阳极氧化铝模板制备过程的分析和应用

文章编号:1003󰀁1545(2007)03󰀁0024󰀁04

阳极氧化铝模板制备过程的分析和应用

闫红丹,刘丽来,张鹏翔,谈松林

(昆明理工大学,云南昆明󰀁650093)

摘󰀁要:用电化学法制备了阳极氧化铝模板,采用计算机对反应电流监控的方法,分析电流曲线与模板生长过

程的关系,实现了模板生长过程的精密控制。

关键词:纳米技术;AAO模板;计算机;电流曲线

中图分类号:TQ133.1󰀁󰀁文献标识码:A收稿日期:2006󰀁12󰀁01󰀁󰀁纳米结构材料和器件因具有独特的性能而广

泛应用于电子学、光学、机械装置、药物释放和生

物化学等方面,近年来掀起了对纳米材料研究的

热潮[1,2]。目前也有许多企业在从事纳米材料的

生产,但小型化本身并不代表纳米技术,纳米材料

和纳米科技有着明确的尺度和性能方面的定义。

制造纳米器件目前主要的方法还是通过󰀂由上而

下 (topdown)尽力降低物质结构维数来实现,而

纳米科技未来发展方向是要实现󰀂由下而上

(bottomup)的方法来构建纳米器件。目前此方

面的尝试有两类,一类是人工实现单原子操纵和

分子手术,日本大阪大学的研究人员利用双光子

吸收技术在高分子材料中合成了三维的纳米牛和

纳米弹簧,使功能性微器件的制备有了新的突破;

另一类是各种体系的自组装技术,已有分子自组

装构建的纳米结构,包括纳米棒、纳米管、多层膜、

孔洞结构等。美国贝尔实验室的科学家利用有机

分子硫醇的自组装技术制备出直径为1~2nm的

单层场效应晶体管,这种单层纳米晶体管的制备

是研制分子尺度电子器件重要的一步,这方面的

工作现在还仅限于实验室研究阶段[3]。在纳米

材料和器件的制备中,模板法是关键技术之一。

目前常用的模板有硬模板和软模板两种。其中以

阳极氧化铝模板(AAO)为代表的硬模板应用最

为广泛。多孔阳极氧化铝(AAO)模板具有规则

排列的六角形孔洞结构,且孔洞直径可控生长在

20~200nm的范围内,模板厚度也可控制在1~

10󰀁m之间,孔密度为109~1012个/cm2,AAO模板的孔洞孔径大小一致、排列有序、分布均匀,可

用于合成零维纳米材料、一维纳米材料(纳米线,

纳米管),国内外已有报道[4~6]。然而在试验制

备中,阳极氧化电压、电流、温度的控制决定着最

终AAO模板中纳米孔洞的大小、分布及模板的

厚度等重要参数,这一方面的控制还没解决,本文

拟采用计算机实时监控阳极氧化过程中各主要参

数,利用所得数据来影响、控制阳极氧化铝片中的

自组织过程,实现可控、重复、批量地自组织生长

各种尺寸、形貌的模板,为实现纳米产业化提供一

条可行的技术途径。

1󰀁试验方法

将厚度为0󰀂1mm,纯度为99󰀂99%(质量分

数)的铝箔剪成35mm!45mm的铝片,然后将其

放入丙酮中用超声波清洗120s后在400∀的温

度下退火3h,以增大晶格的尺寸,退火后的铝片

用电化学抛光法去除表面的氧化层,抛光液为乙

醇和高氯酸的混合液,用去离子水冲洗抛光铝片

后将其装入特制的仪器中进行氧化处理。将铝片

接入阳极,铂电极为阴极,将计算机串联接入电路

当中,收集实时的电流数据,并用自编的软件将数

据直接转化为实时电流曲线输出,以便实时监控

反应电流。一次氧化的电压在30~80V之间,电

解液为0󰀂4mol/LH2C2O4,氧化温度恒为0∀,并

不断用搅拌器搅拌使温度均匀,氧化时间为2h。#24#󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁材󰀁料󰀁开󰀁发󰀁与󰀁应󰀁用󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁2007年6月一次氧化结束后将氧化过的一面铝片浸泡在6%

