半导体晶圆搬运洁净机械手臂项目路演PPT-北京锐洁机器人科技有限公司
第五章搬运机器人系统工作站(搬运工作站工业机器人的选型2)优质教学课件PPT
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外部设备控制机器人信号时序
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5.3.4 安川MH6机器人的认识
(2)外部设备控制机器人伺服电源接通
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只有伺服接通信号的上升沿有效,所以在机器人伺服电 源接通后,必须取消伺服接通信号,为下一次重新接通伺服电 源做准各。
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CPU单元(JZNC-YRK01-1E)
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5.3.4 安川MH6机器人的认识
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② CPU单元内的单元基板
a)控制基板(JANCD-YCPO1-E)。控制基板用于控制 整个系统、示教编程器上的屏幕显示、操作键的管理、操 作控制、插补运算等。它具有RS-232C串行接口和LAN接 口(100BASE-TX/10BASE-T)。
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CPS单元(JZNC-YRS01-E)
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CPS单元(JZNC-YRS01-E)技术参数
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5.3.4 安川MH6机器人的认识
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5) 断游叫器基板 (JANCD-YBK01-□E)。 断路器基板是根据从基本轴控制基板(SRDA-EAXA01□) 的指令信号,对机器人轴以及外部轴共计9个轴的断路器进行控 制,如下图所示。 6) I/O单元 (JZNC-YIU01-E)。 I/O单元 (JZNC-YIU01-E) 用于通用型数字输入输出,有4 个插头CN306~CN309,如下图所示。I/O单元共有输入/输出 点数40/40点,根据用途不同,有专用输人输出和通用输入输出 两种类型。
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5.3.4 安川MH6机器人的认识
Daihen晶圆搬运机器人操作手册
Daihen晶圆搬运机器人操作手册
Daihen晶圆搬运机器人操作手册机器人是一种能够代替人类在恶劣环境中工作的机器。
它不需要人的眼睛，只需要通过一个简单的机械臂即可完成操作。
这使得机器人能够在恶劣环境中工作，并且能够与人紧密合作，对工作场所进行优化，并实现无人驾驶车辆。
晶圆搬运机器人通过使用专用机械臂或机械手进行各种不同的精确定位和动作过程，并且可以在空间狭窄、设备较重以及有危险的场合进行灵活移动（例如搬运/移动/焊接等）。
通过将Daihen的专利技术结合至I」使用Daihen的解决方案中，可以提供自动化和柔性生产系统。
Daihen的产品是为客户提供灵活高效、高精度和安全可靠的自动化晶圆搬运系统。
1.通过机器人臂执行任务，可实现精确定位和高精度操作，同时可提高晶圆传输效率。
2. Daihen具有高度可扩展性、灵。
机器人事业部PPT
50kg机器人SR50B/SR80B
全新SR50B系列机型采用高刚性轻量机 械结构，手臂修长，节约空间。严格把 握回转速度和所耗能量的最优配比，轻 巧完成各类高密度动作，路径精度高， 提升工效。速度更快捷，动作更轻便， 性能可靠稳定，满足柔性化生产。在密 集型布局产业中前景应用广阔，是中级 负载机器人产品的优越之选。
10KG机器人 SR10A
全新SR6/10C系列机型采用轻量式手臂 设计，机械结构紧凑，动作精确灵巧， 位置精度卓越，性能稳定可靠，同时大 幅优化占用空间，短期内即可收益，该 系列专为焊接、搬运、装配等低负载、 高精度、高速度应用领域打造，特别适 用于高度重复性的应用场合，选配的弧 焊应用包可迎合您的各种焊接工艺要求。 在满足您柔性设计要求的同时，保证您 卓尔不群的工作质量。
50/80kg机器人SR50A/SR80A
全新SR50A/80A系列机型采用高刚性轻量机 械结构，引入安全设计理念，关键部件均采 用密封构造，设计紧凑，坚固耐用，防护等 级IP65，适应恶劣生产环境，在粉尘较大的 室内外均可正常运行。严格把握回转速度和 所耗能量的最优配比，轻巧完成高密度动作， 进而提高工效。稳健的安全性、出色的可靠 性及优越的传送性决定了其在喷涂、打磨、 抛光、铸造等特殊行业内应用的普及程度， 在搬运、码垛、上下料等行业也同样彰显异 彩，拥有产品明星的潜质。
