【CN110224685A】一种单晶薄膜体声波滤波器及其微细加工方法【专利】
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日
(21)申请号 201910393152.5
(22)申请日 2019.05.13
(71)申请人 电子科技大学地址 611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号
(72)发明人 罗文博 吴传贵 帅垚
(74)专利代理机构 电子科技大学专利中心 51203代理人 闫树平
(51)Int.Cl.H03H 9/56(2006.01)H03H 9/17(2006.01)H03H 9/02(2006.01)
(54)发明名称一种单晶薄膜体声波滤波器及其微细加工方法(57)摘要本发明提供一种单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，包括如下步骤：采用晶圆键合转移方法制备单晶压电薄膜材料，所述单晶压电薄膜材料包括自上而下依次设置的表面损伤层、表面粗糙层、频率调控层、压电层，去除所述表面损伤层，去除所述表面粗糙层，调节所述频率调控层的厚度，即可。本发明所述的单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，实现了对单晶压电薄膜结构的厚度以及表面形貌的精准控制，从而使得在提高单晶压电薄膜的结构与压电性能的同时，也实现对单晶薄膜体声波滤波器频率的精确控制，最终实现对薄膜体声波滤波器的中心频率的
精准调频。
权利要求书3页 说明书11页 附图3页CN 110224685 A2019.09.10
CN 110224685
A1.一种单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)采用晶圆键合转移方法制备单晶压电薄膜材料，所述单晶压电薄膜材料包括自上
而下依次设置的表面损伤层、表面粗糙层、频率调控层、压电层；
(2)取步骤(1)中得到的所述单晶压电薄膜材料，去除所述表面损伤层；
(3)取步骤(2)中得到的所述单晶压电薄膜材料，去除所述表面粗糙层；
(4)取步骤(3)中得到的所述单晶压电薄膜材料，调节所述频率调控层的厚度，即可。
2.根据权利要求1所述的单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，其特征在于，步骤
(1)中，所述晶圆键合转移方法具体包括如下步骤：取经过离子注入的单晶压电晶圆，在单
晶压电晶圆的注入表面或/和衬底一侧表面制备键合层，将制备有键合层的所述单晶压电
晶圆与衬底进行键合，将键合至所述衬底的所述单晶压电晶圆进行退火，使所述单晶压电
晶圆沿注入离子产生的损伤层产生劈裂，得到单晶压电薄膜材料。
3.根据权利要求2所述的单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，其特征在于：
所述单晶压电晶圆为石英、铌酸锂、钽酸锂、氮化铝、氧化锌、钛酸钡、磷酸二氢钾、铌镁
酸铅中的一种；
所述单晶压电晶圆注入的离子为H离子、He离子、B离子、As离子中的一种或多种；注入
离子的能量为100KeV-2000KeV；注入剂量为2-8×1016/cm2；离子束流为0.1-10μA/cm-2；注
入深度为0.3-5μm；
优选地，单晶压电晶圆为铌酸锂，注入离子为He离子，注入能量为500KeV，注入的离子
最大浓度深度为1300-1500nm，得到的所述表面损伤层为150-155nm；
注入能量为700KeV，注入的离子最大浓度深度为1700-1900nm，得到的所述表面损伤层
为155-160nm；
注入能量为1000KeV，注入的离子最大浓度深度为2300-2600nm，得到的所述表面损伤
层为165-170nm。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，其特
