我国甲基氯硅烷生产水平及其差距浅析_孟祥凤
一甲基三氯硅烷 临界量
一甲基三氯硅烷临界量研究
一甲基三氯硅烷临界量研究引言一甲基三氯硅烷（Methyltrichlorosilane，简称MTS）是一种重要的有机硅中
间体，广泛应用于硅橡胶、硅油、硅树脂等有机硅产品的合成。然而，由于其
具有潜在的毒性和环境影响，对于其生产和使用的安全问题引起了广泛关注。
临界量标准是评估物质安全性的重要指标，对于一甲基三氯硅烷的临界量研究
具有重要的意义。
物理化学特性一甲基三氯硅烷是一种无色或淡黄色的液体，具有刺激性气味。其分子式为
C2H3Cl3Si，分子量为160.45。一甲基三氯硅烷的沸点较低，为73.4℃，凝固
点为-122℃。一甲基三氯硅烷具有较高的蒸汽压，容易挥发和释放到空气中。
毒性和环境影响一甲基三氯硅烷具有一定的毒性和刺激性，能够刺激眼睛、呼吸道和皮肤。长
时间接触或吸入高浓度的一甲基三氯硅烷可能导致头痛、头晕、恶心等症状。
此外，一甲基三氯硅烷在光照下能够分解产生有害的氯化物和硅化合物，对水
生生物和土壤造成一定的危害。
生产和使用一甲基三氯硅烷的生产过程中需要严格控制反应条件和原料纯度，以避免产生
大量的副产物和杂质。在使用一甲基三氯硅烷时，需要采取适当的防护措施，
如佩戴个人防护用品、在通风橱中进行操作等。同时，需要合理处理废弃的一
甲基三氯硅烷，避免对环境和人体健康造成危害。
临界量标准及意义临界量标准是为了评估物质安全性的一个重要指标，对于一甲基三氯硅烷而
言，其临界量为0.1mg/m3。这个标准是根据一甲基三氯硅烷的毒性和环境影
响进行制定的，旨在保护工人的健康和环境的安全。通过制定临界量标准，可以有效地控制一甲基三氯硅烷的生产和使用过程中对其暴露量的限制，降低其
对环境和人体健康的潜在危害。
结论与建议一甲基三氯硅烷作为一种重要的有机硅中间体，其生产和应用前景广阔。然
而，由于其具有潜在的毒性和环境影响，需要对其使用进行严格的控制和管
理。为了保障工人的健康和环境的安全，应该加强对一甲基三氯硅烷生产和使
甲基氯硅烷高沸物催化裂解制备二甲基二氯硅烷的研究进展
技术进展 哺机・￡材斟，２０１０，２４（４）：２４８～２５１
ＳＩＬＩＣＯＮＥ ＭＡＴＥＲＩＡＬ
甲基氯硅烷高沸物催化裂解制备二甲基二氯硅烷
的研究进展
库斌，高风，李静，黄世强 （湖北大学功能材料绿色制备与应用省部共建教育部重点实验室，武汉４３００６２）
摘要：介绍了国内外以三氯化铝及其复合盐、有机胺及其盐、过渡金属及其化合物及金属磷酸盐作催 化剂催化裂解合成甲基氯硅烷的副产物高沸物的研究进展。 关键词：高沸物，催化裂解，二甲基二氯硅烷
中图分类号：０６３４．４ １ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００９—４３６９（２０１０）０４—０２４８—００４
有机硅具有耐高低温、绝缘、疏水、耐候及
生理惰性等优异性能，广泛应用于电子电气、建
筑建材、纺织、轻工、医疗、机械、交通运输、
塑料橡胶等行业，被誉为“工业味精”。有机硅
工业最基础且用量最大的原料是甲基氯硅烷。预
计到２０１０年，国内甲基氯硅烷总生产能力将达
到１ ５００ ｋｔ／ａ左右¨ 。目前国内甲基氯硅烷粗产
品中高沸物的质量分数为７％～８％ｌ２ Ｊ。随着我
国甲基氯硅烷生产规模的不断扩大，高沸物的生
成量必然越来越多。这些副产物如果处理不当，
不仅对环境造成很大污染，浪费大量资源，而且
会制约我国有机硅工业的发展。近年来国家大力
推行节能减排政策，使有机硅高沸物的综合利用
越来越受到重视。高沸物生产有机硅防水剂和消
泡剂，由于此类防水剂市场容量有限，每年只能
用掉１／５的高沸物 Ｊ，且附加值低；所以将高沸