H3PO4+1󰀂8%H2CrO4(质量浓度)的混合溶液

中,温度为60∀,浸泡2h,去除一次氧化的氧化

层,随后在与一次氧化相同的条件下二次氧化铝

片2h,完成整个氧化过程。为了得到通透孔洞的

AAO模板,将未被氧化的一面铝片浸入CuCl2溶

液当中去除未氧化的铝层,当铝层完全去除以后

再将其浸入含有甲基红试剂的5%H3PO4(质量

浓度)溶液中去除阻挡层和扩孔。当试剂变为红

色时取出模板,此时模板已经具有大小均匀的六

角形排列的孔洞结构,用扫描电镜来观察模板的

质量。

2󰀁结果及分析

图1为3∀时0󰀂4mol/LH2C2O4的电解液

中,50V的氧化电压下二次氧化得到的电流曲线。

从图1曲线可以看出,一次氧化和二次氧化的电

流变化趋势基本一致。电流变化的一个明显差别

是二次阳极氧化的最小电流普遍比一次的高。在

形成多孔氧化铝过程中电流都可以被分为3部

分,在恒温、恒压下,电流的变化代表着阳极氧化

的不同阶段。在第一个阶段(a),电极的电阻开始

很小,电流很大,而电解液中包含的氧离子的迁移

使氧化层形成,电极的电阻增大,电流迅速减小,

此时作为阳极的铝板的表面迅速形成了致密的氧

化层。随着氧化的进行,氧化层达到一定厚度时,

局部电阻产生的热量和电场的作用使氧化层的局

部溶解,形成了孔核,这与电流曲线的第二个阶段

(b,b∃)相对应。在这个过程中,由于氧化层表面

孔洞的产生,阳极的电阻减小,电流缓慢回升,电

流密度也都集中在孔洞的底部,使模板的孔洞加

深。孔洞底部电场的加强促进了氧化,使孔洞底

部形成了致密的阻挡层,阳极铝板的氧化电阻的

缓慢增加也使电流密度再次减小,即电流曲线的

第三个阶段(c,c∃)。在第四阶段,由于孔洞的阳

极氧化速度和阻挡层的腐蚀速度相当,电流达到

一个稳定的量(d,d∃),使模板的生长,即孔洞的规

则性、阻挡层的厚度和孔洞的长径比在这过程都

趋于稳定。这些信息为实现精细控制AAO模板的生长提供了有益的帮助。图1󰀁3∀在0.4mol/L草酸中50V电压下电流曲线

在保持温度和电解液等参数不变的情况下,图

2分别是50V、42V、32V恒压时阳极氧化的电流%

时间曲线。图3a)、图3b)、图3c)分别是扫描电镜

中观察到的AAO模板的纳米洞尺寸和结构。可以

看出,电流平稳,制得的模板微孔排列很规则。当

氧化电压不同,而其它氧化条件相同时,模板孔径

的相对大小可以从电流曲线上直观反映出来,随着

氧化电压的增大,氧化达到稳定时的电流越大,模

板的孔洞直径和孔间距也越大。氧化电压为50V

时的孔径为65nm左右,而氧化电压为32V时,孔

径只有45nm左右。同一温度、同一种电解液条件

下,阳极氧化电压不同,电流密度稳定值也不同。

温度为3∀、0󰀂4mol/LH2C2O4电解液中,氧化电压

为50V时电流密度的稳定值为17󰀂2488mA,而氧

化电压为32V时只有4󰀂4222mA。电流曲线的最

小值随电压的增加而增加,这可能是因为在氧化层

表面的电场的增加加速了氧化层的腐蚀,电流密度

也随着阳极氧化电压的增大而增大,使电场的腐蚀

性加强,因此大电压下制备的模板孔洞较大。

图2󰀁在3∀时,0.4mol/L草酸中32V、42V、50V

时的一次氧化电流

图4为42V电压下模板被击穿时的电流时

间曲线。氧化开始10min左右击穿发生,同时电

流密度有明显增大。比时Al片的纯度或安装时

的原因使Al片表面有大的裂缝,导致上述现象发#25#第22卷第3期󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁闫红丹等:阳极氧化铝模板制备过程的分析和应用󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁

