一种新型苯磺酸光致产酸剂的合成
周口师范学院本科毕业论文（设计）
1 目 录
摘 要： ..................................................................................................... 2
引言 ............................................................................................................. 2
1实验部分 .................................................................................................. 3
1.1仪器与试剂 ........................................................................................ 3
1.2试验方法 ............................................................................................ 3
2结果与讨论.............................................................................................. 4
2.1反应历程 ............................................................................................ 4
2.2粗产品产率 ........................................................................................ 4
2.3 红外特征吸收光谱 ............................................................................. 4
结论 ............................................................................................................. 6
参考文献 ..................................................................................................... 6
致谢 ............................................................................................................. 7
周口师范学院本科毕业论文（设计）
2 一种新型苯磺酸酯类光致产酸剂的合成
摘 要：本文自主设计合成了一种新型苯磺酸酯类光致产酸剂。利用1-萘酚与苯磺酰氯在吡啶条件下，合成一种新型苯磺酸酯。最后通过IR的方法对合成的化合物进行确认以及性能表征。
关键词：苯磺酸酯类； 光致产酸剂； 1-萘酚； 苯磺酰氯
Synthesis of a novel benzene sulfonic acid ester photoacid
generator
Abstract: This article independently designed and synthesized a new sulfonic
acid esters light-induced production of acid. 1 - naphthol and benzene sulfonyl
chloride in pyridine under the conditions of synthesis of a new sulfonic acid ester.
