一种多功能全数字MEMS三分量检波器设计_李怀良
新型便携式多功能数字高斯计的设计
新型便携式多功能数字高斯计的设计
张建永;饶连周;柳东;阙琼涛;许国忠;陈金兰
【期刊名称】《三明学院学报》
【年(卷),期】2014(31)6
【摘 要】研究了一种新型便携式多功能数字高斯计。该高斯计以STM32F103C8T6单片机为核心,集磁感应强度传感器CS49E模块、温湿度模块DHT11、语音模块ISD1700于一体,能实现磁场强度、温湿度测量、数据存储、语音播报及时间显示等功能,具有一定的创新性和实用性。%A kind of new-type portable and multifunctional digital gauss meter is studied in this
paper. Centering up-on STM32F103C8T6 MCU, the gauss meter is
composed of magnetic induction intensity sensors CS49E, temperature and
humidity sensors DHT11, and voice module ISD1700, which can realize the
function of measuring magnetic field intensi-ty, measuring temperature
and humidity, data storage, voice broadcast, time display, etc. It has a
certain creativity and practicality.
【总页数】6页(P50-55)
【作 者】张建永;饶连周;柳东;阙琼涛;许国忠;陈金兰
【作者单位】三明学院 机电工程学院,福建 三明 365004;三明学院 机电工程学院,福建 三明 365004;三明学院 机电工程学院,福建 三明 365004;三明学院 机电工程学院,福建 三明 365004;三明学院 机电工程学院,福建 三明 365004;三明学院
基于MEMS加速度计的强振动记录黑匣子的设计
第30卷增刊(II)
20 1 0年1 1月 大地测量与地球动力学
JOURNAL OF GEODESY AND GEODYNAMICS Vo1.30 Supp.(I/)
NOV.,2010
文章编号:1671-5942(2010)Supp.(1I)-0126-03
基于MEMS加速度计的强振动记录黑匣子的设计
李道忠 吴雄伟 陈志高 杨 建
(武汉地震科学仪器研究院,武汉430071)
摘 要 设计基于MEMS加速度传感器的一种强震记录黑匣子,采用SOC系列C8051F005型单片机对MEMS加 速度传感器的输出信号进行A/D转换,记录该设备安装点位所经受的强振加速度值,并通过LCD16032显示一分 钟内的振动加速度峰值。该系统具有体积小、安装与操作方便、免维护等特性。 关键词 MEMS(Micro—Electro—Mechanical Systems);强振动;数据采集;SD(Secure Digita1)卡 中图分类号:TH762.2 文献标识码:A
DESIGN OF VIOLENT VIBRATION RECoRD BLACK BOARD
BASED oN MEMS ACCELERoMETER
Li Daozhong,Wu Xiongwei,Chen Zhigao and Yang Jian
(Wuhan Research Institute of Seimographic Instruments,Wuhan 43007 1)
Abstract A violent vibration rec0rd black board was designed.The acceleration is detected bv MEMS aece1er.
ometer and translated into digital signal by A/D module in C805 1 FO05.Further,the vibration date is recorded and stored in SD card.The peak acceleration in a minute is displayed by LCD16032.This design has the characteristic of small size,is easy to be operated and free of maintenance. Key words:MEMS(Micro—Electro—Mechanical Systems);violent virbration;data acquisition;SD(Secure Digita1) ard
新型便携式多功能数字高斯计的设计 2
2叭4年 第31卷 12月 第6期 i明学院学报 JOURNAL OF SANMING UNIVERSITY Dec.20l4 Vo1.3I No.6
doi:10.14098/j cn35-1288/z.2014.06.010
新型便携式多功能数字高斯计的设计
张建永,饶连周,柳东,阙琼涛,许国忠,陈金兰
(三明学院机电工程学院,福建三明365004)
摘要:研究了一种新型便携式多功能数字高斯计。该高斯计以sTM32F103c8T6单片机为核心,集磁感应强度传 感器CS49E模块、温湿度模块DHT11、语音模块ISD1700于一体,能实现磁场强度、温湿度测量、数据存储、语音播报 及时间显示等功能.具有一定的创新性和实用性。 关键词:高斯计;STM32F103C8T6;CS49E;磁场强度;测量
中图分类号:TM936 文献标志码:A 文章编号:1673—4343(2014)06—0050—06
Designe of New-type Portable Multifunctions Digital Gauss Meter
ZHANG Jian-yong,RAO Lian-zhou,LIU Dong,QUE Qiong—tao,
XU Guo—zhong.CHEN Jin—lan
(Cotle of Electromechanical Engineering,Sanming University,Sanming 365004,China) Abstract:A kind of new-type portable and multifunctional digital gauss meter is studied in this paper.Centering up
on STM32F103C8T6 MCU,the gauss meter is composed of magnetic induction intensity sensors CS49E,temperature and humidity sensors DHT1 1,and voice module ISD1700,which Can realize the function of measuring magnetic field intensi- ty,measuring temperature and humidity,data storage,voice broadcast,time di ̄lay,ete.It has a certain creativity and
MEMS宽带电化学地震检波器
MEMS宽带电化学地震检波器
何文涛;陈德勇;王军波;张正宇
【摘 要】针对深部油气勘探的需要,研制了基于微机电系统(MEMS)的宽带电化学地震检波器.仿真分析了影响该检波器频带的结构参数,并对其MEMS实现及封装方法进行了研究.利用有限元软件分析绝缘层厚度和阴极孔径对检波器幅频特性的影响,得到了优化的几何参数.基于仿真结果,利用MENS工艺加工硅基的Pt电极和Su-8的绝缘层,然后用物理紧固的方法进行器件封装.最后,分别在水平振动台和基岩上进行了检波器的性能测试和微震监测实验.实验结果表明:无需进行频率补偿,由20 μm孔径阴极和200 μm厚绝缘层封装的器件的频带可扩展到3~90 Hz,低频扩展到60 S的补偿额度小于30 dB,检波器的动态范围不小于130 dB.实验显示:这种改进的检波器可以作为宽带地震检波器用于深部或海底的油气勘探.
