电容式位移传感器可以实现非接触测量
电容式位移传感器可以实现非接触测量, 用来
测量各种导电材料的间隙、长度、尺寸或位置、振动
位移等。CapaN CD (非接触电容位移传感器) 测量
原理的基础在于理想平板电容的构成, 两个平板电
极由传感器和相对应的被测体组成, 当恒定的交流
电加在传感器电容上时, 传感器产生的交流电压与
电容电极之间的距离成正比,交流电压经检波器,与
一个可设置的补偿电压叠加,经放大,作为模拟信号
输出。capaN CD T610 是一个精密的单通道系统,
它由电容位移传感器, 传感器电缆和处理信号的前
置器组成,用户可以在现场用二点线性化方法校准。
这种传感器的特点是工作时无磨损,免维修、对被测
体没有作用力、具有高的零点稳定性和精度、与被测
体导电性能以及导电性能变化无关而且几乎不受温
度影响。capaN CD T610 可输出0～10 V 的电压,在
牺牲精度的情况下,测量范围还可以扩大2～3 倍。
2. 2 电容式物位传感器
电容式物位传感器有两个导电极板(通常把容
器壁作为一个电极) , 由于电极间是气体、液体或固
体而导致静电容发生变化, 因而可以敏感物位。它
的敏感元件有三种形式, 即棒状、板状和线状, 其工
作温度、压力主要受绝缘材料的限制。电容式物位
传感器可以采取微机控制,实现自动调整灵敏度,并
具有自诊断功能,同时能够检测敏感元件的破损、绝
缘性的降低、电缆和电路的故障等, 并可以自动报
警,实现高可靠性的信息传递。由于电容式传感器
无机械可动部分, 且敏感元件简单, 操作方便, 是目
前应用最广的一种物位传感器。
2. 3 固态电容式指纹传感器
个人身份的确定和权限的认定是人类社会生活
的一个重要环节,尤其随着信息网络时代的到来,人
们对安全性的要求越来越高。传统的身份识别方法
在安全性、可靠性方面的不足越来越明显。随着传
感器技术的发展,人们利用电容式传感器对人体不
变的生物特征如指纹进行识别,从而识别人的身份,
可靠性大大提高,广泛应用于养老金领取、人事工资
管理、银行柜员身份确认等很多场合。
目前市场上有两种固态指纹传感器, 第一种是
单次触摸型传感器,要求手指在采集区进行可靠的
触摸;第二种则需要用手指在传感器表面擦过,传感
器会采集一套特定的数据进行快速分析和认证。这
两种指纹传感器都是利用指纹中凸起的部分置于传
感器电容像素电极时电容量会有所增加, 从而通过
检测增加的电容来进行数据采集的。目前这两种指 电容式传感器虽然存在很多不足,比如:寄生电
容影响大,不仅降低了传感器的灵敏度和精度,而且
会使仪器工作不稳定,变极距型电容传感器输出成
非线性,即使其他类型的电容传感器由于边缘效应
的存在,也会出现非线性等。但随着材料、工艺、电
子技术尤其是集成技术的高速发展,成功地解决了
电容传感器在使用中存在的问题,使之成为一种高
灵敏度、高精度,在动态、低压及一些特殊测量方面
大有前途的传感器。电容式传感器的应用非常广
泛,凡是可以转换为间距、面积和介电常数的量都可
以用电容传感器来测量。限于篇幅,本文不可能一
一介绍,仅就几方面的应用作一介绍。
2. 1 电容式位移传感器
电容式位移传感器可以实现非接触测量, 用来
测量各种导电材料的间隙、长度、尺寸或位置、振动
位移等。CapaN CD (非接触电容位移传感器) 测量
原理的基础在于理想平板电容的构成, 两个平板电
极由传感器和相对应的被测体组成, 当恒定的交流
电加在传感器电容上时, 传感器产生的交流电压与
电容电极之间的距离成正比,交流电压经检波器,与
一个可设置的补偿电压叠加,经放大,作为模拟信号
输出。capaN CD T610 是一个精密的单通道系统,
它由电容位移传感器, 传感器电缆和处理信号的前
置器组成,用户可以在现场用二点线性化方法校准。
这种传感器的特点是工作时无磨损,免维修、对被测
体没有作用力、具有高的零点稳定性和精度、与被测
体导电性能以及导电性能变化无关而且几乎不受温
度影响。capaN CD T610 可输出0～10 V 的电压,在
牺牲精度的情况下,测量范围还可以扩大2～3 倍。
