基于时序分析的光刻版清洗机运行效率提升方法
生产车间提升效率的措施
生产车间提升效率的措施
1. 优化生产流程：对生产流程进行深入分析，找出其中的瓶颈和不合理之处，并进行优化。
可以采用价值流图等工具来识别和消除浪费，提高生产效率。
2. 设备维护与升级：定期对设备进行维护保养，确保设备处于良好的运行状态。
对于老化或效率低下的设备，可以考虑进行升级或更换，提高生产效率。
3. 员工培训与激励：提供员工必要的培训，使其掌握先进的生产技术和操作方法。
同时，建立激励机制，鼓励员工积极参与生产改进和效率提升工作。
4. 实施 5S 管理：推行 5S 管理（整理、整顿、清扫、清洁、素养），保持车间整洁有序，减少寻找物品和工具的时间浪费，提高工作效率。
5. 采用精益生产理念：导入精益生产的理念和方法，如准时制生产、看板管理等，以实现生产过程的持续改进和效率提升。
6. 生产计划与调度：合理制定生产计划，根据订单需求和产能进行有效的调度，避免生产过程中的瓶颈和停顿，提高生产效率。
7. 质量管理：加强质量管理，减少次品和返工，提高生产一次合格率。
通过实施全面质量管理等方法，不断改进生产过程，提高效率。
8. 引进自动化和智能化技术：适当引入自动化设备和智能化技术，如机器人、自动化生产线等，提高生产效率和准确性。
9. 团队合作与沟通：鼓励团队成员之间的合作与沟通，建立良好的工作氛围，提高工作效率和协同效果。
10. 持续改进：建立持续改进的文化，鼓励员工提出生产改进建议，并及时进行实施和跟踪，不断推动生产效率的提升。
以上措施仅为一些参考，实际情况可能因行业、企业规模和具体生产环境而有所不同。
选择适合的措施并持续改进，可以帮助生产车间提升效率，提高企业竞争力。
施工现场污水处理设备运行效率提升
施工现场污水处理设备运行效率提升在施工现场，污水处理设备的运行效率对于保护环境和促进工地的可持续发展至关重要。
为了提高污水处理设备的运行效率，施工方应采取一系列的措施和技术手段。
本文将从优化污水处理流程、改善设备运行条件、提升设备性能等方面探讨如何提高施工现场污水处理设备的运行效率。
一、优化污水处理流程在施工现场，通常存在着复杂多变的污水组成和水质条件。
为了提高污水处理设备的运行效率，应根据具体情况进行适当的污水处理流程优化。
例如，可以通过加装预处理设备，如格栅、沉砂池等，减少大颗粒杂质对后续处理设备的影响。
此外，可以根据污水的主要成分调整处理工艺，如增加曝气池、增塑剂加药等，提高处理效果。
二、改善设备运行条件设备的运行条件直接影响着设备的处理效率。
施工方应注意改善设备的运行条件，确保其在最佳状态下运行。
首先要做好设备的日常维护与保养工作，如定期清洗滤网、调整设备运行参数等，保证设备运行的稳定性和可靠性。
其次，要合理设置设备的进水量和出水量，避免因进水量过大或出水量过小导致设备负荷过重或处理效果不佳的问题。
三、提升设备性能为了提高设备的运行效率，施工方可以考虑采用新型的高效污水处理设备，并结合先进的技术手段。
例如，可以选择具有优良除磷、除氮等性能的生物滤池、MBR膜污水处理设备等，以提高处理效果。
同时，可以利用物联网、人工智能等技术手段实现设备的远程监控和自动化控制，提高设备的运行效率和管理水平。
四、加强运行管理和技术培训为了保证污水处理设备的运行效率，施工方还应加强对设备运行管理和技术培训的重视。
运营人员应具备一定的污水处理技术知识和操作技能，熟悉设备的运行原理和操作规程，并能够根据实际情况及时采取措施处理运行中出现的问题。
此外，施工方还应定期组织技术培训，提高运营人员的技术水平和管理能力，为设备的高效运行提供保障。
综上所述，提高施工现场污水处理设备的运行效率需要从优化污水处理流程、改善设备运行条件、提升设备性能和加强运行管理等方面进行综合考虑。
