废气处理技术方案
炉窑废气治理技术方案
炉窑废气治理技术方案在工业生产中，炉窑是不可或缺的设备，但是其废气排放却成为了大气污染的主要来源之一。
如何有效地治理炉窑废气成为了当前环保领域的热点问题之一。
本文将介绍目前常见的炉窑废气治理技术方案。
一、尾气焚烧技术尾气焚烧技术又称为“直接焚烧法”，它利用高温反应将废气中的有害物质燃烧转化为无害物质。
该技术具有高效、全面、运行简便等优点。
但同时也存在能量消耗较大、易产生二次污染等缺点。
二、吸附法吸附法主要是通过活性炭或活性氧化铝等材料吸附废气中的有害物质，达到净化废气的目的。
吸附法技术具有工艺简单、处理大量废气等特点，但其吸附材料需要定期更换，造成了一定的资源浪费。
三、洗涤法洗涤法直接利用水或化学溶液将废气中的有害物质吸收转化为水溶液，有效减少了废气的污染物排放。
该技术应用广泛且处理效果比较稳定，但其副产品的处理成本较高。
四、生物滤池技术生物滤池技术主要利用微生物在填充层中进行废气净化，将废气中的有害物质转化为无害物质。
该技术具有处理效率高、副产品可回收再利用等优点，但同时也存在环境温度和湿度要求较高、污染物浓度过高时难以处理等限制。
五、膜分离技术膜分离技术是利用膜的微孔结构将废气中的有害物质分离出来，达到净化的目的。
该技术具有处理效果稳定、设备简单等特点，但对膜的要求较高，维护费用较高。
六、催化技术催化技术利用催化剂催化炉窑废气中的有害物质，将其转化为无害物质。
该技术处理效率高、运行稳定、对能源消耗较低，但同时也存在催化剂寿命较短、处理废气过程中催化剂会受到毒性污染等缺点。
综上所述，不同的炉窑废气治理技术各自具有优点和缺点。
在实际应用时应根据废气成分、处理要求和经济成本等因素进行选择，从而达到最佳治理效果。
喷漆废气处理方案
喷漆废气处理方案喷漆废气的主要危害包括对人体健康产生损害，如眼睛和呼吸系统的刺激，可能引发过敏反应、中毒等；对环境造成污染，有机溶剂和颗粒物在大气中会形成臭氧、酸雨等。
二、喷漆废气处理技术为了减少和控制喷漆废气对环境和人体健康的影响，需要采取合适的处理技术。
以下是几种常见的喷漆废气处理技术：1.热氧化法：喷漆废气首先通过预处理系统，去除颗粒物和一部分VOCs，然后经过加热到高温的燃烧室中，与空气中的氧气反应进行燃烧氧化，将有机物质转化为无害的CO2、H2O等物质。
热氧化法的处理效率较高，可以达到80%以上，但能耗较高。
2.活性炭吸附法：喷漆废气通过活性炭吸附床，VOCs会被活性炭表面吸附，从而达到净化效果。
一段时间后，活性炭饱和需要更换或再生，再生后的活性炭可以重复使用。
活性炭吸附法适用于处理低浓度的喷漆废气，但需要处理后的废气经过进一步处理，避免除去的VOCs再次释放到大气中。
3.生物法：利用微生物将有机物质降解为无害物质的方法。
喷漆废气经过生物反应器，微生物通过吸附和降解作用来去除VOCs。
与其他处理技术相比，生物法能耗较低，处理效率也较高，但对于高浓度或复杂组分的喷漆废气，需要配合其他技术进行处理。
4.膜分离技术：通过半透膜的选择性分离作用，将废气中的VOCs分离出来，达到净化效果。
膜分离技术适用于处理低浓度的废气，可以与其他处理技术结合使用，提高处理效率。
5.湿式废气处理技术：包括湿式废气洗涤和湿式电除尘技术。
湿式废气洗涤是通过水喷淋或喷雾塔等设备，将废气中的颗粒物和VOCs溶解、吸收到水中，达到净化目的。
湿式电除尘是利用喷淋水形成细小水滴，在电场作用下，颗粒物和污染物附着在水滴表面，然后被水汇集和排除。
三、综合处理方案针对不同情况和需要，可以采取综合的处理方案来处理喷漆废气。
具体的处理方案需根据喷漆作业的规模、喷漆设备的特点和现场条件等进行选择。