物裂解成具有较高经济效益的甲基氯硅烷的方法
引起了广泛的重视。可能是出于技术保护的目
的，国内外关于高沸物催化裂解制备二甲基二氯
硅烷的专利较少，近几年更少。
对于高沸物裂解制甲基氯硅烷工艺，在２０
世纪５０年代，国外主要采用高温裂解法，反应
温度为３００～９００℃，积碳严重，二甲基二氯硅
烷选择性低；到２０世纪７０年代，催化裂解逐渐
取代了高温裂解 Ｊ。在高沸物的催化裂解中，
甲烷氯化物的工艺发展与国内外市场
甲烷氯化物的工艺发展与国内外市场
甲烷氯化物是一氯甲烷（氯甲烷）、二氯甲烷、三氯甲烷（氯仿）、四氯化碳四种甲烷氯化物的总称，是重要的有机氯产品。甲烷氯化物除可作溶剂、脱脂（漆）剂、萃取剂、气雾剂、致冷剂、灭火剂、麻醉剂等以外，还是生产医药、农药、合成纤维、塑料、有机硅和有机氟系列产品等的原料。
为了保护大气臭氧层，国际上签署了《蒙特利尔议定书》，我国是签字国之一。四氯化碳及其衍生物CFC-11和CFC-12均被列为受控物质，行将被禁止生产和使用。美国等发达国家对二氯甲烷在某些领域（如气雾剂、发泡剂）的应用已进行了限制，使世界上甲烷氯化物的生产和消费总量受到一定影响。但一氯甲烷作为有机硅的原料、三氯甲烷作为HCFC-22的原料，其消费仍然呈现增长的势头。中国属发展中国家，除四氯化碳外，其他甲烷氯化物产品市场均处于生长期，需要继续发展到一定规模。
1、 工艺技术方案选择
1. 1原料路线的选择
国外先进的甲烷氯化物生产技术有甲醇法和甲烷法，都可联产四种甲烷氯化物。
甲烷法是甲烷氯化物生产的传统方法，而甲醇法是随着甲醇工业的发展而迅速崛起的甲烷氯化物生产方法，美国、西班牙、南朝鲜相继投产的几套装置都采用了甲醇法，大有取代甲烷法之势，有其技术上和经济上的原因：
1.1. 1对原料的要求
甲醇法对甲醇中的乙醇含量虽有一定限制，但比较容易达到，一般用国际一级品；甲烷法对原料天然气纯度要求很高，天然气中所含的硫、氧、C2及C2以上组分，不仅影响氯化反应过程，增加氯耗，而且影响产品质量。国外甲烷法一般要求含硫为痕迹量、含氧0.01%、C2及C2以上组分0.01%。由于C1和C2组分的分子直径相近，采用分子筛吸附很难达到产品纯度要求，故需要配置复杂的天然气精制系统。
1.1. 2产品纯度
甲醇法只要控制住甲醇中的乙醇含量，很容易从氢氯化反应产物分离出高纯度一氯甲烷，可满足有机硅单体的原料要求。美国有机硅单体生产所需的高纯度一氯甲烷几乎100%以甲醇为原料。高纯度一氯甲烷再深度氯化，副反应少，容易分离，所得其他三种产品纯度也高，一般三种产品纯度均在99.5%以上，尤其是三氯甲烷纯度可达到医药级，适宜作为四乙烯的原料。
行业标准《氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定-气相色谱质谱联用法》编制说明
行业标准《氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定-气相色谱质谱联用法》
（讨论稿）编制说明
一、工作简况
1、立项目的及意义
在信息飞速发展的今天，信息工业的坚强后盾是高速发展的电子工业，电子工业重要的基础材料就是半导体硅材料。因此，优质的半导体多晶硅材料已成为现代信息产业的重要基础。另外，高纯多晶硅由于具有许多优良特性而成为太阳能电池的关键性材料，是其它材料难以替代的重要战略资源。面对当前世界性传统能源枯竭和石油价格持续攀升的形势，再加上全球变暖等环保问题，太阳能作为可再生的洁净能源受到了世界各国的高度重视，它也将是发展低碳经济的一个重要组成部分。