Finally, the IR method for confirmation and characterization of synthetic compounds.
Key words : sulfonic acid esters; light-induced production of acid; 1 - naphthol;
benzene sulfonyl chloride
引言
光致产酸剂又称为光产酸剂（photoacid generator，PAG）是指在紫外可见光、X射线、电子束、离子束等适当光照射下的光作用下，能产生酸的化合物。此酸能够作为催化剂使光照区域发生酸解反应，从而使曝光区域和非曝光区域有很大的溶解性差异，可以通过显影得到所需要的图像。
1983年由IBM公司的Ito等提出的化学增幅（Chemically Amplified，CA）光致产酸剂被认为是非常有前景的感光成像体系，因为光产酸剂体系具有很好的化学增幅效应、较高的成像灵敏度和记录精度。提到光产酸剂最容易想到的一种用途就是应用到光刻胶领域中，光刻胶作为集成电路中的一种关键性材料而被人周口师范学院本科毕业论文（设计）
3 熟知，它的性能直接影响到集成电路的集成度。光刻胶中使用的感光物质有双膜树脂自身、双叠氮化合物、重氮萘醌化合物和本文要合成的光致产酸剂，光刻工艺也经历了从G线(436 nm)光刻，I线(365 nm) 光刻，到深紫外248 nm及193nm再到超紫外技术（EUV）和电子束直写技术（EBOW）的发展历程。感光物质的发展推动着光刻工艺的发展，对感光物质的研究一直是一个热点领域。
光产酸剂的主要种类有重氮盐、鎓盐、磺酸酯以及有机多卤化合物。由于磺酸毒性小，酸强度、酸扩散度适当，挥发性小，所以在光刻胶生产中普遍使用的光产酸剂是能够产生磺酸的光产酸剂，如硫鎓盐、磺酸酯类等。磺酸酯类光产酸剂又能根据人们的需要进行结构上的剪裁，而应用于正性和负性的抗蚀剂体系中，应用范围有很大拓宽。本文自主设计合成了一种苯磺酸酯类光产酸剂，并通过IR进行性能表征。
1实验部分
1.1仪器与试剂
红外分光光度计（WQF-510）、KBr压片、电子分析天平、磁力搅拌器、250ml烧杯、100 ml烧杯、50 ml烧杯、玻璃棒、胶头滴管、分液漏斗等实验室常用仪器和设备。
1-萘酚、苯磺酰氯、吡啶、无水乙醇、氯仿、水、
所用试剂为分析纯，水为去离子水
1.2试验方法
用电子天平称量2.88g 1-萘酚粉末，以50mL烧杯为容器称量3.53g苯磺酰氯溶液，将称量好的1-萘酚粉末转移到盛有苯磺酰氯中的烧杯中。用50mL量筒量取20mL无水乙醇加入反应烧杯中，磁力搅拌3小时，在搅拌开始时、搅拌半小时、搅拌1小时的时候分别一次性加入4mL吡啶试剂。搅拌完成后，向溶液中加蒸馏水，直至有大量白色絮状物质生成，冰浴30min。用分液漏斗分离出产周口师范学院本科毕业论文（设计）
4 物，再用大量蒸馏水水洗产物，然后用分液漏斗重复分离产物，用干燥剂CaCl2干燥反应产物，用电子天平称重产品重量，得到产品5.14g。
2结果与讨论
2.1反应历程
本实验利用1-萘酚与苯磺酰氯经无水乙醇溶解后，在吡啶提供的碱性环境和磁力搅拌条件下反应，反应合成一种苯磺酸脂类光致产酸剂，此反应的反应方程式为：OH+SOOCl吡啶条件无水乙醇OSOO+HCl
2.2粗产品产率
粗产品经过粗提纯后得到产品质量为5.1402g, 理论产量为：（2.88g/144）×284=5.68g
产率η=5.1402g/5.68g×100﹪=90.4﹪
2.3 红外特征吸收光谱
以KBr压片作为基底，测定其基准线，然后分别测定反应药品苯磺酰氯、1-萘酚与合成的光致产酸剂产物的红外光谱，1-萘酚是粉末状可以直接与KBr一起压片测定红外光谱，苯磺酰氯是稀溶液，则是取少量苯磺酰氯试剂滴在压片上进行测定，而合成的苯磺酸酯产品密度较大，需要用氯仿稀释之后才能滴加到压片进行红外测定。将三者进行对比，结果显示所制得光致产酸剂与预期结构相符。 周口师范学院本科毕业论文（设计）
5
苯磺酰氯的红外光谱图
1-萘酚的红外光谱图 周口师范学院本科毕业论文（设计）
