集成电路制造技术原理与工艺王蔚习题答案
集成电路技术集成电路工艺原理试卷(练习题库)(2023版)
集成电路技术集成电路工艺原理试卷（练习题库）1、用来做芯片的高纯硅被称为（），英文简称（），有时也被称为（）。
2、单晶硅生长常用（）和（）两种生长方式，生长后的单晶硅被称为（）。
3、晶圆的英文是（），其常用的材料是（）和（）。
4、晶圆制备的九个工艺步骤分别是（）、整型、（）、磨片倒角、刻蚀、（）、清洗、检查和包装。
5、从半导体制造来讲，晶圆中用的最广的晶体平面的密勒符号是（）、O 和（）。
6、CZ直拉法生长单晶硅是把（）变为（）并且（）的固体硅锭。
7、CZ直拉法的目的是（）。
8、影响CZ直拉法的两个主要参数是O和（）。
9、晶圆制备中的整型处理包括（）、（）和（）。
10、制备半导体级硅的过程：1、（）；2、（）；3、O011、热氧化工艺的基本传输到芯片的不同部分。
77、多层金属化指用来连接硅片上高密度堆积器件的那些金属层。
78、阻挡层金属是淀积金属或金属塞，其作用是增加上下层材料的附着。
79、关键层是指那些线条宽度被刻蚀为器件特征尺寸的金属层。
80、传统互连金属线的材料是铝，即将取代它的金属材料是铜。
81、溅射是个化学过程，而非物理过程。
82、表面起伏的硅片进行平坦化处理，主要采用将低处填平的方法。
83、化学机械平坦化，简称CMP,它是一种表面全局平坦化技术。
84、平滑是一种平坦化类型，它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜，但高度没有显著变化。
85、反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。
86、电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。
87、在CMP为零的转换器。
133、CD是指硅片上的最小特征尺寸。
134、集成电路制造就是在硅片上执行一系列复杂的化学或者物理操作。
简而言之，这些操作可以分为四大基本类：薄膜135、人员持续不断地进出净化间，是净化间沾污的最大来源。
136、硅片制造厂可分为六个的区域，各个区域的照明都采用同一种光源以达到标准化。
137、世界上第一块集成电路是用硅半导体材料作为衬底制造的。
集成电路制造技术-原理与技术试题库
集成电路制造技术-原理与技术试题库填空题（30分=1分*30）(只是答案)半导体级硅、 GSG 、电子级硅。
CZ法、区熔法、硅锭、wafer 、硅、锗、单晶生长、整型、切片、磨片倒角、刻蚀、（抛光）、清洗、检查和包装。
100 、110 和111 。
融化了的半导体级硅液体、有正确晶向的、被掺杂成p型或n型、实现均匀掺杂的同时并且复制仔晶的结构，得到合适的硅锭直径并且限制杂质引入到硅中、拉伸速率、晶体旋转速率。
去掉两端、径向研磨、硅片定位边和定位槽。
制备工业硅、生长硅单晶、提纯）。
卧式炉、立式炉、快速热处理炉。
干氧氧化、湿氧氧化、水汽氧化。
工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气系统、温控系统。
局部氧化LOCOS、浅槽隔离STI。
掺杂阻挡、表面钝化、场氧化层和金属层间介质。
热生长、淀积、薄膜。
石英工艺腔、加热器、石英舟。
APCVD常压化学气相淀积、LPCVD低压化学气相淀积、PECVD等离子体增强化学气相淀积。
晶核形成、聚焦成束、汇聚成膜。
同质外延、异质外延。
膜应力、电短路、诱生电荷。