碳元素作为多晶硅产品质量的主要影响因素，对多晶硅的产品质量起着重大作用，多晶硅的碳含量高，会在成晶过程中行为位错，从而影响少子寿命；碳元素影响产品的电学性质，会使下游器件的击穿电压大大降低，漏电流增加，对器件的质量起着负面影响。目前，全球大部分多晶硅厂商的生产工艺为改良西门子法，改良西门子法生产多晶硅的碳主要来源之一是原物料三氯氢硅中的含碳有机物。质量要从源头抓起，因此，检测原物料的碳含量是一项非常有意义的工作。
2、任务来源
根据工业和信息化办公厅《关于印发2016年第一批行业标准制修订计划的通知》（工信厅 [2016]58号）文件精神，由内蒙古盾安光伏科技有限公司负责制定《氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定-气相色谱质谱法》，由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会负责归口，计划编号2016-0260T-TS，计划完成时间为2018年。
3、编制单位简况
内蒙古盾安光伏科技有限公司是“中国企业500强”盾安集团下属子公司。公司作为盾安集团转型升级战略的重要组成部分，专业从事多晶硅及下游产品的研发、生产与销售。公司一期年产5000吨多晶硅项目于2010年4月开工，2011年9月建成投产。2013年，公司启动年产2400MW太阳能电池组件及配套项目，该项目分两期实施，一期年产1200MW太阳能电池组件及配套项目，计划投资75亿元，作为项目重要组成部分的多晶硅二期项目已于2014年内建成投产。目前，公司已形成多晶硅产能10000吨。公司高度重视产品研发与技术创新，截至2016年10月，已申请专利项54，授权31项（其中发明15项，实用新型16项），多项技术处于行业领先水平。公司技术团队获评自治区草原英才创业团队。公司将秉承“绿色节能、低碳环保”的企业经营理念，发挥科技研发优势，以自主核心技术为主，为客户创造价值，为社会创造财富，为地方经济发展做出应有贡献。
国内二甲基二氯硅烷饱和酸水解工艺发展现状
国内二甲基二氯硅烷饱和酸水解工艺发展现状
有机硅材料的研究起始于19世纪中叶，1863年，法国化学家弗里德尔(C.Friedel)及克拉夫茨(J.M.Crafts)从
SiCl4与ZnEt2出发，首先制得了含Si-C键的有机硅化合物(单体)SiEt4。1874年，拉登堡(denburg)由Hg-Ph2与SiCl4反应制得了有机氯硅烷(PhSiCl3)。1904年，英国化学家基平(F.S.Kipping)应用格利雅法(Grignard)合成
了可水解的硅烷RnSiCl(4-n)在此期间，迪尔塞(W.Dilthey)将Ph2SiCl2水解制得Ph2Si(OH)2，并进而缩合制得六
苯基环三硅氧烷(Ph2SiO)3，这是产生的第一个环状硅氧烷化合物，对推动聚硅氧烷的发展起到了重要的作用。
1941年E.G.Rochow发明了直接法合成RnHmSiCl4-(n+m)的技术，此法由于原料易得、工序简单、不用溶剂、时
空产率高，且易实现连续化大生产等优点，因而一经面世便很快取代了格利雅法，奠定了有机硅工业化生产的
基础。至今它仍是国内外合成甲基氯硅烷的惟一方法；同时在合成乙基及苯基氯硅烷等方面也占有重要的地位。
1947年，通用电气公司成立有机硅部，首先采用直接法合成甲基氯硅烷工艺，从此有机硅工业得到了快速的发
展，甲基氯硅烷合成、单体分离技术、二甲的水解工艺等也得到了快速发展。
1饱和酸水解工艺
有机氯硅烷是整个有机硅化学的支柱，其中大部分有机硅聚合物是从二甲基二氯硅烷水解制得的二甲基硅
氧烷出发而制得的。到20世纪80年代，随着甲基氯硅烷及有机硅聚合物的生产技术成熟，甲基氯硅烷产量进一
步扩大，其生产成本大幅度下降。由于甲基氯硅烷产量及产品品种的增加，分离纯化技术的进步及聚合工艺的