征在于：步骤(2)中，采用Ar+刻蚀法去除所述表面损伤层；
其中，刻蚀速率为2nm/min-30nm/min；刻蚀的加速电压为20V-500V；刻蚀的束流电压为
100V-1100V；
优选地，当所述表面损伤层的厚度为150-155nm时，刻蚀速率为2nm/min-15nm/min，刻
蚀的加速电压为20V-100V，刻蚀的束流电压为100V-500V；
当所述表面损伤层的厚度为155-160nm时，刻蚀速率为2nm/min-20nm/min，刻蚀的加速
电压为20V-120V，刻蚀的束流电压为100V-600V；
当所述表面损伤层的厚度为165-170nm时，刻蚀速率为2nm/min-25nm/min，刻蚀的加速
电压为20V-140V，刻蚀的束流电压为100V-700V。
5.根据权利要求1-3中任意一项所述的单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，其特
征在于，步骤(3)中，采用Ar+刻蚀法去除所述表面粗糙层；
其中，刻蚀速率为2nm/min-20nm/min；刻蚀的加速的电压为20V-120V；刻蚀的束流电压
为100V-600V；
优选地，当所述表面损伤层去除后的表面粗糙度为10-15nm时，刻蚀速率为2nm/min-
10nm/min，刻蚀的加速电压为20V-80V，刻蚀的束流电压为100V-400V，
刻蚀后的表面粗糙度权 利 要 求 书1/3页
2CN 110224685 A
一阶滤波器的作用
一阶滤波器的作用
一阶滤波器是电子电路中常用的一种滤波器，它的作用是通过对输入信号的滤波，去除干扰信号，同时保留所需信号，使其得到处理或传输。
一阶滤波器的作用主要分为以下几个方面：
1.滤除高频噪声信号
高频噪声信号是在很多电子电路中都存在的，如果不处理，就会影响电路的正常工作。一阶滤波器可以将高频噪声信号滤除，只传递低频有用信号，从而达到抑制噪声信号的目的。
2.平滑输入信号
一些输入信号中可能存在突变和波动，如果不进行处理，会导致接收和传输误差。一阶滤波器能够平滑这些波动，使输入信号更加平稳，从而更好地进行传输和处理。
3.去除直流信号
有些输入信号是包含着直流信号的，如温度传感器输出的信号、电池电压与电流等，这些信号不用于计算和分析，若不加处理会影响读数的精度。一阶滤波器可以去除直流信号，使只剩下所需分析的信号。
4.滤波信号
在电子电路中，一些干扰信号会随着输入信号的增加而增加，这些干扰信号会影响信号的质量和传输效果。一阶滤波器可以对这些干扰信号进行滤波，把所需的信号从干扰中分离出来。
5.调整信号的幅度
一些信号在传输或处理过程中，幅度可能发生变化。一阶滤波器可以通过调整传输信号的幅度，使信号的幅度保持稳定，从而保证信号在传输和处理过程中的准确性。
综上所述，一阶滤波器在电子电路中作用重大。它不仅能够去除噪声信号和干扰信号，还能平滑输入信号、去除直流信号、滤波信号以及调整信号的幅度，从而实现对信号的全面处理和准确分析。在现代化的电子电路中，一阶滤波器的应用越来越广泛，为电子电路的正常工作和性能的提高提供了重要的保障。
滤波器的原理、种类及划分
一、滤波器的原理
射频滤波器定义：
凡是可以使信号中特定的频率成分通过，而极大地衰减或抑制其他频率成分的装置或系统都称之为滤波器，相当于频率“筛子”。
滤波器是一种选频装置，可以使信号中特定的频率成分通过，而极大地衰减其它频率成分。在测试装置中，利用滤波器的这种选频作用，可以滤除干扰噪声或进行频谱分析。
广义地讲，任何一种信息传输的通道（媒质）都可视为是一种滤波器。因为，任何装置的响应特性都是激励频率的函数，都可用频域函数描述其传输特性。因此，构成测试系统的任何一个环节，诸如机械系统、电气网络、仪器仪表甚至连接导线等等，都将在一定频率范围内，按其频域特性，对所通过的信号进行变换与处理。
二、滤波器分类
1、根据频率特性（幅频特性与相频特性），可分为带通滤波器、带阻滤波器、带通滤波器、低通滤波器以及高通滤波器。
⑴ 带通滤波器