导电率、高黏附性、淀积、平坦化、可靠性、抗腐蚀性、应力等。
CMP设备、电机电流终点检测、光学终点检测。
平滑、部分平坦化、局部平坦化、全局平坦化。
磨料、压力。
使硅片表面和石英掩膜版对准并聚焦，包括图形）；（通过对光刻胶曝光，把高分辨率的投影掩膜版上图形复制到硅片上）；（在单位时间内生产出足够多的符合产品质量规格的硅片）。
化学作用、物理作用、化学作用与物理作用混合。
介质、金属。
在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形。
被刻蚀图形的侧壁形状、各向同性、各向异性。
气相、液相、固相扩散。
间隙式扩散机制、替代式扩散机制、激活杂质后。
一种物质在另一种物质中的运动、一种材料的浓度必须高于另一种材料的浓度）和（系统内必须有足够的能量使高浓度的材料进入或通过另一种材料。
热扩散、离子注入。
预淀积、推进、激活。
时间、温度。
扩散区、光刻区、刻蚀区、注入区、薄膜区、抛光区。
1+X集成电路理论习题库(附参考答案)
1+X集成电路理论习题库（附参考答案）一、单选题（共39题，每题1分，共39分）1.如果焊接面上有（），不能生成两种金属材料的合金层。
A、阻隔浸润的污垢B、氧化层C、没有充分融化的焊料D、以上都是正确答案：D2.激光打字在打标前需要调整（）的位置。
A、场镜和收料架B、场镜和光具座C、显示器和收料架D、光具座和显示器正确答案：B3.进行芯片检测工艺中的编带外观检查时，其步骤正确的是（）。
A、编带固定→固定卷盘→归纳放置→检查外观→编带回料B、归纳放置→固定卷盘→检查外观→编带回料→编带固定C、固定卷盘→归纳放置→检查外观→编带回料→编带固定D、检查外观→归纳放置→固定卷盘→编带回料→编带固定正确答案：B4.引线键合前一道工序是（）。
A、第二道光检B、晶圆切割C、芯片粘接D、晶圆清洗正确答案：C答案解析：晶圆贴膜→晶圆切割→晶圆清洗→第二道光检→芯片粘接→引线键合5.下列关于平移式分选机描述错误的是（）。
A、传送带将料架上层的料盘输送至待测区料盘放置的指定区域B、料盘输送到待测区的指定位置后，吸嘴从料盘上真空吸取芯片，然后转移至“中转站”C、等待芯片传输装置移动到“中转站”接收芯片并将芯片转移至测试区D、当待测区料盘上的芯片全部转移后，需要更换料盘，继续进行上料正确答案：A6.单晶硅生长完成后，需要进行质量检验，其中四探针法可以测量单晶硅的（）参数。
A、少数载流子寿命B、电阻率C、导电类型D、直径正确答案：B7.利用全自动探针台进行扎针测试时，关于上片的步骤，下列所述正确的是（）。
A、打开盖子→花篮放置→花篮下降→花篮到位→花篮固定→合上盖子B、打开盖子→花篮放置→花篮固定→花篮下降→花篮到位→合上盖子C、打开盖子→花篮放置→花篮下降→花篮固定→花篮到位→合上盖子D、打开盖子→花篮放置→花篮到位→花篮下降→花篮固定→合上盖子正确答案：B8.晶圆检测工艺中，在进行上片之前需要进行( )操作。
A、导片B、加温、扎针调试C、扎针测试D、打点正确答案：A答案解析：晶圆检测工艺流程：导片→上片→加温、扎针调试→扎针测试→打点→烘烤→外检→真空入库。
集成电路版图设计习题答案第二章集成电路制造工艺
集成电路版图设计习题答案第2章 集成电路制造工艺【习题答案】1．硅片制备主要包括（直拉法）、（磁控直拉法）和（悬浮区熔法）等三种方法。
2．简述外延工艺的用途。
答：外延工艺的应用很多。
外延硅片可以用来制作双极型晶体管，衬底为重掺杂的硅单晶（n +），在衬底上外延十几个微米的低掺杂的外延层（n ），双极型晶体管（NPN ）制作在外延层上，其中b 为基极，e 为发射极，c 为集电极。
