真空蒸镀与真空溅镀工艺介绍
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
PAGE 01
相关问题：
3、为什么真空镀膜可以做成半透效果而且不导电？
并非完全不导电，利用了分子在薄膜状态下的不连续性
PAGE 01
真空镀膜：
真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属（或者金属化合物）以气相的形式沉积到材 料表面（通常是非金属材料），属于物理气相工艺。
真空镀膜
真空蒸镀 真空溅镀 离子镀
PAGE 01
真空蒸发镀膜法（简称真空蒸镀）：
真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基材表面析出 的过程。
PAGE 03
真空溅镀设备：
PAGE 03
真空镀膜的优缺点：
优点：
1、表面有较好的金属质感且细腻。 2、颜色较水电镀可解决七彩色的问题如魔幻蓝、闪银灯；水电镀颜色较单调，一般只有亮银、亚银等少数几种。 3、基材材质选用范围广，如PC、ABS、PMMA，（水镀只能选择ABS、ABS+PC）。 4、通过镀铟锡可做成半透的效果，灯光可以从产品中发出来。 5、不污染环境。
真空镀膜工艺
产品设计部/ 周赛/ 2014年6月30日
前言
真空镀膜作为一种新兴的镀膜技术，其产品表面有超强的金属质感。被越来越多的应 用在化妆品、手机等电子产品的外壳、汽车标志、汽车车灯等的表面处理，其膜面不 仅亮度高，质感细腻逼真，可做出多种靓丽色彩，同时它还有制作成本较低，有利于 环境保护，较少受到基材材质限制的优点。
不需要
1×10^5 Cu、Ni、Cr、Zn
高 银色、枪色、金色，不能镀七彩效
果 高 较硬 通过电流密度和镀时间来调控 极少 较好 不均匀 导电
高
镀膜方式
只镀直射表面
只镀直射表面和少部分非直射表面
所有表面均可镀膜
工件摆放
竖挂自转
平放静止
竖挂静止
工件材质
塑胶
塑胶、金属、玻璃
ABS、ABS+PC、金属
环
保
无污染
无污染
有污染 PAGE 01
相关问题：
1、真空蒸镀和真空溅镀的镀膜的吸附性差异的原因？
蒸镀是附着，溅射是正负电极的强烈吸附，所以溅射的吸附更均匀密度也更大硬度也大，价 格溅射比蒸镀要贵10%——20%。
2、为什么真空镀膜可以做成不同的颜色，还有七彩色？
因为在真空蒸镀完之后还要喷一层UV光油面漆，这层面漆上可以做不同的颜色。 蒸镀通过镀一些硅化物可以做成七彩色，但比较薄，近看可以，远看不明显，； 溅射通过CSi、CO、Si等物质进行反应镀可镀出七彩色，或者通过低温多层不同 颜色的镀膜来呈现多彩。 而水电镀的一般为金属本色，要呈现其他颜色的需要涂UV面漆然后UV照射。
缺点：
1、蒸镀靶材受熔点限制，太高熔点的不易采用。 2、真空蒸镀不过UV油，其附着力较差，要保证真空蒸镀的附着力，均需后续进行特殊的喷涂处理。
PAGE 01
工艺 项次
蒸发镀膜
磁控溅射镀膜
水电镀
设备成本
条
件
低
高
中
1.高真空度；2.低熔点靶材；3. 加热电极
1.低真空度；2.靶材；3.惰性气体；4.永久 磁铁；5.电极
1.电镀液；2.靶材；3.电极
方
法
真 空
镀层保护
镀
常用压强 镀层材料
膜
镀层光泽
与
镀层颜色
水
镀层密度
电 镀
镀层硬度 镀层厚度 镀层孔隙度
的
镀层附着性
对
镀层均匀性
比
镀层导电性 自动化程度
1.底漆+镀膜+面漆
喷涂UV漆
2×10^(-2) 低熔点金属Al、Sn、In
中 丰富 较低 硬（HB/H） 不可调控
中 差（附着）
不均匀 不导电或导电
低
1.底漆+镀膜+面漆 2.镀膜+镀SiO2 1.塑胶基材:喷涂UV漆 2.金属基材:镀SiO2
1×10^(-1) Al、Sn、In、Ag、Ni、SUS、Cu、Cr
高 丰富
高 较硬（HB—6H） 通过电流大小和溅射时间的重复叠加来调控
少 好（吸附）
均匀 不导电或导电
高
1.镀铜+镀镍 2.镀铜+镀镍+镀铬
PAGE 05
喷底漆：
由于基材是塑胶件，在注塑时候会 残留空气泡，有机气体，塑胶表面 不够平整，直接蒸镀吸附差且不光 滑平整，涂一层底漆会提高镀层的 附着性且表面光滑平整效果好。
PAGE 05
UV照射：
UV照射固化。
PAGE 05
真空蒸镀：
将挂件装配于真空容器内，加热， 实现蒸镀。
PAGE 05