它的通频带在f1～f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分可以不受衰减地通过，而其它成分受到衰减。
带通滤波器（中间通，两边不通）
（2）带阻滤波器
与带通滤波相反，阻带在频率f1～f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分受到衰减，其余频率成分的信号几乎不受衰减地通过。
带阻滤波器（中间不通，两边通）
（3）低通滤波器
从0～f2频率之间，幅频特性平直，它可以使信号中低于f2的频率成分几乎不受衰减地通过，而高于f2的频率成分受到极大地衰减。
低通滤波器（低频率通过）
（4）高通滤波器
与低通滤波相反，从频率f1～∞，其幅频特性平直。它使信号中高于f1的频率成分几乎不受衰减地通过，而低于f1的频率成分将受到极大地衰减。
高通滤波器（高频率通过）
低通滤波器和高通滤波器是滤波器的两种最基本的形式，其它的滤波器都可以分解为这两种类型的滤波器，例如：低通滤波器与高通滤波器的串联为带通滤波器，低通滤波器与高通滤波器的并联为带阻滤波器。
三、滤波器的作用
将有用的信号与噪声分离，提高信号的抗干扰性及信噪比；
傅里叶滤波器原理
傅里叶滤波器原理
傅里叶滤波器是信号处理领域中常用的一种滤波器，它基于傅里叶变换的原理，用于对信号进行频域滤波。它的主要作用是从一个信号中提取出特定频率范围内的成分，同时抑制其他频率范围的成分。
傅里叶变换是一种将信号从时域转换到频域的数学工具，它将一个信号表示为不同频率的正弦波的叠加。傅里叶变换的结果可以看作是信号在频域上的表示，其中包含了信号中各个频率成分的信息。
傅里叶滤波器的原理就是基于傅里叶变换的思想。首先，将需要滤波的信号进行傅里叶变换，得到信号的频域表示。然后，根据滤波器的设计要求，选择相应的频率范围，在频域上将不需要的频率成分置零，保留需要的频率成分。最后，将处理后的频域表示进行傅里叶逆变换，将信号转换回时域。
傅里叶滤波器的设计和实现可以使用不同的方法，包括理想滤波器、巴特沃斯滤波器、高斯滤波器等。这些滤波器的设计原理和性能表现各有不同，根据具体的应用需求选择合适的滤波器。
理想滤波器是最简单的一种滤波器，它将需要保留的频率范围内的信号保持不变，将其他频率范围内的信号完全消除。然而，理想滤波器在频域上产生了无限大的振荡，在时域上会引起振铃现象，因此在实际应用中很少使用。
相比之下，巴特沃斯滤波器和高斯滤波器是更常用的滤波器设计方法。巴特沃斯滤波器在频域上具有平滑的过渡带宽，能够有效抑制不需要的频率成分，但在过渡带宽内会有一定的波纹，因此适用于对滤波器性能要求较高的应用。而高斯滤波器则以高斯函数为基础，具有较好的频率响应特性，适用于对滤波器性能要求不太严格的应用。
除了滤波器的设计方法，滤波器的性能指标也是衡量滤波器效果的重要因素。常见的性能指标包括截止频率、通带增益、阻带衰减等。根据不同的应用需求，可以选取合适的性能指标来设计滤波器，以达到理想的滤波效果。
傅里叶滤波器在信号处理中有着广泛的应用。例如，在音频处理中，可以使用傅里叶滤波器来去除噪声、提取音频特征等。在图像处理中，傅里叶滤波器可以用于图像增强、边缘检测等。此外，傅里叶滤波器还可以应用于通信系统、雷达信号处理、生物医学信号处理等领域。
一种人工等离激元型微波带通滤波器的研究
一种人工等离激元型微波带通滤波器的研究
晏伯武
【摘 要】移动通讯需要大量用于微波选频的高性能滤波器,随着频率的升高,迫使器件尺寸小型化,但小型化到一定的程度时,电磁干扰噪声、RC延迟等达到极限导致器件不能稳定工作,为此探索人工表面等离激元型微波器的设计和运用具有较高的研究价值.通过特殊的结构设计设计了一种金属微带加载的人工等离激元型微波带通滤波器,采用时域有限差分方法对该样品的滤波特性曲线进行计算.结果表明该滤波器通带内电磁场的分布主要局域于金属微带加载凹槽周围,避免电磁场强烈反射,传输损耗低,大大提高了滤波器工作时的抗电磁干扰能力,表明人工等离激元型微波带通滤波器得到较好的实现.