提高光刻机制造质量的新方法
提高光刻机制造质量的新方法现代光刻机在集成电路制造中起着至关重要的作用。
为了满足市场对更高品质和更高生产效率的需求，提高光刻机制造质量成为了一个重要课题。
本文将介绍一些新的方法来提高光刻机制造质量，并探讨其在实际应用中的效果。
一、精密加工技术精密加工技术是提高光刻机制造质量的关键。
首先是加工过程中的精度控制。
通过使用高精度的切割工具和先进的数控技术，可以确保光刻机的加工精度达到亚微米级别。
其次是表面处理技术。
采用先进的表面处理工艺，如化学机械抛光（CMP）和离子束抛光（IBP），可以提高光刻机表面的平整度和光滑度，减少表面缺陷的出现。
二、优化设计优化设计是提高光刻机制造质量的另一重要方法。
首先是结构设计的优化。
通过使用有限元分析等先进的仿真技术，可以对光刻机的结构进行优化，提高其刚度和稳定性。
其次是动力学设计的优化。
考虑到光刻机在工作状态下的振动和共振问题，可以通过优化各个部件的布局和减振措施来改善光刻机的性能。
最后是系统设计的优化。
通过引入高性能的传感器和控制系统，可以实现对光刻机各个参数的精确控制和调整，提高光刻机的稳定性和精度。
三、质量控制与监测质量控制与监测是提高光刻机制造质量的重要手段。
首先是在线质量控制。
通过安装相应的检测设备和传感器，可以对光刻机的关键参数进行实时监测和控制，及时发现和修复潜在问题，保证光刻机的稳定性和可靠性。
其次是离线质量控制。
通过对光刻机的关键部件和关键工序进行离线检测和测试，可以对制造过程中的质量问题进行分析和改进，提高光刻机的制造质量。
最后是数据分析和挖掘。
通过对大量生产数据和测试数据的分析和挖掘，可以发现光刻机制造中存在的规律和规范，有针对性地改进制造工艺和提高质量。
四、人员培训与知识共享人员培训与知识共享是提高光刻机制造质量的基础。
首先是人员培训。
通过加强对生产工艺和操作规程的培训，提高操作人员的技能水平和质量意识，确保制造过程的稳定性和可控性。
其次是知识共享。
清洗车间改进方案
清洗车间改进方案背景清洗车间是制造业中重要的生产环节之一，它通常用于清洗机械零部件、工具和机器设备等物品。
但是，在实际生产过程中，清洗车间常常存在着一些问题，如清洗效果差、卫生条件不佳、清洗时间长、设备老化等问题。
这些问题影响了清洗车间的正常运行和产品的质量。
因此，为了提高清洗车间的效率和质量，需要采取一系列的改进方案，以优化清洗车间的生产流程。
目标本文的目标是为清洗车间的改进提供一些参考意见和建议，从而达到以下目标：•提高清洗效果和质量•优化清洗车间的生产流程•减少清洗时间和成本•提高清洗设备的运行效率改进方案1. 固定清洗周期和方法为了提高清洗效果和质量，需要制定固定的清洗周期和清洗方法，以期达到统一的清洗标准。
根据不同的清洗对象和使用情况，可以制定不同的清洗周期和方法，对于工具和机械零件等，可以采用机械清洗和高压水枪清洗相结合的方法，对于纳米级元器件和电路板等，则应采用超声波清洗和去离子水清洗的方法。
2. 维护清洗设备和卫生条件清洗车间应定期进行设备维护，清洗设备应在磨损和老化之前进行定期更换。
同时，清洗车间应保持良好的卫生条件，保证清洗设备和工具的清洁度。
3. 增加自动化清洗车间可以采用自动化生产线，例如采用机器人清洗，有效地提高清洗效率和质量，并大大减少人工错误的概率，同时还能降低人工成本。
4. 建立清洗设备监控系统清洗车间可以建立清洗设备监控系统，监测清洗设备的运行状态，及时检测和发现设备故障，并进行维护和修理，以提高设备的运行效率和稳定性。
5. 培训操作人员清洗车间的操作人员应进行专业的培训，掌握清洗设备操作技能及安全知识，以保证操作规范和企业安全。
结论通过优化上述方案，可以达到优化清洗车间生产流程，提高清洗效果和质量，减少清洗时间和成本的目的。
