浅谈集成电路厂房洁净室暖通设计
谈电子厂房暖通空调的节能设计
谈电子厂房暖通空调的节能设计随着科技的发展，电子产品行业对于生产环境也提高了要求，特别对于厂房环境的空气洁净度要求更加严格。
电子厂房的暖通空调不仅能够保证空气环境，还需要节能效果，本文简单分析电子厂房中暖通空调的节能设计。
标签：电子厂房；暖通空调；节能随着我国科技的快速发展，电子产品行业在质量在性能上都得到了提高，对于生产环境的要求也就更加的严格，尤其是对于厂房环境的空气洁净要求更细微化。
在电子厂房的空调使用方面，应该既有保证空气环境的作用又兼顾节能，本文就电子厂房中暖通空调的节能设计做出简单的分析。
1 电子厂房空调设计时应注意的问题（1）洁净通风空调的设计。
工业厂房都对洁净度有一定的要求，需要设计安装通风空调，在设计中要根据工艺的洁净度要求来设计整体方式，首先用注意厂房是否是单向的气流，并且选择适当的气流方向，选择适当的空气过滤器，注意过滤器的使用寿命和阻力损失。
其次要关注空调系统中各个不同区域的压差设定，这关系到整个系统能否正常的运行；（2）车间内的空调设计。
在车间内的空调设计具有灵活性，除了设置风管机来送风，还可以在厂房屋顶结构上火侧面来安装较大的空调机或通风空调。
这样不仅可以去除了风管的安置，还可以减少机组的占用面积，以节省空间的占用，使空调的设计安装更为灵活。
2 电子厂房暖通空调的节能设计2.1 暖通空调节能设计的重要意义一般电子厂房的高度都比较高，建筑面积也是比较大，在生产使用过程中不可避免的消耗了很大的能量。
为了保护自然环境，也为了节约工厂的成本，在电子厂房设计安装暖通空调时要特别注意节能减排的需求。
工厂厂房的设计节能，包括了厂房当中管道和容器的采暖设计、保温设计、通风设计和空调系统设计，采暖空调和通风空调的设计和选择对于系统节能具有重要的作用。
2.2 暖通空调的节能类型电子厂房暖通空调的节能设计主要有两种类型，首先是混风机组和高效过滤器的组合。
在电子厂房中采用这种方案时，安装高效的过滤装置，在厂房外部的空气被吸进到混风机时，混风机可以将新风和回风相混合，并且通过处理使混合空气可以达到规范的空气标准。
洁净厂房的暖通节能设计与施工技术要点分析探讨
洁净厂房的暖通节能设计与施工技术要点分析探讨摘要：洁净厂房的暖通节能设计和施工技术是建设高质量洁净厂房的关键要素之一。
本文从设计要点和施工技术两个方面对洁净厂房的暖通节能进行了探讨，旨在为相关工程提供一些有价值的参考。
关键词：洁净厂房；暖通节能；设计；施工技术引言随着科技的发展和人们对环境的日益关注，洁净厂房越来越受到人们的青睐。
而洁净厂房的暖通节能设计和施工技术，作为建设高品质洁净厂房的核心内容之一，更是备受关注。
本文旨在从设计要点和施工技术两个方面对洁净厂房的暖通节能进行探讨，以期为相关工程提供一些有价值的参考。
一、洁净厂房暖通节能设计与施工技术的重要性洁净厂房的暖通节能设计与施工技术是建设高品质洁净厂房的关键要素之一。
在洁净厂房中，暖通系统不仅影响着室内空气质量，还直接影响着能源的利用效率。
因此，如何进行科学合理的暖通节能设计与施工技术，已经成为建设高品质洁净厂房的必要条件之一。
首先，洁净厂房的暖通节能设计能够有效提高室内空气质量。
洁净厂房中存在着各种细微的微生物、颗粒物等污染物，这些污染物对于生产过程中的卫生和质量都有着严重的影响。
因此，洁净厂房的暖通系统需要考虑室内空气质量的因素，如空气流动方式、空气过滤等，以保证室内空气的纯净度和清洁度。
其次，洁净厂房的暖通节能设计能够有效降低能源的使用成本。
在洁净厂房中，暖通系统是能源的重要消耗者，因此，如何进行节能设计和施工技术，对于减少洁净厂房的能源使用成本具有重要的意义。
