Surfscan表面污染分析仪
Surfscan表面污染分析儀 (Surfscan4500)
Hardware:
(1) Wafer-handling system
(2) Laser-based scanning system
(3) Printer
機台用途: 掃描矽晶片上污染粒子分佈狀況
Partical range: 1.52um² to 4.76 um² up
Gas requirement: N2
Taiwan agent: 國芯科技
Contact info. 鄭春國先生 / 0926436041
Update: 08 / 10 / 2005
Description of Surfscan
Substrate: Si wafer Substrate size: 6吋及四吋矽晶片
4-point prob.四點探針
Hardware:
(1) 4-point prob.四點探針
(2) Printer
機台用途: 測量矽晶片電阻值
功能描述: 五點自動量測及單點手動量測
Gas requirement:
None
Measurment range: 10E-3 to 80K Ω∕cm²
Update: 08 / 10 / 2005
Description of 4-point prob.四點探針 Substrate: Si wafer
Substrate Type: P and N type wafer
Substrate Size: > 5cm x 5cm
表面洁净度检测方法
表面洁净度检测方法
表面洁净度检测方法：
① 表面洁净度检测涵盖多个行业如半导体制造医疗器械食品加工等至关重要；
① 目视检查作为最直观方式依赖经验丰富的检验员在特定光照条件下观察记录瑕疵点数量大小分布；
② 尘埃粒子计数器采用激光散射原理采集空气中颗粒物浓度反映静态或动态环境下清洁程度；
③ 接触角测量仪通过滴定法分析液滴在固体表面形态变化计算得出润湿性接触角大小间接评价亲疏水性；
④ 荧光染色技术利用荧光染料对油脂蛋白质等有机物敏感特性在紫外光照射下发光定位污染区域；
⑤ 擦拭试验将专用拭纸擦拭待测面随后放入溶剂中超声清洗再通过重量法或光谱法检测残留物含量；
⑥ 二次离子质谱SIMS技术凭借高灵敏度可探测单层原子级别污染适用于超净车间内精密器件检测；
⑦ X射线光电子能谱XPS分析表面元素组成及化学态信息揭示氧化腐蚀情况；
⑧ 原子力显微镜AFM提供三维形貌图分辨率达纳米级适合纳米尺度表面粗糙度及薄膜厚度测量；
⑨ 拉曼光谱法借助拉曼散射效应识别有机无机污染物分子结构特征；
⑩ 离子发射光谱IES用于半导体晶圆表面金属离子浓度定量分析确保器件可靠性；
⑪ 环境扫描电子显微镜ESEM结合传统SEM与环境控制功能允许在非真空条件下观察含水样品；
⑫ 随着新材料新工艺不断涌现未来还将有更多创新技术应用于表面洁净度检测领域以满足更高标准需求。
氚表面污染监测
第３ｌ卷第１２期 ２０１１年ｌ２月 核电子学与探测技术
Ｎｕｃｌｅａｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ＆Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｖｏｌ＿３ｌ
Ｄｅｅ Ｎｏ．１２
２０１１
氚表面污染监测
王海军 ，易磊新
（１．海军医学研究所，上海２００４３３；２．解放军９２７３０部队，三亚５７２０１６）
摘要：研究应用擦拭法间接监测氚表面污染，确定了最佳方案为脱脂纱布配合饱和柠檬酸，并对润 湿剂量、擦拭压力、擦拭次数等的影响进行了深入研究。 关键词：氚；表面污染；间接监测；擦拭法 中图分类号：ＴＬ ８ 文献标识码：Ａ 文章编号：０２５８－０９３４（２０１１）１２—１３６３－０３
自１９３９年发现氚的放射性以来，氚在许多 科学和工业领域获得了广泛的应用，包括核电、
核武器、核技术应用等。而在应用中不可避免
地会造成氚的放射性污染，包括表面污染。由 于氚所发射的Ｂ射线能量很低，只有１８．６
ｋｅＶ，因而直接监测其表面污染很困难，并且许
多场所同时存在ｐ、 等其他辐射，对直接监测 的干扰很大，此时更好的选择是间接监测。本 文即研究应用擦拭法间接监测氚表面污染，确
定其测量方法和相关参数。
１ 实验器材
１．１表面材料 选取常见的３种表面材料进行实验，包括： 不锈钢、铁和木质桌面，各制成１０ ｃｍ ｘ １０ ｃｍ
的方块。 １．２擦拭材料 根据文献报道 ¨以及事故处理经验 ］，初
步选定擦拭材料为：
（１）拭子：脱脂纱布、超细过氯乙烯滤布 （ＬＸＧＬ一１５）和膨体聚苯乙烯，各剪成直径５