改进、环状及线型聚硅氧烷的开发与应用，推动了氯硅烷的水解工艺以更高的速度发展，其中，尤以二甲基二
氯硅烷(以下简称二甲)的水解工艺为主，从恒沸酸水解工艺向饱和酸水解工艺发展。
有机硅高沸物和低沸物的低压催化裂解歧化制备甲基氯硅烷
精细石油化工 ＳＰＥＣＩＡＬＩＴＹ ＰＥＴＲ０ＣＨＥＭＩＣＡＬＳ 第２４卷第３期 ２００７年５月
有机硅高沸物和低沸物的 低压催化裂解歧化制备甲基氯硅烷
赵建波 张 宁 陈 玉。 孙雨安 （１＿郑州轻工业学院材料与化工学院，河南郑州４５０００２； ２．南昌大学化学系，江西南昌３３００４７；３．蓝星星火化工厂，江西九江３３０３１９） 摘要：用酸处理的活性炭和７ＬＡｌｚＯ。组成双段催化剂，通过有机硅高沸物和低沸物的裂解歧化反应制备了甲 基氯硅烷，考察了反应温度、质量空速等因素对反应的影响。结果表明：在反应温度３６０℃、质量空速０．１１ ｈ 条件下，高沸物的裂解率、甲基氯硅烷和二甲基二氯硅烷的收率分别为７５．１ 、７６．１ 和３８．３ 。该双段 催化剂连续使用１４２ ｈ，仍能保持较高的活性。 关键词：有机硅高沸物 有机硅低沸物 裂解歧化 甲基氯硅烷 二甲基二氯硅烷 中图分类号：Ｑ４２６．９４ 文献标识码：Ａ
甲基氯硅烷是制备有机硅材料的重要原料， 其用量占整个有机硅单体用量的９０ （质量分 数，下同）以上，其中又以二甲基二氯硅烷的用量 最大，约占８Ｏ％口］。目前普遍采用直接法制备甲 基氯硅烷单体ｌ＿１ ］，在生产过程中会产生一些副 产物，如有机硅高沸物和低沸物等。有机硅高沸 物是指单体粗产物中沸点超过７Ｏ℃的馏分，约占 ７ ～８％，主要由二硅烷组成，各组分含量因反应 条件、反应器结构等因素而异＿＿４ ］。低沸物是单 体粗产物中沸点低于４０℃的馏分，约占４ ～ ５ ，主要组分是Ｓｉ（ＣＨ。） 、（ＣＨ。）ｚ ＳｉＨＣ１、 ＣＨ。ＳｉＨＣ１２等 ， 。 高沸物和低沸物通过裂解歧化反应制备甲基 氯硅烷，不仅能解决高沸物的积压及对环境造成 的污染，而且能降低生产成本，提高其经济效益。 目前主要采用催化裂解歧化法ｌ＿８ ，但反应多在 高压反应釜中进行，存在操作安全性较差、生产成 本高等缺陷。笔者设计了高沸物和低沸物的低压 催化裂解歧化制备甲基氯硅烷的工艺路线，与高 压下反应工艺相比，该工艺安全、成本低。 １实验部分 １．１原料和试剂 有机硅高沸物和低沸物均由蓝星星火化工厂 分馏车间提供；活性炭，上海化学试剂厂；ＺＳＭ～５ 分子筛，上海恒亚试剂厂；ｙ－Ａ１ Ｏ。，长岭炼油厂催 化剂分厂；高纯Ｈ：、高纯Ｎ：，江西省华东特种气 体研究所。 １．２裂解歧化反应 反应装置示意图见图１。计量槽中一定体积 比的高、低沸物混合物在氮气压力作用下，以一定 流量通过汽化器后，再通人Ｕ型管反应器（自制， 内装一定量的催化剂），在一定温度和压力下进行 裂解歧化反应，产物冷凝后取样分析。
甲基三甲氧基硅烷和甲基三乙氧基硅烷
甲基三甲氧基硅烷和甲基三乙氧基硅烷
甲基三甲氧基硅烷和甲基三乙氧基硅烷是两种常见的有机硅化合物，它们具有许多重要的性质和应用。在本文中，我将详细介绍这两种化合物的结构、性质、合成方法以及它们在不同领域的应用。
首先，让我们来看一下甲基三甲氧基硅烷（简称MTMS）。MTMS的化学式为(CH3O)3SiCH3，它由一个硅原子与三个甲氧基基团和一个甲基基团连接而成。这样的结构赋予了MTMS一些特殊的性质。首先，MTMS是无色、易挥发的液体，在常温下具有较低的表面张力。其次，MTMS具有较高的化学稳定性，并且可以在广泛的温度范围内使用。
