烧结炉炉温校检作业指导书
mim烧结作业指导书
MIMS烧结作业指导书一、目的和范围本指导书旨在规范MIMS烧结作业的整个过程，确保生产出的产品符合质量要求，同时确保作业过程的安全和稳定。
本指导书适用于所有涉及MIMS烧结工艺的岗位和操作人员。
二、操作原理MIMS烧结是一种将金属粉末或金属薄片在高温下烧结成致密化材料的工艺。
通过加热和加压，金属颗粒之间发生物理和化学变化，形成具有所需性能的致密化材料。
三、设备介绍和操作1. MIMS烧结炉：包括炉体、加热系统、压力系统、控制系统等部分。
2. 操作步骤：a. 检查设备是否正常；b. 按照工艺要求配置炉温、压力等参数；c. 将待烧结物料放入炉内；d. 关闭炉门，启动加热和加压程序；e. 烧结完成后，自然冷却至室温；f. 开炉取出烧结件。
四、原料准备1. 金属粉末或金属薄片：确保质量合格，无杂质；2. 模具：根据产品形状和尺寸选择合适的模具；3. 其他辅助材料。
五、工艺流程1. 配料：按照配方准确称量原料；2. 混合：将原料混合均匀；3. 装模：将混合好的原料装入模具中；4. 烧结：将装好原料的模具放入MIMS烧结炉中进行烧结；5. 冷却：烧结完成后，自然冷却至室温；6. 脱模：取出烧结件；7. 质量检测：对烧结件进行质量检测和控制。
六、质量检测和控制1. 外观检测：检查烧结件表面是否光滑、无裂纹等缺陷；2. 尺寸检测：测量烧结件的尺寸是否符合要求；3. 性能检测：进行必要的物理和化学性能测试，如密度、硬度、耐腐蚀性等。
七、安全注意事项1. 操作人员必须经过专业培训，熟悉设备操作规程；2. 操作过程中要穿戴防护服、手套等个人防护用品；3. 设备运行过程中，严禁打开炉门或触摸炉内高温部位；。
炉温均匀性测试作业指导书(更新)
3.3技术部门对检测结果进行确认，检查是否在合格范围内。
4、炉温均匀性检测过程
4.1测试热电偶分布情况及编号
H
炉前
L
W
共需要9只测试热点偶进行测量，对每只热电偶按上图进行编号后再安装在料盘相应位置。
5、修订状态
版本
修订原因
修订内容
修订日期
修订人
编 制：
审 核：
批 准：
受控状态：
发行日期：
实施日期：
1、目的：为了在设备进行大修后，或年度检测炉温均匀性的过程中能够操作规范和保证测试结果的准确性。
2、适用范围：适用于本公司加热炉设备需要进行炉温均匀性温均匀性测试的设备进行计划提出，并做相应的准备工作，同时也有设备部门进行炉温均匀性测试进行操作与测定。
5、测试热电偶和测试仪表均需在校准合格期间内。
6、达到测试温度后，应在该温度段保持时间至少30Min以上。
4.5测试过程
①将待测试设备炉内气氛放空，同时打开前门；②将测试料盘找出；③将测试热电偶按照要求分别用铁丝绑在相应的测试位置；④将测试料盘吊在升降台上；⑤用推拉车将料盘先推入前室；⑥打开中门，将推拉车打向手动，手动缓慢推料盘；⑦将料盘推入后室后，关闭中门；⑧选定测试升温工艺，同时接好热电偶与测试仪表之间的连线，开始测量。
4.2各炉膛加热尺寸
UBE-600Kg型的有效加区为W600×H600×L1200(mm),
UBE-1000Kg型的有效加热区为W760×H800×L1200(mm)
4.3温度偏差标准
可控气氛多用炉有效加热区的温度偏差≤±15℃，回火炉有效加热区的温度偏差≤±10℃（JB3999）；
炉温均匀性测试作业指导书
有限公司热处理炉均匀性测试作业指导书编制：审核：批准：实施时间：1、目的：生产中使用的热处理炉TUS(温度均匀性)和使用仪表及热电偶满足公司生产需要以及符合客户需求特制定本作业指导书。