【期刊名称】《湖北理工学院学报》
【年(卷),期】2017(033)004
【总页数】4页(P1-4)
【关键词】带通滤波器;人工等离激元;传输损耗;电磁干扰
【作 者】晏伯武
【作者单位】湖北理工学院 计算机学院,湖北 黄石435003
【正文语种】中 文
【中图分类】TN713
大数据时代，随着信息需求量爆炸式地增长，移动通讯领域要求能制造出集成度更高的微波器件。现今频谱资源越来越拥挤，故对频率的选择要求更高，更需要大量用于选频的高性能滤波器。然而随着高频集成电路尺寸的不断缩小，技术上出现了一系列问题，如当微波器件的尺寸小到一定的程度时，器件的电磁干扰噪声、RC延迟等达到极限导致器件工作不稳定，因此现有的微波器件已不能适应当今大规模微波集成电路的发展需求[1-3]。为了克服这一困难，采用表面等离激元型微波器件将是一种有效的解决方案。等离激元是固体中价电子相对于离子实的纵向振荡波的量子，是固体中电子-电子互作用系统的集体性元激发。其主要特征是：在宏观尺度上保持整体的电中性，平衡时各处的正、负电荷密度相等。而表面等离激元(Surface Plasmon Polaritons，SPPs)则是高度束缚于介质和金属界面的表面电磁波，它在沿着金属介质表面上呈传播态，而在金属介质界面的法向则呈指数衰减态。由于金属中的等离激元共振频率是处在可见光和红外频段，因此，SPPs电磁场最初只能用在光频段来克服光的衍射极限和缩小光学器件的物理尺寸[4-6]。 可是，在低于光频段的太赫兹和微波频段，SPPs电磁场不能在介质和金属的界面上传播，因为此时的金属具有大的负介电常数，类似理想导体的性质，不能支持等离激元共振。这一困难直到2004年才由英国帝国理工大学的Pendry教授首次解决。他发明了一种周期性的金属开槽结构，这种结构在微波频段具有类似于光频段的等离激元共振的特点，同样具有截止频率和色散特性，并具有将传统Sommerfeld或Zenneck表面电磁场转换为高度束缚的等离激元型电磁场的特点，因此，这种结构又被称为人工等离激元型电磁场(Spoof Surface Plasmon Polaritons，SSPPs)。
一阶互补滤波原理
一阶互补滤波原理
一阶互补滤波原理
在电子领域中，互补滤波器被广泛应用于不同的技术领域中。它是一种现代滤波器，用于减小系统中所需可用带宽的数量并降低噪音。本文将着重介绍一阶互补滤波器的原理和应用。
一、互补滤波器简介
互补滤波器是一种用于降低信号噪音和提高系统性能的主要装置。它是利用了两个滤波器的相互补充特性，并通过相应的电路元件来构建一个新的滤波器，在信号处理的过程中实现了两个滤波器的共同作用。互补滤波器通常由两个滤波器组成，一个是高通滤波器，另一个是低通滤波器。高通滤波器通常用于去除低频信号，而低通滤波器通常用于去除高频信号。
二、一阶互补滤波器原理
一阶互补滤波器是一种常见的互补滤波器，它是由一个微分器和积分器组成。微分器将输入信号进行微分，而积分器将经过微分器处理后的信号进行积分，然后将两个信号加减后输出。由于微分器和积分器的特性可以互相抵消，因此可以同时实现带通滤波和降低噪音的效果，这使得一阶互补滤波器在信号处理中具有非常广泛的应用。
三、一阶互补滤波器的应用
一阶互补滤波器具有带通滤波和降噪的功能，因此被广泛应用于多种领域中，例如:
1.音频处理。在音频处理中，一阶互补滤波器常用于去除白噪声以及其他低频信号。
2.机器人控制。在机器人控制应用中，一阶互补滤波器可用于处理来自各种传感器的信号，以优化机器人运动的平稳性和精度。
3.医疗诊断。在医疗诊断方面，一阶互补滤波器可用于处理心电图信号以及其他生理信号，以提高信号质量和诊断准确性。
总之，一阶互补滤波器的效果优异，已经在多个领域获得了广泛的应用。因此，在实际应用中，我们应该掌握其原理和应用方法，以便更好地发挥其优势。
一阶低通滤波器算法
一阶低通滤波器算法
低通滤波器是一种常用的信号处理工具，它可以滤除高频信号，只保留低频信号。一阶低通滤波器算法是一种简单但有效的滤波方法，本文将介绍其原理、应用和实现步骤。
一、原理