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苯磺酸酯红外光谱图
结论
1-萘酚与苯磺酰氯在吡啶条件下反应生成目标产物，产率为90.4％。用分液漏斗分离出光致产酸剂，经红外光谱测定与预期产物结构相同。
参考文献
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【2】 王美丽，王广文，韩元利，蒲嘉陵，新型硫鎓盐类光生酸剂的产酸性能研究，北京印刷学院报 1001-9730（2007）
【3】 郑金红，光刻胶的发展与应用【J】，精细与专用化学品，2006年16期
【4】 王美丽，新型光生酸剂的合成及其成像性能研究，北京印刷学院 硕士论文 周口师范学院本科毕业论文（设计）
7 【5】 王美丽，王广文，韩元利，蒲嘉陵，三嗪类光生酸剂的合成及性能表征，北京印刷学院报，2008年16卷2期
【6】 杨幸幸，邹应全，硫鎓盐产酸剂的合成及其产酸效率，应用化学，2009.10（26）
【7】 WUWenQiang(巫文强), KEXu(柯旭), HUANGYe(黄晔),
WANGYueChuan(王跃川). ChineseJApplChem(应用化学) [ J], 2007, 24( 2): 134
【8】 Kyung-Min Kim , Ramakrishnan Ayothi , Christopher K. Ober，Synthesis,
Characterization and Lithography Performance of Photoacid Generator with Short
Perfluoroalkyl Anion，Polymer Bulletin 55, 333–340 (2005) DOI
10.1007/s00289-005-0444-8
【9】 Kiyoshi Hosono ，Akihiko Kanazawa，Hideharu Mori ，Takeshi Endo，Enhanced
degradation of cellulose acetate film containing diphenyliodonium salt–benzophenone，Cellulose (2007) 14:529–537 DOI 10.1007/s10570-007-9127-y
【10】 Celso L, Triolo A, Triolo F, Donato DI, Steinhart M, Kriechbaum M,
Amenitsch H, Triolo R (2002) Eur Phys J Soft Matter 8:311
一种苯磺酸氨氯地平的合成工艺
一种苯磺酸氨氯地平的合成工艺
苯磺酸氨氯地平是一种钙通道阻滞剂，被广泛用于治疗高血压和心绞痛等疾病。以下是苯磺酸氨氯地平的合成工艺及步骤介绍：
1. 首先需要将3-甲氧基苯乙烯和对氨基苯甲酸乙酯经过醚溶剂中进行酯化反应，得到3-甲氧基苯基对氨基苯甲酸乙酯。反应条件：反应物摩尔比1:1.2，醚为反应溶剂，加入强酸催化剂如硫酸或盐酸，反应温度为50-70℃，反应1-2小时。
2. 接着将3-甲氧基苯基对氨基苯甲酸乙酯和氯甲基异丙基胺经过丙酮中进行还原反应，得到苯基-4-（氯甲基）-1，4-二氢-2，6-二甲基吡啶-3-羧酸乙酯。反应条件：反应物摩尔比1:1.5，反应溶剂为丙酮，加入还原剂如异丙基锂或钠，反应温度为0-10℃，反应时间2-3小时。
3. 随后将苯基-4-（氯甲基）-1，4-二氢-2，6-二甲基吡啶-3-羧酸乙酯和苯磺酸经过芳香烃中进行磺化反应，得到苯磺酸氨氯地平。反应条件：反应物摩尔比1:1.2，溶剂为芳香烃如二甲苯、甲苯等，加入硫酸，反应温度为80-100℃，反应时间1-2小时。
以上是苯磺酸氨氯地平的合成工艺及步骤介绍，这种合成方法简便易行，适用范围广泛，可大规模生产。
一种新型酞菁类光蚀刻记录材料的光生酸性质研究
第２５卷第２期 ２００７年３月 感光科学与光化学
Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｐｈｏｔｏｃｈｅｍｉｓｔｒｙ Ｖ０１．２５ Ｎｏ．２ Ｍａｒ．．２００７
一种新型酞菁类光蚀刻记录材料的
光生酸性质研究
黄 蕾，宾月景，黄 新，张复实
（清华大学化学系有机光电子与分子５１２程教育部重点实验室，北京１０００８４）
摘要：通过研究对甲苯磺酸酯空心酞菁的性质，发现该化合物在紫外光照射 下可生酸，是一种光生酸剂．由于酞菁类化合物本身具有光催化氧化反应的性
能，因此这类光生酸剂在光蚀刻技术中将有很好的应用潜能．
关键词：化学增幅抗蚀剂；光生酸剂；光催化；酞菁 文章编号：１０００—３２３１（２００７）０２—０１４２—０５ 中图分类号：ＴＱ５７ 文献标识码：Ａ
１９８３年以来，Ｉｔｏ等＿１，２ Ｊ发表了关于化学增幅抗蚀剂的论文，化学增幅技术就被广泛
应用于提高抗蚀剂体系的感度中．化学增幅作用即在感光组成物中加入光生酸剂，在光
照时发生的光化学反应会产生出一种化学增幅剂（例如质子酸或路易斯酸），这种化学增
幅剂在光照停止后，将作为高分子化学反应的催化剂，催化高分子进一步发生交联或分 解反应，达到增幅的目的，使得效率大大提高 ３．一般的化学增幅技术是利用光生酸剂光
解产生的酸经由加热或水解等途径对特定高分子树脂的催化作用，导致曝光区域发生酸
解化学变化，与未曝光区域形成差异，在显影处理后形成影像．酞菁类化合物因具有光催 化降解的特性【４，５ Ｊ，从而可催化高分子的分解反应进行来达到光蚀刻的目的．由于光生酸
体系的光致抗蚀剂具有很好的化学增幅效应，因此在微电子工业、微刻技术以及规模集 成电路制造等领域得到了广泛应用【６－９ Ｊ．
在化学增幅作用中．，占主导地位的是光生酸剂．它的结构和性质对抗蚀剂体系形成 的图像有很大的影响．目前，在光生酸剂中，硫铃盐和磺酸酯类的化合物占据了主要地
位．磺酸酯类的化合物可作为产酸源，主要适用于深紫外、１９３ ｎｌＴｌ、电子束等光源及辐射 的曝光．磺酸酯有一个芳香残基与—０一ＳＯ２一基团相连，当用合适的光源曝光时，磺酸酯
对甲苯磺酸的制备与应用
--
-- 摘要
本文主要对对甲苯磺酸的制备工艺和应用前景进行了研究，分别采用了传统工艺和两种改进工艺制备对甲苯磺酸,并对此进行了比较。改进工艺克服了传统工艺的弊端。第一种改进方案是运用了部分结晶选择性原理制备对甲苯磺酸。甲苯与浓硫酸在甲苯沸腾回流(110℃)的条件下反应5h后,在80℃下加一定量的水使对甲苯磺酸结晶水合物从磺化混合液中析出，而间位和邻位两种异构物留在体系中，补充原料后继续反应,体系重新达到化学平衡状态，再析出产品。如此循环反应-结晶过程，即抑制了新的间位和邻位异构物进一步产生,又使较纯的对位产物分离出体系。优化了工艺条件，结果表明,该生产工艺路线为硫酸定量反应,无废酸或甲苯排放，产品纯度大于85%，对于高选择性生产对甲苯磺酸和清洁磺化过程具有重要的意义。第二种改进工艺是将甲苯缓慢滴加到热的浓硫酸中，此工艺减短了实验时间，使操作时间为平时的四分之一，不但节省了反应物的用量,而且还大大提高了产量,改进的方法制备收率高，反应操作简单。
本文以对甲苯磺酸做催化剂催化合成了邻苯二甲酸二丁酯，其产率为84.0％，用浓硫酸作催化剂的产率为82.８%,尽管两者间的产率相近，但对甲苯磺酸没有腐蚀性,且在反应过程中不能产生废酸,对环境无污染。
关键词: 对甲苯磺酸;磺化；结晶；催化剂 --
-- Abstracｔ
Tｈis paper focｕses oｎ thｅ p-ｔolｕeｎe sulｆonｉc acid prepａration pｒｏcess aｎd ａpplicatiｏn ｐｒospecｔs were ｓtudｉeｄ, rｅspeｃtiｖｅly usiｎg tradiｔiｏnal
tｅcｈnology aｎd two kinds ｏf imｐroveｄ ｐreparatｉoｎ prｏcesｓ oｆ p-ｔoｌuene
suｌｆoｎic acid, ａｎd makｅ a ｃompａriｓon． Improvｅd tecｈnｏlｏgy ｏvercomes thｅ ｄｅfects of thｅ traditiｏnａl process. Tｈe ｆｉrｓｔ improvｅmeｎｔ