通过选用高效节能的设备、合理的空气流动方式、考虑隔热隔音、换气量及排风方式等设计要点，可以有效地降低能源的消耗，降低能源成本。
最后，洁净厂房的暖通节能设计与施工技术是未来洁净厂房发展的必然趋势。
随着科技的不断发展和环保意识的提高，人们对于洁净厂房的要求也越来越高，这就要求洁净厂房的暖通节能设计与施工技术必须与时俱进。
未来，随着节能技术的不断提升和应用，洁净厂房的暖通系统也将会更加科学、高效、环保。
洁净厂房的暖通节能设计分析
洁净厂房的暖通节能设计分析摘要：暖通系统设计的合理性直接影响到整个洁净厂房的使用，了解整个生产过程有利于洁净厂房的设计。
洁净的暖通系统是洁净车间的一个组成部分，可以有效地改善洁净车间的内部环境，保障产品质量以及人员的舒适度。
由于暖通系统的运行需要大量能源，有必要加强洁净设施暖通系统的节能设计。
关键词：洁净厂房；暖通；方法；节能设计前言我国承诺在2030年前，二氧化碳的排放不再增长，达到峰值之后再慢慢下降，节能减排已成为整个社会的共识。
但近年来，随着市场经济的迅速发展，洁净厂房的需求也快速增加，洁净厂房的暖通系统运行需要消耗大量能源，这与我国的碳达峰承诺想冲突。
因此，如何降低洁净厂房的运行能源消耗成为热点。
洁净厂房的暖通系统节能设计成为降低能源消耗，降低运行成本的关键。
一、暖通空调系统节能设计的必要性洁净厂房暖通系统的冷负荷与一般厂房或办公楼的冷负荷大不相同。
一般办公建筑空调系统的冷却负荷约为335-502 kJ/( m².h)，而洁净设施的暖通系统的冷负荷约为1300-2600kJ( m².h)，空调通风频率是办公建筑的好几倍。
调查显示，大型洁净工厂的暖通系统及相关制冷设备在运行期间消耗了工厂总能耗的60%左右，其正常运行需要极高的运营成本，这给企业带来了压力。
在洁净工厂建造空调系统时，往往关注点在安装和建造空调系统的成本，忽略了洁净空调系统在运行期间的能耗，从而导致运行成本增加。
因此，洁净空调系统的设计和建造必须以节能为基础，考虑到设备运行期间的能源消耗，并使用更多的节能元件或设备来降低整个系统的能源消耗系数。
二、暖通节能设计要点1.根据厂房的实际情况，合理的进行负荷计算厂房不同于民用建筑，计算厂房的冷负荷和热负荷很复杂。
我们应该根据相关的供暖和通风设计标准确定设计温度范围。
有些工厂暖通系统的设计温度必须在12 ℃到15 ℃之间，而有的工厂的空调温度可以设计在26 ℃到27 ℃之间。
电子厂房洁净室暖通施工
近年来，随着科技的进步，城市化进程的推进，暖通设备的需求越来越受到关注，而电子厂房若要又好又快地运行及工作，则务必需要保障其保湿度与温度需求，基于此目标，对暖通施工质量控制的进一步加强则是必要前提与基础。
然而在实际施工过程之中，由于一些施工弊端的存在，会影响暖通施工效果，从而对电子厂房洁净室暖通施工水准的提高起到制约作用。
所以，必须要严格控制各个施工环节质量，推动施工任务圆满结束，切实保证洁净室的温度与湿度要求，确保暖通工程的质量。
1、暖通施工技术概述1．1技术组织(1)依照图纸，详细考察，保证每个密集、交叉地方例如管线、风道等交会之处不因空间而致使施工过程中出现故障问题;(2)工程验收工作务必要及时做到位;(3)关键部位在施工过程中要密切加以关注，松动、错接、渗漏等等问题要尽可能不出现;(4)在施工时务必要加强产品的保护，对于暖通产业必须要保护好，避免出现由于施工时人员嘈杂而致使暖通设备遭到损坏的情况出现;(5)准备调试工作开始之前。
务必要做进行再三检查，保证其质量。
1．2主要施工方法在暖通施工时，也许会存在和其它工种一同作业的情况，故此，要加强和其它工种直接的相互联系，协调作业，且依照当时情况具体问题具体分析，对施工顺序的安排做到灵活。