在外延硅片上制作双极型晶体管具有高的集电结电压，低的集电极串联电阻，性能优良。
使用外延硅片可以解决增大功率和提高频率对集电区电阻要求上的矛盾。
图 外延硅片上的双极型晶体管集成电路制造中，各元件之间必须进行电学隔离。
利用外延技术的PN 结隔离是早期双极型集成电路常采用的电隔离方法。
利用外延硅片制备CMOS 集成电路芯片可以避免闩锁效应，避免硅表面氧化物的淀积，而且硅片表面更光滑，损伤小，芯片成品率高。
外延工艺已经成为超大规模CMOS 集成电路中的标准工艺。
3．简述二氧化硅薄膜在集成电路中的用途。
答：二氧化硅是集成电路工艺中使用最多的介质薄膜，其在集成电路中的应用也非常广泛。
二氧化硅薄膜的作用包括：器件的组成部分、离子注入掩蔽膜、金属互连层之间的绝缘介质、隔离工艺中的绝缘介质、钝化保护膜。
4．为什么氧化工艺通常采用干氧、湿氧相结合的方式？答：干氧氧化就是将干燥纯净的氧气直接通入到高温反应炉内，氧气与硅表面的原子反应生成二氧化硅。
其特点：二氧化硅结构致密、均匀性和重复性好、针孔密度小、掩蔽能力强、与光刻胶粘附良好不易脱胶；生长速率慢、易龟裂不宜生长厚的二氧化硅。
湿氧氧化就是使氧气先通过加热的高纯去离子水（95℃），氧气中携带一定量的水汽，使氧化气氛既含有氧，又含有水汽。
因此湿氧氧化兼有干氧氧化和en +SiO 2n -Si 外延层 n +Si 衬底水汽氧化的作用，氧化速率和二氧化硅质量介于二者之间。
实际热氧化工艺通常采用干、湿氧交替的方式进行。
集成电路制造技术原理与工艺王蔚习题解答第4单元
复习题1.ULSI中对光刻技术的基本要求？答：一般来说，在ULSI中对光刻技术的基本要求包括五方面：①高分辨率。
随着集成电路集成度的不断提高，加工的线条越来越精细，要求光刻的图形具有高分辨率。
在集成电路工艺中，通常把线宽作为光刻水平的标志，一般也可以用加工图形线宽的能力来代表集成电路的工艺水平。
②高灵敏度的光刻胶。
光刻胶的灵敏度通常是指光刻胶的感光速度。
在集成电路工艺中为了提高产品的产量，希望曝光时间愈短愈好。
为了减小曝光所需的时间，需要使用高灵敏度的光刻胶。
光刻胶的灵敏度与光刻胶的成份以及光刻工艺条件都有关系，而且伴随着灵敏度的提高往往会使光刻胶的其它属性变差。
因此，在确保光刻胶各项属性均为优异的前提下，提高光刻胶的灵敏度已经成为了重要的研究课题。
③低缺陷。
在集成电路芯片的加工过程中，如果在器件上产生一个缺陷，即使缺陷的尺寸小于图形的线宽，也可能会使整个芯片失效。
通常芯片的制作过程需要经过几十步甚至上百步的工序，在整个工艺流程中一般需要经过10~20次左右的光刻，而每次光刻工艺中都有可能引入缺陷。
在光刻中引入缺陷所造成的影响比其他工艺更为严重。
由于缺陷直接关系到成品率，所以对缺陷的产生原因和对缺陷的控制就成为重要的研究课题。
④精密的套刻对准。
集成电路芯片的制造需要经过多次光刻，在各次曝光图形之间要相互套准。
ULSI中的图形线宽在1μm以下，因此对套刻的要求也就非常高。
一般器件结构允许的套刻精度为线宽的±10%左右。
这种要求单纯依靠高精度机械加工和人工手动操作已很难实现，通常要采用自动套刻对准技术。
⑤对大尺寸硅片的加工。
集成电路芯片的面积很小，即便对于ULSI的芯片尺寸也只有1~2cm2左右。
为了提高经济效益和硅片利用率，一般采用大尺寸的硅片，也就是在一个硅片上一次同时制作很多完全相同的芯片。
采用大尺寸的硅片带来了一系列的技术问题。