2、范围：本作业指导书适用于公司热处理炉产品所使用的热处理炉温度均匀性测试。
3、职责4.1 公司热处理工程师根据客户要求负责热处理工艺编制和最终确认。
4.2 技术部与生产部门按照产品热处理工艺选择需要的热处理设备，设备的仪表类型也必须经过国家法定检定机构校检并符合客户要求。
4.3由公司热处理工程师主持相关技术人员对热处理炉进行TUS测试。
4、热处理温度均匀性热处理炉内工作区温度达到稳定化后相对于设定点温度的变化，工作区内任两点的温度偏差不应超过热处理工艺对温均匀性的要求（一般情况下用于正火的热处理炉温度均匀性：±14℃，回火热处理炉温度均匀性±8℃）。
热处理炉等级与温度均匀性范围要求：5、温度均匀性测试（TUS）进行TUS时，如果客户没有特别指出热处理炉的装载状态，一般情况下在满载情况下进行测试，装载的产品必须是依据公司工艺文件进行热处理的产品。
当下一次进行TUS时也必须是和前一次测试时的装载状态且产品与上一次相同。
5.2 温度均匀性测试（TUS）步骤5.2.1通常情况下，在进行TUS时热处理炉必须是室温状态下；如果热处理炉刚进行过生产有一定温度（例如：此时炉内温度是500℃），则下一次进行TUS测试也必须和此次情况相同（500℃）。
5.2.2 热电偶（传感器）的处理。
TUS测试进行之前，热电偶测量端必须用直径不超过13mm（0.5英寸）并且不超过待热处理产品的最薄处、与产品材料一致的长60mm，内部加工出与热电偶直径一样大小深40mm圆孔的圆棒，置于热电偶测量端进行保护。
5.2.3 测量点的选择与位置图5.2.3.1测量点及热电偶的选择本公司热处理炉温度均匀性测试，采用10点进行测量，9 TUS+1控温热电偶。
D3-02-010热处理炉温校对作业指导书
热处理炉温校对作业指导书版本：A1．目的规范热处理测量设备校准的方法，确保热处理测量设备的正确。
2．范围适用于热处理车间所有炉温的校对。
3．职责3．1 测量设备的周期检定由质量控制部归口管理3．2 热处理部负责对范围内的炉温进行定期校对、修正。
4．管理方法4．1 车间所有炉温的校对由专人负责，定期维护校对，修正。
4．2 对标准热电偶、测量仪表定期送计量所鉴定，合格后才能使用。
4．3每月对炉温进行实测校对，对出现偏差由专人进行修正。
有问题可以随时校对。
4．4 校验记录由热处理专人负责汇总保存，保存期为一年。
5．操作方法5．1 热处理测量设备（热电偶）周期检定每半年由质控部计量室委外检定一次，合格贴上标签。
在周期检定间隔内由热处理部专人负责每周校对一次。
5．2 校对前先检查标准热电偶和测量仪表，测头和仪表是否正常，仪表使用时绝对不能受热，否则测量会失准。
5．3 根据技术要求设定工作温度，（如渗碳工作温度900℃--920℃和820℃--840℃）将标准热电偶插入所要检定的热电偶的工作区域，待温控仪表显示工作温度稳定时，用测量仪表测量标准热电偶，将温控仪表显示的温度结果与测量热处理炉温校对作业指导书版本：A仪表测量的温度结果记录在《渗碳生产校验记录单》上.正火、回火测量的温度结果记录在《正火校验记录单》《回火校验记录单》上5．4 如果校验偏差（温控仪表显示的温度与测量仪表测量的温度结果偏差）在5℃以内不作修正，偏差在5-10℃以内作修正，将修正结果记录在《渗碳生产校验记录单》上。
正火、回火测量的温度修正结果记录在《正火校验记录单》《回火校验记录单》上。
5．5 如果校验偏差超过10℃,需核对热电偶、补偿导线、温控仪表有否失效，并进行更换，并重新按上述5．1、5．2、5．3、5．4步骤对更换的热电偶温度进行检定和校对，并将校验结果记录在《渗碳生产校验记录单》上。