PAGE 01
粒子碰撞原理：
PAGE 01
粒子碰撞原理：
Ar+
氣體 靶材
基材
靶材原子等粒子
Ar+
氣體
靶材
PAGE 01
真空溅镀气压要求：
真空溅镀要求在真空 状态中充入惰性气体 实现辉光放电，该工 艺要求真空度在 1.3×10-3Pa的分子 流状态。
真空泵实现高真 空状态。
PAGE 01
主要工艺流程：
真空蒸镀
UV照射烘干
UV光油底漆
提高基材待镀层的附着性
UV光油面漆
提高基材已镀层的硬度和配色
UV照射烘干
成品
所以真空蒸镀有三层：底漆层（6~12um）+镀膜层（1~2um）+面漆层（10um）
PAGE 03
装配前处理：
将基材表面杂质、灰尘等用布 擦拭干净，提高喷射良率。
PAGE 04
装配：
将基材装配在专用挂具上，用 以固定于流水线上，并按设计 要求实现外观和功能的遮镀。
喷面漆：
提高表面的硬度和耐磨性，要对基 材已镀层喷面漆（可喷不同的颜 色），然后UV照射固化。
PAGE 05
Baidu Nhomakorabea UV照射：
UV照射固化。
PAGE 05
真空溅镀：
通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法。在真空状充入惰性气体(Ar)，并在塑胶 基材（阳极）和金属靶材（阴极）之间加入高压直流电，由于辉光放电（glow discharge）产生的电子激发惰性气体产生氩气正离子，正离子向阴极靶材高速运动， 将靶材原子轰出，沉积在塑胶基材上形成薄膜。
前处理
装配
清洗处理
真空溅镀
UV照射烘干
UV光油底漆
提高基材待镀层的附着性
UV光油面漆
提高基材已镀层的硬度和配色
UV照射烘干
成品
真空溅镀也可根据基材和靶材的特性直接溅射不用涂底漆，真空溅镀的镀层可通过调 节电流大小和时间来垒加，但不能太厚，太厚了表面原子垒加会出现小小的空洞间隙。 厚度范围0.2~2um。
真空蒸镀中的金属镀层通常为铝膜，但其他金属如铬也可通过蒸发沉淀；厚度在30um左右。
PAGE 01
真空蒸镀原理：
PAGE 02
蒸发源的类型：
关于蒸发源的形状可根据蒸发材料 的性质，结合考虑与蒸发材料的湿 润性，制作成不同的形式和选用不
同的蒸发源物质。
PAGE 02
主要工艺流程：
前处理
装配
清洗处理
相关问题：
3、为什么真空镀膜可以做成半透效果而且不导电？
并非完全不导电，利用了分子在薄膜状态下的不连续性
PAGE 01
真空镀膜：
真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属（或者金属化合物）以气相的形式沉积到材 料表面（通常是非金属材料），属于物理气相工艺。
真空镀膜
真空蒸镀 真空溅镀 离子镀
PAGE 01
真空蒸发镀膜法（简称真空蒸镀）：
真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基材表面析出 的过程。
PAGE 03
真空溅镀设备：
PAGE 03
真空镀膜的优缺点：
优点：
1、表面有较好的金属质感且细腻。 2、颜色较水电镀可解决七彩色的问题如魔幻蓝、闪银灯；水电镀颜色较单调，一般只有亮银、亚银等少数几种。 3、基材材质选用范围广，如PC、ABS、PMMA，（水镀只能选择ABS、ABS+PC）。 4、通过镀铟锡可做成半透的效果，灯光可以从产品中发出来。 5、不污染环境。
真空镀膜工艺
产品设计部/ 周赛/ 2014年6月30日
前言
真空镀膜作为一种新兴的镀膜技术，其产品表面有超强的金属质感。被越来越多的应 用在化妆品、手机等电子产品的外壳、汽车标志、汽车车灯等的表面处理，其膜面不 仅亮度高，质感细腻逼真，可做出多种靓丽色彩，同时它还有制作成本较低，有利于 环境保护，较少受到基材材质限制的优点。
不需要
1×10^5 Cu、Ni、Cr、Zn
高 银色、枪色、金色，不能镀七彩效
果 高 较硬 通过电流密度和镀时间来调控 极少 较好 不均匀 导电
高
镀膜方式
只镀直射表面
只镀直射表面和少部分非直射表面
所有表面均可镀膜
工件摆放
竖挂自转
平放静止
竖挂静止
工件材质
塑胶
塑胶、金属、玻璃
ABS、ABS+PC、金属
环
保
无污染
无污染
有污染 PAGE 01
相关问题：
1、真空蒸镀和真空溅镀的镀膜的吸附性差异的原因？
蒸镀是附着，溅射是正负电极的强烈吸附，所以溅射的吸附更均匀密度也更大硬度也大，价 格溅射比蒸镀要贵10%——20%。