ｃｍ的圆片；
收稿日期：２０１１—０８—０５ 作者简介：王海军（１９８１～），男，江苏沭阳人，助理研 究员，本科，主要从事核辐射监测与防护研究。 （２）润湿剂：饱和柠檬酸、甘油乙醇混合液
（体积比为１：３）和甘油。
ｌ－３氚溶液
［５一 Ｈ］尿嘧啶核苷（ＵＲ），中国科学院上
海核技术开发公司制备。取２ Ｌ原溶液，用蒸
馏水稀释至２００ ｍｌ，放置于软橡皮塞封口的玻
大型科学仪器分类标准及编码
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010000分析仪器
010100电子光学仪器
010101透射电镜
010102扫描电镜
010103电子探针
010104电子能谱仪
010199其他
010200质谱仪器
010201有机质谱仪
010202无机质谱仪
010203同位素质谱仪
010204离子探针
010299其他
010300 X射线仪器
010301 X射线衍射仪
010302 X射线荧光光谱仪
010303 X射线能谱仪
010399其他
010400光谱仪器
010401紫外可见分光光度计
010402荧光分光光度计
010403原子吸收分光光度计
010404原子荧光光谱仪
010405光电直读光谱仪
010406激光光谱仪
010407光谱成像仪
010408光声光谱仪
010409红外光谱仪
010410拉曼光谱仪
010411圆二色光谱仪
010412旋光分析仪
010499其他
010500色谱仪器 3、代码附件
第 2 页 010501气相色谱仪
010502液相色谱仪
010503离子色谱仪
010504薄层扫描色谱仪
010505凝胶色谱仪
010506超临界色谱仪
010507电泳仪
010599其他
010600 波谱仪器
010601核磁共振波谱仪
010602顺磁共振波谱仪
010699其他
010700电化学仪器
010701电化学传感器
HACH 哈希pHORP仪器操作手册
GLI－P53－C
仪器操作手册
P53型pH/ORP 分析仪
© 哈希公司，版权所有．
1
当使用Adobe的免费Acrobat浏览器阅读时，可
从GLI的网址获得该仪器操作手册和
其他GLI仪器手册。浏览器可以通过GLI网站链
接到Adobe或访问Adobe网站
2重要安全信息
该分析仪符合下列安全标准：
FMRC 分类号码 3600、3611和3810（美国） CSA C22.2 编号142和C22.2 编号213（加拿大） EN 61010-1（欧共体）
请阅读和遵守下列各项： • 打开分析仪机箱后，用户可能会触摸到机箱内的TB2和TB3电源电压。这会导致出现危险。在进入分
析仪的这个区域前，务必断开线路电源。然而，分析仪壳门组件仅维持低电压，操作时是安全的。
• 接线或修理应由专业人员来完成，并且只对断电的分析仪进行操作。 • 一旦分析仪安全出现问题，立即将分析仪断电，以防止任何无意操作。例如，当出现下列情况时可能
为非安全状态：
1）分析仪出现明显的损坏 2）分析仪无法正常运行或提供指定的测量 3）分析仪在温度超过70℃的环境中存放了较长时间。
• 该分析仪必须按照当地相关的规范由专业人员来安装，指导说明包括在该操作指导手册中。遵守该分
析仪的技术说明书和输入等级。如果不能确定主电源线中的哪一根是零线，使用双刀开关给分析仪断
电。
有用的标识符
除了安装和操作方面的信息，该指导手册还包括与用户安全有关的警告，与可能的仪器故障有关的小心，
以及与重要的和有用的操作指导有关的注意。
小心：
小心的标识如上所示，它提醒用户仪器可能出现故障或损坏
注意：注意标识如左所示，它告诫用户重要的操作信息
3
设备符号定义
该符号是指小心，并提醒用户可能的危险或仪器故障。在运行前参考该手册。
该符号表明这是一个保护接地接线端子，并提醒用户将该接线端子接地。
该符号是指此处为交流电设置，并提醒用户注意。
卫生监督机构建设指导意见
卫生监督机构建设指导意见
卫生部关于印发《卫生监督机构建设指导意见》的通知
卫监督发[2005]76号
卫生部关于印发《卫生监督机构建设指导意见》的通知 各省、自治区、直辖市卫生厅局～新疆生产建设兵团卫生局～卫生部卫生监督中心、中国疾病预防控制中心:
现将《卫生监督机构建设指导意见》印发给你们。请参照执行。
二??五年三月三日
卫生监督机构建设指导意见
为贯彻落实中共中央、国务院关于加强公共卫生体系建设的精神～指导和规范全国各级卫生监督机构的建设工作～根据《关于卫生监督体系建设的若干规定》,卫生部令第39号,～特提出以下意见。