图3󰀁3∀,0.4mol/L草酸中,不同电压

二次氧化的SEM照片

生,根据电流的迅速增大我们可以判断模板已经

被击穿。

按计算机显示出的电流波动变化可知道模板

氧化自组织过程中受到的干扰,可判断生成模板

的孔洞生长是否规则、均匀,及时调节相应的试验

参数来控制模板的生长。利用一台计算机可以监

控多台阳极氧化装置,当反应到达要求或出现状

况时,程序会自动做出结束反应的提示以避免一

些不必要的损失。可以看出,计算机监控的

AAO图4󰀁在3∀时,0.4mol/L草酸中,氧化电压

为42V电压下击穿电流曲线

模板制备有很大优势,为重复、批量、可控制备

AAO模板提供了技术支持。

3󰀁结论

用计算机监控模板制备过程,成功制备了几

种尺寸的AAO模板;计算机监控可以直观地反

映孔径的大小,提高了产品的成功率。用一台计

算机同时监控多个模板制备过程,可以实现批量

生产模板,这为模板制备的产业化提供了条件。

参考文献:

[1]󰀁杜朝锋,黄英,秦秀兰.模板技术在纳米材料制备中

的应用与发展[J].材料导报,2006,20(21):38.

[2]󰀁麦雷图科夫MA.现在和未来的纳米科学技术[J].

国外金属矿选,2005,42:8.

[3]󰀁张邦维.高k栅极电介质材料与Si纳米晶体管[J].

微纳电子技术,2006,43(3):113~120.

[4]󰀁Cai󰀁LingXu,HuaLi,Guang󰀁YuZhao,etal.Elec󰀁

trodepositionandmagneticpropertiesofNinanowire

arraysonanodicaluminumoxide/Ti/Sisubstrate[J].

AppliedSurfaceScience,2006:1399~1403.

[5]󰀁NeedhamSA,WangGX,LiuHK.SynthesisofNiO

nanotubesforuseasnegativeelectrodesinlithiumion

batteries[J].JournalofPowerSources,2006,159(1):

254~257.

[6]󰀁WanDongyun,WangYutian,ZhouZhenping,etal.

FabricationoftheorderedFeS2(pyrite)nanowirear󰀁

raysinanodicaluminumoxide[J].MaterialsScience

andEngineering,2005,122:156~159.

PreparationandApplicationofAnodicAluminiumOxideTemplate

YANHong󰀁dan1,LIULi󰀁lai1,ZHANGPeng󰀁xiang1,TANSong󰀁lin1(KunmingUniversityofScienceandTechnology,Kunming650093,China)#26#󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁材󰀁料󰀁开󰀁发󰀁与󰀁应󰀁用󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁󰀁2007年6月

合集下载

AAO模板的制备及其应用

AAO模板的制备及其应用

2010年38卷第4期 广州化工 ·115· 

AAO模板的制备及其应用 

莫润伟 ,刘毅 :{: 

(1贵州大学化学与化工学院,贵州 贵阳550003;2贵州I大学理学院,贵州 贵阳550003) 

摘 要:以多孔阳极氧化铝膜为模板制备纳米结构材料具有独特的优越性,得到了广泛的关注。本文介绍了在草酸溶液中制 备的AAO模板的工艺过程,并用扫描电子显微镜(SEM)对阳极氧化铝膜的形貌和结构进行了表征,最后介绍了AAO组装体系的应 

用。 

关键词:二次阳极氧化;氧化铝模板;纳米材料 

Fabrication and Application of AAO Template 

MO Run—wei . U 

(1 School of Chemistry and Chemical Engineering,Guizhou University,Guizhou Guiyang 550003; 

2 College of Science,Guizhou University,Guizhou Guiyang 550003,China) 

Abstract:Wide attention was received on using porous anodic alumina membrane as a template to prepare nano— 

structured materials.The process conditions for fabrication template were introduced.The morphologies and structures of 

the anodized aluminum films were characzterized by scanning electron microsopy(SEM).And finally,the application of 

AAO assembly system was introduced. 