同时，为了保证清洗车间的长期有效性，企业应定期对清洗设备和卫生条件进行维护和更新，加强工作人员培训，掌握新的清洗技术和方法，并及时引进先进的清洗设备和技术。
提高液压系统管道冲洗效率的方法分析
提高液压系统管道冲洗效率的方法分析液压系统在工业生产中扮演着重要的角色，液压系统的管道冲洗工作，对于系统的性能和寿命具有至关重要的影响。
随着工业技术的不断发展，液压系统管道冲洗效率的提高成为了工程师们急需解决的问题。
本文将分析提高液压系统管道冲洗效率的方法，并就其实际应用进行深入探讨。
1. 合理选择冲洗液在进行液压系统管道冲洗时，冲洗液的选择非常关键。
首先要根据管道内部的脏物种类和厚度来选择合适的冲洗液。
通常情况下，工业生产中常用的冲洗液有水、溶剂和酸碱溶液等，这些冲洗液均有其独特的特性和适用范围。
冲洗液需要有足够的洗净能力，使管道内部的杂质能够有效被清洗掉，从而提高管道的清洁度和使用寿命。
为了提高冲洗效率，可以在冲洗液中加入一些表面活性剂和分散剂，以增加液体对管道内杂质的渗透性，从而加速冲洗效果。
还可以根据具体情况适当地调整冲洗液的温度和浓度，以增强其冲洗能力。
2. 优化冲洗工艺冲洗工艺的优化是提高液压系统管道冲洗效率的关键。
首先需要合理规划冲洗流程，确定冲洗的顺序和方式，以确保冲洗过程的全面和有效。
在工程实践中，一般采用逐段冲洗和全面混合冲洗相结合的方式，将管道分段冲洗，再进行整体冲洗，以达到最佳的清洁效果。
还可以考虑采用多种冲洗方式的组合，如采用冲洗液的机械冲刷和气体喷射相结合的方法，以提高管道内污物的清洗效果。
还可以考虑采用循环冲洗的工艺，即在冲洗过程中，将冲洗液进行循环使用，以提高冲洗效率并节约冲洗液的用量。
3. 选择合适的冲洗设备冲洗设备的选择直接影响着液压系统管道冲洗效率的高低。
在冲洗设备的选择上，首要考虑设备的冲洗能力和适用范围。
一般情况下，工业生产中常用的冲洗设备有冲洗泵、高压水枪、管道清洗机等。
针对不同的管道类型和规格，需要选择合适的冲洗设备，以确保冲洗效果和工作安全。
与此冲洗设备的性能和稳定性也是选择的关键因素。
一方面，冲洗设备需要有足够的压力和流量，以确保冲洗液能够充分冲洗管道内的杂质。
光刻机光刻胶剥离技术优化提高加工效率
光刻机光刻胶剥离技术优化提高加工效率光刻技术作为半导体行业中一项重要的工艺技术，广泛应用于集成电路制造和光学器件加工等领域。
而在光刻工艺中，胶剥离是一个至关重要的环节。
胶剥离的质量和效率，直接关系到加工产品的品质和生产效率的提升。
因此，光刻机光刻胶剥离技术的优化，对提高加工效率具有重要意义。
一、光刻胶剥离的基本原理光刻胶剥离是指将光刻胶从衬底上剥离下来的过程。
光刻胶在暴光后会形成图案，并通过化学或物理方法来剥离。
化学剥离是利用特定的溶剂或碱性液体将光刻胶溶解掉。
而物理剥离则是利用力学的方式将光刻胶从衬底上剥离下来。
胶剥离的质量和效率主要与剥离液的选择、处理时间、剥离表面的处理等因素有关。
二、选择适合的剥离液在光刻胶剥离过程中，剥离液的选择至关重要。
剥离液应具有较好的溶解性能，能迅速而彻底地剥离光刻胶，并且对衬底具有较小的腐蚀性。
常用的剥离液有有机溶剂、酸碱溶液等。
对于不同类型的光刻胶，选择适合的剥离液是提高胶剥离效率的关键。
三、优化剥离时间剥离时间是指光刻胶在剥离液中进行剥离的时间。
过长的剥离时间可能导致衬底的腐蚀；而过短的剥离时间则可能使光刻胶未能完全剥离。
因此，确定一个合适的剥离时间是提高胶剥离效率的关键。
一般来说，剥离时间的设置应根据所用光刻胶的种类、厚度以及胶剥离的要求来确定。
四、改进剥离表面的处理技术剥离表面的处理常常会影响胶剥离质量和效率。
表面的粗糙度、涂层的附着力等因素都会对胶剥离造成影响。
优化剥离表面的处理技术可以有效地提高胶剥离效率。