一、建设目标
以“三个代表”重要思想和科学发展观为指导～以维护社会卫生秩序、保护人民群众健康权益为目的～以进一步转变职能、加强依法行政、强化政府卫生监管、建立健全卫生监督体系为目标～以整合资源、加大投入、改善条件为手段～以基础设施建设和执法装备建设为重点～全面加强卫生监督机构的能力建设～提高各级卫生监督机构的综合执法能力～建立职责明确、行为规范、执法有力、保障到位的卫生监督体系～确保完成中央提出的用3年时间基本建成覆盖城乡、功能完善的卫生监督体系的目标。
二、建设原则
,一,总体规划、统筹兼顾。
按照区域规划的总体要求～遵循国家确定的基本标准～整合现有卫生资源～加大投入～合理配置～避免重复建设。
,二,分级负责、加强管理。
卫生监督机构建设要在当地政府的统一领导下进行～各级卫生行政部门要加强对卫生监督机构建设的具体领导～分级负责。建设过程中要严格执行国家基本建设管理的有关规定～加强管理～按期完成建设目标。
,三,因地制宜、分类指导。
卫生监督机构的建设工作要与区域内国民经济和社会发展水平相适应～与人民群众的健康需求相协调～根据本地区卫生监督机构的实际情况和监督工作的重点～明确建设规划的重点～切实提高卫生监督执法能力。
三、建设要求
nanoScan3 - EtherNet IP 安全区域雷射掃描器 操作说明书
nanoScan3 – EtherNet/IP™
安全區域雷射掃描器所述產品
nanoScan3 – EtherNet/IP™
製造商
SICK AG
Erwin-Sick-Str. 1
79183 Waldkirch
德國
法律聲明
本文件受版權保護。其中涉及的一切權利歸 SICK AG 公司所有。僅允許在版權法的
範圍內複製本文件的全部或部分內容。未經 SICK AG 公司的明確書面許可，禁止對
該文件進行修改、刪節或翻譯。
文件所提及的商標為其各自擁有者所有。
© SICK AG.版权所有。
•ODVA是ODVA, Inc.的商標。
•EtherNet/IP是ODVA, Inc.的商標。
•CIP是ODVA, Inc.的商標。
•CIP Safety是ODVA, Inc.的商標。
原始文件本文件是 SICK AG 原始文件。
2操作說明 | nanoScan3 – EtherNet/IP™8027923/1LJ8/2023-08-14 | SICK如有更改，恕不另行通知目錄
1關於本文件.............................................................................8
1.1適用範圍..................................................................................................8
1.2本操作說明的目標群體..........................................................................8
1.3更多資訊..................................................................................................8
中华人民共和国计量规程规范(截止到2015年12月17日)
序号标准号/ISBN号中文标准名称价格
1JJF 1534-2015数据网络性能测试仪校准规范48
2JJF 1538-2015安装式交流电能表制造计量器具许可考核必备27
3JJF 1528-2015飞行时间质谱仪校准规范21
4JJG 4-2015钢卷尺21
5JJF 1261.17-2015复印机、打印机和传真机能源效率标识计量检39
6JJF 1261.3-2015家用电磁灶能源效率标识计量检测规则30
7JJG 2016-2015黏度计量器具16
8JJG 1117-2015液压式力标准机18
9JJG 2054-2015振动计量器具18
10JJG 846-2015粉尘浓度测量仪24
11JJF 1525-2015氙弧灯人工气候老化试验装置辐射照度参数校30
12JJF 1531-2015傅立叶变换质谱仪校准规范21
13JJG 1116-2015叠加式力标准机21
14JJF 1261.18-2015交流接触器能源效率标识计量检测规则24
15JJF 1524-2015液化天然气加气机型式评价大纲36
16JJF 1523-2015一氧化碳、二氧化碳红外线气体分析器型式评48