空间应用的铝阳极氧化膜的制备

空间应用的铝阳极氧化膜的制备

杨金岭:精锻铝合金车轮(高级轿车)模具UG,cAD/CAM应用 技术工程/专利荟萃 

将加工出的模型与最终要求成品进行对比观察有 

无过切现象。 

(14)根据机床G代码类型如西门子、发那科 

等不同系统选择生产后处理程序生成G代码。 

(1 5)用传输机将后处理生成G代码文件传输 

到数控机床供机床使用。 

3结论 通过结合高级轿车精锻铝轮毂生产实际流程 

和举例应用UG NX进行锻造铝轮毂模具设计、制造 

CAD/CAM的分析研究,可以得出结论,要想降低 

企业生产成本、提高设计精度、缩短设计周期、 

提高生产效率、增强企业竞争力必须有好的设计 

工具,通过学习和引进国内外设计软件对提高我 

国企业精锻铝合金设计、制造工作具有巨大帮助 

的。 

Application of UG/CAD/CAM to Die of Aluminum Forged Wheel 

f0r Limousine Car 

YANG Jin-ling 

(CITIC Dicastal Wheel Manufacturing Co.,LTD,Qinghuangdao 06601 1,China) 

Abstract:The feasibility and superiority of using UG NX software platform to design and manufacture the die of forged wheel for 

limousine car were described. 

Keywords:UG NX;limousine car;aluminum alloy wheel;design and manufacturing of forging die;CAD/CAM 

空间应用的铝阳极氧化膜的制备 

美国专乖0 U¥6228241一B1 

本专利介绍的一种制备供空间应用的铝阳极氧化膜的方法包括以下步骤:1)将铝合金基体进行阳极氧化处理,以在 

AAO模板的制备及其应用 2

AAO模板的制备及其应用 2

80材料导报2008年8月第22卷专辑Ⅺ

AAO模板的制备及其应用*

李晓洁,张海明,胡国锋,李育洁

(天津工业大学理学院,天津300160)

摘要阳极氧化铝模板由于其价廉,制备工艺简单,以及特殊的结构和多样的组装方法得到了广泛的研究和应用。主要阐述了AAO模板的制备、影响因素,及其在纳米组装体系中的应用,包括量子点、纳米线、纳米管和“同轴电

缆式”层状纳米材料等,介绍了AAO组装体系的应用,最后提出了AAO模板的潜在发展。

关键词二次阳极氧化氧化铝模板纳米材料中图分类号:0611

FabricationandApplicationofAAOTemplate

LIXiaojie,ZHANGHaiming,HUGuofeng,LIYujie

(CollegeofScience,TianjinPolytechnicUniversity,Tianjin300160)

AbstractBecauseofitslowcost,simplepreparationtechnology,aswellasitsspecialstructureandvarious

assemblymethods.theAAOtemplatehasbeenwidelyresearchedandused.Thispapermainlyelaboratestheprepara—

tion,influencingfactorsoftheAAOtemplate,anditsapplicationinthenano-assemblysystem,includingquantumdot,nanowire,nanotube,andcoaxialcablelaminarnano-materialsandSOOil,Thisarticlealsointroducestheapplicationof

AAOassemblysystemandfinallyproposesthepotentialdevelopmentoftheAAOtemplate.

高度有序多孔阳极氧化铝模板的制备研究

高度有序多孔阳极氧化铝模板的制备研究

科技・探索・争鸣 Science&Technology Vision 科技视界 项目棚 

高度有序多孔阳极氧化铝模板的制备研究 

杨洁程志远翟顺林雅婷 

(南京理工大学化工学院,江苏南京210094) 

【摘要】多孔阳极氧化铝PAA作为模板在纳米材料制备和研究中获得了广泛应用。通常在草酸溶液中得到是小孔径的高度有序的PAA 模板.而在磷酸溶液中得到的大孔径的PAA模板有序度较差。为了得到高度有序的大孔径模板,本文在磷酸溶液中研究了高度有序模板的制 