例如，通过使用表面活性剂处理剥离表面，可以降低剥离力并减少胶剥离过程中的损伤。
五、加强设备维护与管理设备的维护与管理是确保光刻机光刻胶剥离技术能够持续高效运行的重要保证。
定期对光刻机进行维护保养，清洁胶剥离装置和管路，保证胶剥离过程中的流畅。
同时，及时更换剥离液和相关耗材，确保设备运转的畅通无阻。
光刻机光刻胶剥离技术的优化对于提高加工效率具有重要作用。
如何提高设备运行效率
如何提高设备运行效率为了保证生产顺利进行，提高设备运行效率，保证市场需求，我们主要抓住以下几点工作：1，做好设备的维护和保养。
（1），加强备件管理：常用配件，如胶条、密封等需定期更换的，每月申购一次一个月的用量；易损配件，如皮带、轴承等，需做到换一件及时备一件，既不能积压资金也不能耽误生产；对于故障率较高问题所需配件，根据备件使用周期及时备货。
总之备件管理要做到井然有序，尽量避免设备等配件的情况。
13年上半年出现了3次紧急空运，下半年加强备件管理，到现在一次紧急空运都没发生。
（2），大修跟踪：工程师做大修，是我们操作人员了解设备原理、提高故障处理能力和操作能力的最好学习机会。
每次设备大修，都会要求操作人员跟着工程师多动手且做好笔录并汇报做过哪些部分保养，了解哪些原理。
同时在大修过程中发现的一些隐患问题，根据工程师提出的意见及时处理。
（3），保证周保养的有效性：周保养是设备正常运行、延长设备使用寿命、保证产品质量的一项保障。
建立监督检查机制，每次做周保养时，必须品控人员逐项确认，工段长监督检查，保证按要求完成。
（4），不可忽略的日点检：日点检是设备当天正常运行、保证质量的前提。
水、电、气的检查；管道、走膜路线否清洁干净；各滚轮、轴承是否转动灵活等。
再赶时间也不能省掉这些，要认识到磨刀不误砍柴工。
2，准时化生产。
注意从前到后各工段的协调配合。
作为灌装工段，要求每天9:00前开机生产，这就对我们设备运行提出了更高要求：每天设备如果出现了故障，不管解决与否操作人员需及时上报，让管理人员及时了解生产动态；当天发现问题当天解决，不能影响第二天生产。
2，人员管理：（1），培养技能：操作人员对设备的了解熟悉至关重要，再好的设备没人会用只能是一堆废铁。
提高操作技能最有效的是在现场陪训，对设备各部件的原理、如何操作、如何检查进行讲解，不懂的也要请教后反馈给大家。
懂得多了自然得心应手。
（2），多组织交流沟通，不仅是操作、规定的执行、解决问题的方法也包括员工身体和思想上的问题。
关于洗瓶机提高洗净率的改造
关于洗瓶机提高洗净率的改造摘要：本文阐述了洗瓶机的工作原理、回收瓶质量管理等对回收瓶洗净率的影响，并提出改造来提高洗瓶机洗净率。
关键词：洗瓶机；洗净率；提高一、洗瓶机的工作原理由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质 -- 清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的微小气泡。
这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区迅速闭合。
在这种被称之为“空化”效应的过程中，气泡闭合可形成超过1000 个气压的瞬间高压，连续不断地产生瞬间高压就象一连串小“爆炸”不断地冲击物件表面，使物件的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目的。
在中间是一层一定厚度的不锈钢板，换能头沾结在这一层钢板下，通过超声发生源产生一定频率和电压的交流电信号带动换能头和不锈钢板一起做高频震动，当钢板向上震动时，将水向上推开，当钢板向下震动时，水跟不上钢板的震动速度，在水和钢板之间会形成一个空隙，这样反复震动就会有许多的气泡形成，如图所示：这种气泡就是由“空化效应”产生的，我们称之为空化泡。