正火、回火校验结果记录在《正火校验记录单》《回火校验记录单》上。
烧结炉作业指导书
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。
作成 审核批准 变更内容：谭旺文件编号版/次 总5页A/0 第1页 1.目的确保烧结工艺处于稳定、受控状态。
2.适用范围适用于印刷后硅片在烧结炉中的烧结过程。
3.职责3.1本作业指导书由技术部负责编写和修订；3.2所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。
4.作业准备4.1劳保用品：穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。
4.2确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。
5.作业步骤 5.1工艺准备该作业由组长执行！5.1.1开机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。
5.1.2设备确认检查设备和PC 上是否有故障显示（红色灯或/和警告窗口）；确认冷却水温是否正常。
确认设备运行正常方可执行后续作业；确认急停按钮已经弹起。
若设备有故障显示，应立即汇报班长。
5.1.3确认工艺参数每班接班后，生产工序长需对工艺参数进行点检，发现异常及时报告工艺人员，如无异常，将点检结果填写于《烧结工艺参数点检表》中，见附件一。
5.2工艺启动，该作业由组长执行！ 5.2.2实际参数确认等待参数：速度、温度达到稳定后；确认实际参数在设定的区间内（警示灯转为绿色）。
5.3硅片流入 5.3.1放入预烧片开机和设定温度修改后，在正常硅片流入前，放入两片预烧片（从低效片中取出的电池片），5.3.2 烧结工艺确认在放入预烧片后，流入印刷完成后的硅片5片。
由工程师确认烧结工艺正常。
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。
作成 审核批准 变更内容：谭旺文件编号版/次 总5页A/0 第2页 5.3.3硅片正常流入待烧结工艺确认后，印刷完电极后的电池片自动流入烧结炉，无需人工操作。
5.4电池片流出取出预烧片，重复使用。
观察流入电池片的位置，如果发现电池片偏移，手动移正，保证流入硅片位置无偏移。
取出烧结过程中破损电池片；定时对流出电池片做外观检查。
窑炉作业指导书
窑炉作业指导书一、任务背景窑炉作业是指在工业生产中使用窑炉进行加热、烧结、煅烧等工艺过程的操作。
窑炉作业的正确操作对于保证产品质量、提高生产效率至关重要。
为了确保窑炉作业的安全、高效进行，制定本作业指导书。
二、任务目的本指导书旨在提供窑炉作业的详细操作流程，包括准备工作、操作要点、安全注意事项等，以确保窑炉作业的顺利进行，保障工作人员的安全，提高生产效率和产品质量。
三、任务内容1. 准备工作a. 确保窑炉设备完好无损，检查炉体、燃烧系统、排烟系统等设备是否正常运行。
b. 清理窑炉周围环境，清除杂物和易燃物。
c. 检查燃料和辅助材料的储存情况，确保供应充足。
d. 准备好所需工具和仪器设备，如温度计、压力计等。
2. 操作要点a. 根据生产计划和产品要求，调整窑炉的温度、压力和通风等参数。
b. 启动窑炉，按照操作手册或工艺要求进行操作。
c. 监控窑炉运行情况，包括温度、压力、燃料消耗等指标，及时调整参数以保持稳定的工艺条件。