备工艺 结果.通过压印技术和低浓度磷酸的混合溶剂电解液中的阳极氧化可以得到大孔径且高度有序的PAA模板。 

【关键词】纳米多孔材料;阳极氧化;电解液;纳米模板 

I Abstract]Porous anodie alumina(PAA]has been widely applied as tempiates in the nanomaterial synthesis and nanoteehnology studies.In genera1.small diameter and highly ordered PAA template sail be obtained in oxalic acid solution,whereas,low ordered PAA template is obtained in 

phosphorus acid solution.In order to obtain big diameter and highly ordered PAA template,the preparation nanoteehnologies were investigated in the phosphorus acid solution.The results show that big diameter and highly ordered PAA template can be obtained by nano-imprinting technology and 

阳极氧化铝模板法制备氧化铝纳米线——一篇配合高中化学新课标教材的阅读材料

阳极氧化铝模板法制备氧化铝纳米线——一篇配合高中化学新课标教材的阅读材料

・92・ 科学教育Science Education 2009年第6期(第l5卷) 

阳极氧化铝模板法制备氧化铝纳米线 

一篇配合高中化学新课标教材的阅读材料 

李 艳 王明召 (北京师范大学化学学院loo875) 

摘要在新课改高中化学教材中,有关纳米材料的知识频频出现,体现了中学化学与现代化学的联系。为配合新教 材的实施,本文作者编写了这篇学生阅读材料,介绍制备氧化铝纳米线的一种电化学方法——阳极氧化铝模板法,供 

一线教师选用。 关键词高中化学氧化铝纳米线制备阳极氧化铝模板法 

一维纳米材料指在两维方向上为纳米尺度,长度 

为宏观尺度的新型纳米材料,如纳米线和纳米管等,这 

种材料不仅在基础理论研究方面对于探索材料的维数 

和尺寸对其光学、电学和力学等性质的影响有很大的 

研究价值,而且其实际应用涉及领域十分广泛,如制成 

探针显微镜的针尖、连接纳米电子器件等¨l2】。对于纳 

米线,制备方法主导着当前的研究趋势。目前有多种 

方法制备纳米线,包括物理方法(如电弧法、催化热解 

法、激光烧蚀法、气相蒸发冷凝法)和化学方法(如化学 

气相沉积法、溶液法、模板合成) j,本文介绍近年的 

一个研究热点——模板法。模板法利用孔径为纳米级 

到微米级的多孔材料作为模板,模板为在厚度为几十 

至几百微米厚的膜上含有高密度的纳米柱形洞,结合 

电化学沉积、化学沉积、现场聚合、溶胶一凝胶法和化 

学气相沉积等技术,使物质的原子或离子沉积在模板 

的孔壁上,形成所需要的纳米结构体或纳米管。用该 

方法制作的纳米材料具有与模板孔腔相似的结构特 

征,并且如果模板的孔性均匀性较好,所合成纳米材料 

的均匀性就好,这是该项技术的一个优势 J。其中,阳 

极氧化铝(AAO)模板法可方便地制得孔径可控、孔密 

度高、孔阵列高度有序的多孔铝阳极氧化膜,成本低 

廉,成为一种倍受关注的纳米技术 “ 。纳米氧化铝 

模板可用阳极氧化法制得,其孔径大小可调,尺寸分布 

和内部孔间距有相对规则的结构,具有优异的热稳定 

大长径比有序多孔阳极氧化铝模板的制备及用于镍纳米线阵列

大长径比有序多孔阳极氧化铝模板的制备及用于镍纳米线阵列

物理化学学 ̄E(Wuti Huaxue Xuebao1 

Acta .一Chim.Sin.2012,28(6),1 545—1 550 l545 

[Article] doi:10.3866/PKU.WHXB201203026 www.whxb.pku.edu.cn 

大长径比有序多 ̄LI]IEI极氧化铝模板的制备及用于镍纳米线阵列 

张华 胡耀娟 吴萍 张卉 蔡称心 

(南京师范大学化学与材料科学学院,江苏省新型动力电池重点实验室,南京210046) 

