铝钛硼作为一种重要的合金添加剂，具有多种功能和作用。它在冶金、航空航天、汽车制造和其他工业领域中发挥着重要的作用。铝钛硼可以改善材料的性能，提高制品的强度、硬度和耐腐蚀性能，同时还可以提高材料的加工性能和使用寿命。铝钛硼的广泛应用为各行各业的发展提供了重要支持，也推动了社会经济的快速发展。
铝钛硼的作用 2
铝钛硼的作用
铝钛硼是一种重要的合金材料，具有多种作用和应用。以下将详细介绍铝钛硼的作用。
1. 强化剂：铝钛硼在合金中起到强化作用，能够显著提高合金的强度和硬度。铝钛硼能与铝形成固溶体，使铝合金的晶粒细化，增加晶界数量，从而提高材料的强度和耐磨性。此外，铝钛硼还能与其他合金元素形成间金化合物，增加合金的强度。
2. 耐高温性能：铝钛硼具有优良的耐高温性能，能够在高温环境下保持较高的强度和硬度。这使得铝钛硼在航空航天、船舶制造、汽车发动机等领域得到广泛应用。在航空航天领域，铝钛硼常被用于制造发动机零部件和结构件，能够承受高温和高压条件下的工作。
3. 耐腐蚀性能：铝钛硼具有良好的耐腐蚀性能，能够抵抗酸、碱、盐等腐蚀介质的侵蚀。这使得铝钛硼在化工、海洋工程等领域中得到广泛应用。在化工领域，铝钛硼常被用于制造储罐、管道等设备，能够有效防止腐蚀介质对设备的侵蚀。
4. 电导性能：铝钛硼具有优良的电导性能，能够传导电流，使其在电子器件制造中得到应用。铝钛硼可以用于制造电子元件、电路板等，能够提供良好的电导路径，保证电子设备的正常工作。
5. 轻量化：铝钛硼具有较低的比重，是一种轻量化材料。这使得铝钛硼在汽车、航空航天等领域中得到广泛应用。在汽车制造领域，铝钛硼常被用于制造车身、发动机零部件等，能够减轻车辆的重量，提高燃油经济性和行驶性能。
铝钛硼作为一种重要的合金材料，具有强化剂、耐高温性能、耐腐蚀性能、电导性能和轻量化等多种作用。它在航空航天、汽车、化工等领域中得到广泛应用，为各行业的发展和进步做出了重要贡献。未来随着科技的不断进步，铝钛硼的应用前景将会更加广阔。
钛铝TiAl合金靶材-一种真空镀膜用溅射靶材的制备
钛铝TiAl合金靶材-一种真空镀膜用溅射靶材的制备
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钛铝合金是一种真空镀膜用合金溅射靶材，在该合金中通过调配钛与铝的含量可以获得不同特性 的钛铝合金靶材。钛铝金属间化合物属于硬脆材 料，具有很好的耐磨性，在普通刀具表面覆着一层钛 铝金属间化合物，可以有效延长刀具的使用时间。
溅射合金靶材需要满足纯度、致密度、晶粒度、表面光洁度等要求。其中纯度、致密度及晶粒度 与靶材制备工艺直接相关。金属合金制备通常采用的普通熔炼法。但钛铝合金的制备不适于采用该方法，主要原因如下：
(1) 钛铝合金熔炼过程易形成多种金属间化合物，如 Ti3A1、TiAl、TiAl2、TiAl3等，这些金属间化合物的存 在导致钛铝合金的加工脆性，特别是当合金中铝含 量超过50％(原子比)，该问题尤为明显；
(2)熔炼工 艺制备钛铝合金靶材，浇注过程中易产生气泡、疏松 和偏析，造成合金中成分与组织不均匀，导致靶材品 质不稳定蚓6。
目前钛铝合金溅射靶材的主要制备技术有：强 电流加热法、热等静压烧结法、热压烧结法。
1.强电流加热法
该法采用可获得大电流的装置， 利用大电流使钛粉和铝粉发热，施以压力，使铝和钛 自身反应形成钛铝合金靶材。该法制备得到的钛铝合金靶材产品的致密度 >99％，晶粒尺寸≤100微米，纯度>99％。
2.热等静压烧结法
该法将钛粉和铝粉进行混料，然后 经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热 等静压压制成型，最后进行烧结和加工得到钛铝合金靶材。该法制备的钛铝合金靶材具有致密度高、无气 孔、无疏松和偏析、成分均匀、晶粒细小等特点。
3.热压烧结法
该工艺使钛铝粉体在热和力的共同 作用下烧结成型，利用Ti—Al混合物中铝的熔点 低，将钛粉粘结在一起，形成合金溅射靶材。热压 烧结示意图如图2所示。该法制备得到的合金靶材致密度高(≥95％)，
晶粒尺寸细小(≤100 微米)，成分均匀。用该工艺可 制备出不同成分的钛铝合金靶材。
铝钛硼合金靶材
铝
概况（Survey）：
铝（英语：Aluminium / Aluminum）是化学元素。化学符号是Al。原子序数是13。
性状（Character）：
铝有特殊化学、物理特性，是当今工业常用金属之一，不仅重量轻，质地坚，而且具有良好延展性、导电性、导热性、耐热性和耐核辐射性，是国家经济发展的重要基础原材料。铝在空气中会迅速形成一层致密的氧化铝薄膜，阻止腐蚀的继续进行。
物理性质（Physical property）：
状态：固态
密度（接近室温）：2.70 g²cm−3
熔点时液体密度：2.375 g²cm−3
熔点：933.47 K，660.32 °C，1220.58 °F
沸点：2792 K，2519 °C，4566 °F
熔化热：10.71 kJ²mol−1
汽化热：294.0 kJ²mol−1
比热容：24.200 J²mol−1²K−1 原子性质（Atomic properties）：
氧化态：3, 2, 1（两性氧化物）
电负性：1.61（鲍林标度）
原子半径：143 pm
共价半径：121±4 pm
范德华半径： 184 pm
铝靶
名称 规格尺寸 纯度
铝丝（Al） Φ0.2—1.0mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+%
99.9999% 99.9999+%
Φ1.0—3.0mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+%
99.9999% 99.9999+%
Φ3.0—6.0mm 99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+%
99.9999% 99.9999+%
铝片（Al） （50*50*0.2-1.5mm） 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%
99.9999% 99.9999+%
（100*100*0.2-1.5mm） 99.9% 99.99% 99.999% 99.999+%