空化泡顺着震动方向向水中传播，如果水中正好有工件，空化泡撞击到工件表面产生数千个大气压的撞击力，带动工件表面的污垢脱落。
超声波清洗的作用机理主要有以下几个方面：1.因空化泡破灭时产生强大的冲击波，污垢层的一部分在冲击波作用下被剥离下来，分散，乳化，脱落。
2.因为空化现象产生的气泡，由冲击形成的污垢层与表层间的间隙和空隙渗透，由于这种小气泡和声压同步膨胀，收缩，象剥皮一样的物理力反复作用于污垢层，污垢层一层层被剥开，气泡继续向里渗透，直到污垢层被完全剥离。
这是空化二次效应。
3.超声波清洗中清洗液超声震动对污垢的冲击。
4.超声波加速化学清洗剂对污垢的溶解过程，化学力与物理力相结合，加速清洗过程。
二、回收瓶质量管理（1）回收瓶的质量要求对回收时挑选的瓶子进车间时，还需要再次安排人员对瓶子进行挑选，以再一次对瓶子质量把关。
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近年 来 ， 随着 Ｌ Ｅ Ｄ行 业 的飞速 发展 ， 对 制 造 过 程 中设 备 的 效 率 要 求 也 越 来 越 高 。 为 了适 应 市 场 的需 要 ，提 高 设 备 的生 产 效 率 是清 洗 类 设 备 能 够 更好 地 占领 市 场 的关 键 之 一川。 本 文所述 的光刻版 清洗 机 适用 于 １ ０ ０ ａｍ（ ｒ ４
ｐ ａ ｐｅ ｒ ｉ ｎ ｔ ｒ ｏ ｄ ｕ ｃ ｅ ｓ ａ ｍｅ ｔ ｈ ｏ ｄ ｆ ｏ ｒ ｓ ｔ ｅ ｐ ｐｉ ｎｇ ｕ ｐ ｔ ｈｅ ｒ ｕｎ ｅ ｉｃ ｆ ｉ ｅ ｎｃ ｙ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ｅ ｑ ｕｉ ｐｍｅ ｎｔ ｂ ａ ｓ ｅ ｄ ｏ ｎ ｔ ｉ ｍｉ ｎｇ ａ ｎ ａ ｌ ｙｓ ｉ ｓ ，ａ ｎ ｄ ｔ ｈｅ ｅ ｘ ｐ ｅ ｒ ｉ ｍｅ ｎ ｔ ｐ ｒ ｏ ｖ ｅ ｓ ｔ ｈａ ｔ ｔ ｈｅ ｍｅ ｔ ｈ ｏｄ ｓ ｔ ｅ ｐｓ ｕｐ ｔ ｈ ｅ ｒ ｕ ｎ ｅ ｉｃ ｆ ｉ ｅ ｎｃ ｙ ｏｆ ｔ ｈ ｅ ｅ ｑ ｕｉ ｐｍｅ ｎｔ ｅ ｆ ｆ ｅ ｃ ｔ ｉ ｖ ｅ ｌ ｙ ｔ ｈ ｒ ｏ ｕｇ ｈ ａ ｎａ ｌ ｙ ｚ ｉ ｎｇ ａ ｎｄ ｏ ｐ ｔ ｉ ｍｉ ｚ ｉ ｎ ｇ ｔ ｈ ｅ ｃ ｏ ｎ ｔ ｒ ｏｌ ｔ ｉ ｍｉ ｎｇ ． Ｋｅ ｙ ｗｏ ｒ ｄ ｓ ：Ｔｈｅ ｐ ｈｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋ ｃ ｌ ｅ ａ ｎ ｉ ｎ ｇ ｓ ｙｓ ｔ ｅ ｍ ；Ｔｉ ｍｉ ｎ ｇ ａ ｎ ａ ｌ ｙｓ ｉ ｓ ；Ｒｕ ｎ ｅ ｉｃ ｆ ｉ ｅ ｎｃ ｙ
技 术之 一 。 介 绍 了 一 种 基 于 时序 分 析 的 提 升 该 设 备 运 行 效 率 的 方 法 ， 实验 证 明 此 方 法 通 过 对 控 制
时序 的 分析 和优 化 ， 有 效提 升 了设 备 的 运行 效 率 。
关键 词 ： 光 刻版 清 洗机 ； 时序 分 析 ； 运行 效 率 中 图分 类号 ： Ｔ Ｎ３ ０ ５ ． ９ ７ 文 献标 识 码 ： Ａ 文章 编 号 ： １ ０ ０ ４ — ４ ５ ０ ７ （ ２ ０ １ ３ ） １ １ － ０ ０ ３ ６ — ０ ３
Ｈ ＯＵ Ｗｅ ｉ ｐ ｉ ｎｇ， Ｇ ＡＯ Ｊ ｉ ａ ｎｌ ｉ ， ＬＩ Ｕ Ｙｕ ｑｉ ａ ｎ
ｆ Ｔ ｈ ｅ ４ ５ Ｉ ｎ ｓ ｔ ｉ ｔ ｕ ｔ ｅ ｏ ｆ Ｃ Ｅ Ｃ Ｔ， Ｂｅ ｊ ｉ ｎ ｇ Ｅ ａ ｓ ｔ Ｙａ ｎ ｊ ｉ ａ ｏ １ ０ １ ６ ０ １ ， ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ）