对于光刻而言，在大尺寸硅片上满足前述的要求难度更大。
而且环境温度的变化也会引起硅片的形变（膨胀或收缩），这对于光刻也是一个难题。
集成电路制造技术-原理与工艺 课后习题答案
第一单元:3.比较硅单晶锭CZ,MCZ和FZ三种生长方法的优缺点。
答：CZ直拉法工艺成熟，可拉出大直径硅棒，是目前采用最多的硅棒生产方法。
但直拉法中会使用到坩埚，而坩埚的使用会带来污染。
同时在坩埚中，会有自然对流存在，导致生长条纹和氧的引入。
直拉法生长多是采用液相掺杂，受杂质分凝、杂质蒸发，以及坩埚污染影响大，因此，直拉法生长的单晶硅掺杂浓度的均匀性较差。
MCZ磁控直拉法，在CZ法单晶炉上加一强磁场，高传导熔体硅的流动因切割磁力线而产生洛仑兹力，这相当于增强了熔体的粘性，熔体对流受阻。
能生长无氧、均匀好的大直径单晶硅棒。
设备较直拉法设备复杂得多，造价也高得多，强磁场的存在使得生产成本也大幅提高。
FZ悬浮区熔法，多晶与单晶均由夹具夹着，由高频加热器产生一悬浮的溶区，多晶硅连续通过熔区熔融，在熔区与单晶接触的界面处生长单晶。
与直拉法相比，去掉了坩埚，没有坩埚的污染，因此能生长出无氧的，纯度更高的单晶硅棒。
6.硅气相外延工艺采用的衬底不是准确的晶向,通常偏离[100]或[111]等晶向一个小角度,为什么?答：在外延生长过程中，外延气体进入反应器，气体中的反应剂气相输运到衬底，在高温衬底上发生化学反应，生成的外延物质沿着衬底晶向规则地排列，生长出外延层。
气相外延是由外延气体的气相质量传递和表面外延两个过程完成的。
表面外延过程实质上包含了吸附、分解、迁移、解吸这几个环节，表面过程表明外延生长是横向进行的，是在衬底台阶的结点位置发生的。
因此，在将硅锭切片制备外延衬底时，一般硅片都应偏离主晶面一个小角度。
目的是为了得到原子层台阶和结点位置，以利于表面外延生长。
7. 外延层杂质的分布主要受哪几种因素影响？答：杂质掺杂效率不仅依赖于外延温度、生长速率、气流中掺杂剂的摩尔分数、反应室的几何形状等因素，还依赖于掺杂剂自身的特性。
另外，影响掺杂效率的因素还有衬底的取向和外延层结晶质量。
硅的气相外延工艺中，在外延过程中，衬底和外延层之间存在杂质交换现象，即会出现杂质的再分布现象，主要有自掺杂效应和互扩散效应两种现象引起。
集成电路基础知识单选题100道及答案解析
集成电路基础知识单选题100道及答案解析1. 集成电路的英文缩写是（）A. ICB. CPUC. PCBD. ROM答案：A解析：集成电路的英文是Integrated Circuit，缩写为IC。
2. 以下不属于集成电路制造工艺的是（）A. 光刻B. 蚀刻C. 焊接D. 扩散答案：C解析：焊接通常不是集成电路制造的核心工艺，光刻、蚀刻和扩散是常见的制造工艺。
3. 集成电路中，负责存储数据的基本单元是（）A. 晶体管B. 电容器C. 电阻器D. 触发器答案：D解析：触发器是集成电路中用于存储数据的基本单元。
4. 以下哪种材料常用于集成电路的制造（）A. 玻璃B. 塑料C. 硅D. 铝答案：C解析：硅是集成电路制造中最常用的半导体材料。
5. 集成电路的发展遵循（）定律A. 摩尔B. 牛顿C. 爱因斯坦D. 法拉第答案：A解析：集成电路的发展遵循摩尔定律。
6. 集成电路封装的主要作用不包括（）A. 保护芯片B. 散热C. 提高性能D. 便于连接答案：C解析：封装主要是保护、散热和便于连接，一般不能直接提高芯片的性能。
7. 在数字集成电路中，逻辑门是由（）组成的A. 二极管B. 三极管C. 场效应管D. 晶闸管答案：C解析：场效应管常用于数字集成电路中构成逻辑门。