摘要:报道一种恒电流二次氧化制备大长径IZ(>Iooo) ̄EI极氧化铝(AAO)模板的方法,研究氧化时间和氧化电 

流密度分别对制备的AAO模板的表面形貌、孔径大小、厚度等的影响.结果表明,AAO模板的表面形貌及厚度 

受氧化电流密度及氧化时间的影响:当氧化电流密度为8 mA・cm 时,氧化18 h能制备出孔径为150—200 

nm、厚度约为200 pm、长径比为100—1300的高质量AAO模板.采用电化学沉积方法在制备的AAO模板的孔 

中成功制备了Ni纳米线阵列,分别用扫描电镜(SEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)、X射线衍射(×RD)和X射线 

能量散射光谱(EDS)对其进行了表征:结果显示,制备的Ni纳米线排列整齐有序,每根Ni纳米线直径几乎相 

同,约150 nm,长度约为180—200 um,长径比为1200—1300,与AAO模板的参数一致.研究了Ni纳米线阵列 

的长径比对其磁性能的影响,发现大长径比的Nj纳米线阵列具有明显的磁各向异性,而长径比约为200的Nj 

纳米线阵列未表现出明显的磁各向异性.本文结果表明,恒电流二次氧化方法能制备大长径比的AAO模板,并 

能用于制备大长径比的一维纳米材料阵列.可望在制备具有特殊光学、磁学等性能材料方面得到应用. 

关键词: 阳极氧化铝模板: 一维纳米材料: 镍纳米线阵列: 二次恒电流氧化; 电化学沉积 

中图分类号:0648 

aao反应池反应原理

aao反应池反应原理

AAO反应池是指基于阳极氧化铝(Anodic Aluminum Oxide,AAO)模板技术制备的纳米反应池。AAO反应池具有高度有序的纳米孔阵列结构,因此被广泛应用于纳米材料制备、生物传感器、催化剂等领域。

AAO反应池反应原理涉及到两个主要过程:模板制备和模板使用。模板制备过程包括铝箔阳极氧化和模板脱离两个步骤。在铝箔阳极氧化过程中,铝箔作为阳极,被电解液中的氧化剂氧化,形成氧化铝层。氧化铝层的厚度和孔径可以通过调节电解液成分和电解条件来控制,从而得到不同尺寸和密度的纳米孔阵列。模板脱离过程是将氧化铝层从铝箔上剥离,得到纳米孔阵列模板。

模板使用过程是将需要制备的材料通过模板孔道进行填充、沉积等过程,得到具有高度有序结构的纳米材料。例如,通过在模板孔道中填充金属前体,然后通过热处理或还原等方法将金属前体转化为金属,可以制备出具有高度有序结构的纳米金属材料。此外,通过在模板孔道中填充有机物或矿物质等物质,也可以制备出具有复杂结构的纳米材料。

总之,AAO反应池反应原理是基于具有高度有序孔道结构的氧化铝模板制备纳米材料,具有广泛的应用前景。

铝合金阳极氧化膜制备虚拟仿真实验报告

铝合金阳极氧化膜制备虚拟仿真实验报告

1. 背景

1.1 阳极氧化膜的概念和应用

阳极氧化膜是一种通过电化学方法在铝合金表面形成的一层氧化膜。该氧化膜具有良好的耐腐蚀性、硬度和装饰性,因此在航空航天、汽车、建筑等领域得到广泛应用。

1.2 虚拟仿真实验的优势

传统的阳极氧化膜制备实验通常需要耗费大量时间和资源,而虚拟仿真实验可以通过计算机模拟来模拟实验过程,具有成本低、时间短、灵活性高等优势。因此,虚拟仿真实验成为研究和优化阳极氧化膜制备过程的重要手段。

2. 分析

2.1 实验目的

本次虚拟仿真实验的目的是通过调节阳极氧化膜制备过程中的工艺参数,探究对氧化膜的形貌和性能的影响,为阳极氧化膜制备工艺的优化提供依据。

2.2 实验步骤

本次虚拟仿真实验主要包括以下步骤:

1. 准备铝合金试样和电解液。

2. 设定阳极氧化膜制备过程中的工艺参数,如电压、电流密度、电解液浓度等。

3. 开始仿真实验,模拟阳极氧化膜的形成过程。

4. 观察和记录氧化膜的形貌和性能指标。

5. 分析实验结果,探究各工艺参数对氧化膜性能的影响。

2.3 实验参数

本次虚拟仿真实验中,可以调节的工艺参数包括:

• 电压:调节电压可以控制氧化膜的厚度和颜色。

• 电流密度:调节电流密度可以影响氧化膜的致密性和硬度。

• 电解液浓度:调节电解液浓度可以改变氧化膜的形貌和成分。

2.4 实验结果分析

通过对实验结果的分析,可以得出以下结论: 1. 随着电压的增加,氧化膜的厚度增加,颜色由浅变深。

2. 随着电流密度的增加,氧化膜的致密性和硬度增加。

3. 随着电解液浓度的增加,氧化膜的形貌和成分发生变化。

3. 结果和建议

3.1 实验结果

根据实验结果,我们得到了不同工艺参数下的阳极氧化膜的形貌和性能指标。具体结果如下:

电压(V) 电流密度(A/cm²) 电解液浓度(mol/L) 氧化膜厚度(μm) 氧化膜颜色 氧化膜硬度(HV)

管状阳极氧化铝模板的表面氧化应力分析及其应用研究

财 抖 2013年第12期(44)卷 文章编号:1001—9731(2013)12—1690—04 管状阳极氧化铝模板的表面氧化应力分析及其应用研究 乐 松 。,章 园 (1.暨南大学物理系,广东广州510632;2.暨南大学思源实验室,广东广州510632) 摘 要: 通过对高纯铝片预制铝管分别进行“外表面 阳极氧化”(外氧化)和“内表面阳极氧化”(内氧化)制 备了管状多孔氧化铝模板(AA()),考察了氧化过程中 Al/A1。O。界面的应力影响。实验直观表明,“外氧化” 过程中AI/Al ()。界面产生拉伸应力易导致管状模板 产生轴向裂纹;而“内氧化”过程中A1/Al O。界面产 生压缩应力使管状模板更加紧密而不易破裂。研究结 果表明,A1/Al O。界面上拉伸应力的有效释放是获得 无裂纹管状阳极氧化铝模板的关键。最后,利用管状 氧化铝模板制备了放射状Cu纳米线阵列,并对其在 膜渗透方面的应用进行了初步尝试。 关键词: 阳极氧化铝;管状模板;微孔材料;纳米线; 滤透 中图分类号:0734 文献标识码:A DOI:10.3969/j.issn.1001—9731.2013.12.004 1 引 言 阳极氧化铝(AAO)模板已被广泛应用于纳米材 料合成、超微过滤与传感器件领域 ]。由于其良好的 化学稳定性与热稳定性,AAO模板可用于较复杂的环 境,如高温、酸性电解质。AAO模板的孔径、厚度、孑L 间距等参数均能通过电解电压、阳极氧化时间、电解液 浓度、电解液温度等进行有效调节以满足应用所需。 相对于AAO模板的大量应用实践,对AAO模板自身 性能的研究相对较少。人们对AAO模板的发光性质 与机制展开了较为细致的研究[6 ]。本文实验发现, AAO模板的结晶温度与其厚度密切相关 ]。 随着AAO模板应用手段的不断进步,其局限性 也日益凸显。例如,利用普通的二维平面AA0模板 难以制备出结构较为复杂或者三维的纳米结构[1 。 近年来,人们开始尝试制备三维AAO模板。Jha等利 用激光辐照在AAO薄膜上生成微米量级的微结 构口 。Itoh等首次利用铝管制备管状AAO模板,利 用其进行了气体分离,并发现管状模板在制备过程中 容易出现轴向裂纹口 ]。随后,他们尝试用铝管壁“内 氧化”(阳极氧化在铝管内壁进行)代替“外氧化”(阳极 氧化在铝管外壁进行),发现所制备管状AAO模板的 机械性能有了显著提高但制备工艺复杂 。Gong等 尝试利用管状AAO模板进行分子缓释控制,显示了 其在生物医药领域的潜在应用 。Yoo等制备出圆 柱状和五边形管状AAO模板但模板有序度较低 。 Sanz等对微米一毫米直径铝丝进行阳极氧化得到微型 管状AAO模板,并通过电沉积方式得到放射状分布 的Ni、Co纳米线阵列,但模板的制备与应用效率偏 低 引。 在阳极氧化过程中,Al被氧化成Al ()。体积膨 胀,Al/Al O。界面因此产生内部应力。一般认为,A1/ Al O。界面应力是造成管状AAO模板“内氧化”与 “外氧化”不同表现的根源。“外氧化”过程中,A1/ Al O。界面产生拉伸应力易导致管状模板产生轴向裂 纹;“内氧化”过程中,Al/Al。()。界面产生压缩应力使 管状模板更加紧密而不易破裂[1 。“内氧化”对管状 AAO模板的制备无疑更加有利,但往往受到所使用铝 材、阴极电极尺寸、电解液与电解电流均匀性难以保证 等条件的限制,导致制备困难或模板有序度偏低。最 近的研究中,利用高纯铝片预制铝管,运用四电极体系 进行“外氧化”,仅通过调节二次氧化时间,成功制备出 迄今有序度最高、多种几何构型的无裂纹管状AAO 模板 。 由于此前管状AAO模板的制备几乎都是在封闭 曲面内进行,阳极氧化过程中A1/Al。O。界面应力的 影响只能通过模板裂纹来推断,缺乏进一步指认。本 文尝试在开环预制铝管上制备管状AAO模板,分别 考察“外氧化”与“内氧化”对开环铝管的作用效果,直 观表现了Al/Al O。界面应力对管状AA()模板的影 响。还利用管状AAO模板制备了宏观尺度上放射状 的Cu纳米线阵列,有利于其将来更规模化的制备与 更广泛的应用。最后,尝试了管状AA()模板在微滤 方面的实用。 2 实 验 2.1 模板制备 将高纯铝片(纯度99.999 ,厚度约0.2ram)于马 弗炉中500。C下退火5h,缓慢冷却后裁剪,弯成圆形管 基金项目:国家自然科学基金资助项目(11004083);教育部科学技术研究重点资助项目(210258);中央高校基本科研业务费专 项资金资助项目(11611411) 收到初稿日期:2012—10—08 收到修改稿日期:201 2—11—30 通讯作者:乐 松 作者简介:乐松 (1977一),男,湖北黄石人,博士,副教授,主要从事无机功能材料研究。