【期刊名称】《光学精密工程》
【年(卷),期】2015(023)002
【总页数】8页(P444-451)
【关键词】微机电系统(MEMS);电化学地震检波器;宽频带;Su-8绝缘层
【作 者】何文涛;陈德勇;王军波;张正宇
【作者单位】中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190 【正文语种】中 文
【中图分类】P631.436;TP212.12
1 引 言
作为地质仪器的重要组成部分,地震检波器被广泛应用于油气勘探、地震监测以及一些自然灾害的早期预警等[1-5]。按工作原理的不同,地震检波器可以 分 为
压 电 式[6]、压 阻 式[7]、电 磁 式[8-9](包括动圈和摆式地震检波器)、电容式[10]、光纤式[11-12]以 及 基 于 电 化 学 原 理 的 地 震 检
基于MEMS技术的三维微力传感器
2OO7妊 第6期 仪表技术与传或器 Instrument Technique and Sensor 200r7 No.6
基于MEMS技术的三维微力传感器
秦磊,李满天,孙立宁
(哈尔滨工业大学机器人研究所,黑龙江哈尔滨1s008o)
摘要:开发了一种基于MENS技术制作的三维微力传感器,传感器为完全对称结构,由4根垂直放置和1根悬臂放置
的硅梁连接而成。每根硅梁上设计了一个利用MEMS工艺制作的惠斯通电桥,该种电桥应变系数大,在很大程度上简化
了电桥处理电路的设计。在弹性力学和材料力学基础上,利用SOLIDWORK软件对传感器进行了应变分析,得出了力和输 出电压之间的关系。设计了传感器信号检测电路,确定了减小温度对检测精度影响的方法。测试表明:该传感器检测量
程为±0.5 N,重复定位精度优于9.1 mN,分辨力优于0.95 mN.
关键词:微力传感器;MEMS;应变
中图分类号:TP212 文献标识码:A 文章编号:1002—1841(20o7)06—0001—02
Three-dimensional Micro Force Sensor Based 0n MEMS Technology
Q]N Lei,LI Man-tian,SUN Li—ning (P,obo ̄Institute,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001 China)
Al ̄zaet:A novel tlm ̄dimensional micro force 8ensol"based on MEMS technology was developed in symmetry of slrueture,rlhe sen-
8o1"is composed of five silicon beams.4 beams are placed along with vertical direction and the last beam is elmtilevel",Each¥ili(3on beam
2011年国家自然基金获得者名录——国防科学技术大学
项目批准号申请代码1项目名称项目负责人依托单位金额
11175253A050501强脉冲激光驱动固体薄膜靶的单能离子加速机制研究卓红斌国防科技大学64
61177051F050210基于金属微纳结构局域表面等离激元共振的超薄光波偏振变换器理论及实验朱志宏国防科技大学70
61104180F030212面向应急对地观测任务的多星协同动态调度方法研究朱晓敏国防科技大学24
61170285F020801新一代互联网社会网络感知模型与能力设计朱培栋国防科技大学56
31100609C0507miRNAs在微重力环境所致的肌肉萎缩中的作用研究朱凌云国防科技大学20
51105370E050903亚纳米面形精度离子束抛光理论与方法研究周林国防科技大学25
61101179F010304基于稀疏观测的雷达目标三维重构技术周剑雄国防科技大学25
11101427A010705分数布朗运动驱动的无穷维系统的渐近行为研究郑言国防科技大学23
71101151G0106基于模糊语言认知图的Cyberwar技术风险评估方法研究赵炤国防科技大学20
61103189F020801网络层命名与路由理论及协议技术研究赵锋国防科技大学20
61101185F010402基于相位编组与方向互信息的红外/可见光图像配准方法张志龙国防科技大学22