接下来，我们再来看一下甲基三乙氧基硅烷（简称MTES）。MTES的化学式为(C2H5O)3SiCH3，它由一个硅原子与三个乙氧基基团和一个甲基基团连接而成。MTES与MTMS的主要区别在于其基团中的乙氧基与甲氧基的不同。这种不同的基团结构导致了MTES与MTMS在性质和应用方面存在一些差异。
两种化合物都可以通过不同的方法合成。一种常见的合成方法是通过硅烷化反应，将相应的硅烷烷基化合物与甲醇或乙醇反应得到。例如，可以通过将三氯甲基硅烷与甲醇或乙醇反应合成MTMS或MTES。此外，还可以通过直接以硅烷为前体与醇反应制得。
这两种化合物在不同领域都有广泛的应用。首先，它们在表面改性方面具有重要的作用。由于MTMS和MTES具有较低的表面张力和较高的化学稳定性，它们被广泛应用于涂料、油墨、粘合剂和密封材料等领域，以提高涂层的耐候性、耐化学腐蚀性和附着力。此外，它们还可以用于调节涂料的流动性和干燥速度。
此外，MTMS和MTES还被广泛应用于医药、农业和电子行业。在医药领域，它们被用作药物的传递系统，将药物包裹在硅烷微粒中，以提高药物的生物利用度和稳定性。在农业领域，MTMS和MTES可以用作植物保护剂，以提高植物的抗病性和抗逆性。在电子行业，它们被用作光学材料，用于制备光学镜片、液晶显示器和光纤等。
工业一甲基二氯硅烷标准
工业一甲基二氯硅烷标准
摘要：
一、工业一甲基二氯硅烷的概述
二、工业一甲基二氯硅烷的用途
三、工业一甲基二氯硅烷的生产方法
四、工业一甲基二氯硅烷的质量标准
五、我国相关标准和国际化标准
正文：
一、工业一甲基二氯硅烷的概述
工业一甲基二氯硅烷（简称MDCS）是一种有机硅化合物，化学式为C5H11Cl2Si。它是无色至微黄色透明液体，具有刺激性气味。一甲基二氯硅烷主要用于制造有机硅橡胶、硅油、硅树脂等产品，也可用作溶剂和催化剂。
二、工业一甲基二氯硅烷的用途
1.有机硅材料的制造：一甲基二氯硅烷可与氢气、卤代烷等反应，生成各种有机硅化合物，如硅油、硅橡胶、硅树脂等。
2.溶剂：一甲基二氯硅烷可用作涂料、油墨、粘合剂等行业的溶剂，提高产品性能。
3.催化剂：一甲基二氯硅烷可作为催化剂或催化剂载体，提高催化剂的活性和选择性。
4.皮革处理：用于皮革的涂饰和鞣制剂，提高皮革的柔软性、耐磨性和防水性能。 三、工业一甲基二氯硅烷的生产方法
1.氯硅烷醇法：以硅粉、氯气、一氯甲烷为原料，通过氢氧化钠催化剂，合成一甲基二氯硅烷。
2.甲基三氯硅烷法：以硅粉、氯气、一氯甲烷为原料，通过氢氧化钠催化剂，合成甲基三氯硅烷，再经过还原反应生成一甲基二氯硅烷。
四、工业一甲基二氯硅烷的质量标准
1.外观：无色至微黄色透明液体。
2.含量：≥99.0%。
3.沸点：103-108℃（1.33kPa）。
4.折射率：1.448-1.452。
5.水分：≤0.5%。
6.酸度：≤0.1%。
五、我国相关标准和国际化标准
1.我国标准：GB/T 1614-2008《一甲基二氯硅烷》。
2.国际化标准：ISO 6743-3:1999《化学产品——有机硅化合物——第3部分：一甲基二氯硅烷》。
通过以上内容，我们可以了解到工业一甲基二氯硅烷的概述、用途、生产方法、质量标准和我国与国际上的相关标准。
一氯甲烷工艺流程模拟与分析
一氯甲烷工艺流程模拟与分析
陈丹
【摘 要】通过使用流程模拟软件HYSYS，对氯甲烷分离段工艺进行模拟与分析，找出了较适合的理论板数，进料位置，回流比，得到了氯甲烷较小的排放量，满足了一氯甲烷收率所应达到的标准。
【期刊名称】《科技风》
【年(卷),期】2013(000)010
【总页数】1页(P80-80)
【关键词】一氯甲烷;流程模拟;HYSYS
【作 者】陈丹
【作者单位】信息产业电子第十一设计研究院有限公司，四川成都 610000
【正文语种】中 文