对甲苯磺酸铜催化合成丙二酸二乙酯
科研开发 化工科技，２０１０，１８（４）：１３～１５ ＳＣＩＥＮＣＥ＆ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＩＮ ＣＨＥＭＩＣＡＬ ＩＮＤＵＳＴＲＹ
对甲苯磺酸铜催化合成丙二酸二乙酯
王勤，罗志臣
（扬州工业职业技术学院化学工程系，江苏扬州２２５１２７）
摘要：以丙二酸和乙醇为原料，采用甲苯磺酸铜作催化剂合成丙二酸二乙酯。考察了催化剂用
量、酸醇物质的量比、带水剂用量以及反应时间等因素对收率的影响。确定最佳酯化反应务件：７２（丙二
酸）一０．１ ｔｏｏｌ， （乙醇）一Ｏ．３ ｍｏｌ，对甲苯磺酸铜１．０ ｇ，带水剂环己烷２０ ｍＬ，反应时间６０ ｍｉｎ。收率可
达９３．３ 。
关键词：丙二酸二乙酯；丙二酸；对甲苯磺酸铜；酯化
中图分类号：ＴＱ４２６．８ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００８—０５１１（２０１０）０４—００１３—０３
丙二酸二乙酯（ＤＥＭ）简称丙二酸酯，又称胡
萝卜酸乙酯，是具有香甜味的无色液体，是重要的
精细化工产品。由于其特殊的化学性能，是染料
和香料的中间体，也是合成氯喹、保泰松和巴比妥
等医药的原料＿１］，具有广阔的应用领域和开发前
景。其主要的合成技术有氰化钠法＿２］、羰基化
法［３］和酯交换法［ 。以上合成工艺不仅环境污染
严重，工艺过程复杂，而且收率偏低。采用丙二酸
和乙醇在酸催化下进行酯化反应，可得到相应产
物。通常采用硫酸作催化剂，虽价格低，但选择性
差，副产物多，并且硫酸对设备腐蚀严重。因此，
开发和研究环境友好型的酯化催化剂受到普遍的
关注和重视。对甲苯磺酸铜作为一种新型的催化
剂＿５］，具有催化活性高，反应后易分离，重复使用
稳定性好，反应时间短，催化剂用量少，酯化率高，
符合绿色化学原则，是一种颇具应用开发前景的
酯化反应催化剂。作者对对甲苯磺酸铜催化合成
丙二酸二乙酯进行了研究。
１ 实验部分
１．１仪器和试剂
ＭＨ一１０００电子调温电热套：陕西鑫联仪器仪
表有限公司；ＷＡＹ－１Ｓ数字阿贝折光仪：上海物
阳离子光引发剂与光致产酸剂
阳离子光引发剂与光致产酸剂
引言：
在化学领域中，阳离子光引发剂和光致产酸剂是两种重要的化学物质，它们在光化学反应和光敏材料中发挥着重要的作用。本文将分别介绍阳离子光引发剂和光致产酸剂的概念、特性、应用以及相关的研究进展。
一、阳离子光引发剂
阳离子光引发剂（Cationic Photoinitiators）是一类能够在紫外光或可见光的照射下产生阳离子的化学物质。它们可以通过吸收光能并转化为化学反应的起始物质，从而引发聚合反应。
1. 特性
阳离子光引发剂具有以下特点：
（1）选择性：可以根据需要选择不同波长的光源来激活不同类型的阳离子光引发剂。
（2）高效性：阳离子光引发剂具有高度的光敏感性，能够在较低的光照强度下产生足够的反应物质，从而实现高效的聚合反应。
（3）适应性：阳离子光引发剂可以与不同类型的单体和聚合物相容，广泛应用于各种聚合反应中。
2. 应用
阳离子光引发剂广泛应用于光固化聚合物、涂料、油墨、胶粘剂等领域。光固化聚合物是一种常见的应用，其原理是通过阳离子光引发剂的作用，使得单体在光照下发生聚合反应，从而形成固化的聚合物材料。这种技术具有反应速度快、无挥发性有机物排放等优点，广泛应用于3D打印、电子封装、涂层等领域。
二、光致产酸剂
光致产酸剂（Photoacid Generators，PAGs）是一类能够在光照下产生酸的化学物质。它们可以通过光化学反应产生酸，进而引发酸催化的化学反应。
1. 特性
光致产酸剂具有以下特点：
（1）高敏感性：光致产酸剂对光照的敏感性较高，可以在较低的光照强度下产生足够的酸量。
（2）可控性：根据需要可以选择不同波长的光源来激活光致产酸剂，实现对反应的精确控制。
（3）应用广泛：光致产酸剂可以应用于光刻、光敏聚合物、光致变色材料等领域。
2. 应用