d. 定期对窑炉进行维护保养，清理炉体、更换损坏的零部件等。
e. 在窑炉作业结束后，关闭窑炉，并进行必要的检查和记录。
3. 安全注意事项a. 操作人员必须熟悉窑炉的工作原理和操作流程，严禁未经培训的人员操作窑炉。
b. 在操作窑炉过程中，必须穿戴符合要求的个人防护装备，包括耐高温服装、防护手套、安全鞋等。
c. 注意窑炉周围的安全距离，防止热辐射对人员和设备造成伤害。
d. 在窑炉作业过程中，严禁使用易燃、易爆物品，并保持作业区域的清洁和整齐。
e. 在窑炉作业结束后，必须彻底清理作业区域，确保无残留物。
四、任务执行方式本作业指导书应由窑炉作业负责人进行编制，并向相关操作人员进行培训和传达。
在实际作业中，操作人员应按照本指导书的要求进行操作，确保作业的安全和质量。
五、任务评估与改进定期对窑炉作业进行评估，包括工作流程、安全措施、操作规范等方面的评估，并根据评估结果进行改进和优化，以不断提高窑炉作业的效率和安全性。
炉温量测作业指导书
5.3.7 测温治具出炉后拿取时需戴上高温保护手套，取出测温治具放置于回焊炉后盖上，打开保护盒，按下测温仪上“mode” 按钮，存储指示灯亮后仪器停止记录。
5.3 炉温量测操作步骤：
5.3.1 记录器品牌：solderstar
5.3.2 记录器型号：neptune
5.3.3 将回焊炉轨道调至与所生产的产品相同的宽度，一般轨道宽度比PCB板宽0.5~1MM为宜。
5.3.4 将测温板上测温线插头从1~6对号插入测温仪插孔内。
5.3.5 将测温仪放入保护盒中，并取一块与测温板同宽度之载具垫于保护盒下。
5.3.11 调整炉温以后, 需重新量测, 再分析它们的差异, 直到符合标准为止，并将调整后的最新参数记录于〔各机种温度设定记录表〕内。
5.3.12 PCBA首件出炉后,需观察炉后焊接结果,如果焊接效果良好,则以此设定的炉温作为该产品的标准设定,否则需重新分析并调整炉温。
5.3.13炉温曲线由制程工程师确认签名后悬挂于产线。
5.3.14 炉温曲线电子档与纸档需按月进行备份和存档。
5.4 炉温量测时机:
5.4.1 正常量测频率为12±2H/次。
5.4.2 更换机种时需量测炉温。
5.4.3 抽风出现问题时需重新量测炉温。
5.4.4 制程品质发生异常时需重新量测炉温。
5.4.5 炉温参数调整后需重新量测炉温。
5.4.6 设备故障排除后需重新量测炉温。
5.1.5 测温板制作完成后需制作〔测温板管理记录表〕,每次使用完成后需作使用记录。
炉温测试作业指导书(10)
4、测试过程中禁止身体任何部位进入设备，发生异常按下急停按钮
变 更日 期
变更依据
变更内容
确认
批准
防止静电损坏元件
表格制作：2006.8.1 表格修改： 版 本：A
产品型号
作业指导书
通用
测试仪型号
作业名 称
KIC
一、目的：测试温度曲线满足生产需求，预防异常问题发生影响品质 二、作业步骤：KIC使用及测试流程
WAVEstart
炉温测试作业指导书
批准
审 核 工艺设计
生效日期
2011/9/1
PCB板专用号
/
工艺编号 WIS-QDSMT-010
PCB 板 版 本
A
文件版本
预热
恒温
1
回流 冷却
2
设置语言及单位 设置制程界限 设置参数、测试曲线
1
2
3
存储曲线及分析
4
退出程序文件9
治 具/工 具 炉温测试仪 测试基板
设置条件
/ /
QDZN-PM-Q3-08-F03
数量
1
1
8
辅料
7
规格
序 号
时间 S
注意事项： 6 1、正常每班测试一次存储，特殊工艺转型测试存储.