1.首先，采取工艺和设备优化措施，减少喷漆废气的产生。
污水处理站的废气治理方案
污水处理站的废气治理方案随着工业化进程的推进和城市化的不断扩张，污水处理站的建设和运营变得越来越重要。
然而，污水处理站在运作过程中会产生大量废气，其中包括恶臭气体、有毒有害气体等。
这些废气对环境和人体健康造成潜在威胁。
因此，制定科学有效的废气治理方案至关重要。
一、废气产生的原因污水处理站产生废气的主要原因有两个方面。
首先，废气来自处理污水过程中的微生物分解产物，包括硫化物、氨气等。
其次，废气还来自于化学处理剂的使用，例如氯和次氯酸。
这些处理剂与污水中的有机物和微生物产生的产物反应，产生有害气体。
二、废气治理的目标针对污水处理站的废气问题，废气治理方案应该有以下目标：减少有害气体的排放、防止异味扩散，保护环境和居民的健康。
三、废气治理的技术方案1. 液体氧化法液体氧化法是常用的废气处理技术之一。
这种方法通过将废气溶解在液体中，随后进行氧化反应去除有害气体。
该方法有效去除氨气、硫化物等有害气体，同时还能减少异味的产生。
使用液体氧化法需要注意处理液的循环和更新，以确保处理效果稳定。
2. 生物过滤法生物过滤法是利用微生物降解有机物的能力来处理废气的方法。
通过将废气通入生物填料层，微生物附着在填料上，利用废气中的有机物进行生长代谢。
该方法具有操作简单、运行费用低的特点。
在废气处理过程中还可以通过调节填料层的湿度和温度来提高处理效果。
3. 化学吸收法化学吸收法是利用化学吸收剂与废气中有害气体发生反应，将其吸收并转化为无害物质的方法。
例如，硷液吸收剂可以有效吸收废气中的氯气和次氯酸。
使用化学吸收法需要选择适当的吸收剂，并进行反应后的废液处理。
四、废气治理的操作措施1. 定期检查和维护设备监测废气处理设备的运行情况，定期进行检查和维护，确保设备正常工作，以达到废气治理的效果。
2. 加强通风系统建设在污水处理站内部和周边区域，应建设完善的通风系统，及时排出处理过程中产生的废气，减少其扩散范围。
3. 加装气味控制设备针对恶臭气体问题，可适当加装气味控制设备，如化学冲洗喷淋装置、活性炭吸附设备等，降低异味对周边环境的影响。
化工氨气废气处理技术方案
化工氨气废气处理技术方案氨气是一种具有毒性和刺激性的气体，广泛应用于化工、制药、农业等行业。
然而，氨气的大量排放会对环境和人体健康造成严重影响。
因此，对氨气废气的处理成为一个重要的问题。
1.氨气废气收集：首先，需要收集氨气废气，防止其直接释放到大气中。
常用的氨气收集手段包括吸附、吸取和脱附等方法。
吸附方法通常使用活性炭等材料来吸附氨气，吸取方法则是通过溶液或液体吸收剂来将氨气转化为溶液中的氨化物。
脱附方法则是将吸取的氨气转化为氨气再次释放出来。
2.氨气废气净化：收集到的氨气废气往往含有大量的杂质和有毒物质。
净化处理是为了去除这些杂质和有毒物质，使氨气达到排放标准。
常见的氨气废气净化方法包括催化氧化、吸收、生物处理等。
催化氧化是一种通过催化剂将氨气转化为氮气和水的方法，吸收则是使用溶液或液体吸收剂将氨气转化为溶液中的氨化物并进行反应。
生物处理则是通过微生物的作用将氨气转化为无害物质。
3.氨气废气的利用：氨气虽然是废气，但是可以通过合适的技术手段回收利用。
一种常见的利用方式是将氨气转化为液体肥料的形式，用于农业生产中。
另外，氨气还可以用于制取化肥和合成其他化学品。
4.氨气废气的监测和控制：为了保障环境和人体健康，对氨气废气进行监测和控制是必要的。
监测可以使用传感器和仪器设备进行，通过实时监测氨气浓度等参数，及时发现问题并采取相应的措施。
控制方面可以通过调节工艺参数和采用合适的处理方法等手段来减少氨气的排放。
综上所述，对化工氨气废气的处理需要采用收集、净化、利用等多种技术手段来达到有效去除废气的目的。