光致产酸剂在光刻领域中发挥重要作用。光刻是一种通过光化学反应来制备微细结构的技术，其中光致产酸剂被用作曝光过程中的反应物质。在光照下，光致产酸剂产生的酸可以催化显影液中的显影剂，从而形成所需的微细结构。此外，光致产酸剂还可以应用于光致变色材料，通过酸催化反应实现颜色的变化。
对甲基苯磺酸催化剂在合成酯中的应用
对甲基苯磺酸催化剂在合成酯中的应用周林宗1,2,杨婷1,蒋金和1* (1.云南师范大学化学化工学院,云南昆明650092;2.楚雄师范学院化学与生命科学系,云南楚雄675000)摘要 查阅国内外有关对甲基苯磺酸作为酯催化剂研究的相关文献,了解对甲基苯磺酸作为催化剂在有机合成酯中的应用研究状况。研究表明,对甲基苯磺酸作为酯催化剂具有较高的催化活性、工艺简单、生产周期短且污染小等优点。关键词 对甲基苯磺酸;催化;酯化中图分类号 Q946.81 文献标识码 A 文章编号 0517-6611(2009)13-05830-02StudyontheApplicationofp-methylBenzenesulfonicAcidCatalyzerintheSynthesisofEstersZHOULin-zongetal (DepartmentofChemistryandChemicalEngineering,YunnanNormalUniversity,Kunming,Yunnan650092)Abstract Therelatedliteraturewithp-methylbenzenesulfonicacidasthecatalyzerofestersathomeandabroadwereconsulted.Andtheresearchsitu-ationsontheapplicationofp-methylbenzenesulfonicacidasthecatalyzerintheorganicsynthesisofesterswereunderstood.Theresearchshowedthatp-methylbenzenesulfonicacidasthecatalyzerofestershadtheadvantagessuchashighercatalyticactivity,simpleprocess,shortproductioncircleandlesspollution.Keywords p-methylbenzenesulfonicacid;Catalyze;Esterification 对甲基苯磺酸在医药上是用于合成强力霉素、潘生丁、萘普生、阿莫西林、头孢羟氨苄中间体等的重要原料,是丙稀酸酯、纺织助剂、摄影胶片、聚合反应的稳定剂及有机合成(酯类)的催化剂,在多个行业被广泛用作固化剂,同时也在有机化工业及农药合成行业中被广泛使用。传统的有机合成反应多采用浓硫酸等催化剂,而浓硫酸等催化剂有腐蚀性,使得反应的副反应多、后处理困难、产品色泽较差;同时,在后处理过程中还会产生大量的含硫废水污染环境。为解决浓硫酸作为催化剂的缺点,人们已研究了其他催化剂来代替浓硫酸[1]。而对甲基苯磺酸作为催化剂在有机合成中得到了一定的应用,特别是在酯的催化应用中具有较高的催化活性,且工艺简单、生产周期短、污染小[2]、对环境友好[3],具有较好的应用前景。笔者对对甲基苯磺酸作为有机合成催化剂的研究进展进行了综述。1 对甲基苯磺酸的合成与生产[4]高纯度的对甲基苯磺酸有许多用途,如制造甲酚、消毒剂及用于生产染料2,6-二叔丁基对甲酚的中间体。一般的磺化过程,在对甲基苯磺酸生成的过程中总有一定的间、邻甲基苯磺酸生成,分离纯化极其困难。Norwood-Sauls过程则阐述了在反应中对甲基苯磺酸的增多,相应地也减少邻、间位的量,从而可以减轻精制过程的负担,提高经济效益。在此磺化过程中,SO3溶于液体SO2作为磺化剂,磺化混合物与液体甲苯同时等量加入反应器中。这种磺化方式得到的对甲基苯磺酸与邻、间位苯磺酸的比为96.5∶3.5,有时可达97.0∶3.0,对比一般的91.5∶8.5表现优越,且不需要对反应物作出精确的计量。2 对甲基苯磺酸对酯反应催化的应用对甲基苯磺酸在酯反应中的催化作用正被越来越多的学者所关注,其研究也取得了较好的成果。