2. 2 电容式物位传感器
电容式物位传感器有两个导电极板(通常把容
器壁作为一个电极) , 由于电极间是气体、液体或固
体而导致静电容发生变化, 因而可以敏感物位。它
的敏感元件有三种形式, 即棒状、板状和线状, 其工
作温度、压力主要受绝缘材料的限制。电容式物位
传感器可以采取微机控制,实现自动调整灵敏度,并
具有自诊断功能,同时能够检测敏感元件的破损、绝
缘性的降低、电缆和电路的故障等, 并可以自动报
警,实现高可靠性的信息传递。由于电容式传感器
无机械可动部分, 且敏感元件简单, 操作方便, 是目
前应用最广的一种物位传感器。
2. 3 固态电容式指纹传感器
个人身份的确定和权限的认定是人类社会生活
的一个重要环节,尤其随着信息网络时代的到来,人 们对安全性的要求越来越高。传统的身份识别方法
在安全性、可靠性方面的不足越来越明显。随着传
感器技术的发展,人们利用电容式传感器对人体不
变的生物特征如指纹进行识别,从而识别人的身份,
可靠性大大提高,广泛应用于养老金领取、人事工资
管理、银行柜员身份确认等很多场合。
目前市场上有两种固态指纹传感器, 第一种是
单次触摸型传感器,要求手指在采集区进行可靠的
触摸;第二种则需要用手指在传感器表面擦过,传感
器会采集一套特定的数据进行快速分析和认证。这
两种指纹传感器都是利用指纹中凸起的部分置于传
感器电容像素电极时电容量会有所增加, 从而通过
检测增加的电容来进行数据采集的。目前这两种指
纹传感器都得到了广泛的应用。
3 电容式传感器的发展
近年来随着科学技术的发展,电容式传感器的
纹传感器都得到了广泛的应用。
3 电容式传感器的发展
近年来随着科学技术的发展,电容式传感器的
缺点不断地被克服,应用也越来越广泛,尤其是出现
了数字式智能化的电容式传感器,它是一种先进的
数字式测量系统。将其测量部件技术与微处理器的
第2 期 张白莉:电容式传感器的应用和发展25
计算功能结合为一体,使得测量仪表至控制仪表成
为全数字化系统。数字式智能化传感器的综合性能
指标、实际测量准确度比传统的传感器提高了很多。
总之,随着传感器技术的发展,电容式传感器的形式
将会多种多样,其形式应以非接触式为研制重点。
其发展方向是通过广泛应用微机等高新电子技术来
获得全面性能的进一步提高,同时还要向着小型化、
智能化、多功能化的方向发展。__
位移传感器又称为线性传感器
位移传感器又称为线性传感器，它分为电感式位移传感器，电容式位移传感器，
光电式位移传感器，位移传感器超声波式位移传感器，霍尔式位移传感器。 电
感式位移传感器是一种属于金属感应的线性器件，接通电源后，在开关的感应面
将产生一个交变磁场，当金属物体接近此感应面时，金属中则产生涡流而吸取了
振荡器的能量，使振荡器输出幅度线性衰减，然后根据衰减量的变化来完成无接触检测物体的目的。
简介
电感式位移传感器具有无滑动触点，工作时不受灰尘等非金属因素的
影响，并且低功耗，长寿命，可使用在各种恶劣条件下。位移传感器主要
应用在自动化装备生产线对模拟量的智能控制。
光电式位移传感器利用激光三角反射法进行测量，对被测物体材质没
有任何要求，主要影响为环境光强和被测面是否平整。比如公路测量用到
真尚有的激光位移传感器，就对传感器进行了特殊配置，与普通情况不一
样。
位移是和物体的位置在运动过程中的移动有关的量，位移的测量方式
所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器
式、涡流式、霍尔传感器来检测，大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、
磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目
前分辨率最高的可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安
装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛
的应用。
原理
计量光栅是利用光栅的莫尔条纹现象来测量位移的。“莫尔”原出于