aao 工艺流程

aao 工艺流程

AAO工艺流程是一种用于制备纳米孔结构的工艺技术,主要以铝材料为模板,通过阳极氧化的方法制备高阻抗模板,然后通过电化学蚀刻的方法得到所需的纳米孔结构。下面将详细介绍AAO工艺流程的步骤。

首先,选择合适的氧化铝基板作为制备纳米孔结构的模板材料。一般情况下,铝材料具有较高的氧化层质量,可以实现高质量的模板制备。

接下来,将铝基板进行阳极氧化处理。阳极氧化是将铝基板浸泡在电解液中,通过电流作用产生的氧化反应形成氧化层。在氧化过程中,通过控制电压、电流密度和氧化时间等参数,可以得到所需的氧化层厚度。氧化层的厚度决定了最终纳米孔的尺寸。

然后,将经过氧化的铝基板进行蚀刻。蚀刻是通过电化学方法去除铝基板上的氧化层,形成纳米孔结构。蚀刻过程中,电解液中的离子通过氧化层的孔隙进入铝基板内部,同时铝基板上的氧化层被还原为铝金属,最终得到纳米孔结构。

最后,经过蚀刻之后,需要对纳米孔结构进行清洗和处理。清洗是去除蚀刻过程中产生的残留物和杂质,保证纳米孔表面的纯净度。处理是对纳米孔结构进行表面修饰的过程,可以通过化学沉积、电镀等方法对纳米孔进行填充或修饰,使其具有特定的功能和性能。

总结起来,AAO工艺流程包括铝基板的阳极氧化、蚀刻、清洗和处理四个主要步骤。通过控制不同的工艺参数和条件,可以得到不同孔径和间距的纳米孔结构。AAO工艺流程具有工艺简单、成本低廉和可批量生产等优点,对于制备纳米颗粒、纳米线、纳米棒等纳米结构具有重要意义,并在材料科学、能源领域等领域得到广泛应用。

  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
相关文档
最新文档