2.1 对甲基苯磺酸对邻苯二甲酸二异辛酯(DOP)的催化反应[4-9] 邻苯二甲酸二异辛酯(简称DOP)是一种应用较广的增塑剂,其用量位居增塑剂之首。合成DOP的传统工艺是在硫酸催化下,减压脱水酯化,但存在对设备腐蚀、产品色泽深以及污染等问题。近年来,人们对酯化反应的催化剂研究较多,其中包括有机酸、固体超强酸、杂多酸等。程晶波等选用对甲基苯磺酸、磷酸、磷钨酸、SO42-/TiO2-Al2O3等催化剂与硫酸作催化剂进行比较研究。合成中用环己烷作带水剂,反应条件和设备较减压脱水酯化工艺简单。在多种催化剂的试验中得出,DOP合成的高效催化剂是对甲基苯磺酸,邻苯二甲酸酐和异辛醇的投料摩尔比为1.0∶2.2,最适宜的温度是130℃,反应时间为2.5h,催化剂用量约1.0%时,酯化反应转化率达96%,产品酯含量98%。同时研究了具有上述相同功能基的高分子催化剂,含磺酸基的高分子和负载三氯化铝的含磺酸基的高分子,邻苯二甲酸酐酯化转化率达80%,产品酯含量达98%。反应过程如下:
几种用于i-线光致抗蚀剂的光产酸剂性能研究
第３０卷第９期 ２０１３年９月 吉 林 化 工 学 院 学 报 ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＪＩＬＩＮ ＩＮＳＴＩＴＵＴＥ ＯＦ ＣＨＥＭＩＣＡＬ ＴＥＣＨＮ０Ｌ０ＧＹ Ｖｏ１．３０ ＮＯ．９ Ｓｅｐ． ２０１３
文章编号：１００７－２８５３（２０１３）０９－００３４－０５
几种用于『－线光致抗蚀剂的光产酸剂性能研究
徐娜 ，王艳 ，陈 哲ｈ
（１．吉林化工学院材料科学与工程学院，吉林吉林１３２０２２；２．阜康热电有限责任公司，吉林梅河口１３５０００）
摘要：２，１，４一重氮萘醌磺酸酯类化合物（２，１，４一ＤＮＱ），在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光 解，还可以产生磺酸导致聚合物发生酸解，因而可用作光产酸剂．本文制备了５种２，１，４－重氮萘醌磺酸
酯，具有较好的热稳定性，分解温度均在１３０℃以上；其中有两种２，１，４一重氮萘醌磺酸酯（ＰＡＧ一１和 ＰＡＧ－５）的溶解性良好，可溶于光致抗蚀剂体系所用的常用溶剂，且二者的光解效率较高，可用作ｉ一线光 致抗蚀剂的产酸剂使用． 关键词：ｉ－线光致抗蚀剂；光产酸剂；２，１，４一ＤＮＱ 中图分类号：Ｏ ６３ 文献标志码：Ａ
目前，常用的 ．线正性光致抗蚀剂为传统的
重氮萘醌磺酸酯一酚醛树脂体系（非化学增幅型），
但是其分辨率和感度都不高，越发不能满足市场
对光致抗蚀剂材料更高分辨率和更高抗蚀剂感度
的要求．
２０世纪８０年代初，Ｉｔｏ等¨ 提出了关于化学
增幅抗蚀剂的概念，引起了全世界感光成像领域
同行的极大关注．所谓化学增幅作用就是在感光
组成物中加入光产酸剂（ｐｈｏｔｏａｃｉｄ ｇｅｎｅｒａｔｏｒ，
ＰＡＧ），在光照时发生光化学反应，产生出一种化
学增幅剂（如质子酸、路易斯酸），在光照停止后，
其可作为催化剂，经由加热或水解等方式使得感
光物质进一步发生化学反应，从而达到增幅的目
的．由于酸在成像过程中只起到催化的作用，因而
大幅度地提高了感度，此后的光致抗蚀剂研究基
一种苯磺酸米洛巴林的制备方法
一种苯磺酸米洛巴林的制备方法
1. 概述
苯磺酸米洛巴林是一种重要的医药中间体，在药物合成和医药工业中具有广泛的应用。目前，针对苯磺酸米洛巴林的制备方法进行了广泛的研究和优化，以提高产率和降低生产成本。本文将介绍一种高效的苯磺酸米洛巴林的制备方法。
2. 原料准备
要准备好合成苯磺酸米洛巴林所需的原料，包括苯甲酸、次氯酸钠、亚硝酸钠、氢氧化钠等。这些原料要经过严格的筛选和检测，确保其纯度和质量符合制备要求。
3. 合成反应
苯磺酸米洛巴林的制备主要通过苯甲酸和次氯酸钠在酸性条件下反应生成苯磺酸钠，然后将苯磺酸钠与亚硝酸钠在碱性条件下反应生成苯磺酰酰肼，最后将苯磺酰酰肼与氢氧化钠和亚硝酸钠在碱性条件下反应生成苯磺酸米洛巴林。
4. 过程优化
在合成反应过程中，需要对反应条件进行优化，包括反应温度、反应时间、原料比例等因素的控制，以提高反应的选择性和产率。还需要对反应中产生的中间体和副产物进行有效的分离和纯化，以得到高纯度的苯磺酸米洛巴林产物。