160KG/300KG 码垛机器人
全新SRM160A/300A系列机型秉承“速度与 力量并重，满足高速现代物流”理念为设计 核心，为实现速度精准，连续不断的运送功 能，构筑基于4轴机器人的柔性自动化系统。 机械结构和控制装置最优化设置，零部件精 简，故障率低。高钢性的手臂，提升了手臂 负载能力，扩大了适用范围。产品工作范围 达3.15m，水平搬运能力重达300kg。通用性、 到达距离以及承重能力可满足绝大多数码垛 应用需求。在重、化工业、食品、食料等行 业实现码垛最佳绩效。
智能机器人介绍PPT课件2024新版
市场规模及增长趋势
全球智能机器人市场规模持续 扩大，预计未来几年将保持高 速增长。
随着人工智能技术的不断发展 和应用场景的拓展，智能机器 人市场将迎来新的增长点。
在工业、医疗、家庭、教育等 领域，智能机器人的应用需求 不断增长，推动市场规模持续 扩大。
竞争格局与主要厂商
当前智能机器人市场竞争激烈，国际知名厂商包括波士顿动力、软银机器人等，国 内厂商如大疆创新、优必选等也取得一定市场份额。
制定机器人行为准则，以确保它们的行为符合社会道德标准。
机器人与人类关系
探讨机器人与人类之间的伦理关系，例如机器人是否应该尊重人类 生命和尊严。
法律法规问题
1 2
机器人法律地位
探讨机器人在法律上的地位，例如是否具有法律 责任和权利。
机器人监管制度
建立机器人监管制度，以确保它们的行为符合法 律法规。
3
从20世纪50年代的初步概念，到 21世纪的快速发展，智能机器人 经历了从简单到复杂、从单一到 多元的演变过程。
主要类型及应用领域
主要类型
根据功能和应用场景的不同，智能机 器人可分为工业机器人、服务机器人 、特种机器人等。
应用领域
智能机器人已广泛应用于制造业、医 疗、教育、家庭服务等领域，为人类 社会带来了巨大的便利和效益。
康复训练
02
智能机器人可为患者提供个性化的康复训练计划，帮助患者恢
复身体功能。
远程医疗
03
智能机器人可实现远程诊断和治疗，缓解医疗资源紧张问题。
军事安全领域
侦察与监视
智能机器人可执行复杂环境下的侦察与监视任务，提供实时情报 信息。
排爆与拆弹
智能机器人可替代人员执行危险的排爆与拆弹任务，保障人员安 全。
工业机器人简介ppt课件
● 自由度
一个简单的刚体一般有六 个自由度，沿着坐标轴的三 个平移运动；绕着坐标轴的 三个旋转运动。
当两物体间由于建立接关 系而不能进行的移动或转动 则一物体相对另外一个物体 就失去一个自由度。
刚体的六个自由度
02工业机器人的结构与特点
● 自由度
例如，要把一个球放到空 间某个给定位置，有三个自 由度就足够了(见图a)。又如， 要对某个旋转钻头进行定位 与定向，就需要五个自由度， 这个钻头可表示为某个绕着 它的主轴旋转的圆柱体(见 图b)。
scara机器人传动示意图
03搬运机器人-SCARA
● 基本结构
设计中大臂和小臂均采用谐波减速器和推力 向心交叉短圆柱滚子轴承结构,其刚度高,能承 受轴向压力与径向扭矩，缩短传动链,简化结 构设计。
末端的主轴相对线速度大，对质量与惯性敏 感，传动要求同时实现绕Z轴的直线运动和回 转运动。
采用步进电机3→同步齿形带→丝杠螺母→ 主轴,实现绕Z轴的直线运动;采用步进电机4→ 同步齿形带→花键→主轴,实现绕Z轴的回转运 动。
03搬运机器人-SCARA
● 轨迹规划
轨迹规划一般有2种常用的方法,既可在关节 空间中进行,也可在笛卡尔空间中进行。
03搬运机器人-SCARA
● 轨迹规划-关节空间的轨迹规划
机器人各关节在关节空间的路径用关节角的 时间函数描述。
SCARA机器人具有4个关节,因此需要分别 求出经过所有路径点的4个平滑函数。
01背景
机器人相关刊物：
《机器人》、《机器人技术》、《Robotics Rcsearch》 、《Robotica》和 《Robotics and Automation》
02
工业机器人的结构与特点
演讲比赛ppt
• Robôs industriais • Robot industriel
工业机器人主要类别
Main categories of industrial robots
搬运机器人
焊接机器人
激光加工机器人
喷涂机器人
工业机器人类别概述
Overview of Industrial Robot Categories
搬运机器人
搬运机器人【transfer robot】是可以进行自动化搬运作业 的工业机器人。
焊接机器人
焊接机器人焊接机器人具有性能稳定、工作空间大、运动 速度快和负荷能力强等特点，焊接质量明显优于人工焊接， 大大提高了点焊作业的生产率。
激光加工机器人
激光加工机器人是将机器人技术应用于激光加工中，通过 高精度工业机器人实现更加柔性的激光加工作业。
Application Specific Gravity Diagram of Industrial Robot
汽车工业
37%
汽车零部件工业
.