61101178F010304P波段星载SAR电离层传播效应校正方法研究张永胜国防科技大学22
11104349A040205静电势阱组装有序量子点阵单电子晶体管的制备与理论研究张学骜国防科技大学28
61101096F010202窄带干扰条件下MIMO-OFDM系统中基于变分贝叶斯算法的联合参数估计与Tur张晓瀛国防科技大学17
61175006F030402快速鲁棒的图像局部仿射不变特征提取方法张茂军国防科技大学58
51105371E051002面向眼膜成像诊断的磁液体微变形反射镜设计制造问题研究张连超国防科技大学25
基于质量刚度解耦的三波腹嵌套环MEMS陀螺结构优化设计
基于质量刚度解耦的三波腹嵌套环MEMS陀螺结构优化设计
高凯; 李青松; 张勇猛; 路阔; 王鹏; 许一; 李斌; 肖定邦
【期刊名称】《《传感技术学报》》
【年(卷),期】2019(032)010
【总页数】6页(P1451-1456)
【关键词】嵌套环陀螺; 性能优化; 质量刚度解耦; 灵敏度; 热噪声
【作 者】高凯; 李青松; 张勇猛; 路阔; 王鹏; 许一; 李斌; 肖定邦
【作者单位】国防科技大学智能科学学院 长沙410073
【正文语种】中 文
【中图分类】TP393
经典的二波腹嵌套环式MEMS陀螺近年来性能发展迅速[1-2],成为未来高精度MEMS陀螺仪研究的重点方向。据报道,第一个突破导航级别的MEMS陀螺就是波音公司推出的0.01°/h的嵌套环陀螺[2]。在后续的研究中发现制作在<111>硅片上的二波腹嵌套环式MEMS陀螺会受到面外位移带来的锚点损耗[3],限制了其品质因子的提升。而如果以<100>、<110>硅材料来制作二波腹嵌套环式MEMS陀螺,则陀螺会因为材料晶体的各向异性产生晶向频率裂解,难以通过后期电路修正,影响陀螺的机械灵敏度。但是进一步研究发现以各向异性<100>硅片制作的嵌套环式MEMS陀螺如果工作在三阶模态上,则可以避免晶向频率裂解,也能够避免面外模态对陀螺Q值的限制。并且三波腹嵌套环式MEMS陀螺理论上更加对称,在相同的加工缺陷下产生的加工频率裂解更小[4]。
目前,三波腹模态的MEMS振动陀螺已经颇受关注,乔治亚理工学院报道了一款基于三阶模态的固体声波陀螺,相比于二阶模态的固体声波陀螺,其工作频率明显提升,抗干扰性能明显增强[5]。加州大学欧文分校联合斯坦福大学在2014年也报道了一款三波腹模态的嵌套环陀螺,并且在其基础上开展了静电修调、参数激励[6]等性能提升方法,最后其报道Q值仅达到100k左右,在速率积分控制模式下实现阿伦方差的零偏不稳定性在0.65°/h[7]。
基于鲁棒EKF的MEMS-INS/GNSS/VO 组合导航方法
第44卷 第6期系统工程与电子技术Vol.44 No.6
2022年6月SystemsEngineeringandElectronicsJune2022
文章编号:1001506X(2022)06199407 网址:www.sysele.com
收稿日期:20210521;修回日期:20210922;网络优先出版日期:20220117。网络优先出版地址:https:∥kns.cnki.net/kcms/detail/11.2422.TN.20220117.1821.004.html基金项目:陕西省自然科学基础研究计划(2020JQ491,2019JM434)资助课题
通讯作者.引用格式:李文华,汪立新,沈强,等.基于鲁棒EKF的MEMSINS/GNSS/VO组合导航方法[J].系统工程与电子技术,2022,44(6):
19942000.犚犲犳犲狉犲狀犮犲犳狅狉犿犪狋:LIWH,WANGLX,SHENQ,etal.MEMSINS/GNSS/VOintegratednavigationmethodbasedonrobustEKF[J].SystemsEngineeringandElectronics,2022,44(6):19942000.基于鲁棒犈犓犉的犕犈犕犛犐犖犛/犌犖犛犛/犞犗
组合导航方法
李文华,汪立新,沈 强,李 灿,吴宗收
(火箭军工程大学导弹工程学院,陕西西安710025)
摘 要:针对传统惯导/卫导组合导航在复杂环境下易受干扰,观测量异常从而影响导航性能的问题,提出了
基于鲁棒扩展卡尔曼滤波(extendedKalmanfilter,EKF)的组合导航方法。设计了基于微惯性导航系统(micro