⑧（ 总 第２ ２ ６ 期 ） 圜衄
Ｉ
电 子 工 业 毫 用 设 备
半 导体 制 造
工艺 与设 备
１ 光 刻 版 清 洗 机 整 机 结 构
光刻 版清 洗 机 主 要 由上 片 盒 、 定位 机 构 、 折 臂 式 机械手 、 ｌ ≠ ｝ 清 洗腔 、 ２ 清 洗 腔 、 翻片机 构 、 下 片 盒 ７大 机 构 组 成 （ 如 图 １所 示 ） 。 自动 工 作 时 ， 通 过 折 臂式机 械手 的协调运 动将各个 机构联 系起 来 ， 共 同完 成 清 洗 光 刻 版 的 动 作 。其 中两 个 清 洗 腔 体
收稿 日期 ： ２ ０ １ ３ — １ ０ － ０ ９
英 寸） 、 １ ２ ５ ｍｍ （ ５英 Ｊ 一 ） 、 １ ５ ０ ｍｍ （ ６英 寸 ） 光 刻 版 的 正背 面 清 洗 。文 中针 对 此 设 备提 出 了 一 种基 于 时 序 分析 提 升 该 设 备运 行 效 率 的 方法 ， 通 过 新 旧 时 序 对 比可 以 看 出， 新 时 序 节 约 了 设 备 运 行 的 周 期时间 ， 提 高 了 设 备 的运 行 效 率 。
ｒ ｕ ｎ ｎ ｉ ｎ ｇ ，ａ ｎ ｄ ｓ ｔ ｅ ｐ ｐ ｉ ｎ ｇ ｕ ｐ ｔ ｈ ｅ ｕｎ ｒ ｅ ｉｃ ｆ ｉ ｅ ｎ ｃ ｙ ｉ ｓ ｏ ｎ ｅ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ｐ ｉ ｖ ｏ ｔ ａ ｌ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｉ ｑ ｕ ｅ ｓ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ｅ ｑ ｕ ｉ ｐ ｍｅ ｎ ｔ ．Ｔ ｈ ｉ ｓ
互 相独 立 ， 也 可 以 同 时进 行 工 作 。
图 ２ 光 刻 版 清 洗 机 工 艺 逻 辑 框 图
开始， １ ≠ ｝ 清洗腔进行正面工艺时 ２ ≠ ≠ 清 洗 腔 是 闲 置 的； １ 清 洗 腔完 成 工 艺 后 ，从 中取 出光 刻 版 ， １ 清 洗腔即空， 此 时直 到 机 械 手 翻 片 ， 并 将 光 刻 版 放 入
Ａｂｓ ｔ ｒ ａｃ ｔ ：Ｔｈｅ ｐ ｈｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋ ｃ ｌ ｅ ａ ｎ ｉ ｎ ｇ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ ｉ ｓ ｔ ｙ ｐｉ ｃ ａ ｌ ａ ｕ ｔ ｏ ｍａ ｔ ｉ ｃ ｃ ｌ ｅ ａ ｎｉ ｎ ｇ ｅ ｑ ｕ ｉ ｐｍｅ ｎ ｔ ｗｉ ｔ ｈ ｍｕ ｌ ｔ ｉ ａ ｘ ｉ ｓ
曼
造 茎
鱼
一
团
基 于 时序 分析 的光刻版清 洗机 运行 效 率提 升方法
侯 为 萍， 高建 利 ， 刘 玉倩
ｆ 中 国 电 子 科 技 集 团公 司第 四 十 五 研 究所 ， 北京 １ ０ １ ６ ０ １ ）
摘 要 ： 光 刻 版 清洗 机是 典 型 的 多轴 运 行 类 自动 化 清洗 设 备 ，清洗 效 率 的提 升 是 此设 备 的 关键
Ａ Ｍｅ ｔ ｈｏ ｄ ｆ ｏ ｒ Ｓｔ ｅ ｐ ｐｉ ｎｇ ｕｐ ｔ ｈｅ Ｒｕｎ Ｅｆ ｉｃ ｆ ｉ ｅ ｎｃ ｙ ｏ ｆ ｔ ｈｅ Ｐｈ ｏ ｔ ｏ ｍａ ｓ ｋ Ｃｌ ｅ ａ ｎ ｉ ｎｇ Ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ Ｂａ ｓ ｅ ｄ ｏ ｎ Ｔｉ ｍｉ ｎｇ Ａｎａ ｌ ｙ ｓ ｉ ｓ