31%
工业机器人的应用
Application of Industrial Robot
1，仓储业 2，制造业
3，公共场合 4，烟草行业 01
工业机器人
目录
1 工业机器人的概念 2 工业机器人的种类 3 工业机器人的应用 4 工业机器人的发展
概念
工业机器人
• Industrial robot • Robots industriales
• Robôs industriais • Robot industriel
工业机器人概述
Overview of Industrial Robots
亚洲方面，工业机器人大规模应用的时机已经成熟。汽 车行业的需求量持续快速增长，食品行业的需求也有所 增加，电子行业则是工业机器人应用快的行业。工业机 器人行业正成为受亚洲政府财政扶持的战略新兴产业之 一。
工业机器人技术基础9.5搬运机器人-课件
IRB7600 6轴 串联
FlexPicker高速并联机器人
IRB660 4轴 串联
码垛机器人国内外研究现状
码垛机器人国内外研究现状
MC350
MC07
码垛机器人国内外研究现状
KR700PA
KR1000 1300PA
码垛机器人国内外研究现状
总结
• 掌握搬运机器人的定义与分类 • 掌握了解搬运机器人的发展现状 • 掌握世界先进码垛搬运机器人的 品牌与主要产品
高温环境搬运
低温环境搬运
搬 运 机 器 人
超洁净环境搬运
有毒气体环境搬运
搬运机器人的发展趋势
机械结构向模块化、 可重构化发 控制系统向基于PC的开放型控制器方向发展 多传感器融合配置技术 数字伺服驱动技术 视觉技术 网络化技术
搬运机器人的分类
按照联接方式分类 串联机器人 、并联机器人 按照轴数分类 四轴机器人、六轴机器人
工业机器人的典型应用 -搬运机器人
主要内容
• 掌握搬运机器人的定义与分类 • 了解搬运机器人的发展现状 • 了解世界先进码垛搬运机器人的 品牌与主要产品
搬运机器人简介
药品码垛
化肥码垛
啤酒码垛
搬 运 机 器 人
饮料码垛
牛奶码垛
建材码垛
显示屏搬运
工件搬运
搬 运 机 器 人太阳能电池 Nhomakorabea搬运显像管安装
简单介绍一下半导体工厂AMHS系统的搬运机器人
简单介绍一下半导体工厂AMHS系统的搬运机器人写得不好，请大家多多指教。
OHS（OverHeadShuttle）可以在安装在天井下轨道上高速移动的自动搬运装置。
一般是用于成膜、洗浄等各个保管设备间FOUP搬运OHT（OverheadHoitTranfer）是安装在天井下轨道下高速移动的自动搬运小车。
由升降装置马达驱动BELT，使GRIPPER自动抓取设置在port的foup。
这是300mm晶圆厂运用最广防的搬运工具。
GRIPPER有不同的类型可以搬运不同类型的foup。
从第一代10几年前只能低速走行单线轨道，移载设置于其正下方port的foup，到第二代可以高速走行在分歧轨道，第三代不仅可以走行在分歧轨道，还可以左右移载设置在STS，UTS上的FOUP再到第四代450mm搬运小车，更新速度可谓非常之快。
中国国内半导体厂商使用第一代，第二代自动搬运小车，目前国内还没有使用第三代自动搬运小车的客户。
AGV（AutomatedGuidedVehicle）车上安装了多关节手臂机器人，用于搬运保管设备和制造设备之间的foup。
本搬运小车由于安装了大容量的电池，可以自动走行在工厂的地板上，并按照程序设置，可以走行比较复杂的路径。
台湾，韩国有半导体厂商很多使用这种小车的案例。
RGV（AutomatedGuidedVehicle）本小车走行在安装在地板上的轨道，可以高速搬运保管设备和制造设备之间的foup。
和AGV同样搭载了多关节手臂机器人，但是小车走行速度大大高于同类型的AGV。
韩国半导体厂商有使用这种小车的案例。