同时，还需要加强对氨气废气的监测和控制，以确保环境和人体健康的安全。
油墨印刷废气处理技术方案
油墨印刷废气处理技术方案背景随着印刷行业的快速进展，印刷企业在生产过程中产生大量的废气、废水和固体废物。
其中，印刷废气排放是造成环境污染的紧要原因之一、油墨印刷废气所包含的物质较多而杂，紧要包括有害气体和颗粒物等，对空气质量和健康产生威逼，因此处理油墨印刷废气是一个紧要的环保问题。
本文将介绍几种常见的油墨印刷废气处理技术方案。
方案一：活性炭吸附法活性炭是一种具有极强吸附本领的吸附剂。
将活性炭置于吸附器内，并将油墨印刷的废气输送至吸附器，通过活性炭的吸附作用，可以将废气中的有机物和有害气体去除。
此方案的优势在于设备简单，操作便利，吸附效率高，对环境无污染，且适用于小型企业的油墨印刷废气处理，但其效果受环境温度和湿度等因素影响。
方案二：生物过滤法生物过滤法是将废气通过生物菌落层，利用生物代谢将废气中的有机物质氧化成为二氧化碳和水，以达到净化的目的。
此方案对废气中的苯、酚、甲苯、氯乙烯等有机物质具有较好的去除效果，其优点包括净化效果好、成本低廉、易维护、无二次污染等，但其适用范围比较窄，需要严格掌控进气温度和湿度等条件，并且在冬季加热等方面有确定的成本。
方案三：活性氧气化法活性氧气化法是一种利用氧化还原反应将废气中的有机物质氧化成为无害物质的技术。
与传统的冷等离子技术相比，这种方法不需要高压电源，也不会产生二次污染。
此方法需要在废气传输过程中加入确定量的氧气，以达到快速氧化的目的。
这种方法具有处理效率高、易操作、无二次污染等特点，但需要选择专门的氧化催化剂以提高氧化反应效率。
方案四：等离子技术等离子处理技术是一种将气态样品放入等离子体中进行处理的技术。
在等离子体中，废气中的有机物质会发生电离、激发和分解反应，形成大量的自由基和离子，最后通过碰撞和反应转化为有害物质的氧化产物。
这种处理方法对印刷废气中的酸性气体、臭味及多种有机物都具有确定的去除效果，但其设备成本较高，易受温度、湿度等因素影响，同时处理效率和稳定性亦需要渐渐提高。
处理废气的设计方案
-提升企业的环保形象，增强企业社会责任感。
-推动行业绿色发展，助力生态文明建设。
六、结论
本设计方案从废气收集、预处理、处理工艺、尾气排放、自动控制及运维管理等环节进行了详细规划。在确保合法合规的基础上，力求实现高效、经济、安全的废气处理目标。通过实施本项目，企业将有效降低废气排放对环境的影响，为我国环保事业作出贡献。同时，本项目具有良好的经济效益和社会效益，有助于企业可持续发展。
二、设计原则
1.合法合规：严格遵守国家及地方环保法律法规，确保废气处理效果满足排放标准。
2.技术先进：采用国内外先进的废气处理技术，提高处理效率，降低运行成本。
3.安全可靠：充分考虑设备运行安全，确保系统长期稳定运行。
4.经济合理：在满足处理要求的前提下，力求投资和运行成本最低。
5.人性化设计：充分考虑操作人员的使用需求，简化操作流程，提高工作效率。
3.社会效益：本项目符合国家环保政策，有利于提升企业形象，增强企业社会责任感。
五、结论
本设计方案在充分了解企业废气排放情况的基础上，提出了一套合法合规、技术先进、安全可靠、经济合理的废气处理方案。通过实施本项目，企业将实现废气排放达标，为我国环保事业贡献力量。同时，本项目具有良好的经济效益和社会效益，有助于企业可持续发展。
处理废气的设计方案
第1篇
处理废气的设计方案
一、项目背景
随着工业生产的发展，废气排放问题日益凸显，不仅对环境造成了严重影响，而且威胁到人类健康。我国政府高度重视环境保护，出台了一系列政策和法规，要求企业对生产过程中产生的废气进行有效处理，达到国家和地方排放标准。本设计方案旨在为某企业提供一套合法合规的废气处理方案，减轻企业环保压力，实现可持续发展。