8. 以下哪种集成电路属于模拟集成电路（）A. 微处理器B. 计数器C. 放大器D. 编码器答案：C解析：放大器属于模拟集成电路，其他选项通常属于数字集成电路。
9. 集成电路的集成度是指（）A. 芯片面积B. 晶体管数量C. 工作频率D. 功耗答案：B解析：集成度通常指芯片上晶体管的数量。
10. 集成电路设计中，常用的硬件描述语言有（）A. C 语言B. Java 语言C. VerilogD. Python 语言答案：C解析：Verilog 是集成电路设计中常用的硬件描述语言。
11. 以下关于集成电路测试的说法错误的是（）A. 可以检测芯片的功能是否正常B. 可以提高芯片的可靠性C. 测试只在生产完成后进行D. 有助于筛选出不合格的芯片答案：C解析：集成电路测试在生产过程的多个阶段都可能进行，不只是在生产完成后。
集成电路制造技术-原理与技术试题库
集成电路制造技术-原理与技术试题库填空题（30分=1分*30）(只是答案)半导体级硅、 GSG 、电子级硅。
CZ法、区熔法、硅锭、wafer 、硅、锗、单晶生长、整型、切片、磨片倒角、刻蚀、（抛光）、清洗、检查和包装。
100 、110 和111 。
融化了的半导体级硅液体、有正确晶向的、被掺杂成p型或n型、实现均匀掺杂的同时并且复制仔晶的结构，得到合适的硅锭直径并且限制杂质引入到硅中、拉伸速率、晶体旋转速率。
去掉两端、径向研磨、硅片定位边和定位槽。
制备工业硅、生长硅单晶、提纯）。
卧式炉、立式炉、快速热处理炉。
干氧氧化、湿氧氧化、水汽氧化。
工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气系统、温控系统。
局部氧化LOCOS、浅槽隔离STI。
掺杂阻挡、表面钝化、场氧化层和金属层间介质。
热生长、淀积、薄膜。
石英工艺腔、加热器、石英舟。
APCVD常压化学气相淀积、LPCVD低压化学气相淀积、PECVD等离子体增强化学气相淀积。
晶核形成、聚焦成束、汇聚成膜。
同质外延、异质外延。
膜应力、电短路、诱生电荷。
导电率、高黏附性、淀积、平坦化、可靠性、抗腐蚀性、应力等。
CMP设备、电机电流终点检测、光学终点检测。
平滑、部分平坦化、局部平坦化、全局平坦化。
磨料、压力。
使硅片表面和石英掩膜版对准并聚焦，包括图形）；（通过对光刻胶曝光，把高分辨率的投影掩膜版上图形复制到硅片上）；（在单位时间内生产出足够多的符合产品质量规格的硅片）。
化学作用、物理作用、化学作用与物理作用混合。
介质、金属。
在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形。
被刻蚀图形的侧壁形状、各向同性、各向异性。
气相、液相、固相扩散。
间隙式扩散机制、替代式扩散机制、激活杂质后。
一种物质在另一种物质中的运动、一种材料的浓度必须高于另一种材料的浓度）和（系统内必须有足够的能量使高浓度的材料进入或通过另一种材料。
热扩散、离子注入。
预淀积、推进、激活。
时间、温度。
扩散区、光刻区、刻蚀区、注入区、薄膜区、抛光区。
集成电路制造技术原理与工艺[王蔚][习题答案
第一单元 习题1. 以直拉法拉制掺硼硅锭，切割后获硅片，在晶锭顶端切下的硅片，硼浓度为3×1015atoms/cm 3。