STOCKER是fab里面的一时自动保管仓库。
可以把半成品的硅片暂时存放于此。
有好几种类型。
其中一种塔形仓库可以实现foup楼层之间的搬运。
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Reje project introduction 半导体晶圆搬运洁净机械手臂
锐洁项目介绍
目 录
02 03
项目概述商业模式
应用案例
04
01关于我们
市场前景05
关于我们
+
半导体高端制造行业
+
主营业务：半导体、LED 、液晶设备用洁净机械手臂，包括真空和大气机械手等，半导体集成设备包括EFEM 、Sorter 等
+经营理念：“真诚、协作、学习、创新” ，为客户及行业实现更高价值
+
时间：成立于2013年
地点：总部位于北京经济技术开发区，苏州设有华东办事处，预计2016年成立深圳华南办事处
生产基地
强调类型图表关于我们
+
优
秀留学创业团队
+行政总监：刘冬梅（英国留学经历）
1、国外专修国际贸易及经营管理
2、回国创办成立空气净化设备公司，拥有丰富实际经营管理经验
+
2014年董事长与诺贝尔物理学奖获得者中村修二博士合影
董事长：周卫国（日本留学经历）
1、半导体行业20年从业经验
2、作为第一发明人获得国内外13项 发明专利
3、国外研发的大型液晶面板搬运机械手臂获得成功
4、协助国内厂家完成中国第一台国产LED 刻蚀机的 研发和
市场化工作
强调类型图表关于我们
+自主知识产权
发明专利：（机械手臂相关专利）
公司拥有机械手臂核心技术，数十项发明专利，能够
自主研发生产半导体高端机械手及集成设备
专利名称专利号
真空装置P 2002-28469 A 一种基片处理系统及其机械手臂装置ZL 2009 1 0242381.3
一种基片处理系统及其机械手臂装置CN 102452559 A
传送装置及系统CN 102452559 A 基板传输机构和具有它的基板传输系统CN 103287847 A 一种触屏控制与驱动一体化的4轴步进电机闭环控制系统201510077771.5一种利用NFC技术于机械手臂实现通讯的方法201510054128.0 +
关于我们
发明专利：
一种利用NFC技术于机械手臂实现通讯的方法
通过这种技术可以帮助客户非常容易地实现现场机械
手臂状态的采集。
强调类型图表项目概述
Project introduction
机械手臂：旋转轴、升降轴、手臂伸缩轴
电机系统：步进电机闭环控制
采用钢带驱动和直线导轨配合的方式，提升手臂运动轨迹直线性精度，降低加工成本
采用先进步进电机，增加机械式绝对值编码器，实现电机闭环控制，解决丢步问题，提高响应性
整体构造
强调类型图表
项目概述
Project introduction
关键技术
机械绝对值编码器 闭环控制原理电机软件
驱动装置结构设计
钢带加工及厚度优化 部件材质优化与表面处理
本项目的洁净机械手臂关节部的驱动装置采用了钢带和摩擦轮组合方式并且在电机控制方面，为了实现步进电机的闭环控制，综合运用了以上关键技术解决了该问题。
强调类型图表项目概述
Project introduction
3、拥有洁净机械手臂市场的专业技术团队
公司核心技术人员在国内外半导体行业从业20多年，拥有丰富行业经验，技术团队拥有较强创新性，协作互补，综合实力强，能够研发设计出满足客户需求产品
竞争优势
1、拥有电机控制以及手臂结构的核心技术该项目电机的闭环控制技术和手臂结构技术均突破现有技术基础，并通过测试验证，在中国当前市场具有一定得唯一性和前瞻性
2、国内市场最高的性价比优势
使用全新结构手臂技术，降低了加工成本，具有绝对价格优势
4、最佳的市场进入时机