B
三生重IC、产点偏前移检I作C确超查偏业过认I移步标管C防管脚骤准静的脚31电回1/3手流套曲是线否戴I 好完 良成 好品 的PICI板C状反IC态向不，检良重查状点贴标确作片准业完低按 I步成C温翘照骤品上腿回2P4左板-流左型-曲下号-无线右误上下的，顺贴I序C片少检右件锡查无IC，
新烧结作业指导书
编订
审核
批准
生效日期
电 池 片 制 造
文件编号 版 页 次 码 第 页 共 页
作业指导书
主 题
烧结作业指导书
七、烧结炉的清洁： 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 1.7 工 具：无尘布、酒精壶、水桶、超声波清洗机； 原辅料：18MΩ·cm 纯水、工业酒精； 穿 戴：乳胶手套； 工艺参数：无 清洗类别：月清洗 清洗频率：每月设备维护日 作业过程：
作业指导书
主 题
烧结作业指导书
烧结流程图
上到工序丝网印刷
上料
烘干区一
烘干区二
烘干区三
AH
烧结区一
烧结区二 自动传送 烧结区三
烧结区四
烧结区五
烧结区六
冷却区一
冷却区二 检查电池片是否有断栅、漏印、印偏、 漏浆、 弯曲度、 铝雹、 铝珠、 表面颜色、 水印、手指印等
下料 下一工序测试分选 编订 审核 批准
1.8.1 烧结炉表面无灰尘和污物，冷却水过滤器无沉淀物，网带表面洁净无污物； 1.8.2 文氏管和冷却水过滤器要轻拿轻放； 1.8.3 冷却区要左右擦而不能上下擦； 1.8.4 洗网带的时候不要卡死网带，装好网带后要检查网带是否走偏或卡死；
编订
审核
批准
生效日期
电 池 片 制 造
文件编号 版 页 次 码 第 页 共 页
电 池 片 制 造
文件编号 版 页 次 码烧结作业指导书
一、目 的
确保硅片经过丝网印刷后，背电极、背电场、正电极达到丝网印刷工艺标准。
二、
适用范围
适用于 125 单晶硅片、156 单晶硅片的丝网印刷工艺。
三、 责 任
本工序的全体生产员工严格按本作业指导书的要求做好生产和质量的自控工作；工序长和生产班长、生产主 管等严格按照本作业指导书的要求监控好本工序的生产作业和质量控制工作。
026KH010炉温作业指导
火灾发生时的处理方法
停止基板进入回焊炉內. 压下回焊炉的紧急开关按扭,用以关掉加热器电源. 将回焊炉的盖子打开. 用干粉灭火器灭火.
5. 用把手将回焊炉內的基板摇出炉外以免被烧毀.
编号
版本 品质保证
A
修改页码 生产
00
所属单位 工程
SMI生产部 拟制
150
当回焊炉出现故障，经维修或调整后必须经炉温测试OK后才能过板。
40秒-70秒
6. 回流焊不用时(如节假日放假),注意关闭抽风机.
测温器作业內容
1. 2. 3. 4. 1. 2. 3. 4. 设定取样速率:一般取样速率为每秒一次. 固定测温线:将测温线固定于PCB表面 ,测温线插头固定在测温器插座中. 开始测试:将测温器置于绝热外盒內放在回焊炉的输送帶(或轨道)上,进行温度测量. 资料分析:将测温器连接线和电脑相连,执行控制软体以载入测温器內的资料并加以分析.
日 付 担 当 承
认
回流焊作业指导
一.作业条件：
1. 2. 3. 4. 5. 根据所生产机种将所需温度由手动输入回焊炉，温度设定须视机板类型而定. 确认输入温度是否正确,当温度升至设定温度后，用测温器测量温度曲线. 每日交接班及更换机种时必须重新测量,测出曲线后须挂放于回焊炉前. 测试OK后，将正确的温度收回电脑，并存档于下次生产时使用. 升温斜率25-150℃ 1-2℃/S：150℃-200℃,时间控制在70秒-120秒之间,最高温 230-250℃。220℃时间控制在30秒-60秒.