2、施工组织设计在施工开始前，要充分进行调查研究，依照施工现场的整体情形及暖通施工的各项需求，对施工组织设计进一步完善。
充分与施工图纸、工程要求展开详尽的考察。
处理好管线与风道相交叉的位置，确保顺利连接，对于交叉部分，要做到防止故障的发生障。
验收工作要渗透到整个施工过程中，防止出现渗漏问题。
成品与半成品的保护工作要在施工整个过程中加以重视，防止出现由于不细致施工而导致暖通设备被损坏的情况。
另外，对设备安装调试之前，要全面检查每一项设施，确保安装时的牢固可靠性，防止质量缺陷情况的出现。
最后，施工全过程中要切实加强和其它工种的相互配合，密切协调其交叉工作，从而提高暖通施工整体质量。
集成电路芯片厂暖通设计技术总结
集成电路芯片厂暖通设计技术总结摘要：本文结合工程设计实例，从集成电路芯片厂的一般排风系统、工艺排风系统、净化空调系统设计等方面对该类型项目通风空调专业的设计进行了总结。
关键词：排风系统；有害气体；净化空调；设计1一般排风系统一般排风主要是指动力站房（如冷冻站、锅炉房、废水处理站、化学品库等）排风。
1.1冷冻站排风冷冻站排风分全室通风和紧急排风两种。
全室通风主要用于站房内夏季通风降温，通风量可根据设备发热量、夏季室外气象参数和室内允许温度来确定。
紧急排风应根据制冷剂的有毒性等级和燃烧性等级确定，若制冷剂为可燃的或有毒的时，需要设置紧急排风。
一般按12次/h考虑，由于制冷剂相对密度一般大于0.75，则紧急排风口设于接近地面处，靠近冷冻机附近的位置，该排风系统与制冷剂监测报警系统连锁，当制冷剂发生泄漏时，报警系统报警，并自动启动紧急排风系统。
1.2锅炉房排风锅炉房排风系统设计应根据室内发热量来确定夏季全室排风量，并根据燃料的种类，确定事故通风量，一般不小于12次/h，该排风系统与可燃气体监测报警系统连锁，当可燃气体浓度超过允许值时，报警系统报警，并启动事故排风系统。
1.3废水处理站排风废水处理站排风主要保证室内通风良好，降低室内有害气体浓度，保证人身安全，排风量按照6次/h计算，为保证系统可靠性，应设置备用排风系统。
1.4化学品库排风化学品库一般储存可燃气体、氧化剂、有机溶剂、有毒气体、惰性气体等，储存量较大，危险性也很大，因此，必须设置通风系统，排风量按照6次/h 计算。
按照《采暖通风与空气调节设计规范》（GB50019-2003）规定，事故排风量应根据工艺设计所提供的资料通过计算确定，当工艺设计不能提供有关计算资料时，应按照每小时不小于房间全部容积的12次换气量确定。
设计时，应根据储存化学品的密度大小，来确定排风口的安装高度，当化学品密度大于空气密度时，应设置下排风口。
为保证系统可靠性，应设置备用排风系统。
高精度半导体厂房暖通空调系统浅析
高精度半导体厂房暖通空调系统浅析摘要：以建立一个半导体厂房 ISO Class 1级洁净室的经历和对有关标准的认识为基础，重点对高精度半导体厂房空调系统的构成进行了论述，并从送回风系统、排风系统、干盘管布置、空调自控、调试验证、气流组织等几个方面对其进行了详细的论述，以期为今后高精度半导体厂房的建造工作奠定一定的基础。
关键字：高精密半导体设备；一级无尘室；空气调节前言最近几年，伴随着半导体产业的迅速发展，制造工艺对房间的温度、湿度及洁净度的要求越来越高。
在某些半导体生产车间中，有温度精度要求士0.2 C、湿度精度要求士5%及洁净等级为Class1级的洁净房间，见表1。
按照ISO14644-1标准的标准，在第一类的控制下，颗粒从0.5微米降低到0.1微米。
为了保障生产区域内原材料、敏感设备和工艺等的温湿度需求，需要在降低能源消耗的前提下，进行高效可靠的温湿度调控。
1半导体芯片生产工艺流程概述从硅芯片到半导体元件的生产过程中，按照主要过程可以划分为前道过程和后道过程。