当熔料的90％已拉出，剩下10％开始生长时，所对应的晶锭上的该位置处切下的硅片，硼浓度是多少已知：C 0B =3×1015atoms/cm 3；k B =；由ls C C k =得： 硅熔料中硼的初始浓度为：C 0l = C 0B / k B =3×1015/≈×1015 atoms/cm 3；由10)1(--=k s X kC C 得：剩下10％熔料时，此处晶锭的硼浓度为：C 90%B = k BC 0l × kB-1= ××1015×0.10.35-1=×10162. 硅熔料含％原子百分比的磷，假定溶液总是均匀的，计算当晶体拉出10％，50％，90％时的掺杂浓度。
已知：硅晶体原子密度为：5×1022 atoms/cm 3, 含％原子百分比的磷, 熔料中磷浓度为：C 0p =5×1022 ×％=5×1019atoms/cm 3；k p =由10)1(--=k s X kC C 计算得：C 10%p = k P C 0p × kp-1=×5×1019× atoms/cm 3C 50%p =×5×1019× atoms/cm 3C 90%p =×5×1019× atoms/cm 33. 比较硅单晶锭CZ 、MCZ 和FZ 三种生长方法的优缺点答：CZ 法工艺成熟可拉制大直径硅锭，但受坩锅熔融带来的O 等杂质浓度高，存在一定杂质分布，因此，相对于MCZ 和FZ 法，生长的硅锭质量不高。
当前仍是生产大直径硅锭的主要方法。
MCZ 法是在CZ 技术基础上发展起来的，生长的单晶硅质量更好，能得到均匀、低氧的大直径硅锭。
《集成电路先进制造工艺技术》中级课程试题
《集成电路先进制造工艺技术》中级课程试题一、单选题（每题2分，共计30分）1、研发某一技术节点的技术，比如:研发65纳米逻辑工艺，哪一项不是研发阶段的内容?（）A.撰写DRB.设计绘制TKLayoutC.设计工艺流程FIOWD.定期随机抽取产品测试可靠性能，2、下列工艺优化（ProCeSSUming）的相关工作中哪一项不属于PIE（工艺整合工程师）的工作职责?（）A.制订工艺流程（flow）;B.制订工艺测量的标准值；C.修改设备中工艺菜单（recipe）的具体内容;（而？"）D.分析工艺对应的电学参数（WAT）不达标的原因。
3、下列关于器件特性的说法哪一项是错误的?（）A.SRAM是挥发性存储器，DRAM是非挥发性存储器；B.3DNAND也是FLASH闪存；C.DRAM基本存储单元是ITIC,其中T指晶体管，C指电容器；D.栅长越大，器件关态漏电越小;栅宽越小，器件开态电流越小。
4^浅槽隔离，SPshallowtrenchisolation,简称ST1。
引入它的目的是实现（）A.有源区之间的绝缘隔离，B.有源区之间的连接C.无源区之间的导通D.无源区之间的隔离5、下列哪一项不属于CVD工艺（）A.等离子化学气相淀积B.低压化学气相淀积C.电子束蒸发（D.常压化学气相淀积6、折射率是表征CVD薄膜的重要参数，对于氧化硅（1）、氮化硅（2）、多晶硅（3）折射率从大到小的排序是（）A.l>2、3B.3、2、1（正确答案）C.2、1、3D.3、1、27、以下选项那些不属于干法刻蚀的优点（）A各向同性—）B良好的关键尺寸（CD）控制C最小的光刻胶脱落或粘附问题D良好的片内、片间、批次间的刻蚀均匀性8、原子层刻蚀（ALE）能实现高精度其最为重要的特征为（）A.高刻蚀速率；B.刻蚀过程具有自限制的特点SC.高选择比；D.各向同性9、热氧化过程中消耗的硅占SiCh总体积的多少?（）A.20%B.30%C.44%D.60%10、为什么要开发快速热退火工艺？（）A.形成浅结B.消除悬挂键Ik简磁控溅射利用了什么原理提高了等离子体的电离效率?（）A磁场中的洛伦磁力;（I-）B.电场中电场力；C.磁场对电流的安培力；D.电荷之间静电作用力；12、SCl主要功能是去除颗粒，由哪些化学药液配比成的?