法文Moire，意思是水波纹。几百
位移传感器 年前法国丝绸工人发现，当两层薄丝绸叠在一起时，将产生水波纹状花样；
如果薄绸子相对运动，则花样也跟着移动，这种奇怪的花纹就是莫尔条纹。
一般来说，只要是有一定周期的曲线簇重叠起来，便会产生莫尔条纹。计
量光栅在实际应用上有透射光栅和反射光栅两种；按其作用原理又可分为
辐射光栅和相位光栅；按其用途可分为直线光栅和圆光栅。下面以透射光
栅为例加以讨论。 透射光栅尺上均匀地刻有平行的刻线即栅线，a为刻线
位移传感器
位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型和结构型两种。
位移传感器的主要分类
根据运动方式
直线位移传感器：
直线位移传感器的功能在于把直线机械位移量转换成电信号。
为了达到这一效果，通常将可变电阻滑轨定置在传感器的固定部位，通过滑片在滑轨上的位移来测量不同的阻值。传感器滑轨连接稳态直流电压，允许流过微安培的小电流，滑片和始端之间的电压，与滑片移动的长度成正比。将传感器用作分压器可最大限度降低对滑轨总阻值精确性的要求，因为由温度变化引起的阻值变化不会影响到测量结果。
角度位移传感器：
角度位移传感器应用于障碍处理：使用角度传感器来控制你的轮子可以间接的发现障碍物。原理非常简单：如果马达角度传感器构造运转，而齿轮不转，说明你的机器已经被障碍物给挡住了。此技术使用起来非常简单，而且非常有效；唯一要求就是运动的轮子不能在地板上打滑（或者说打滑次数太多），否则你将无法检测到障碍物。一个空转的齿轮连接到马达上就可以避免这个问题，这个轮子不是由马达驱动而是通过装置的运动带动它：在驱动轮旋转的过程中，如果惰轮停止了，说明你碰到障碍物了。
根据材质
电位器式位移传感器：它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。但是，为实现测量位移目的而设计的电位器，要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。图1中的电位器式位移传感器的可动电刷与被测物体相连。物体的位移引起电位器移动端的电阻变化。阻值的变化量反映了位移的量值，阻值的增加还是减小则表明了位移的方向。通常在电位器上通以电源电压，以把电阻变化转换为电压输出。线绕式电位器由于其电刷移动时电阻以匝电阻为阶梯而变化，其输出特性亦呈阶梯形。如果这种位移传感器在伺服系统中用作位移反馈元件，则过大的阶跃电压会引起系统振荡。因此在电位器的制作中应尽量减小每匝的电阻值。电位器式传感器的另一个主要缺点是易磨损。它的优点是：结构简单，输出信号大，使用方便，价格低廉。
电容传感器
1
接近开关
接近开关又称无触点行程开关，它除可以完成行程控制和限位保护外，还是一种非接触型的检测装置，用作检测零件尺寸和测速等，也可用于变频计数器、变频脉冲发生器、液面控制和加工程序的自动衔接等。特点有工作可靠、寿命长、功耗低、复定位精度高、操作频率高以及适应恶劣的工作环境等。
一、性能特点在各类开关中，有一种对接近它物件有“感知”能力的元件——位移传感器。利用位移传感器对接近物体的敏感特性达到控制开关通或断的目的，这就是接近开关。
当有物体移向接近开关，并接近到一定距离时，位移传感器才有“感知”，开关才会动作。通常把这个距离叫“检出距离”。不同的接近开关检出距离也不同。
有时被检测验物体是按一定的时间间隔，一个接一个地移向接近开关，又一个一个地离开，这样不断地重复。不同的接近开关，对检测对象的响应能力是不同的。这种响应特性被称为“响应频率”。
二、种类因为位移传感器可以根据不同的原理和不同的方法做成，而不同的位移传感器对物体的“感知”方法也不同，所以常见的接近开关有以下几种：
1、涡流式接近开关这种开关有时也叫电感式接近开关。它是利用导电物体在接近这个能产生电磁场接近开关时，使物体内部产生涡流。这个涡流反作用到接近开关，使开关内部电路参数发生变化，由此识别出有无导电物体移近，进而控制开关的通或断。这种接近开关所能检测的物体必须是导电体。