第一道工艺以在硅圆上制造 IC线路为终极目标。
文中所述的暖通风技术措施正是为了保证光刻过程的顺利实施而提出的。
要想达到高精密的半导体无尘室，就必须从通风系统中的干盘管布置、气流组织、房间压力梯度和空气调节自动控制等多个方面着手。
此外，还必须与其它学科密切合作，以达到对洁净度，温度，湿度等重要参数的有效控制。
2暖通设备规范2.1进风口和回风口其中， MAU+ DCC+ FFU三个单元构成了三个单元，它们各自承担着三个单元的工作： MAU，其工作原理是对空气中水分的有效控制；DCC为主导， FFU为主导，清洁度为主导。
温度，湿度，洁净度单独控制，能达到高精度的温度，湿度，温度，湿度的控制。
在充分了解清洁度需求的基础上，结合各项目实际运行工况，选择新型空气空气调/空气盘管/混合回路结构，独立控制温度和湿度，采用一次端恒速水泵+阀控制水流，实现对冷水循环温度和湿度的有效控制[1]。
关于电子厂房洁净室暖通施工分析
关于电子厂房洁净室暖通施工分析摘要：暖通施工主要分为三个部分：采暖、通风、空气调节。
而在电子厂房洁净室暖通施工时，为了进一步确保施工效果，第一要对施工组织方案设计加以重视，第二要做到切实加强空调水系统、净化空调系统施工的质量控制，且要掌握好焊接施工、管道试验、过滤器安全、洁净室施工等要素。
本文将结合笔者关工作经历，且基于电子厂房洁净室对暖通施工展开阐述，希望对于施工任务的顺利完成，以及进一步提升洁净室工程质量给与一定的参考作用。
关键词：电子厂房；洁净室；暖通施工分析随着建筑行业快速发展，对于暖通施工技术的要求也随之提高。
电子厂房投入使用后，想要满足更高要求的建筑施工目标，就要对环境内的温湿度控制在范围内，已达到提升电子厂房清洁室内应用效果。
进行施工建设阶段，考虑到暖通施工技术可能出现应用不到位情况，严重影响暖通施工应用实际效果。
因此在施工建设期间，需要将施工建设各个环节严格做好把控措施，严格按照电子厂房暖通施工要求进行，有利于提升电子厂房暖通温湿度、通风的效果，也会增强洁净室实际应用价值。
1暖通施工技术概述1.1技术准备根据电子厂房清洁室施工图纸设计要求，需做好对施工场地的考察与研究，由于暖通施工阶段常常会应用到诸多管线、风道口设置，如果交叉汇集之处未能妥善处理，在后期的应用阶段常常会导致故障问题产生。
还有就是针对一些施工建设的关键环节，建材衔接往往会出现渗漏、松动问题需要及时处理，在此期间还需要做好对相应材料的维护，施工现场常常会因为技术应用不当而导致后期应用出现质量问题，需要企业单位着重加强。
此外针对安装结束之后的调试工作，需要做好质量、安全的检验，确保符合应用要求[1]。
1.2技术组织（1）事先依照图纸，进行详细考察，保证每个密集、交叉地方例如管线、管道、风道等交会之处不因空间而致使施工过程中出现故障问题；（2）工程各个环节验收工作务务必及时做到位且要保证其真实性；（3）关键部位在施工过程中要密切加以关注，松动、错接、渗漏等等问题要尽可能减低出现频率，最好做到不要出现此类现象；（4）在施工时务必要加强对产品的保护，对于暖通产业必须要保护好，避免出现由于施工时人员嘈杂而致使暖通设备遭到损坏的情况出现；（5）准备调试工作开始之前。
关于电子厂房洁净室暖通施工分析
关于电子厂房洁净室暖通施工分析【摘要】改革开放以来，我国经济不断发展，城市化进程也不断加快，暖通施工逐渐走向人们的生活。
电子厂房洁净室要想高效工作，就必须保证暖通施工作业的质量。
因此本文基于电子厂房洁净室对暖通施工展开阐述，希望对于施工任务的顺利完成，以及进一步提升洁净室工程质量给予一定的参考作用。
【关键词】电子厂房；洁净室；暖通施工；过滤器暖通施工包括采暖、通风、空气调节这三个方面。