（）A.NH4OH,H2O2;B.NH4OH,H2O2,H2O; ）C.HCL,H2O2,H2O;D.H2SO4,H2O213、SC2主要功能是去金属离子沾污，由哪些化学药液配比成的?（）A.HF,H2O;B.NH4OH,H2O2,H2O;C.HCL,H2O2,H2O;D.H2SO4,H2O214、SPM主要功能是去有机物沾污，由哪些化学药液配比成的?（）A.HF,H2O;B.NH4OH,H2O2,H2O;C:HCL,H2O2,H2O;D.H2SO4,H2O2;15、HF处理过的晶圆表面表现出什么性质?（）A.极性，疏水;B.极性，亲水；C.稳定，疏水；D.稳定，亲水二、多选题（每题3分，共计54分）1、DRC验证文件中常用基本运算有哪些?（）A.AND;B.OR;C.NOT;D.INSIDE;E.OUTSIDE;F.INTERACT;G.SIZE;H.AREA;I.DENSITY2、以下选项哪些属于湿法刻蚀优点（）A.选择性高;B.重复性好;C.生产效率高D.设备简单、成本低3、按原理来分类，干法刻蚀可以分为（）A溅射与离子铳刻蚀;正硝仁与B.等离子刻蚀；C.反应离子刻蚀;D.聚焦离子束刻蚀4、下列哪些金属图形化用到干法刻蚀（）A.Al;（i1:确答案）B.Ti;C.Cu;D.Ta5、AI刻蚀机内要完成哪些重要步骤（）A.A1刻蚀图形化；B.干法去胶;（：由C.晶圆冷却；D.聚合物清洗6、在大规模IC的生产过程中，溅射法与蒸镀法相比有什么优点？（）A.能在更大圆片上沉积厚度均匀的薄膜；B.能淀积合金材料薄膜，所形成的膜更接近原材料的成分比；C.淀积高熔点和难熔金属薄膜；D.能在溅射金属前，清除硅片表面沾污和自然氧化层（CIUSterTool）7、在先进制程中铜互连为什么可以代替铝互连？（）A铜的电阻率比铝低;正确答案）B.大马士结构和化学机械研磨技术的发明；C电镀可以实现小尺寸图形铜的填充;（正确冷案）D.Ta/TaN阻挡层很好的解决了铜扩散和黏附性的问题8、为什么要用化学机械平坦化?（）A.光刻工艺的保障（7和B.金属互连的需求F-）C.形成关键的器件结构9、CMP研磨部分重要的工艺材料分别是哪几种？（）A.抛光液W）B.抛光垫C.滚刷D.抛光垫修整器10、CMP工艺后芯片内均匀性缺陷有哪些？（）A.碟型凹陷dishingB.侵蚀型凹陷erosionC.划伤D,颗粒（正确答案）Ik工艺监控主要分为哪些方面？（）A.量测；B.检测IC.分析D.切片12、光学法膜厚量测的薄膜需要具备什么特点（）A.透明B.半透明C.不透明D.透光差13、以下哪种方法可以测试薄膜的应力?（）A.曲率法B.悬臂梁法案）C干涉法（C至）D.衍射法14、集成电路电学测试主要包含以下哪些环节?（）A.CP测试B.FT测试C.WAT测试D.SIMS测试15、以下属于WAT测试主要参数的是什么？（）A.击穿电压（正确答案）B.导通电流C.膜厚检测D.颗粒和缺陷检测16、WAT测试机台主要包含哪儿部分？（）A.IV测试仪表（；；％）B.CV测试仪表IC.开关矩阵（正确答案）D.探针台17、数字标准单元库包含哪些基本单元？（）A组合逻辑单元;（1确?孑案）B.时序逻辑单元;川―1C.特殊单元（IH18、数字标准单元库中基准单元INVXl的设计要点是什么？（）A.足够大的噪声容限；B.均衡的上升/下降时间;）C均衡的上升/下降延时C*案）三、简答题（每题4分，共计16分）1、研发某一技术节点的技术，比如:研发65纳米逻辑工艺，主要包括哪些研发内容?2、光刻的质量会直接影响到产品的性能，成品率和可靠性。