目前国内市场对洁净机械手臂需求量大，机器人产业也成为国家和市政府重点开发和支持领域，公司市场规模稳定增长，在未来10年内，中国半导体行业都将会保持良好的发展态势
强调类型图表项目概述
Project introduction
运用领域
1、可用于半导体PVD，CVD，刻蚀设备等工艺设备内部的晶圆传输，以及
半导体芯片生产线上的晶圆检测设备。
2、具体应用包括在大气环境下从晶圆盒中取出晶圆，并传输上述晶圆到半导体工艺设备的进料室内部，或者在不同的晶圆盒之间传输晶圆。
3、其中真空洁净机械手臂还可以在高真空环境下传输晶圆。
通过使用不同的末端执行器本项目产品还可以传输一些特殊的晶圆，比如温度超过600度
的高温晶圆，厚度减薄到100μm以下的减薄晶圆等。
其它产品
公司研发产品主要为大气洁净机械手臂、真空洁净机械手臂以及使用半导体晶圆搬运洁净机械手臂的半导体晶圆及晶圆容器的传输集成设备，具体包括：
1、LED蓝宝石晶圆Sorter(RS-1501）
这款设备于今年上半年研发成功，并已经出厂实现销售。
这种设备可以同时对应12个2寸蓝宝石晶圆片盒（每盒最大25片），设备传片效率极高，非常适合生产线上的产品检测等用途。
2、国产首台半导体减薄晶圆Sorter（ RS-1506）
这款设备为国内第一台同类型的国产设备，具有里程碑意义。
相对国外的同类型设备，性价比高，为客户节省了大量采购成本，打破了国外设备在中国市场形成的竞争垄断，填补了国内同
类型产品市场空白。
项目概述
Project introduction
商业模式
Marketing
整合优质资源打造出国内半导体行业芯片生产线上的高端装备。
利用海外留学，工作经验，以及在半导体行业20年间所积累的各种优质资源，快速研发针对中国市场的高科技产品，迅速占领市场。
当前我们已经和国际著名公司TDK 公司，JEL 公司，Hirata 公司建立了良好的合作伙伴关系。
全国覆盖式销售，建立销售服务区域化的盈利模式，率先成立苏州华东办事处，积极开拓东北、华北、华东市场，并将于明年在深圳设立华南办事处，同时着手建立线上与线下推广相结合的市场宣传模式
扩大生产规模该项目现已成功实施运用，后续公司也将不断加
强在洁净机械手臂及系统集成方面的国内领先优势。
适机开拓Scara 机械手臂及液晶面板机械手臂方面的国内市场，扩大生产规模，提高公司效益
华东办事处
锐洁国外合作伙伴
应用案例
Market Case
公司研发生产的半导体晶圆搬运洁净机械手臂已成功实施运用在国内知名半导体芯片厂商生产线上，性能稳定、兼容性强，得到了客户的肯定和认可。
倒片机系统锐洁设计，生产的倒片机系统和EFEM模块已经实现了批量销售，并获得了客户一致认可。
主要客户包括国内著名半导体芯片生产厂家，
以及半导体设备生产厂商。
洁净机械手臂EFEM模块
市场前景
Market Prospect
北京锐洁机器人参加2015世界机器人大会，并在大会上发布了公司最近产品
：200mm半导体减薄硅片Sorter System。
Sorter System 新品发布会
王安顺市长亲临锐洁展台
Market Prospect
市场前景
2013年创业以来，通过创业团队的不断努力，以及在国家对高科技产业的大力扶持的良好环境下，锐洁在2015年实现了井喷式发展，公司研发生产的各种洁净机械手臂及半导体集成设备已实施运用，得到了客户的认可与支持，进一步提高扩大了市场范围。
预计2017年的中国半导体洁净机械手臂及相关设
备的市场容量会超过600亿RMB。
作为朝阳行业的我国半导体产业，未来10年的发展前景非常乐观。
市场前景
Market Prospect
未来锐洁的产品研发方向:
•针对半导体、液晶、LED行业的洁净机械手臂，包括大气洁净机械手臂和真空洁净机械手臂。
•
半导体产线所需的各种自动化设备，包括Sorter System和EFEM模块等。