采暖就是利用散热器等给室内提供热量使室内温度比室外高；通风就是交换室内外空气，使室内空气保持洁净；而空调就是对温度的温度、湿度、洁净度等进行调节。
一、暖通施工技术概述1.施工组织设计在施工开始前，要充分进行调查研究，依照施工现场的整体情形及暖通施工的各项需求，对施工组织设计进一步完善。
充分与施工图纸、工程要求展开详尽的考察。
处理好管线与风道相交叉的位置，确保顺利连接，对于交叉部分，要做到防止故障的发生障。
验收工作要渗透到整个施工过程中，防止出现渗漏问题。
成品与半成品的保护工作要在施工整个过程中加以重视，防止出现由于不细致施工而导致暖通设备被损坏的情况。
另外，对设备安装调试之前，要全面检查每一项设施，确保安装时的牢固可靠性，防止质量缺陷情况的出现。
最后，施工全过程中要切实加强和其它工种的相互配合，密切协调其交叉工作，从而提高暖通施工整体质量。
2.温湿度的控制洁净室里的温度是由吊顶上的干冷盘管进行调节控制的，吊顶内共分为10个温度控制区域，每个温度控制区域都设有一个温度传感器，该区域的干冷盘管回水主管上装有一组电动调节阀，通过温度传感器所测的温度与直接数字温控器的设定值比较，用比例积分微分控制器输出电信号，控制回水管上电动调节阀的开度，改变水流量，使洁净室的温度保持在所需的范围。
洁净室内安装有温湿度传感器，从洁净室温湿度传感器传来的温度信号将被PLC用来监视和报警。
新风机组送风温度信号作为温度PID控制的过程值（PV），PID输出将用来控制再热阀，维持新风机组恒定的出风温度。
厂房暖通设计说明
厂房暖通设计说明一、前言厂房暖通设计是为了确保厂房内部的温度、湿度、空气质量等参数能够满足工作人员的舒适需求，提高工作效率和生产质量。
本文将从供暖、通风、空调等方面进行详细说明，以帮助读者全面了解厂房暖通设计。
二、供暖设计1.供暖方式：根据厂房的具体情况，选择合适的供暖方式，如集中供暖、分户供暖或者分区供暖等。
2.供暖设备：选用高效节能的供暖设备，如燃气锅炉、热水循环系统、地暖等，确保供暖效果稳定可靠。
3.供暖布局：根据厂房的结构和布局，合理设计供暖系统的管网布局，确保每个区域的供暖效果均匀。
三、通风设计1.自然通风：充分利用厂房的自然通风条件，如设置合适的窗户、通风口等，保障新风的进入和污浊空气的排出。
2.机械通风：在自然通风条件不足的情况下，采用机械通风设备，如风机、排风扇等，保证厂房内空气的流通和新风的补充。
3.通风系统布局：根据厂房的大小和布局，合理设计通风系统的布局，确保每个区域的通风效果均匀。
四、空调设计1.空调类型：根据厂房的需求和条件，选择合适的空调类型，如中央空调、分体空调或者多联机空调等。
2.空调设备：选用高效节能的空调设备，如变频空调、节能型压缩机等，提高空调效果和能源利用率。
3.空调布局：根据厂房的结构和布局，合理设计空调系统的布局，确保每个区域的温度和湿度控制合理。
五、综合设计在厂房暖通设计中，还需要考虑厂房的层高、墙体和屋面的保温隔热措施、采光设备等因素，以提高整体的能效和舒适性。
六、总结良好的厂房暖通设计对于提高工作环境的舒适性和生产效率至关重要。
通过合理选择供暖方式、通风设备和空调系统，可以保证厂房内部的温度、湿度和空气质量达到最佳状态。
同时，综合考虑厂房的层高、保温隔热和采光等因素，实现能源的节约和环境的保护。
洁净厂房暖通系统施工方案
洁净厂房暖通系统施工方案一、项目背景及范围洁净厂房是对生产过程中的环境进行控制，以确保生产过程中产品的质量和安全性。
暖通系统在洁净厂房中起到调控温度、湿度和空气质量的作用。
本施工方案旨在对洁净厂房暖通系统进行施工和安装。
二、施工目标1.提供稳定的温度和湿度控制，以满足生产所需要的环境要求。
2.保证空气质量符合国家相关标准。
3.易于操作和维护。