2、电容式接近开关这种开关的测量通常是构成电容器的一个极板，而另一个极板是开关的外壳。这个外壳在测量过程中通常是接地或与设备的机壳相连接。当有物体移向接近开关时，不论它是否为导体，由于它的接近，总要使电容的介电常数发生变化，从而使电容量发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化，由此便可控制开关的接通或断开。这种接近开关检测的对象，不限于导体，可以绝缘的液体或粉状物等。
3、霍尔接近开关霍尔元件是一种磁敏元件。利用霍尔元件做成的开关，叫做霍尔开关。当磁性物件移近霍尔开关时，开关检测面上的霍尔元件因产生霍尔效应而使开关内部电路状态发生变化，由此识别附近有磁性物体存在，进而控制开关的通或断。这种接近开关的检测对象必须是磁性物体。
传感器作业
1
1. 在信息科学领域，生物体“五官”的工程模拟物是（ B ）
A．计算机 Ｂ．传感器
Ｃ．遥感技术 Ｄ．敏感元件
2. 广义上讲，传感器为测量装置和控制系统输入部分中起（ A ）
A．信号检测作用 Ｂ．信号传输作用
Ｃ．数据处理作用 Ｄ．数据传输作用
3. 在传感器的分类中，按输入量的分类，免疫传感器属于（ ）
A．物理传感器 Ｂ．化学传感器 Ｃ．生物传感器 Ｄ．数字传感器
4. 传感器是一种能把特定的被测信号按一定规律转换成可用信号输出的器件或装置，以满足信息的传输、处理、记录、显示和控制等要求。这里“可用信号”指的是（ ）
A．电压 Ｂ．电流
Ｃ．频率 Ｄ．便于处理、传输的信号
5. 从广义上讲，传感器能在测量装置和控制系统输入部分中所起的作用是（ A）
A．信号检测 Ｂ．信号传输 Ｃ．数据处理 Ｄ．数据传输
6. 传感器中能够完成预变换的器件称为（ ）
A．敏感元件 Ｂ．转换元件 Ｃ．光电元件 Ｄ． 热电元件
7. 传感器按输出量可分为模拟式传感器和（ ）
A．电容式传感器 Ｂ．数字式传感器 Ｃ．物理量传感器 Ｄ．化学量传感器
8. 在传感器的中，能够完成预变换的器件称为（ ）
A．敏感元件 Ｂ．转换元件 Ｃ．热敏电阻 Ｄ．光电器件
9. 以下传感器具有能量放大作用的是（ ）
A．发电型 Ｂ．有源型 Ｃ．无源型 Ｄ．光电池
10. 对传感器输出-输入特性线性化的以下方法中，拟合精度最高的是（ ）
传感器与检测技术》试卷及答案(共五套)
检测原理与技术试卷及答案
第 1 页 共 21 页 （试卷一）
第一部分 选择题（共24分）
一、单项选择题（本大题共12小题，每小题2分，共24分）在每小题列出的四个选项中只有一个选项是符合题目要求的，请将正确选项前的字母填在题后的括号内。错选、多选和未选均无分。
1．下列被测物理量适合于使用红外传感器进行测量的是（ ）
A．压力 B．力矩 C．温度 D．厚度
2．属于传感器动态特性指标的是（ ）
A．重复性 B．线性度 C．灵敏度 D．固有频率
3．按照工作原理分类，固体图象式传感器属于（ ）
A．光电式传感器 B．电容式传感器
C．压电式传感器 D．磁电式传感器
4．测量范围大的电容式位移传感器的类型为（ ）
A．变极板面积型 B．变极距型
C．变介质型 D．容栅型
5．利用相邻双臂桥检测的应变式传感器，为使其灵敏度高、非线性误差小（ ）
A．两个桥臂都应当用大电阻值工作应变片
B．两个桥臂都应当用两个工作应变片串联
C．两个桥臂应当分别用应变量变化相反的工作应变片
D．两个桥臂应当分别用应变量变化相同的工作应变片
6．影响压电式加速度传感器低频响应能力的是（ ）
A．电缆的安装与固定方式 B．电缆的长度
C．前置放大器的输出阻抗 D．前置放大器的输入阻抗
7．固体半导体摄像元件CCD是一种（ ）
工程测试技术判断题
判断下列各题的叙述是否正确？
一个理想的测试装置，其输入和输出之间具有线性关系为最佳。√
用一阶系统作测试系统，为获得较佳的工作性能，其时间常数τ应尽量大。╳
压电式传感器是利用某些物质的压阻效应而工作的。╳
若随机信号 x(t)和 y(t)的均值都为0，当τ→∞时，则Rxy(τ)=0。╳
交流电桥中，四个臂为电容性阻抗时，电压与电流关系为电压超前电流。╳`