2、为什么真空镀膜可以做成不同的颜色，还有七彩色？
因为在真空蒸镀完之后还要喷一层UV光油面漆，这层面漆上可以做不同的颜色。 蒸镀通过镀一些硅化物可以做成七彩色，但比较薄，近看可以，远看不明显，； 溅射通过CSi、CO、Si等物质进行反应镀可镀出七彩色，或者通过低温多层不同 颜色的镀膜来呈现多彩。 而水电镀的一般为金属本色，要呈现其他颜色的需要涂UV面漆然后UV照射。
缺点：
1、蒸镀靶材受熔点限制，太高熔点的不易采用。 2、真空蒸镀不过UV油，其附着力较差，要保证真空蒸镀的附着力，均需后续进行特殊的喷涂处理。
PAGE 01
工艺 项次
蒸发镀膜
磁控溅射镀膜
水电镀
设备成本
条
件
低
高
中
1.高真空度；2.低熔点靶材；3. 加热电极
1.低真空度；2.靶材；3.惰性气体；4.永久 磁铁；5.电极
1.电镀液；2.靶材；3.电极
方
法
真 空
镀层保护
镀
常用压强 镀层材料
膜
镀层光泽
与
镀层颜色
水
镀层密度
电 镀
镀层硬度 镀层厚度 镀层孔隙度
的
镀层附着性
对
镀层均匀性
比
镀层导电性 自动化程度
1.底漆+镀膜+面漆
喷涂UV漆
2×10^(-2) 低熔点金属Al、Sn、In
中 丰富 较低 硬（HB/H） 不可调控
中 差（附着）
不均匀 不导电或导电
低
1.底漆+镀膜+面漆 2.镀膜+镀SiO2 1.塑胶基材:喷涂UV漆 2.金属基材:镀SiO2
1×10^(-1) Al、Sn、In、Ag、Ni、SUS、Cu、Cr
高 丰富
高 较硬（HB—6H） 通过电流大小和溅射时间的重复叠加来调控
少 好（吸附）
均匀 不导电或导电
高
1.镀铜+镀镍 2.镀铜+镀镍+镀铬
PAGE 05
喷底漆：
由于基材是塑胶件，在注塑时候会 残留空气泡，有机气体，塑胶表面 不够平整，直接蒸镀吸附差且不光 滑平整，涂一层底漆会提高镀层的 附着性且表面光滑平整效果好。
PAGE 05
UV照射：
UV照射固化。
PAGE 05
真空蒸镀：
将挂件装配于真空容器内，加热， 实现蒸镀。
PAGE 05
PAGE 01
粒子碰撞原理：
PAGE 01
粒子碰撞原理：
Ar+
氣體 靶材
基材
靶材原子等粒子
Ar+
氣體
靶材
PAGE 01
真空溅镀气压要求：
真空溅镀要求在真空 状态中充入惰性气体 实现辉光放电，该工 艺要求真空度在 1.3×10-3Pa的分子 流状态。
真空泵实现高真 空状态。
PAGE 01
主要工艺流程：
真空蒸镀
UV照射烘干
UV光油底漆
提高基材待镀层的附着性
UV光油面漆
提高基材已镀层的硬度和配色
UV照射烘干
成品
所以真空蒸镀有三层：底漆层（6~12um）+镀膜层（1~2um）+面漆层（10um）
PAGE 03
装配前处理：
将基材表面杂质、灰尘等用布 擦拭干净，提高喷射良率。
PAGE 04
装配：
将基材装配在专用挂具上，用 以固定于流水线上，并按设计 要求实现外观和功能的遮镀。
喷面漆：
提高表面的硬度和耐磨性，要对基 材已镀层喷面漆（可喷不同的颜 色），然后UV照射固化。
PAGE 05
Baidu Nhomakorabea UV照射：
UV照射固化。
PAGE 05
真空溅镀：
通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法。在真空状充入惰性气体(Ar)，并在塑胶 基材（阳极）和金属靶材（阴极）之间加入高压直流电，由于辉光放电（glow discharge）产生的电子激发惰性气体产生氩气正离子，正离子向阴极靶材高速运动， 将靶材原子轰出，沉积在塑胶基材上形成薄膜。
前处理
装配
清洗处理
真空溅镀
UV照射烘干
UV光油底漆
提高基材待镀层的附着性
UV光油面漆
提高基材已镀层的硬度和配色
UV照射烘干
成品
真空溅镀也可根据基材和靶材的特性直接溅射不用涂底漆，真空溅镀的镀层可通过调 节电流大小和时间来垒加，但不能太厚，太厚了表面原子垒加会出现小小的空洞间隙。 厚度范围0.2~2um。
真空蒸镀中的金属镀层通常为铝膜，但其他金属如铬也可通过蒸发沉淀；厚度在30um左右。
PAGE 01
真空蒸镀原理：
PAGE 02
蒸发源的类型：
关于蒸发源的形状可根据蒸发材料 的性质，结合考虑与蒸发材料的湿 润性，制作成不同的形式和选用不
同的蒸发源物质。
PAGE 02
主要工艺流程：
前处理
装配
清洗处理