三、施工流程1.方案设计：根据洁净厂房的具体需求，综合考虑房间面积、工艺要求和管道布局等因素，设计合理的暖通系统方案。
2.材料采购：根据设计方案，采购所需的暖通系统设备和材料，确保其质量和符合相关标准。
3.施工准备：确保施工现场清洁，准备好所需工具和设备。
4.暖通设备安装：按照设计方案，安装暖通设备，包括空调设备、风机、空气处理设备等。
确保设备的质量和安装位置符合相关要求。
5.管道布置：根据设计方案，布置好冷热水管道、风管等。
保证管道的密封性和耐久性。
6.控制系统安装：安装暖通系统的控制系统，包括温度、湿度和空气质量控制等。
确保控制系统的可靠性和精确性。
7.调试和测试：对已完成的暖通系统进行调试和测试，确保系统的正常运行和达到预期的工艺要求。
8.施工验收：按照相关标准和规范进行施工验收，确保施工质量达到要求。
9.系统运行和维护培训：对系统操作人员进行培训，确保其能够正确操作和维护暖通系统。
四、安全措施1.施工期间，严格按照相关安全规定操作，佩戴防护用具，确保工人的人身安全。
2.对施工现场进行安全隐患排查，确保施工过程中不发生意外事故。
3.施工过程中，对设备和材料进行合理存放和保管，防止损坏和丢失。
五、质量保证1.确保所采购的设备和材料符合相关标准和规范。
2.严格按照设计方案和相关标准进行施工，确保施工质量。
3.在完成施工后进行系统运行和调试，确保系统的正常运行和达到预期的效果。
4.保修期内，对暖通系统进行定期维护和检修，确保系统的长期可靠运行。
六、工期和进度计划1.工期：根据洁净厂房的具体情况和施工规模，合理安排施工周期，确保按时完成施工任务。
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２ ．净化 空调 系统
目前 ，净化 空 调主 要 有 以下三 种 形 式：
Ａ．二 次回风 系统
该 系统一般 设计为变 风量 ，室 内压 差传感器控 制新风机 变频器保 证 室内的压力要求 。室 内微粒传感 器控制 Ｆ Ｆ Ｕ变频器 保证室 内洁净 度
要求 。 ‘ 室 内相 对 湿度 控制 ：与 上一 系 统相 同 。
这种系统 中，室 内一次 回风和 新风混合 后 ，经过 初效 过滤器 、加
热 （ 冬季 工况 ） 、加 湿 （ 冬季工 况 ） 、冷却 （ 夏 季 工 况 ） 处 理 后 与二 次 回风 混 合 ，再经 再 热 、风机 加压 、中效 过滤 器 ，最后 经 末端 高 效送 风 口送 至室 内。 该系统一 般设 计为定风 量 ，风机 变频控 制主要 为 了克服过滤 器阻
力 的变 化 。
室 内温 度控 制 ：通过 室 内温 度传 感器控 制干盘 管 的电动调节 阀 。
该 系统控制 精度较高 ，系统灵 活，特别适用 于工艺布局 不断变化 的芯片 前工序 生产厂房 ；然 而这种形式 的空调系统 需要较大 的上、下 技 术夹 层 ，投 资较大 ， 因此 多用于 净化 级 别高 、因配 管需 要而 需设 置 下技术 夹层 的芯 片前工 序生产 厂房 。
颗粒 ；宜 采用 初级 纯水 （ Ｒ ０水 ）循环 喷淋 水洗 加湿代 替蒸 汽加 湿 ， 因为喷淋纯水既可以加湿又可 以洗涤 去除室外 空气 中对芯片生产有影响
的杂质气体。
季工况 ） 、加 湿 （ 冬季 工况 ） 、冷却 （ 夏 季工 况 ） 、再热 （ 调 试
时室 内热 负荷 较小 时使 用 ） 、风机 加压 、 中效 过滤 器处 理后送 至 各循 环空 调 器 。新风 和 室 内回 风在 循环 空 调器 中经 冷 却 、风机 加压 、亚
３ ．用于 ８时、１ ２ 时 集成 电路生产厂房 中的新风 机组 ＋ 风 机