传感器的灵敏度越高，意味着传感器所能感知的被测量越小。╳
传感器的响应特性必须在所测频率范围内努力保持不失真测试条件。√
在电桥测量电路中，由于电桥接法不同，输出的电压灵敏度也不同，差动半桥接法可以获得最大的输出。╳
为了提高变极距型电容传感器的灵敏度、线性度及减小外部条件变化对测量精度的影响,实际应用时常常采用同步工作方式。╳
信噪比越大则有用信号的成分越大,噪声影响也大。╳
测试工作的任务主要是要从复杂的信号中提取有用信息。√
概率密度函数提供了随机信号沿频率域分布的信息。╳
时域信号的时移，则频谱变化为压缩。╳
记录磁带快录慢放，放演信号的频谱带宽扩宽，幅值压低。╳
用二阶系统作测量装置时，为获得较宽的工作频率范围，则系统的阻尼比应接近0.707。√
自感型可变磁阻式传感器，当气隙δ变化时，其灵敏度S与δ之间关系是：S=kδ-2 。√
电路中鉴频器的作用是使频率变化转变成电压变化。√
一选频装置，其幅频特性在f1~f2区间急剧衰减（f2>f1），在0～f1和f2～∞之间近于平直，这是带通滤波器。√
品质因数Q值增加，则滤波器分辨能力减小。╳
各态历经随机过程必须是周期的。╳
当τ＝0时，自相关函数值最小值。╳
二阶系统，当相频特性中φ（ω）＝－90°所对应的频率ω作为系统固有频率ωn的估计，该值与系统阻尼比的大小略有关系。╳
滤波器中，规定幅频特性值等于1.414A时所对应的频率称为截止频率。╳
用二阶系统作测量装置时，影响幅值测量误差大小的参数有灵敏度。╳
传感器检测技术基础知识单选题100道及答案
传感器检测技术基础知识单选题100道及答案
1. 传感器能感知的输入变化量越小，表示传感器的（ ）
A. 线性度越好 B. 迟滞越小 C. 重复性越好 D. 分辨力越高
答案：D
2. 属于传感器动态特性指标的是（ ）
A. 重复性 B. 线性度 C. 灵敏度 D. 固有频率
答案：D
3. 下列传感器中，属于物性型传感器的是（ ）
A. 应变式传感器 B. 电容式传感器 C. 压电式传感器 D. 电感式传感器
答案：C
4. 测量范围大的电容式位移传感器的类型为（ ）
A. 变极板面积型 B. 变极距型 C. 变介质型 D. 容栅型
答案：D
5. 利用涡流效应测量位移的传感器属于（ ）
A. 电感式传感器 B. 电容式传感器 C. 压电式传感器 D. 光电式传感器
答案：A
6. 热电偶的热电动势包括（ ）
A. 接触电动势和温差电动势 B. 感应电动势和温差电动势
C. 接触电动势和感应电动势 D. 感应电动势和汤姆逊电动势
答案：A
7. 热电阻测量温度时，经常采用的三线制接法的主要作用是（ ）
A. 减小非线性误差 B. 提高测量精度 C. 减小引线电阻的影响 D. 提高灵敏度
答案：C
8. 下列不属于光电式传感器的是（ ）
A. 光电管 B. 光电池 C. 光敏电阻 D. 压敏电阻
答案：D
9. 能够测量微小位移的传感器是（ ）
A. 电涡流传感器 B. 压电传感器 C. 光栅传感器 D. 霍尔传感器
答案：C
10. 磁电式传感器是把被测物理量转换为（ ）的一种传感器。
A. 电阻变化量 B. 电荷量 C. 电感变化量 D. 感应电动势
答案：D
11. 半导体应变片的工作原理是基于（ ）
A. 压阻效应 B. 应变效应 C. 热阻效应 D. 光电效应
答案：A
12. 以下哪种传感器适合测量高速旋转物体的转速（ ）
电容式传感器位移特性实验报告
---------------------------------精选公文范文--------------------------
----------------精选公文范文---------------- 1 电容式传感器位移特性实验报告
篇一：实验十一 电容式传感器的位移特性实验
实验十一电容式传感器的位移特性实验
一、实验目的：
了解电容传感器的结构及特点 二、实验仪器：
电容传感器、电容传感器模块、测微头、数显直流电压表、直流稳压电源
三、实验原理：
电容式传感器是指能将被测物理量的变化转换为电容量变化的一种传感器它实质上是具有一个可变参数的电容器。利用平板电容器原理：
C?