公司废气收集处理环境整改方案
公司废气收集处理环境整改方案一、废气来源及危害我们要明确废气的来源。
公司的生产过程中，会产生各种有机废气、无机废气和恶臭气体。
这些废气中含有大量的有害物质，如苯、甲苯、二甲苯、硫化氢、氮氧化物等，对人体健康和环境都有着极大的危害。
想象一下，如果我们不采取措施，这些废气排放到大气中，不仅会污染空气，还会对人体呼吸系统、神经系统造成伤害。
更严重的是，这些有害物质会随着雨水进入土壤，进而影响农作物和地下水资源。
二、废气收集处理方案1.废气收集系统（1）在产生废气的设备附近安装吸气罩，确保废气被及时收集。
（2）采用密闭管道，将废气输送到处理设施。
（3）设置风机，提高废气收集效率。
2.废气处理设施（1）活性炭吸附法：利用活性炭的高效吸附性能，将废气中的有害物质吸附在活性炭表面，然后再通过脱附装置将有害物质去除。
（2）光催化氧化法：利用光催化氧化技术，将废气中的有机物质氧化成无害的水和二氧化碳。
（3）生物滤池法：利用微生物将废气中的有害物质降解，转化为无害的物质。
三、环境整改措施1.厂房整改为了确保废气收集处理效果，我们需要对厂房进行整改。
具体措施如下：（1）对厂房进行密封处理，减少废气泄露。
（2）安装通风设备，提高室内空气质量。
（3）设置安全防护设施，如报警器、灭火器等。
2.绿化整改绿化是改善环境的重要手段。
我们可以在厂区周边种植大量的树木和绿草，增加绿化面积，降低空气污染。
四、实施计划1.项目启动在项目启动阶段，我们需要对全体员工进行环保意识培训，确保每个人都了解废气收集处理的重要性。
2.设备采购与安装在设备采购与安装阶段，我们要严格筛选供应商，确保设备质量。
同时，要按照设计方案进行安装，确保废气收集处理效果。
3.运营与维护在运营与维护阶段，我们要定期检查设备运行情况，发现问题及时处理。
同时，要对废气处理设施进行定期维护，确保其正常运行。
4.环保监测在项目实施过程中，我们要定期对废气排放情况进行监测，确保排放指标达到国家标准。
橡胶厂废气处理方案
橡胶厂废气处理方案橡胶厂废气处理方案橡胶厂是一种化学加工厂，生产过程中会产生大量的废气。
这些废气含有有害物质，对环境和人体健康构成严重威胁。
因此，橡胶厂需要采取有效的废气处理措施，保护环境和员工的健康。
一、废气处理技术选型根据橡胶厂生产过程中产生的废气特点，我们可以考虑以下几种废气处理技术：1.吸附：利用活性炭等物质吸附废气中的有机物质，并进一步进行处理。
吸附技术可以有效去除废气中的有机物质和部分有害气体。
2.催化氧化：利用催化剂将有害气体氧化为无害物质。
催化氧化技术对于废气中的有机物质、硫化物和一些有毒气体具有较高的氧化效果。
3.等离子体技术：利用等离子体生成的高能活性种子与废气中的有害物质进行深度反应，氧化、分解或重结合废气中的有害物质。
二、废气处理系统设计根据橡胶厂的废气特点和处理技术的选择，设计一个高效可靠的废气处理系统非常重要。
废气处理系统应包括以下几个部分：1.废气收集系统：确保废气能够被有效收集，并输送到处理设备。
废气收集系统应包括合理设置的排气口和管道网络，以及必要的排气风机。
2.废气预处理系统：废气进入废气处理设备之前，需要进行一定的预处理，如去除粉尘、微小颗粒和液滴等。
预处理系统包括过滤器、沉降器、湿式洗涤器等设备。
3.废气处理设备：根据废气特性和处理技术选型，选择合适的处理设备。
不同的技术选型对应不同的设备，如活性炭吸附装置、催化氧化装置和等离子体反应器等。
4.废气净化系统：废气处理设备处理后的气体仍然可能含有一些有害物质。