MAX250 MIN230 200秒±15秒
220
6. 传送带速度设0.7m-0.8m/min. 7. 如顾客有要求或特殊之机种,则按顾客的要求调整炉温.
30秒-60秒
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编制
审核
批准
1.3每次校准前按热电偶编号套上相应号码管
热电偶按每使用10次内校一次。
号码管与热电偶编号要一一对应， 避免出现测试数据偏差。
2.1拆卸烧结炉法兰，将9支热电偶从法兰口穿入炉内，再将热电偶配套法兰紧固在 注意热电偶与法兰紧固处的密封性
烧结炉上。
是否完好。
2.2将9支热电偶按序号顺序固定在支架规定的位置，确保热电偶在支架的位置每次 注意支架位置（目视支架前后各空
反。 记录数据的时间点控制在保温时间
1h；第二点480℃ 保温1h；第一测试点测1050℃，测试、记录、调整之后再将炉温 段的第30-50分钟之间，如遇实测温
降至480℃，保温1H后测480℃时的数据。）,开始升温,在各温度测试时间点手工记 度与设定温度偏差过大（超过±5
录“WJ-3热电偶自动检测系统”显示的电动势数据,将数据输入电脑自动转化程序 ℃）时，应立即通知材料分厂及设
中,将电动势数值转化为温度。
备课相关人员。 拆除热电偶时需检查热电偶处于炉
2.5校准结束待炉温降至80℃以下，打开炉门，将热电偶从支架上折下，拆除热电 偶法兰，将热电偶从炉内抽出，装好原有烧结炉法兰。
门位置处的表面有无压伤，热电偶 探头用200目以上细砂纸轻微打磨， 避免探头处因高温炭化影响测试准
确性。
相同，如图一；随后将支架推入炉膛内，确保支架位置处于炉膛中央，再关闭炉 余一根钼带）及热电偶不要被炉门
门，如图二。
夹伤
2.3将热电偶补偿导线一端插入冰点恒温器中，另一端按序号连接到“WJ-3热电偶 注意要将热电偶序号与“WJ-3热电
自动检测系统”后部的接线端子上，并开启电源，后将“WJ-3热电偶自动检测系统 偶自动检测系统”的接线端子号对
***************股份有限公司 烧结炉炉温校准作业指导书
编号 管理部门 版本 页码
ZY/PZ-JY-18 品质部 A/1
第1页 共1页
作业名称
炉温校准
责任单位
测试中心
NO.
作业内容及方法：
确认要点
1.1检查“WJ-3热电偶自动检测系统”的控制面板及数据显示屏是否正常工作。
1准备 1.2每次校准前确认热电偶是否在有效期内 验证
3:设备有异常情况时应及时通知相关单位处理，并上报测试 4:烧结炉使用年限在5年以上的（更换过S型偶的除外）每三个月校
中心主管和品质部部长。
检一次，5年以下的每6个月校检一次。
A/1 2012.05.19 A/0 2012.03.27 版本 日期
更改了1.2以及增加了 2.5和注意事项的内容
新版发行
3记录
3.1将上述各段温度数据录入烧结炉炉温测试报告(QR/S6-04-36),根据测试数据作 出判定，并将结果转发给相关单位。
记录表上信息需真实完整填写。
④
⑦
②
5示意
图①
③
⑥
⑤
⑧
⑨
图一、热电偶位置
图二、支架位置
图三、设备运行状态
注 意 事 项：
1：烧结炉操作部分工作由材料分厂和设备课人员完成。 2:热电偶及WJ-3热电偶自动检测系统的操作由测试中心人员完成。
”调至运行状态（面板上的运行指示灯变亮），检查数据显示屏显示的1-9根的电 应（偶1号接0号端，偶2号接1号
2作业 动势数据是否正常（初始数值为正值，如显示负数则表示后端正负极端接反）如图 端，以此类推。）；正负极不可接
步骤
三。 2.4设定烧结炉二段温度及其保温时间后，（即第一测试点温度1050℃
保温时间