一氯甲烷主要是生产甲基氯硅烷，全世界有50%～90%的一氯甲烷用于有机硅的生产，基本上为有机硅生产企业自备原料，只有少量供应市场。有机硅及其深加产品广泛应用于电子工业、航天航空领域和国民领域，是当今世界新兴的化工材料，也是我国重点扶持的产业，素有“工业味精”之称的有机硅，近几年发展迅速，从而带动一氯甲烷的发展，一氯甲烷的生产与有机硅的发展密切相关。
笔者结合我国自贡鸿鹤化工厂氯甲烷生产技术，选择热氯化法生产氯甲烷的工艺流程，对设计规模为年产10万吨一氯甲烷生产工艺进行模拟。 1 流程模拟与分析
1.1 技术分析
1.1.1 流程描述
分别来自烧碱车间，配气站和反应装置的氯气和天然气，按一定配比，其中甲烷过量，氯气流量为：55.765mol/h，甲烷流量为65.142mol/h，进入混合器，以避免反应气进入反应器后局部浓度过高引起爆炸，反应气混合均匀后进入反应器，进行甲烷热氯化反应，反应气组成为：一氯甲烷，少量的四氯化碳，氯化氢和未反应的甲烷。由于反应过程中要放出大量的热量，若热量不及时移出，会发生一些副反应，因此为了提高反应的转化率以及有效利用能源，故将反应生成的高温粗氯化气通过换热器，用于加热原料反应气氯气和甲烷，粗氯化气温度降为100度左右，由于下个流程为水洗，为了减小氯甲烷在水中的溶解度和水解程度，因此还需将粗氯化气经空气冷却器冷却到10℃后，进入水洗系统，除去所含的氯化氢，以及少量的四氯化碳，再经浓硫酸干燥系统除去所含的水，最后经过精馏得到产品一氯甲烷和甲烷，甲烷回收利用继续参加反应。产品一氯甲烷流量为44.771mol/h，纯度为99.2%，其中含甲烷0.8%，用于回收的甲烷流量为12.335mol/h，纯度为100%。
国内外有机硅甲基单体的工艺技术发展
２０１３年第４期 内蒙古石油化工 １２５
国内外有机硅甲基单体的工艺技术发展
王桂莲
（内蒙古中际工程咨询有限责任公司，内蒙古呼和浩特０１００２０）
摘要：综述了目前国内外有机硅甲基单体的工艺技术发展，包括：原材料选择、催化剂种类、单体
合成反应器的变化、副产品的回收利用等，并分析了国内外备主要生产厂家的产品规模和生产路线。
关键词：有机硅甲基单体；二甲基二氯硅烷；工艺技术
中图分类号：ＴＱ１８８ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００６－－７９８１（２０１３）Ｏ４—０１２５一Ｏ２
目前，有机硅产品繁多，品种牌号多达万种，常
用的就有４０００余种，大致分为：原料、中间体、产品
及制品三大类。尽管种类繁多，但其起始原料仅限于
为数不多的几种有机硅单体，其中占绝对量的是二
甲基二氯硅烷，其次是苯基氯硅烷，前者用量占整个
单体总量的９Ｏ 以上，是生产有机硅中间体、有机硅
产品及制品不可或缺的原料。所以，常说的有机硅甲
基单体一般就是指二甲基二氯硅烷（或简称甲基氯
硅烷）。本文将探讨有机硅甲基单体的国内外工艺技
术发展。
１ 国外有机硅甲基单体工艺技术
由氯甲烷和硅粉在催化剂存在下，采用流化床 反应器合成甲基氯硅烷混合单体是有机硅生产的核
性、可靠性和灵活性；②由程序控制，改变控制方法
或算法时不必改变控制电路；③可重复性好，易调试
和批量生产；④易实现并联运行和智能化控制。随着
ＤＳＰ性能的不断改善和价格的下降，电能质量控制
装置将用ＤＳＰ来实现实时信号处理从而取代模拟
量控制。
４．３ 对电能质量检测技术的新要求
传统的检测仪器一般局限于持续性和稳定性指
标的检测，而且仅测有效值已不能精确描述实际的
电能质量问题，因此需要发展新的监测技术。具体要
求包括：①能捕捉快速（ｍｓ级甚至ｎｓ级）瞬时干扰
的波形；②需要测量各次谐波以及间谐波的幅值、相
位；③需要有足够高的采样速率，以便能和得相当高
次谐波的信息。④建立有效的分析和自动辩识系统，