废气净化系统用于进一步净化废气，保证排放达标。
净化系统可以包括活性炭过滤器、湿式洗涤器、静电沉降器等。
5.废气排放系统：净化后的废气需要经过测量检测，确保达到环境排放标准。
排放系统应包括废气测量设备、计量仪表以及必要的排放管道和排风机等设备。
三、废气处理过程中应注意的问题在橡胶厂废气处理过程中，还需要注意以下几个问题：1.运行维护：废气处理系统需要定期进行检查和维护，确保设备正常运行。
炉窑废气治理技术方案
炉窑废气治理技术方案
背景
随着工业化进程的加速发展，伴随而来的是炉窑废气排放的增加。
废气中含有大量的有害物质，长期排放不仅会对环境产生影响，还会
严重危害人体健康。
因此，加强对炉窑废气的治理已成为当前环保工
作的重要内容之一。
技术方案
炉窑废气治理技术方案主要包括以下几个方面：
1. 烟气净化技术
烟气净化技术主要是通过对烟气进行过滤、吸附、化学反应等手段，将废气中的有害物质去除，达到净化的目的。
主要包括静电除尘、布袋除尘、活性炭吸附、离子交换等几种技术。
2. 烟气再循环技术
烟气再循环技术是指将烟气经过处理后再次排放到燃烧室内，达
到提高燃烧效率，降低燃烧温度，减少废气排放的目的。
此技术可以
有效地降低废气排放，减少企业的环境投资成本。
3. 热交换技术
热交换技术是利用废气中的热能与其他介质进行交换，达到热能
利用的目的。
主要包括水冷式和空气冷式两种方式。
利用热交换技术
可以将烟气中的热能转化为其他能源，提高能源利用效率。
4. 生物膜处理技术
生物膜处理技术是将废气通过特定的生物膜过滤器进行处理，利
用生物膜内的微生物对废气中的污染物进行生物降解和转化。
此技术
具有工艺简单、投资成本低、操作便捷等优点，是一种十分实用的炉
窑废气治理技术。
总结
炉窑废气治理技术方案是保障环境和健康的重要手段之一。
通过
选用合适的技术方案，可以有效地降低废气排放，提高能源利用效率，同时也可以为企业节约燃料投资成本。
因此，加强炉窑废气治理工作，推广绿色环保理念，是每个企业的必然选择。
炉窑废气治理技术方案
炉窑废气治理技术方案炉窑废气是指在工业生产中，由于物料燃烧和化学反应所产生的气体排放。
这些废气中含有一定的有害物质，如二氧化硫、氮氧化物、挥发性有机物等，直接排放会对环境和人体健康产生不良影响。
因此需要选用适当的治理技术来减少废气排放。
废气治理技术1. 传统技术常规的废气治理技术包括物理吸收、化学吸收、活性炭吸附、低温等离子体等。
其中，物理吸收和化学吸收是目前应用最广泛的技术。
这两种技术都是利用溶液对废气中有害物质进行吸收，在吸收剂中与废气中的有害物质反应生成可降解的物质。
2. 新型技术除了传统的治理技术外，还有一些新型技术也被广泛应用。
其中，催化氧化技术是一种基于催化剂的新兴治理技术。
该技术通过催化剂的作用将废气中的有害成分转化为无害的二氧化碳和水。
另外，膜分离技术也是一种新型治理技术。
该技术是基于多孔膜的分离原理，在废气中穿透膜时，分离出不同的组分，从而实现针对性的控制。
3. 选择技术选择技术需要根据实际情况进行综合考虑。
在工程方案中，需要根据场地条件、治理效果和经济性等因素对技术进行综合分析，选用最适合的方案。
技术方案1. 立体烧结窑废气处理方案采用低温等离子体和吸收塔联合控制，分三个阶段进行处理，建设两个低温等离子体系统，对窑内废气进行预处理。
由于废气含尘量较大，因此需要安装旋风除尘设备。
在低温等离子体过程后，废气进入吸收塔，利用溶液吸收废气中的有害成分，再进行净化处理。
2. 烧结机废气处理方案采用膜分离技术和催化氧化技术联合控制，充分利用低温等离子体预处理后，控制烧结机排放的废气。
首先将废气进入膜分离系统，利用多孔膜的分离原理选取出废气中的有害成分，对产生的有害成分进行特定催化氧化，将有害成分转变为无害成分，实现绿色化治理。