17JJF 1532-2015基带衰落模拟器校准规范36
18JJF 1530-2015凝胶成像系统校准规范18
19JJF 1529-2015细菌内毒素分析仪校准规范18
20JJF 1540-2015在线绕组温升测试仪校准规范21
21JJF 1527-2015聚合酶链反应分析仪校准规范24
22JJG 1115-2015局部放电校准器24
23JJF 1533-2015白噪声信号发生器校准规范27
24JJG 527-2015固定式机动车雷达测速仪18
25JJG 1114-2015液化天然气加气机24
26JJG 528-2015移动式机动车雷达测速仪18
27JJF 1526-2015石油产品颜色分析仪及比色板校准规范27
28JJF 1539-2015硅酸根分析仪校准规范21
铀表面粘污的红外和拉曼光谱分析
第４２卷增刊
２００８年９月 原子能科学技术
Ａｔｏｍｉｃ Ｅｎｅｒｇｙ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｖｏ１．４２，Ｓｕｐｐ１．
Ｓｅｐ．２００８
铀表面粘污的红外和拉曼光谱分析
张广丰，杨维才，吕俊波，王明栋
（中国２１２程物理研究院，四川绵阳６２１９００）
摘要：机加工后的铀试件，表面不可避免地残留下影响铀试件腐蚀行为的冷却液粘污。本工作研究利用
红外光谱和拉曼光谱对铀试件表面的粘污情况进行表征。实验研究初步结果显示，红外光谱、拉曼光谱 能够定性地评估铀试件表面的粘污物和粘污程度，且观察到残余在铀表面的机加工冷却液分布不均匀。 关键词：铀试件；冷却液；红外光谱；拉曼光谱 中图分类号：０６５７．３ 文献标志码：Ａ 文章编号：１０００—６９３１（２００８）ＳＯ一００５３—０４
ＩＲ ａｎｄ Ｒａｍａｎ Ｓｐｅｃｔｒａ Ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎ ｏｆ Ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ
ｏｎ Ｕｒａｎｉｕｍ Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｆｔｅｒ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ
ＺＨＡＮＧ Ｇｕａｎｇ—ｆｅｎｇ，ＹＡＮＧ Ｗｅｉ—ｃａｉ，
（Ｃｈｉｎａ Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｐ．Ｏ． ＬＵ Ｊ ｕｎ—ｂｏ，ＷＡＮＧ Ｍｉｎｇ—ｄｏｎｇ
Ｂｏｘ ９１９—７１，Ｍｉａｎｙａｎｇ ６２１９００，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ ｒｅｓｉｄｕａｌ ｃｏｏｌａｎｔ ｏｎ ｔｈｅ ｓｕｒｆａｃｅ ｏｆ ｕｒａｎｉｕｍ ａｆｔｅｒ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ ｉＳ ｉｎｅｖｉｔａｂｌｅ
ａｎｄ ｉｔ ｗｉｌ１ ｂｅ ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ ｏｎ ｔｈｅ ｃｏｒｒｏｓｉｏｎ ｏｆ ｕｒａｎｉｕｍ．ＩＲ ａｎｄ Ｒａｍａｎ ｓｐｅｃｔｒａ ｗｅｒｅ ｕｓｅｄ ｔｏ
ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅ ｔｈｅ ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ ｏｎ ｔｈｅ ｕｒａｎｉｕｍ ｓｕｒｆａｃｅ ｉｎ ｔｈｉｓ ｓｔｕｄｙ．Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ
(重要)各种分析仪器及用途
分类编号 仪器名称 国别型号 服务功能及应用范围
3.1_01 X射线衍射仪 日本DMAX-RC 固体材料、晶体结构研究、非晶材料RDF研究，φ扫描、薄膜参量分析
4.1_01 付里叶红外光谱仪 美国尼高力170SX 有机、无机、半导体材料、非金属中的O、C、N分析，外延层厚度
1.4_01 俄歇电子能谱仪 美国PH14300 测固体表面元素组成及横向、纵向分布及相对含量，适于金属、半导体材料表面玷污失效、变质等问题分析
2.1_02 色—质谱联用仪 英国VGMD800 液体进样、四极质谱检测、质量数2-800适用于毛细管气相色谱样品