室 内相对 湿度控 制：通过 室 内相对 湿度 传感器 ，夏季控制 冷水盘 管 的 电动 调节 阀 ，冬季 控 制加湿 器 （ 干 蒸气 加 湿 时 ）或 控 制热 水盘 管 的 电动 调 节 阀 （ 循 环水 加湿 时 ） 。 室 内温 度 控制 ：通 过 室 内温度 传感 器 控制 再 热盘 管 的 电动调 节
述和归纳 。
环 空调器 设 于 生产厂 房 的 吊顶 上方 。新 风经 初效 过滤 器 、加热 （ 冬
季 工况 ） 、加 湿 （冬 季 工 况 ） 、冷 却 （夏 季 工 况 ）、再 热 （ 调 试
时室 内热 负荷 较 小 时使 用 ） 、风 机加 压 、 中效过 滤器 、高 效过 滤器 处理后 与经过 置于下 技术夹层 的干盘管 （ Ｄ Ｄ Ｃ ）处 理后的 回风在 回风 夹道 混 合 ，再经置 于 吊顶 上的风 机过 滤单 元 （ Ｆ Ｆ Ｕ）送 至室 内 。
这 种系统 中，新风独立 处理 ，新风机 组设于新风 空调机 房内，循
近 年来 ，集成 电路工业 迅猛发展 ， 已成 为世界技 术进 步的主要 支 柱 ，随着 生产 工艺 的不断进 步，对生 产环境及 其它配 套设施 的要 求也 越来 越严 格 ，尤其 是 ８时、ｌ ２时芯片 的生产 对洁 净度 、温湿度 和空 气 中分子级污 染物 提 出了很 高 的要求 。本文 根据 笔者对几 个集成 电路 生产 厂房暖通 设计 的一些经 验和 体会 ，对洁 净室 暖通设计于捕捉 化 学过滤器 可能产 生的
该系统简 单 ，运行 控制 方便 ，可用 于净化 级别 Ｉ Ｓ ０ ７级 以下 、室 内排 风 量确 定 的洁 净室 。随着 净化 级别 的提 高 ，系 统风 量 增大 ，机 房面 积 增 大 ，而 且庞 大 的送 回 风管 道难 以布置 ，因此在 净 化级 别 较 高 、面 积 较大 、工 艺排 风 不稳 定 的 厂房 中极 少使 用 。 Ｂ．新风 机组 ＋循环 空调器系统 这种 系统 中 ，新风 独立 处理 ，新风 机组 设于新风 空调机 房 内，循 环空 调 器设 于 生产 厂房 的 吊顶 上方 。新风 经初 效过 滤 器 、加热 （ 冬
【 摘 要 】 随着 集成电路 工业迅 猛发展 ， 对于洁净 室的生产环境提 出了更 高的要 求 ， 本文 结合 作者所设 计工程项 目的经验 ， 论述 了集成 电路 生 洁净 室 空调 排烟
产厂房洁净 室的空调 系统设计和机械排烟 系统设计 的几种 不同方案形式。
【 关键词 】 集成电路
１ ． 引 言
阀
过滤单 元 （ Ｆ Ｆ Ｕ） ＋干冷却 盘管 （ Ｄ ＣＣ）系统 的几点 说明
８时、ｌ ２ 时集 成 电路 的生产 由于其加工线 宽极小 ，所 以对洁 净度 和温湿度控制 要求很高 ，通常温度精度为 ４ － ０ ． ３ ～０ ． ５ ℃、相对湿度精 度 为４ － ５ ～１ ０ ％ ，另外对空气 中分子级污染 物 （ Ａ Ｍ Ｃ ）也有控制要 求， 因此该场 合的新 风机组 ＋风 机过滤单元 （ Ｆ Ｆ Ｕ）＋干冷却盘 管 （ Ｄ Ｃ Ｃ） 系统 需 注意 以下几 点 ： Ａ ．应在 新风 空调器 内设置化 学过滤器或 者预留化学过滤器和 中效 过滤器 的安装位 置 ，用于 去除室外 空气 中对芯 片生产有影 响的杂质气
高效 过滤处理 后 经末端 高效送 风 口送 至 室 内。
水 利 电 力技 术
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建 筑 与发 展
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浅谈集成 电路厂房洁净室暖通设计
朱 冬林
信 息产业 电子 第十一设计研 究院科技 工程 股份 有 限公 司上海分 院 ２ ０ ０ ０ ６ ３