结论炉窑废气治理技术方案需要选择效果明显、经济可行的技术来保护环境和人体健康。
传统技术和新型技术在治理效果和经济性方面各有特点，具体应根据工程实际情况选择合适的技术。
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废气处理方案
太阳能电池线的生产过程中涉及制绒、扩散、镀膜、印刷等工艺, 在生产过程中
会使用大量的化学试剂，如盐酸、氢氟酸、硝酸、硫酸、 氢氧化钾（或氢氧化
钠）、硅烷、氨气、醇类等，这些化学试剂在使用过 程中会释放出大量的有害废
气，所排放的废气主要为氯化氢、氟化氢、 氯气、氮氧化物、氨气、硅烷、醇类废
气等，这些废气需要被有效的处 理，完全达到国家和地方的排放标准后才能排入大
气中。
（一）废气分析
1、制绒工艺废气分析
在制绒工艺过程中，废气源主要为制绒及清洗设备，废气种类因工艺 不同而有
区别，主要废气为氮氧化物、氟化氢气体（多晶工艺）；碱蒸汽 及醇类（单晶）。
2、扩散工艺废气分析
扩散工艺涉及废气排放的设备主要是：扩散炉、石英管清洗机、石墨 舟清洗机
等。扩散炉排出的废气是酸性废气及热废气，本项目酸性废气 主要为含氯废气，如
氯气等。石英管清洗机、石墨舟清洗机产生的废气 主要为含氟化氢及氯化氢成分的
酸性气体。
3、镀膜工艺废气分析
镀膜工艺涉及的主要设备为去磷硅玻璃清洗机及 PECV等。去磷硅玻 璃清洗
机产生的废气主要成分为氟化氢及氯化氢等；P ECVDI气主要包含
4、印刷工艺废气分析
印刷工艺涉及的主要设备为印刷机和烧结炉，产生的废气主要是一些 以脂类和
醇类废气为主的有机废气。
（二）废气抽风量设计及设备选择
根据上述废气分析，太阳能电池生产线产生的废气以处理方式来分可 分为三
类：酸碱废气、硅烷及氨气等特气、有机废气。
1、酸碱废气净化系统
本项目涉及的酸碱废气来自制绒清洗机、扩散炉、去磷硅玻璃清洗机、 石英管
清洗机及石墨舟清洗机等，主要成分为HF/HCI/CI2/碱蒸汽等，这 些废气均可溶于
水，可以采用酸碱中和的方式进行废气处理。一般采用 碱液喷淋方式进行废气净
化。本项目废气处理分为二部分：扩散间及其 他废气。扩散间的酸碱废气为
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15000m3/h,选一套DGS-B-15型废气洗涤 塔进行处理；其他的酸碱废气采用一套
DGS-B-40型废气洗涤塔进行处理 其处理风量为40000m3/h。废气洗涤塔主要有以下
几部分组成：洗涤塔、 自动加药系统、玻璃钢离心风机、玻璃钢风管、排风烟囱及
保护钢架、 电气控制柜等组成。
设备工艺流程如下图:
从车间工艺段抽出的酸碱废气在离心风机的作用下进入洗涤塔。在
洗涤塔内部，中和液经喷淋系统喷洒而下，与废气中的酸性气体发生中 和反应从而
起到净化效果。为了提高净化塔的净化效率废气洗涤塔填料 采用特殊PP海胆型保尔
环以增大气液接触面积。为了使中和液处于一个 最佳的吸收浓度并减少人力操作，
本系统采用自动加药系统对洗涤塔进
行氢氧化钠补充，每套系统包括1个自动加药箱，每个自动加药箱包括1 个PH计，1
个计量泵，PH计根据净化塔箱体内吸收液的 PH值来控制计 量泵的开关，从而实现
自动加药。经废气洗涤塔净化后的废气通过排放 烟囱达标排放，排放标准为
GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》 二级标准。
废气洗涤塔处理废气的主要化学反应为:
NaOH+HF - N aF + 出
0
N aOH+HCL - N aCL + 出
0