2.2_01 二次离子质谱仪 法国IMS4f 对固体材料中的元素和同位素微区分布、深度分布进行测定
4.5_02 ICP-AES 瑞士ARL3580 可测高纯试剂，金属、合金、非金属、建材、陶瓷、地质、化工、生物、植物、考古样品、电子材料成份分析、定量分析，元素分析、痕量元素
1.2_02 扫描电子显微镜 英国剑桥S-200 用于电子材料、冶金、生物、半导体元件等领域材料形貌、微区分析、失效分析、图象处理
4.3_02 原子吸收分光光度计 美国PE3030B 锡铅焊料、铝箔、Fe２O３、SiO２、铸铁铜等金属材料中的杂质分析，生物、医药、环境样品的分析
3.3_01 X射线光电子能谱仪 美国PH1-5300 表面元素组成、相对含量、元素材料中的化学价态、随深度变化情况，对催化、腐蚀表面改性、薄膜等均可进行分析研究
3.2_02 X射线荧光光谱仪 荷兰飞利浦PW1404 适用于5-92号元素定性定量分析
8.2_03 氨基酸分析仪二台 美国贝克曼6300 氨基酸的含量
5.2_17 液相色谱(三台) 美国光谱物理公司 各种物质含量的测定
4.1_10 红外 日本岛津 有机与无机物测量
5.1_29 气相色谱 上分103 空气中有机物质
三丰 Surftest SJ-210 面粗糙度测量仪系列说明书
L-3Surftest能够出色适用在检测室、加工车间、生产现场等场合
三丰公司秉承持续创新向客户提供最新技术体验的理念。因此保留对产品的技术规格进行变更的权利。规格如有变更，恕不另行通知。Surftest SJ-210178系列 — 便携式表面粗糙度测量仪
规格
参见 Surftest SJ-210 系列(C15017) 产品样本型号标准驱动器型退避驱动器型横向驱动器型SJ-210(0.75mN 型)SJ-210(4mN 型)SJ-210(0.75mN 型)SJ-210(4mN 型)SJ-210(0.75mN 型)SJ-210(4mN 型)货号mm178-560-01178-560-02178-562-01178-562-02178-564-01178-564-02测量范围X 轴16.0 mm5.6 mm检出器范围360 µm(-200 µm - +160 µm) 范围/分辨力360 µm / 0.02 µm, 100 µm / 0.006 µm, 25 µm / 0.002 µm测量速度测量: 0.25mm/s, 0.5mm/s, 0.75mm/s 返回: 1mm/s测力/触针尖端形状取决于货号: 0.75mN/60º, 2µmR (代码号末尾"-01")4mN/90º, 5µmR (代码号末尾"-02")导头压力400mN 以下适用标准JIS1982/ JIS1994/ JIS2001/ ISO1997/ ANSI/ VDA评价轮廓原始轮廓, 粗糙度曲线, DF 曲线, 粗糙度 motif 曲线评价参数Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Rsk, Rku, Rc, RPc, Rsm, Rz1max, S, HSC, RzJIS, Rppi, R∆a, R∆q,Rlr, Rmr, Rmr(c), Rc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, Rpm, tp, Htp, R, Rx, AR, 支持用户定义分析图表支持曲线／振幅分布曲线滤波高斯, 2CR75, PC75截至波长c0.08, 0.25, 0.8, 2.5 mms*52.5, 8 µm取样长度0.08, 0.25, 0.8, 2.5 mm取样数×1,×2,×3,×4,×5,×6,×7,×8,×9,×10,任意长度 (0.3 to16.0mm: 0.01mm 间隔)×1,×2,×3,×4,×5,×6,×7,×8,×9,×10,任意长度 (0.3 to 5.6mm: 0.01mm 间隔)LCD尺寸规格36.7×48.9 mm显示语言16国语言 (日语, 英语, 德语, 法语, 意大利语, 西班牙语, 葡萄牙语, 荷兰语, 波兰语, 匈牙利语, 瑞典, 捷克语, 繁体中文, 简体中文,韩国, 土耳其)计算结果显示垂直显示: 1 段/3段/放大水平显示: 1 段/4 段/放大 (水平显示可左右切换)打印功能 *1测量条件 / 计算结果 / 每个取样长度的计算结果 / 评价曲线 / 负荷曲线 / 振幅分布曲线 / 环境设置项目外部I/O功能USB I/F, Digimatic输出, 打印机输出, RS-232C I/F, 脚踏开关 I/F