一阶低通滤波器算法基于RC电路的工作原理，它通过电容和电阻的组合来实现滤波效果。当输入信号经过电容和电阻后，高频信号将被衰减，而低频信号则更容易通过，从而实现滤波的目的。
二、应用
一阶低通滤波器广泛应用于音频处理、图像处理、通信系统等领域。在音频处理中，它可以滤除噪声，提升音质；在图像处理中，它可以平滑图像，去除图像中的噪点；在通信系统中，它可以滤除干扰信号，提高信号的可靠性。
三、实现步骤
1. 设计RC电路参数：选择合适的电容和电阻数值，以确定滤波器的截止频率。截止频率是指在该频率以下的信号将被滤除。
2. 将输入信号通过电阻连接到电容的一端，另一端与地连接。
3. 通过运算放大器将电容的另一端连接到输出端。
4. 根据电容和电阻的数值计算滤波器的截止频率。
5. 根据所需的滤波效果，可以对滤波器进行进一步调整，如增加放大倍数、改变电容和电阻的数值等。
四、优缺点
一阶低通滤波器算法的优点是简单、易于实现，并且具有较低的成本。它在一定频率范围内能够有效滤除高频信号，适用于一些对滤波效果要求不高的场景。
然而，一阶低通滤波器算法也存在一些缺点。首先，其滤波效果相对较弱，无法滤除较高频率的信号。其次，由于电容和电阻的存在，滤波器会引入一定的相位延迟，可能影响实时性要求较高的应用。
五、总结
一阶低通滤波器算法是一种简单而实用的滤波方法，可以在一定程度上滤除高频信号，保留低频信号。它广泛应用于音频处理、图像处理和通信系统等领域。尽管一阶低通滤波器算法具有一些缺点，但在满足一定要求的场景下，它仍然是一种值得采用的滤波方法。
值得注意的是，滤波器的设计和实现需要根据具体的应用需求进行调整，选择合适的电容、电阻数值和滤波器参数。此外，对于更高要求的滤波效果，可以考虑使用更高阶的滤波器算法或者结合其他滤波方法进行处理。
一阶数字滤波器算法
一阶数字滤波器算法
一阶数字滤波器算法常用的有巴特沃斯滤波器、一阶滑动平均滤波器和一阶指数加权滤波器。以下是这几种滤波器的算法描述：
1. 巴特沃斯滤波器（Butterworth Filter）：
巴特沃斯滤波器是一种常用的无纹波滤波器，其算法如下：
- 设输入信号为x，输出信号为y，滤波器的阶数为n，截止频率为fc。
- 初始化y为0。
- 对于每个输入样本xi，进行以下操作：
- 计算y = (1 / (1 + (xi / fc)^2n)) * (y + xi)。
2. 一阶滑动平均滤波器（First-order Moving Average
Filter）：
一阶滑动平均滤波器是一种简单的滤波器，其算法如下：
- 设输入信号为x，输出信号为y，滤波器的滑动窗口大小为N。
- 初始化y为0。
- 对于每个输入样本xi，进行以下操作：
- 将xi加入到窗口中，并将最旧的样本移除。
- 计算y = (1 / N) * (y * N - oldest_sample + xi)。
3. 一阶指数加权滤波器（First-order Exponential Weighted
Filter）： 一阶指数加权滤波器是一种常用的滤波器，其算法如下：
- 设输入信号为x，输出信号为y，滤波器的平滑因子为alpha（范围为0到1）。
- 初始化y为0。
- 对于每个输入样本xi，进行以下操作：
- 计算y = alpha * xi + (1 - alpha) * y。
这些算法适用于数字滤波器的实现，具体使用哪种滤波器，取决于应用的要求和滤波器的特性。
积分滤波器原理(一)
积分滤波器原理(一)
积分滤波器原理
积分滤波器是一种常用的信号滤波器，其原理基于积分的数学概念。本文将介绍积分滤波器的原理及其应用。
什么是积分滤波器？
积分滤波器是一种对信号进行积分操作的滤波器，其输入信号通过积分运算后输出。积分滤波器可以将高频噪声滤除，同时保留低频信号。
积分滤波器的原理
积分滤波器的原理基于积分的数学概念。当一个连续信号通过积分器时，积分器会对其进行积分操作。积分的物理意义是对信号进行累加，并将其转化为一个更平滑的信号。
积分滤波器的输入输出关系可以表示为：
𝑦(𝑡)=1𝑇∫𝑥𝑡𝑡−𝑇(𝜏)𝑑𝜏
其中，𝑥(𝑡)是输入信号，𝑦(𝑡)是滤波后的输出信号，𝑇是积分器的时间常数。