CI2 + H2OT HCIO + HCI 2HCIO - 2 HCI + 0
2
2、有机废气净化系统
本项目有机废气以含脂类、醇类等挥发物为主，这些有机物微溶于水, 不能用常
规的洗涤法处理。根据这些特点，本项目有机废气采用我公司 研制生产的活性炭纤
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维有机废气净化器进行吸附净化。根据贵公司提供 的工艺设备废气排放量并结合我
公司多年的实际经验，本项目选择一套
SYWFL-4 N0.8型*2组合式活性炭纤维有机废气净化器，该组合式设备 处理能力为
32000m3/h。本设备主要有净化器、离心风机及排风烟囱组成。
净化器中吸附装置的主要成分是活性炭纤维。活性炭纤维是超越活性炭
(GAC )的高效吸附材料，它具有高度发达的微孔结构，吸、脱附速度 快，净化效果
好，在简单条件下，可以完全脱附等特点。他易于加工成 毡、丝、布等形状，成型
较好，不易粉化，在振动下不会产生装填松动 和过分密实现象。 活性炭纤维吸附容
量大，耐热、耐酸、碱：ACF对汽 油、醛类、酚类、烯烃等有机蒸汽吸附比 GAC大
几倍，对无机气体有很
好的吸附能力(如NO, N02, SO2, H2S、HF、HCL等)吸附量比GAC
从车间工艺段抽出的工艺废气首先进入有机废气器，在净化器内部废 气经过多
层活性炭纤维过滤吸附，吸附净化后的废气在离心风机的作用
下，经过排放烟囱达标排放，排放标准为 GB16297-1996《大气污染物 综合排
放标准》二级标准。
3、硅烷系统
从PECVD工艺设备出来的废气主要为硅烷及氨气。硅烷是一种可燃 性气体，并
且易自燃（接触空气后就会燃烧），而氨气是一种可溶性气体, 处理这些混合废气分
两步走：先燃烧后喷淋吸收。本项目选择一套HWR-6 型不锈钢硅烷燃烧塔，PECVD的
工艺废气设备具体处理过程如下:
含有硅烷及氨气等成分的混合废气通过管道进入不锈钢硅烷燃烧塔 中，在燃烧
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塔内部的燃烧室内硅烷气体与通入的压缩空气接触燃烧，燃 烧后产生的二氧化硅粉
尘沉积从燃烧室底部的排渣口排出，而含有氨气 的其他废气进入喷淋洗涤室。在喷
淋洗涤室中，氨气与循环液发生反应 而被处理掉，处理完的气体经脱液室脱液处理
后由抽风机抽出，最后通
过排放烟囱排入大气，排出气体达到 GB14554-93《恶臭污染排放标准》 标
准。当P ECVD发生故障而出现应急排放时会排出大量的纯硅烷，为了
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提高系统处理应急排放时的废气处理能力，本系统在燃烧塔前接二个不 锈钢硅烷应
急燃烧筒。
具体处理如下图:
为了提高设备安全性，在进气方面采用压缩空气加新风补气的双进
风形式；在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法；风 机采用一用
一备形式。这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到 极大保证。内部燃烧室
采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大 的情况下仍能正常工作，同时配备
了氮气吹扫保护系统，更加大了设备 的安全性，其中每台硅烷燃烧塔的氮气用量为
1.5m3/h。在粉尘收集方面 采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，
这使粉尘收集 处理变得更容易、更有效。
净化设备有限公司