electromechanicalsysteminertialnavigationsystem,MEMSINS)、全球导航卫星系统(globalnavigationsatellite
05立项项目及经费划拨表
南开大学第三届本科生创新科研“百项工程”立项项目及经费划拨表院系课题名称负责人年级专业成员导师姓名资助经费启动经费针对新学制的选课指导系统王皓2002计算数学崔世琦 张凯磊温媛30001500
某些数学内容的计算机实现王慧杰2002信息与计算科学宫鲁津 王丽珠 张桐 王建英吴忠华 顾沛30001500
物流系统工程中的优化调度与方法吕君2002数学与应用数学刘学 王丽丽 王孝松 尹贺龙姜作廉30001500Erdos猜想研究黄晶晶2003数学试点黎皓 周青龙 高辉孟道骥 顾沛30001500基于数理方法的经济分析软件(SMEA)赵萌2002统计刘云辉 孙东霞吴忠华 樊洪康20001000
视觉加工过程中拓扑不变性的探索常乐2002数学与应用数学关启安 谢志辉顾沛 史广顺20001000
几何体的构造金飞2003数学试点严佳伟 张明敬 孙晋顾沛20001000新型MLPFG模板下的EDFA增益平坦器的研究王新伟2002物理学李智磊、张振宇、庄怀轩盛秋琴45002500
时间分辨光子计数系统的开发和应用徐波2002材料物理王俊、叶志成高立模、夏顺保45002500
烟草颗粒在典型三级两叉气管中的沉淀李震2003物理学孙其会、刘加东张连众25001500Hf:LiNbO3晶体的生长及研究高光宇2003材料物理邓东灵、李彦波、高宏臣孔勇发、刘士国45002500
大黄蒽醌类有效成分对细胞凋亡的影响夏霞宇2002应用物理邹洁、罗帅李俊英45002500核磁共振(NMR)自旋扩散实验中探头质子背景信号压制新技术及其在测定固体纳米结构中的应用陈翀2002物理学孙银宝李宝会、孙平川35002000数学学院
1南开大学第三届本科生创新科研“百项工程”立项项目及经费划拨表院系课题名称负责人年级专业成员导师姓名资助经费启动经费微米/纳米尺度多相流动态行为的荧光成像观察祁轶舲2002物理学满荣、胡欣、周飞徐晓轩35002000
关于测量冰的熔解热和水的比热容两实验的新型仪器的研究王展程2003材料物理谢 楠、左真涛沙志强45002500手性氨基酸STM研究赵青2002应用物理孙嘉伦、徐筠吴雪35002000芦荟大黄素诱导肝癌细胞凋亡及与细胞[Ca2+]的关系赵楠2003应用物理赵云帆杨文修35002000K+核散射中RT的动量相关性的研究李琼2003物理学夏炳墅罗延安、宁平治25001500
基于MEMS加速度计的强振动记录黑匣子的设计 2
基于MEMS加速度计的强振动记录黑匣子的设计
李道忠;吴雄伟;陈志高;杨建
【期刊名称】《大地测量与地球动力学》
【年(卷),期】2010(030)0z2
【摘 要】设计基于MEMS加速度传感器的一种强震记录黑匣子,采用SOC系列C8051F005型单片机对MEMS加速度传感器的输出信号进行A/D转换,记录该设备安装点位所经受的强振加速度值,并通过LCD16032显示一分钟内的振动加速度峰值.该系统具有体积小、安装与操作方便、免维护等特性.
【总页数】3页(P126-128)
【作 者】李道忠;吴雄伟;陈志高;杨建
【作者单位】武汉地震科学仪器研究院,武汉,430071;武汉地震科学仪器研究院,武汉,430071;武汉地震科学仪器研究院,武汉,430071;武汉地震科学仪器研究院,武汉,430071
【正文语种】中 文
【中图分类】TH762.2
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1.基于Copula的MEMS加速度计在振动环境下的可靠性评估 [J], 何程;秦丽;于丽霞;王威;秦立君
2.基于MEMS加速度计的瞬态振动信号采集系统 [J], 李剑;张波涛;薛丹丹;李间泽
3.基于MEMS加速度计的强振动记录黑匣子的设计 [J], 李道忠;吴雄伟;陈志高;杨建 4.基于CEEMDAN-SSA的MEMS加速度计振动噪声抑制方法 [J], 闫琦; 杨冬梅;
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5.抗过载压电式工业装备振动监控MEMS加速度计的仿真分析与设计 [J], 许高斌;
王超超; 杨海洋; 马渊明; 陈兴
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