当输入信号为纯直流信号时，积分器会将其输出为一个平稳的直流信号；当输入信号为非常规的矩形脉冲信号时，积分器将对其进行平滑处理，使其变得更加平缓。
积分滤波器的应用
积分滤波器广泛应用于信号处理中，特别是在滤除高频噪声时。在信号处理中，高频噪声往往会引入不良的影响，例如延迟、失真和频率偏移等。 积分滤波器可以有效地捕捉和去除高频噪声，保留低频信号。它广泛应用于语音和音频信号处理、控制系统和传感器信号处理等领域。
总结
积分滤波器是一种基于积分的滤波器，其原理基于积分的数学概念。积分滤波器主要用于滤除高频噪声，并保留低频信号。它在信号处理中具有广泛的应用。
积分滤波器的优缺点
积分滤波器具有以下优点：
• 可以有效地滤除高频噪声，保留低频信号
• 响应速度较快，不需要频率选择器等复杂的电路
• 需要少量的元件，易于实现
但积分滤波器也存在以下缺点：
• 需要非常准确的电容和电阻元件，且本身精度要求较高
• 存在漂移和温度漂移等问题
• 可能引入一些不必要的晃动和震荡信号
因此，在使用积分滤波器时，需要权衡其优缺点，并选择合适的电路设计和元件选择。
使用积分滤波器进行信号处理的步骤
一种简单的双折射光交错复用滤波器设计方法
一种简单的双折射光交错复用滤波器设计方法
张娟;王昌;方捻;黄肇明
【期刊名称】《光子学报》
【年(卷),期】2008(37)4
【摘 要】针对双折射光交错滤波器的设计,在傅里叶级数对比正向搜索法的基础上,发展了一种基于傅里叶级数的Cesaro方法的设计方法.利用该方法设计了三级级联的双折射光交错滤波器,计算方法更加简单,所获得的结构参量可以满足较高设计要求.
【总页数】4页(P691-694)
【关键词】光交错复用器;傅里叶级数;Cesaro方法;平顶
【作 者】张娟;王昌;方捻;黄肇明
【作者单位】上海大学通信与信息工程学院
【正文语种】中 文
【中图分类】TN929.11
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几种常用的抗干扰滤波器件介绍
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2009-10-20 11:19:00
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北京科力亚特电子有限公司 李 华
伴随电子技术的高速发展，电磁环境日益恶化，大量的电子设备在这种电磁环境中很难正常工作。另一方面，电子设备的迅速增加，又进一步导致电磁环境的恶化。因此，现代电子产品设计技术中，如何选用干扰抑制滤波器件，是我们每一位电子产品设计人员必须面对的问题，本文对此进行了详细的阐述。
1. 穿心电容器 - 馈通滤波器
馈通滤波器常用于移动通讯设备、雷达导航等一些高频处理模块中，与屏蔽结构体配合，处理输入或输出的低频信号，是其他形式的电容器不能替代的产品。现在电子线路的工作频率和周围环境中的电磁干扰频率越来越高，将滤波器安装在线路板上所暴露出的高频滤波不足的问题比较突出。要想在UHF或更高的频段获得更好的滤波效果，特别是保护屏蔽体不被穿透时，必须使用馈通型滤波器解决。馈通型滤波器安装在金属面板上，具有很低的接地阻抗，并且利用金属面板隔离滤波器的输入和输出，因此滤波器具有非常好的高频滤波效果。馈通滤波器的电路结构分为C 型（穿心电容）、L 形（一个穿心电容加一个电感）、T 形（两个电感加一个穿心电容）、π 形（两个穿心电容加一个电感）等；滤波器的器件越多，则滤波器的过渡带越短，阻带的插入损耗越大。其中C 型馈通滤波器一般成为穿心电容器。
图1 穿心电容
任何有引线的电容器的滤波效果都会受到接地电感的限制。如图1 所示，通过将电容器外表面直接用螺纹或焊接的方式接到金属屏蔽体或面板上构成电容器的接地。由于地电流分散在中心导体周围360°的范围内，实际上不存在引线电感，电容可以在很高的频率范围内保持良好的性能。
馈通滤波器的使用方法有以下三种：
1）安装在屏蔽体（屏蔽盒、屏蔽机箱等）的面板上。这是最基本的使用方法，当有导线要穿过屏蔽体时，就需要在屏蔽体的面板上安装馈通滤波器，使导线通过馈通滤波器穿过屏蔽体。