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----------------精选公文范文---------------- 2 ?0??r?S
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（11-1）
0真空介电常数，εr介质相对介电常数，由
式中，S为极板面积，d为极板间距离，ε此可以看出当被测物理量使S、d或ε
r发生变化时，电容量
C随之发生改变，如果保持其
中两个参数不变而仅改变另一参数，就可以将该参数的变化单值地转换为电容量的变化。所以电容传感器可以分为三种类型：改变极间距离的变间隙式，改变极板面积的变面积式和改变介质电常数的变介电常数式。这里采用变面积式，如图11-1两只平板电容器共享一个下极板，当下极板随被测物体移动时，两只电容器上下极板的有效面积一只增大，一只减小，将三个极板用导线引出，形成差动电容输出。 四、实验内容与步骤 ---------------------------------精选公文范文--------------------------
电容式位移传感器的工作原理及基本类型
电容式位移传感器的工作原理及基本类型
电容式位移传感器是一种能够实现非接触式测量物体位移的传感器，其工作原理是通过感应电极与被测物体之间的电容变化来测量物体位移。其基本结构包括感应电极、反电极、测量板和测量电路等部件。
电容式位移传感器的基本类型包括：
1. 平行板电容传感器：由两个平行金属板构成，中间夹有一层绝缘材料，被测物体的位移会使金属板之间的电容值发生变化。
2. 接触式电容传感器：感应电极与被测物体相接触，当被测物体发生位移时，感应电极与被测物体之间的电容值发生变化。
3. 非接触式电容传感器：感应电极与被测物体之间存在空气隙，当被测物体发生位移时，感应电极与被测物体之间的电容值发生变化。这种传感器可用于测量不同材料的位移。
实验五 电容式传感器的位移特性实验
实验五 电容式传感器的位移特性实验
一、实验目的
了解电容式传感器的结构及其特点。
二、实验原理
平板电容器电容C＝/sd，它的三个参数 、S、d中，保持两个参数不变，只改变其中一个参数，则可用于测量谷物干燥度（变）、测微小位移（变d）和测量液位（变S）等多种电容传感器。变面积型电容传感器中，平板结构对极距特别敏感，测量精度受到影响。圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，且理论上具有很好的线性关系（但实际由于边缘效应的影响，会引起极板间的电场分布不均，非线性问题仍然存在，且灵敏度下降，但比变极距型好得多。）成为实际中最常用的结构，其中线位移单组式的电容量C在忽略边缘效应时为：
212lnrrlC （1）
式中 l——外圆筒与内圆柱覆盖部分的长度；
12rr、——外圆筒内半径和内圆柱外半径。
当两圆筒相对移动l时，电容变化量C为：
2221110222lnlnlnrrrrrrlllllCCl （2）
于是，可得其静态灵敏度为：
222111224/lnlnlngrrrrrrllllCkll （3）
可见灵敏度gK与12rr有关，12rr与越接近，灵敏度越高，虽然内外极筒原始覆盖长度l与灵敏度无关，但l不可太小，否则边缘效应将影响到传感器的线性。
本实验为变面积式电容传感器，采用差动式圆柱形结构，如图5-1所示，此结构可以消除极距变化对测量精度的影响，并且可以减小非线性误差和增加传感器的灵敏度。其安装示意图如图5-2所示
图5-1圆柱形差动式电容传感器示意图 图5-2圆柱形差动式电容传感器实验装置安装示意图
电容式传感器调理模块的电路图如图5-3所示