5. 产品提取和纯化
经过合成反应后，需要对产物进行提取和纯化。一种常用的方法是通过结晶和溶剂提取的方式，将苯磺酸米洛巴林从混合溶液中提取出来，然后经过结晶和洗涤等步骤进行纯化，得到高纯度的苯磺酸米洛巴林产物。
6. 结论
通过上述方法，可以高效地制备苯磺酸米洛巴林，该方法具有较高的产率和较低的成本，适合在工业化生产中进行应用。当然，随着科学技术的发展，还有许多其他制备方法的研究和优化，以期能够进一步提高苯磺酸米洛巴林的生产效率和质量。
通过本文的介绍，相信读者对苯磺酸米洛巴林的制备方法有了更深入的了解，希望这种方法能够在医药和化工行业得到更广泛的应用。由于苯磺酸米洛巴林在医药合成中的重要性日益突显，近年来人们对其制备方法进行了更深入的研究和探索，旨在提高产率、降低成本并减少对环境的影响。在这个过程中，研究人员发现了一种新的改进方法，可以进一步优化苯磺酸米洛巴林的制备过程。
对氨基苯磺酸的合成
对氨基苯磺酸的合成
答案：
对氨基苯磺酸可以通过多种方法合成，主要包括苯胺与浓硫酸反应、溶剂法、微波法以及其他方法。
具体合成步骤
苯胺与浓硫酸反应
在一个250mL三颈烧瓶中加入10mL苯胺及几粒沸石，将三颈烧瓶放入冷水中冷却，小心地加入18mL浓硫酸。
将三颈烧瓶置于油浴中缓慢加热至170~180℃，维持此温度2~2.5小时。
将反应液冷却至约50℃后，倒入盛有100mL冷水的烧杯中，用玻璃棒不断搅拌，促使晶体析出。过滤，用少量冷水洗涤，得到的晶体是对氨基苯磺酸粗产品。
溶剂法
使用溶剂汽油作为溶剂，加入苯胺和浓硫酸，在搅拌下慢慢滴入溶剂中，加热至170~175℃，保持6小时进行脱水转位反应。反应期间不断滴入溶剂，同时溶剂又不断被蒸出，保持总溶剂量基本不变。
微波法
在100 mL圆底烧瓶中加入新蒸的苯胺5 mL，用冷水浴冷却，分批加入浓硫酸。将圆底烧瓶置于微波炉内，以一定功率加热反应。反应完毕取出圆底烧瓶，待反应物稍冷后倒入冷水中，过滤、重结晶得到对氨基苯磺酸。
其他方法
通过4-氨基苯酚和2-磺酸基甲苯在氯化铝存在下反应，经过滤、洗涤、脱水、烘干得到对氨基苯磺酸。
甲基苯磺酸催化下乙酸仲丁酯的微波辐射合成
甲基苯磺酸催化下乙酸仲丁酯的微波辐射合成
摘要:在微波辐射下以对甲基苯磺酸为催化剂合成了乙酸仲丁酯。研究了酸醇物质的量比、对甲苯磺酸用量、带水剂的用量、微波辐射时间和微波功率对酯化率的影响。结果表明最佳反应条件为:酸醇物质的量比1∶1.4,对甲苯磺酸用量为0.6 g,微波功率600 W,微波辐射时间40 min。反应酯化率可达97.19%。
关键词:乙酸仲丁酯 对甲苯磺酸 微波
乙酸仲丁酯属低碳脂肪酸酯类,具有果实香味[11]。主要用于漆用溶剂、稀释剂、各种植物油与树脂溶剂等,也可用于食品、化妆品中的香料添加剂,以及有机合成中间体、金属清洗剂、萃取剂[1]。因为仲丁醇属于仲醇,而其易脱水性和空间位阻都明显高于伯醇,故合成酯化反应的条件较苛刻[3]。目前人们正积极寻找催化合成乙酸仲丁酯的新型催化剂和合成方法,并取得了一定的进展,近来有文献报道[1],对甲苯磺酸在酯化反应中具有较高的催化活性,且反应条件温和,但反应时间太长。
而在微波辐射下的化学反应不仅能在相同的温度也能在更低的温度下,产生比常规方法高几倍或是几十倍的效率,同时还能实现一些常规方法难以实现的反应,并且产率也有明显的提高,这就揭示了微波化学所具有的潜在价值,从而它受到了世界各国学者的关注。这种用微波技术进行酯的合成不仅具有节能、环保等优点,而微波辐射下的酯化反应与传统的酯化反应相比在缩短反应时间和提高产率方面具有较大的优势,还能完成常规条件下不能进行的酯化反应.因此这对于工业上一些反应条件较为苛刻的酯化反应具有应用前景[2,10],故采用微波辐射对甲基苯磺酸催化合成乙酸仲丁酯。
1 实验部分
1.1 实验仪器和药品
1.1.1 实验仪器及试剂
NJL07-3型微波实验炉;WGH-30A型双光束红外分光光度计;KDM型可调电热套;分水器;回流冷凝管;其他常规有机合成玻璃仪器。乙酸;仲丁醇;环己烷;对甲基苯磺酸等以上试剂均为分析纯。